Method and apparatus for cooling a reticle during lithographic exposure

12-09-2006 дата публикации

Номер:

US7105836B2

Автор: Andrew W. Mccullough, Daniel N. Galburt, Joost Jeroen Ottens, Santiago del Puerto, Stephen Roux

Принадлежит: Asml Holding Nv

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

F F2 F28 F28F F28F3 F28F3/F28F3/0 F28F3/04 F28F3/048 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/707 G03F7/7071 G03F7/70716 G03F7/708 G03F7/7087 G03F7/70875 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/027

IPC - классификация

F F2 F28 F28F F28F3 F28F3/F28F3/0 F28F3/04 F28F3/046 G G0 G03 G03B G03B2 G03B27 G03B27/G03B27/6 G03B27/60 G03F G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/703 G03F7/7035 G03F7/70358

Получить PDF