System for real-time control of semiconductor wafer polishing

17-07-2001 дата публикации

Номер:

US6261151B1

Автор: Gurtej S. Sandhu, Trung Tri Doan

Принадлежит: Micron Technology Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B2 B23 B23Q B23Q1 B23Q15 B23Q15/B23Q15/0 B23Q15/01 B23Q15/013 B23Q15/1 B23Q15/12 B24 B24B B24B1 B24B13 B24B13/B24B13/0 B24B13/01 B24B13/015 B24B3 B24B37 B24B37/B24B37/0 B24B37/01 B24B37/013 B24B37/015 B24B37/1 B24B37/10 B24B37/107 B24B37/12 B24B37/2 B24B37/20 B24B37/205 B24B4 B24B49 B24B49/B24B49/0 B24B49/00 B24B49/003 B24B49/02 B24B49/04 B24B49/1 B24B49/10 B24B49/12 B24B5 B24B57 B24B57/B24B57/0 B24B57/02 G G0 G05 G05B G05B1 G05B19 G05B19/G05B19/4 G05B19/40 G05B19/404 G05B2 G05B22 G05B221 G05B2219 G05B2219/G05B2219/3 G05B2219/34 G05B2219/344 G05B2219/3440 G05B2219/34403 G05B2219/37 G05B2219/373 G05B2219/3739 G05B2219/37398 G05B2219/376 G05B2219/3760 G05B2219/37602 G05B2219/4 G05B2219/45 G05B2219/450 G05B2219/4502 G05B2219/45026 G05B2219/451 G05B2219/4519 G05B2219/45199 G05B2219/452 G05B2219/4523 G05B2219/45232 G05B2219/49 G05B2219/490 G05B2219/4905 G05B2219/49052 G05B2219/49057

IPC - классификация

B B2 B24 B24B B24B3 B24B37 B24B37/B24B37/0 B24B37/01 B24B37/013 B24B4 B24B49 B24B49/B24B49/0 B24B49/04 B24B49/1 B24B49/12

Получить PDF