Reliable. modular, production quality narrow-band KRF excimer laser
23-11-1999 дата публикации
Номер:
US5991324A
Автор: Alexander I. Ershov, Daniel A. Rothweil, David S. Knowles, Herve A. Besaucele, Igor V. Fomenkov, James H. Azzola, Palash P. Das, Richard C. Ujazdowski, Richard L. Sandstrom, Richard M. Ness, Robert G. Ozarski, Tibor Juhasz, Tom A. Watson, William N. Partlo
Принадлежит: Cymer Inc
Контакты:
Номер заявки:
Дата заявки: