EVAPORATION METHOD, EVAPORATION MASK MODULE, DISPLAY PANEL, AND DISPLAY APPARATUS

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年1月22递交的中国申请201910057935.6的优先权，并通过引用将其全文并入在此。

本公开涉及显示技术领域，特别涉及一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置。

目前，全面屏设计的显示面板因为屏占比较高而越来越深得消费者的欢迎，全面屏通常采用四周超窄边框设计，并在显示区域(Active Area，AA)中设置透光区域，该透光区域用于诸如摄像头、听筒等部件的放置。

目前在透光区域，显示面板有的膜层可能需要进行挖孔，也就是先将膜层设置在衬底基板上，在采用例如激光或刻蚀等方式在膜层上进行挖孔。而激光或刻蚀等工艺较为复杂且设备需求较大，且激光切割膜层可能会损坏膜层，导致显示面板的良率降低，刻蚀会带来颗粒污染。

发明内容

本公开实施例提供一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置，能够降低显示面板的加工工艺的复杂度，提高显示面板的良率。

第一方面，本公开实施例提供了一种蒸镀方法，该蒸镀方法包括：

依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀，各所述掩模板的开口区域在所述衬底基板上形成的各蒸镀子图案构成互补图案，且各所述蒸镀子图案拼接形成的蒸镀图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。

本公开实施例通过依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀，其中，各个掩膜板开口区域在衬底基板形成的蒸镀子图案构成互补图案，该互补图案对应具有孤立镂空图案的显示区域，所以即可实现在显示面板制作透光区域的目的，且不需要增加工艺，从而降低了显示面板的加工工艺的复杂度。

一种可能的实施方式中，依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀时，各掩模板对应的蒸镀源具有不同的蒸镀角度。

本公开实施例在采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀时，为了避免至少两个掩膜板相交的边缘处蒸镀的材料较厚，可以调整蒸镀源与各掩膜板之间的角度，以尽量保证所蒸镀的材料的厚度一致。

第二方面，本公开实施例提供了一种蒸镀掩膜模组，该蒸镀掩膜模组包括至少两个掩膜板，其中，每个所述掩膜板上设置有呈阵列排布的多个与显示区域一一对应的开口区域，与同一开口区域对应的各开口区域构成互补图案，且各开口区域拼接形成的图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。

一种可能的实施方式中，所述掩膜板包括第一掩膜板和第二掩膜板；所述第一掩膜板具有与显示区域一一对应的第一类开口区域，所述第二掩膜板具有与显示区域一一对应的第二类开口区域，与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域构成互补图案，且第一类开口区域和第二类开口区域拼接形成的图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。

一种可能的实施方式中，与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域在相邻边缘处的厚度大于其他边缘处的厚度。

一种可能的实施方式中，与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域具有相反的图案。

第三方面，本公开实施例提供了一种显示面板，包括衬底基板和形成于所述衬底基板上的蒸镀膜层，其中，所述蒸镀膜层采用第一方面任一所述的蒸镀方法形成。

一种可能的实施方式中，所述蒸镀膜层包括：发光层、电子传输层、空穴传输层。

一种可能的实施方式中，所述蒸镀膜层具有至少一个孤立镂空图案。

第四方面，本公开实施例提供了一种显示装置，该显示装置包括如第三方面任一项所述的显示面板。

本公开实施例通过依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀，其中，各个掩膜板开口区域在衬底基板形成的蒸镀子图案构成互补图案，该互补图案对应具有孤立镂空图案的显示区域，所以即可实现在显示面板制作透光区域的目的，且不需要增加工艺，从而降低了显示面板的加工工艺的复杂度。

根据本公开一个方面，提供了一种蒸镀方法，包括：采用第一掩膜板对衬底基板进行第一蒸镀，以在所述衬底基板上形成第一蒸镀子图案，其中所述第一掩膜板具有第一开口区域；以及采用第二掩膜板对所述衬底基板进行第二蒸镀，以在所述衬底基板上形成第二蒸镀子图案，其中所述第二掩膜板具有第二开口区域；其中所述第一和第二蒸镀子图案组合形成蒸镀图案。

在一些实施例中，所述第一和第二蒸镀子图案构成互补图案。

在一些实施例中，所述第一和第二蒸镀子图案组合形成的蒸镀图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。

在一些实施例中，在进行所述第一蒸镀时所述第一掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影与在进行所述第二蒸镀时所述第二掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影具有重叠的部分，所述重叠的部分分别与所述第一开口区域和所述第二开口区域关联。

在一些实施例中，所述第一和第二蒸镀子图案组合形成的蒸镀图案具有孤立开口，所述孤立开口的至少一部分与所述重叠的部分对应。

在一些实施例中，在进行第一蒸镀时与所述第一掩模板对应的蒸镀源的蒸镀角度不同于在进行第二蒸镀时与所述第二掩模板对应的蒸镀源的蒸镀角度。

在一些实施例中，所述蒸镀方法还包括：采用第三掩膜板对所述衬底基板进行第三蒸镀，以在所述衬底基板上形成第三蒸镀子图案，其中所述第三掩膜板具有第三开口区域；其中所述第一、第二和第三蒸镀子图案组合形成蒸镀图案。

根据本公开一个方面，提供了一种蒸镀掩膜模组，包括至少两个掩膜板，其中，每个所述掩膜板设置有至少一个与的开口区域，其中，所述至少两个掩膜板的对应的开口区域构成互补图案，且所述至少两个掩膜板的对应的开口区域的组合能够用于形成具有孤立镂空图案的蒸镀层。

在一些实施例中，所述至少两个掩膜板包括第一掩膜板和第二掩膜板；所述第一掩膜板具有第一开口区域，所述第二掩膜板具有与所述第一开口区域对应的第二开口区域，所述第一开口区域和第二开口区域构成互补图案，且所述第一开口区域和第二开口区域的组合能够用于形成具有孤立镂空图案的蒸镀层。

在一些实施例中，所述至少两个掩膜板的对应的开口区域各自的在彼此相邻的边缘处的厚度大于各自的在其他边缘处的厚度。

在一些实施例中，对应的第一开口区域和第二开口区域具有相反的图案。

在一些实施例中，所述蒸镀掩膜模组被配置为在利用所述蒸镀掩膜模组对衬底基板进行蒸镀时，所述第一掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影与所述第二掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影具有重叠的部分，所述重叠的部分分别与所述第一开口区域和所述第二开口区域关联。

在一些实施例中，所述重叠的部分使得：利用所述蒸镀掩膜模组对衬底基板进行蒸镀而形成的蒸镀图案具有孤立开口。

根据本公开一个方面，提供了一种显示面板，包括衬底基板和形成于所述衬底基板上的蒸镀膜层，其中，所述蒸镀膜层采用根据本公开任一实施例所述的蒸镀方法形成。

在一些实施例中，所述蒸镀膜层包括下列中的一种或多种：发光层、电子传输层、空穴传输层。

在一些实施例中，所述蒸镀膜层具有至少一个孤立镂空图案。

根据本公开一个方面，提供了一种显示装置，包括根据本公开任意实施例所述的显示面板。

图1为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图2为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图3为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图4为本公开实施例提供的蒸镀工艺的一种示意图；

图5为本公开实施例提供的蒸镀工艺的一种示意图；

图6为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图7为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图8为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图9为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图10为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图11为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图12为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图；

图13为本公开实施例提供的掩膜模组的一种结构示意图。

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

下面结合附图，对本公开实施例提供的蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置的具体实施方式进行详细地说明。

附图中各膜层的厚度和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本公开内容。

本公开实施例提供了一种蒸镀方法，该蒸镀方法在具体执行时，依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀。也就是先采用第一个掩膜板通过蒸镀工艺在衬底基板上形成与第一个掩膜板的开口区域对应的蒸镀子图形，再继续采用第二个掩膜板或者其他掩膜板通过多次蒸镀工艺在衬底基板上形成部分蒸镀子图形，从而在衬底基板上形成蒸镀图形。

本公开实施例中，所采用的各个掩模板的开口区域在衬底基板上形成的各蒸镀子图案构成互补图案，且各个蒸镀子图案拼接形成的蒸镀图案对应具有孤立镂空图案的显示区域，孤立镂空图案可以对应显示面板的透光区域，所以可实现在显示面板制作透光区域的目的，且不需要增加工艺，从而降低了显示面板的加工工艺的复杂度。

由于本公开实施例在衬底基板形成的蒸镀图形是通过各个掩模板的开口区域在衬底基板上形成的各蒸镀子图案构成的互补图案，在具体蒸镀时，衬底基板上需要蒸镀的区域在蒸镀工艺中仅有一次掩膜，而需遮挡的区域均被掩膜，也就是有两次掩膜，所以各个掩膜板开口区域的边缘处蒸镀的材料的厚度相较于其他区域的材料的厚度可能较厚。为此，本公开实施例在依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀时，可以调整蒸镀源与各掩膜板之间的蒸镀角度，以使得各掩模板对应的蒸镀源具有不同的蒸镀角度，以尽量保证所蒸镀的材料的厚度一致。

相应地，请参见图1和图2，本公开实施例还提供了一种蒸镀掩膜模组，该蒸镀掩膜模组包括至少两个掩膜板，其中，每个掩膜板上设置有呈阵列排布的多个与显示区域一一对应的开口区域，与同一开口区域对应的各开口区域构成互补图案，且各开口区域拼接形成的图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。该蒸镀掩膜模组包括的至少两个掩膜板可用于对衬底基板进行蒸镀。

为了便于理解，下面通过掩膜板包括第一掩膜板10和第二掩膜板20，即两个掩膜板为例详细介绍本公开实施例提供的技术方案。

请参见图2，本公开实施例的上述掩膜板在具体实施时，该掩膜板可以包括第一掩膜板10和第二掩膜板20，其中，第一掩膜板10具有与显示区域一一对应的第一类开口区域(图2以空白区域进行示意)，第二掩膜板20具有与显示区域一一对应的第二类开口区域(图2以阴影区域进行示意)，与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域构成互补图案，且第一类开口区域和第二类开口区域拼接形成的图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。

以第一类开口区域和第二类开口区域拼接形成的图案为显示区域中透光区域的通孔图案为例，第一类开口区域和第二类开口区域拼接形成的图案为圆形，如图2所示。图2中第一类开口区域和第二类开口区域是需要遮挡的区域，掩膜板上非第一类开口区域或第二类开口区域的区域是蒸镀区域，也就是需要蒸镀材料的区域。

请参见图3，结合图4和图5，图3所示本公开实施例采用如图2所示的掩膜板对衬底基板进行蒸镀的方法，具体流程描述如下：

如图4所示，步骤S301、将第一掩膜板10设置于衬底基板的上方，并通过蒸镀工艺 对衬底基板进行蒸镀，形成第一蒸镀子图案30。其中，图4中，箭头方向代表蒸镀源的光照入射方向。

如图5所示，步骤S302、将第二掩膜板20设置于衬底基板的上方，并通过蒸镀工艺对衬底基板进行蒸镀，形成第二蒸镀子图案40。其中，图5中，箭头方向代表蒸镀源的光照入射方向。

第一掩膜板10的第一类开口区域和第二掩膜板20的第二类开口区域相对设置，构成互补图案，且第一类开口区域和第二类开口区域拼接形成的图案为圆形50，与具有孤立镂空图案的显示区域对应，形成透光区域，实现了在显示面板制作透光区域的目的，且不需要增加工艺，从而降低了显示面板的加工工艺的复杂度。

需要说明的是，本公开实施例对第一掩膜板10的第一类开口区域的形状和第二掩膜板20的第二类开口区域的形状不作限制，只要第一类开口区域和第二类开口区域形成的互补图案与具有孤立镂空图案的显示区域对应即可。本公开实施例中，与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域具有相反的图案。

由于衬底基板上需要蒸镀的区域在蒸镀工艺中仅有一次掩膜，而需遮挡的区域均被掩膜，也就是有两次掩膜，这就可能导致与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域在相邻边缘处所蒸镀的材料的厚度相较于其他区域的材料的厚度可能较厚。因此，与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域在相邻边缘的长度尽量较短。

可能的实施方式中，请参见图6，提供了第一掩膜板10和第二掩膜板20的一种可能的实施方式，第一类开口区域可以是如图6左边示意的第一掩膜板10上的开口区域，对应地，第二类开口区域是如图6右边示意的第二掩膜板20上的开口区域。优选地，相较于图2所示的第一掩膜板10和第二掩膜板20来说，图6所示的第一掩膜板10和第二掩膜板20由于第一类开口区域和第二类开口区域相邻边缘的长度更短。与图6所示的第一掩膜板10和第二掩膜板20对应的蒸镀掩膜模组如图7所示。

可能的实施方式中，请参见图8，提供了第一掩膜板10和第二掩膜板20的另一种可能的实施方式，第一类开口区域可以是如图8左边示意的第一掩膜板10上的开口区域，对应地，第二类开口区域是如图8右边示意的第二掩膜板20上的开口区域。优选地，相较于图7所示的第一掩膜板10和第二掩膜板20来说，图8所示的第一掩膜板10和第二掩膜板20由于第一类开口区域和第二类开口区域相邻边缘的长度更短。

可能的实施方式中，请参见图9，提供了第一掩膜板10和第二掩膜板20的又一种可能的实施方式，第一类开口区域可以是如图9左边示意的第一掩膜板10上的开口区域，对应地，第二类开口区域是如图9右边示意的第二掩膜板20上的开口区域。优选地，相 较于图8所示的第一掩膜板10和第二掩膜板20来说，图8所示的第一掩膜板10和第二掩膜板20由于第一类开口区域和第二类开口区域相邻边缘的长度更短。

为了尽量使得与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域在相邻边缘处所蒸镀的材料的厚度与其他区域的材料的厚度一致，在本公开实施例中，与同一开口区域对应的第一类开口区域和第二类开口区域在相邻边缘处的厚度大于其他边缘处的厚度。

例如，请参见图10，图10为第一掩膜板10在第一类开口区域和第二掩膜板20在第二类开口区域沿厚度方向的截面图。从图10可以看出，第一类开口区域和第二类开口区域在相邻边缘处的厚度大于其他边缘处的厚度时，衬底基板100被重复蒸镀的材料如图10中虚线示意的部分，以尽量避免虚线区域重复蒸镀，其中，图10中箭头方向表示蒸镀源的光照入射角度。

需要说明的是，上述第一掩膜板10的第一类开口区域只有一个开口区域，同样地，第二掩膜板20上的第二类开口区域也是只有一个开口区域，实际上，第一掩膜板10和第二掩膜板20上的开口区域可以包括多个，只要第一掩膜板10上的开口区域和第二掩膜板20上的开口区域形成的互补图案与具有孤立镂空图案的显示区域对应即可。

例如，假设显示区域具有的孤立镂空图案是两个圆孔，则第一掩膜板10和第二掩膜板20在具体实施时，包括如下的可能实施方式。

请参见图11，提供了第一掩膜板10和第二掩膜板20的一种可能的实施方式，第一类开口区域可以是如图11左边示意的第一掩膜板10上的开口区域，对应地，第二类开口区域是如图11右边示意的第二掩膜板20上的开口区域。

请参见图12，提供了第一掩膜板10和第二掩膜板20的一种可能的实施方式，第一类开口区域可以是如图12左边示意的第一掩膜板10上的开口区域，对应地，第二类开口区域是如图12右边示意的第二掩膜板20上的开口区域。

请参见图13，提供了第一掩膜板10和第二掩膜板20的一种可能的实施方式，第一类开口区域可以是如图13左边示意的第一掩膜板10上的开口区域，对应地，第二类开口区域是如图13右边示意的第二掩膜板20上的开口区域。

综上，本公开实施例通过依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀，其中，各个掩膜板开口区域在衬底基板形成的蒸镀子图案构成互补图案，该互补图案对应具有孤立镂空图案的显示区域，所以即可实现在显示面板制作透光区域的目的，且不需要增加工艺，从而降低了显示面板的加工工艺的复杂度。

还应理解，本公开还构思了以下实现方式。

根据本公开一个方面，提供了一种蒸镀方法，包括：采用第一掩膜板对衬底基板进行 第一蒸镀，以在所述衬底基板上形成第一蒸镀子图案，其中所述第一掩膜板具有第一开口区域；以及采用第二掩膜板对所述衬底基板进行第二蒸镀，以在所述衬底基板上形成第二蒸镀子图案，其中所述第二掩膜板具有第二开口区域；其中所述第一和第二蒸镀子图案组合形成蒸镀图案。

在一些实施例中，所述第一和第二蒸镀子图案构成互补图案。

在一些实施例中，所述第一和第二蒸镀子图案组合形成的蒸镀图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。

在一些实施例中，在进行所述第一蒸镀时所述第一掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影与在进行所述第二蒸镀时所述第二掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影具有重叠的部分，所述重叠的部分分别与所述第一开口区域和所述第二开口区域关联。

在一些实施例中，所述第一和第二蒸镀子图案组合形成的蒸镀图案具有孤立开口，所述孤立开口的至少一部分与所述重叠的部分对应。

在一些实施例中，在进行第一蒸镀时与所述第一掩模板对应的蒸镀源的蒸镀角度不同于在进行第二蒸镀时与所述第二掩模板对应的蒸镀源的蒸镀角度。

在一些实施例中，所述蒸镀方法还包括：采用第三掩膜板对所述衬底基板进行第三蒸镀，以在所述衬底基板上形成第三蒸镀子图案，其中所述第三掩膜板具有第三开口区域；其中所述第一、第二和第三蒸镀子图案组合形成蒸镀图案。

根据本公开一个方面，提供了一种蒸镀掩膜模组，包括至少两个掩膜板，其中，每个所述掩膜板设置有至少一个与的开口区域，其中，所述至少两个掩膜板的对应的开口区域构成互补图案，且所述至少两个掩膜板的对应的开口区域的组合能够用于形成具有孤立镂空图案的蒸镀层。

在一些实施例中，所述至少两个掩膜板包括第一掩膜板和第二掩膜板；所述第一掩膜板具有第一开口区域，所述第二掩膜板具有与所述第一开口区域对应的第二开口区域，所述第一开口区域和第二开口区域构成互补图案，且所述第一开口区域和第二开口区域的组合能够用于形成具有孤立镂空图案的蒸镀层。

在一些实施例中，所述至少两个掩膜板的对应的开口区域各自的在彼此相邻的边缘处的厚度大于各自的在其他边缘处的厚度。

在一些实施例中，对应的第一开口区域和第二开口区域具有相反的图案。

在一些实施例中，所述蒸镀掩膜模组被配置为在利用所述蒸镀掩膜模组对衬底基板进行蒸镀时，所述第一掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影与所述第二掩膜板在所述衬底基板上的垂直投影具有重叠的部分，所述重叠的部分分别与所述第一开口区域和所述第二开 口区域关联。

在一些实施例中，所述重叠的部分使得：利用所述蒸镀掩膜模组对衬底基板进行蒸镀而形成的蒸镀图案具有孤立开口。

根据本公开一个方面，提供了一种显示面板，包括衬底基板和形成于所述衬底基板上的蒸镀膜层，其中，所述蒸镀膜层采用根据本公开任一实施例所述的蒸镀方法形成。

在一些实施例中，所述蒸镀膜层包括下列中的一种或多种：发光层、电子传输层、空穴传输层。

在一些实施例中，所述蒸镀膜层具有至少一个孤立镂空图案。

根据本公开一个方面，提供了一种显示装置，包括根据本公开任意实施例所述的显示面板。

基于同一发明思想，本公开实施例还提供了一种显示面板，包括衬底基板和形成于衬底基板上的蒸镀膜层，其中，蒸镀膜层采用上述所述的蒸镀方法形成。可能的实施方式中，蒸镀膜层包括发光层、电子传输层、空穴传输层，蒸镀膜层具有至少一个孤立镂空图案。可以理解的是，该显示面板的显示区域可以包括至少一个像素单元，使得该显示面板既可以应用于常规显示领域，又可以应用于微显示技术领域，该显示面板的显示区域具有孤立镂空图案，可以用来制作透光区域，例如安装摄像头等；并且该显示面板可以为：手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相机、导航仪、智能手表、健身腕带、个人数字助理、自助存/取款机等任何具有显示功能的产品或部件。对于显示面板的其它必不可少的组成部分均为本领域的普通技术人员应该理解具有的，在此不做赘述，也不应作为对本公开的限制。该显示面板的实施可以参见下述封装结构的实施例。

基于同一发明思想，本公开实施例还提供了一种显示装置，包括本公开实施例提供的上述任一种的显示面板。该显示装置可以为：手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。该显示装置的实施可以参见上述显示面板的实施例，重复之处不再赘述。

显然，本领域的技术人员可以对本公开进行各种改动和变型而不脱离本公开的精神和范围。这样，倘若本公开的这些修改和变型属于本公开权利要求及其等同技术的范围之内，则本公开也意图包含这些改动和变型在内。