Notched magnetic lens for improved sample access in an SEM

14-07-2015 дата публикации

Номер:

US9082580B2

Автор: Christopher M. Sears

Принадлежит: KLA Tencor Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/1 H01J2237/14 H01J2237/140 H01J2237/1405 H01J2237/141 H01J2237/1415 H01J2237/2 H01J2237/28 H01J2237/280 H01J2237/2807 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/141 H01J37/2 H01J37/28

IPC - классификация

B B8 B82 B82Y B82Y1 B82Y15 B82Y15/B82Y15/0 B82Y15/00 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/141 H01J37/2 H01J37/28

Получить PDF