Ion beam current monitoring

11-03-2008 дата публикации

Номер:

US7342240B2

Автор: Morgan Evans, Steven R. Walther

Принадлежит: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/00 H01J2237/004 H01J2237/0044 H01J2237/3 H01J2237/31 H01J2237/317 H01J2237/3170 H01J2237/31703 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/02 H01J37/026

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J3/H01J3/4 H01J3/40 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/02 H01J37/026

Получить PDF