09-05-2003 дата публикации
Номер: KR100375037B1
1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야 1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION 도포장치 Coating device 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 2. The technical problem to be solved by the invention 레지스트막의 막두께 균일성을 유지하면서, 레지스트막을 더욱 박막화할 수가 있는 소형으로 간단한 구조의 도포장치를 제공함. Provided is a compact and simple coating device capable of further thinning the resist film while maintaining the film thickness uniformity of the resist film. 3. 발명의 해결방법의 요지 3. Summary of Solution to Invention 기판을 유지하는 스핀척(52)과, 1차 레지스트액이 수용된 레지스트액 탱크(71,711∼71n)와, 시너가 수용된 시너탱크(72,721)와, 이 시너 탱크 및 레지스트액 탱크에 각각 연이어 통하는 합류밸브(75,751)와, 이 합류밸브에 향하고 레지스트액 탱크에서 1차 레지스트액을 보내는 제 1의 펌프(73,731∼73n)와, 합류밸브에 향하여 시너탱크에서 시너를 보내는 제 2의 펌프(74,741)와, 합류밸브로부터 유입하는 1차 레지스트액과 시너를 교반혼합하는 믹서(76,761)와, 이 믹서로 혼합된 액을 기판에 뿌리는 노즐(86)과, 레지스트액 탱크(71,711∼71n)로부터 합류밸브(75,751)에 보내는 1차 레지스트액과 시너탱크(72,721)로부터 합류밸브(75,751)에 보내는 시너와의 혼합비율을 조정하기 위해서 제 1 및 제 2의 펌프(73,731∼73n,74,741)를 각각 제어하는 콘트롤러(131,431)를 구비한다. The spin chuck 52 holding the substrate, the resist liquid tanks 71,711 to 71n containing the primary resist liquid, the thinner tanks 72 and 721 containing the thinner, and a confluence valve connected to the thinner tank and the resist liquid tank, respectively. (75,751), a first pump (73,731 to 73n) directed to the confluence valve and sending the first resist liquid from the resist liquid tank, a second pump (74,741) to send thinner from the thinner tank to the confluence valve; The mixers 76 and 761 which stir-mix the primary resist liquid and thinner flowing from the confluence valve, the nozzle 86 for sprinkling the liquid mixed with the mixer on the substrate, and the confluence valve (from the resist liquid tanks 71,711 to 71n) Controller for controlling the first and second pumps 73,731 to 73n, 74,741 to adjust the mixing ratio of the primary resist liquid to 75,751 and the thinner to the confluence valves 75 and 751 from the thinner tanks 72 and 721, respectively. (131, 431). 4. 발명의 중요한 용도 4. Important uses of the invention 반도체 제조의 포토레지스트 도포현상처리 시스템에 사용됨. Used ...
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