OPTICAL ELEMENT AND EXPOSURE APPARATUS

13-02-2014 дата публикации

Номер:

US20140043592A1

Автор: Atsunobu Murakami, Hitoshi Ishizawa, Takao Kokubun, Takeshi Shirai

Принадлежит: Nikon Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G02 G02B G02B1 G02B1/G02B1/1 G02B1/10 G02B1/105 G02B1/14 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/2 G03F7/20 G03F7/204 G03F7/2041 G03F7/7 G03F7/70 G03F7/703 G03F7/7034 G03F7/70341 G03F7/708 G03F7/7087 G03F7/70875 G03F7/709 G03F7/7095 G03F7/70958 G03F7/7098 G03F7/70983 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/027 H01L21/0274

IPC - классификация

C C0 C08 C08G C08G1 C08G18 C08G18/C08G18/4 C08G18/48 C08G18/483 C08G18/4833 G G0 G02 G02B G02B1 G02B1/G02B1/1 G02B1/14 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/6 G03F1/62

Получить PDF