Composition of matter and molecular resist made therefrom

01-09-2015 дата публикации

Номер:

US9122156B2

Автор: Alex Philip Graham Robinson, Andreas Frommhold, Dongxu Yang, Edward A. Jackson, John L. Roth, Thomas Lada, Xiang Xue

Принадлежит: Alex Philip Graham Robinson, Andreas Frommhold, Dongxu Yang, Edward A. Jackson, John L. Roth, Thomas Lada, Xiang Xue

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C07 C07D C07D2 C07D22 C07D223 C07D223/C07D223/0 C07D223/04 C07D4 C07D48 C07D487 C07D487/C07D487/0 C07D487/04 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/004 G03F7/0045 G03F7/02 G03F7/027 G03F7/03 G03F7/038 G03F7/0382 H H1 H10 H10K H10K7 H10K71 H10K71/H10K71/2 H10K71/23 H10K71/233

IPC - классификация

A A6 A61 A61P A61P4 A61P43 A61P43/A61P43/0 A61P43/00 C C0 C07 C07C C07C3 C07C38 C07C381 C07C381/C07C381/1 C07C381/12 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/03 G03F7/038

Получить PDF