Method for multiple spacer width control

13-02-2007 дата публикации

Номер:

US7176137B2

Автор: Ai-Sen Liu, Baw-Ching Perng, Cheng-Chung Lin, Chia-Hui Lin, Ming-Ta Lei, Yih-Shung Lin

Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/8 H01L21/82 H01L21/823 H01L21/8234 H01L21/82346 H01L21/823468 H01L29 H01L29/H01L29/6 H01L29/66 H01L29/665 H01L29/6656

Получить PDF