Method for inspecting and measuring sample and scanning electron microscope

14-06-2011 дата публикации

Номер:

US7960696B2

Автор: Akira Ikegami, Junichi Kakuta, Makoto Ezumi, Satoru Iwama, Takahiro Sato

Принадлежит: Hitachi High Technologies Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N2 G01N23 G01N23/G01N23/2 G01N23/22 G01N23/225 G01N23/2251 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/00 H01J2237/004 H01J2237/0048 H01J2237/2 H01J2237/28 H01J2237/281 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/26 H01J37/265 H01J37/28

IPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N2 G01N23 G01N23/G01N23/2 G01N23/22 G01N23/225 G01N23/2251 G01N23/2254 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/28

Получить PDF