Anti-reflective coatings using vinyl ether crosslinkers

18-08-2015 дата публикации

Номер:

US9110372B2

Автор: Douglas J. Guerrero, Marc W. Weimer, Robert Christian Cox

Принадлежит: Brewer Science Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C07 C07C C07C4 C07C43 C07C43/C07C43/1 C07C43/16 C07C43/166 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/03 G03F7/039 G03F7/0392 G03F7/09 G03F7/091 G03F7/094 G03F7/1 G03F7/11 G03F7/16 G03F7/168 G03F7/4 G03F7/40 Y Y1 Y10 Y10S Y10S4 Y10S43 Y10S438 Y10S438/Y10S438/9 Y10S438/95 Y10S438/952 Y10T Y10T4 Y10T42 Y10T428 Y10T428/Y10T428/3 Y10T428/31 Y10T428/316 Y10T428/3166 Y10T428/31667 Y10T428/3169 Y10T428/31699 Y10T428/319 Y10T428/3193 Y10T428/31935

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/09 G03F7/091 G03F7/1 G03F7/11 G03F7/4 G03F7/40

Получить PDF