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Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

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29-08-2016 дата публикации

기판처리장치

Номер: KR0101651882B1
Автор: 이상선, 김진영, 안명헌, 윤병호, 김재우
Принадлежит: 주식회사 테스

... 본 발명은 챔버 반응공간의 기하학적 구조를 기판을 중심으로 사방으로 대칭이 되도록 함으로써, 기판을 균일하게 처리할 수 있도록 구조가 개선된 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판처리장치는 기판에 대한 일정한 공정이 수행되도록 내부에 반응공간이 형성되며, 일측면에 기판의 이동을 위한 이송슬릿이 관통 형성되어 있는 챔버와, 상기 챔버의 공간부에 배치되며, 상기 기판이 안착되는 서셉터와, 상기 서셉터의 상부에 배치되어 상기 기판을 향하여 공정용 가스를 분사하는 가스공급장치와, 상기 이송슬릿을 개방 또는 차단하는 셔터유닛을 포함하며, 상기 셔터유닛은, 상기 챔버의 내측면에 대응되는 고리 형상으로 형성되며, 상기 이송슬릿을 차단하는 차단위치와 상기 이송슬릿을 개방하는 개방위치 사이에서 승강 가능하게 설치되는 셔터부재와, 상기 셔터부재의 일측에 결합되며, 상기 셔터부재를 승강시키는 승강축을 포함한다.

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Номер записи: 1
09-09-2016 дата публикации

서셉터 및 이를 구비한 기판처리장치

Номер: KR0101651912B1
Автор: 이상선, 김진영, 안명헌, 윤병호, 김재우
Принадлежит: 주식회사 테스

... 본 발명은 본 발명의 목적은 파우더가 쌓이게 되는 것이 방지되도록 구조가 개선된 서셉터 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 서셉터는 기판이 안착되는 안착면과, 상기 안착면에 안착된 기판이 이탈되는 것이 방지되도록 상기 안착면의 둘레를 따라 배치되는 복수의 가이드핀을 구비하는 서셉터에 있어서, 상기 각 가이드핀의 상기 안착면과 평행한 방향으로의 단면에서, 상기 서셉터의 직경 방향으로의 길이가, 상기 직경 방향과 직교하는 방향으로의 길이 보다 더 길게 형성되는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 2
29-06-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING DEVICE

Номер: KR1020160075138A
Автор: LEE, SANG SUN, KIM, JIN YOUNG, AN, MYEONG HEON, YUN, BYEONG HO, KIM, JAE WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing device with an improved structure capable of processing a substrate uniformly by making the geometrical structure of a chamber reaction space to be symmetric against the substrate in four directions. According to the present invention, the substrate processing device includes: a chamber which has a reaction space inside for uniform processing onto a substrate and a transfer slit penetrating the chamber for movement of the substrate at one side; a susceptor which is placed in the space of the chamber and in which the substrate is accommodated; a gas supply device which is placed above the susceptor and sprays processing gas towards the substrate; and a shutter unit which opens or closes the transfer slit. The shutter unit includes: a shutter member which is formed in a ring shape corresponding to the inner surface of the chamber and is installed to be able to be lifted between a closing position for closing the transfer slit and an ...

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Номер записи: 3
22-11-2016 дата публикации

POSTURE CORRECTION MECHANISM FOR BIPEDAL HIGH-SPEED DRIVING

Номер: KR1020160133123A
Автор: KIM, SOO HYUN, LEE, JIN YI, PARK, JONG WON, LEE, JIN WOO, YOON, BYUNG HO, KIM, CHOONG HEE
Принадлежит:

The present invention relates to a posture correction mechanism for bipedal high-speed driving. More specifically, tails biometrically mimicking a motion of a hind leg of a cat are mounted on left and right side surfaces of a biomimetic bipedal robot in order to balance and perform high-speed driving while three-dimensional movement. Moreover, the posture correction mechanism is easily controlled. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 4
02-09-2015 дата публикации

DATA OUTPUTTING METHOD AND ELECTRONIC DEVICE SUPPORTING SAME

Номер: KR1020150100447A
Автор: MOON, JONG CHAE, ON, NU RI, YUN, BYOUNG HO, CHO, JONG KEUN
Принадлежит:

The present invention relates to an image process. Disclosed in various embodiments are a data outputting method which comprises an operation of outputting data relating to multiple axes on a display module, and an operation of displaying at least one part of data among the data relating to the axes responding to a scroll input event reception, and an electronic device supporting the same. The present invention is not limited to the described configuration, and may be understood as various embodiments disclosed in a detailed description of the invention. COPYRIGHT KIPO 2015 (130) Audio module (140) Display module (150) Storing module (151) Plural dimension data (153) Weight memory (160) Control module (170) Bus (180) Data process module (200) Server device (300) Network (120) Input module (110) Communications interface (101,102) Electronic device ...

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Номер записи: 5
11-01-2016 дата публикации

HIGH ADHESIVE GROUND AGITATING PADDY WEED CONTROLLING ROBOT SYSTEM

Номер: KR1020160003538A
Автор: KIM, JEE HYOUNG, KIM, SOO HYUN, PARK, KWANG HO, HONG, YUN SIC, JU, HAN JONG, YOON, BYUNG HO, CHOI, KEUN HA, LEE, JIN YI, LEE, JIN WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a robot system for unmanned weeding and agricultural working management. As the ground is agitated only by movement without an additional structure in the paddy ground which is a high adhesive ground by using a screw and a floater, weeds can be effectively removed. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 6
22-02-2019 дата публикации

피부 관리용 광 출력 기기

Номер: KR1020190018383A
Автор: 윤병호, 김주용, 조병원
Принадлежит:

... 본 발명의 실시 예에 따른 피부 관리용 광 출력 기기는, 적어도 하나의 광원이 사용자의 피부를 향하도록 배치되는 기판, 상기 기판의 일 면을 덮는 프론트 커버, 상기 기판의 타 면을 덮는 리어 커버, 상기 리어 커버에 체결되어, 상기 피부 관리용 광 출력 기기가 상기 사용자에게 착용되도록 상기 사용자의 신체 일부와 접촉되는 착용 장치, 및 상기 사용자의 착용 여부를 감지하는 착용 감지 센서를 포함한다.

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Номер записи: 7
29-08-2016 дата публикации

기판처리장치

Номер: KR0101651881B1
Автор: 이상선, 김진영, 안명헌, 윤병호, 김재우
Принадлежит: 주식회사 테스

... 본 발명은 벨로우즈의 내부로 공정 중에 발생되는 부산물이 유입되는 것이 방지되도록 구조가 개선된 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판처리장치는 내부에 공간부가 형성되며, 바닥부에는 승강축이 삽입되는 관통공이 관통 형성되는 챔버와, 승강축에 연결되어 챔버의 공간부에 승강 가능하게 설치되며, 기판을 지지하는 서셉터와, 서셉터의 상부에 설치되어 기판을 향하여 공정 가스를 분사하는 가스공급장치와, 신장 및 수축가능한 구조를 가지며, 승강축을 감싸도록 챔버의 바닥부에 결합되고 챔버의 외부에 배치되며, 승강축과 관통공 사이의 간격을 통해 공간부의 진공이 해제되는 것을 방지하는 벨로우즈와, 간격을 통해서 공정시 발생되는 부산물이 벨로우즈의 내부로 유입되는 것이 방지되도록, 간격을 선택적으로 차단하는 차단부재를 포함한다.

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13-09-2016 дата публикации

LEVEL ADJUSTING DEVICE OF SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND LEVEL ADJUSTING METHOD USING SAME

Номер: KR101657079B1
Автор: YUN, BYEONG HO, JANG, KYUNG HO, ROH, HEE SUNG, CHOI, NAK GU, JUN, SANG HEE
Принадлежит: TES CO., LTD.

The present invention relates to a level adjusting device of a substrate processing device and a level adjusting method using the same. According to the present invention, a level adjusting device of a substrate processing device for adjusting a level of a support plate connected to a susceptor which provided in a lower part of a chamber and where a substrate is placed thereon comprises: a first adjustment unit moving the support plate to a predetermined distance vertically; and a second adjustment unit preventing movement of the support plate heading upwards due to sound pressure of the inside of the chamber. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 9
10-07-2017 дата публикации

MOVING ROBOT AND CONTROL METHOD THEREOF

Номер: KR101756290B1
Автор: KIM, HWANG, PARK, SUNG IL, KIM, SOO HYUN, YOON, BYUNG HO, HAN, SANG HOON, JEON, YOUNG JUN
Принадлежит: LG ELECTRONICS INC.

According to one embodiment of the present invention, a moving robot comprises: a main body; a driving portion for moving the main body; and a cleaning portion for cleaning a cleaning area where the main body is positioned. In addition, the driving portion comprises: a plurality of pulleys; a motor connected to any one among the pulleys to generate driving force; a belt having contact with the pulleys to rotate; and a support member connected to a part of the pulleys, and changing a location of the pulley to maintain an area where the belt has contact with the ground or an obstacle so that the maintained area is equal to or greater than a reference area. COPYRIGHT KIPO 2017 (110) Communication portion (120) Input portion (130) Driving portion (140) Sensing portion (150) Output portion (160) Power portion (170) Memory (180) Control portion ...

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23-08-2018 дата публикации

DISPLAY DEVICE AND METHOD, AND ADVERTISEMENT SERVER

Номер: WO2018151507A1
Автор: YUN, Byoung Ho
Принадлежит:

Disclosed are a display device and method, and an advertisement server. According to an embodiment, a display device comprises: a display for displaying a content; a communication circuit for communicating with an external electronic device; an interface circuit for receiving a user input by using at least one input unit; and a processor for transmitting input unit information of identified input units to the external electronic device through the communication circuit, receiving, from the external electronic device, a first image for interfacing with a user through one input unit among the identified input units, and overlaying the first image on the content, wherein the one input unit is an input unit having the highest frequency-of-use information or a most recently used input unit among the identified input units.

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Номер записи: 11
08-07-2015 дата публикации

PROCESS KIT FOR PROTECTING HEATER AND CHAMBER CLEANING METHOD USING SAME

Номер: KR1020150077852A
Автор: JEONG, WOONG SHIK, KIM, JIN YOUNG, YUN, BYEONG HO, LEE, JOON HEE
Принадлежит:

The present invention relates to a process kit for protecting a heater, and a chamber cleaning method using the same. The process kit uses a body unit enclosing the heater, a substrate support kit having a substrate loading protrusion for loading a substrate, and a shutter wafer loaded on the substrate support kit to separate the heater from the internal space of the chamber. And the present invention provides the shutter wafer to the chamber and loads the shutter wafer on the substrate support kit to separate the heater from a cleansing space of the chamber; supplies N_2 gas between the substrate support kit and the heater to prevent cleansing gas from touching the heater; and supplies the cleansing gas having a first gas concentration and cleans the upper surface of the substrate support kit and the inside of the chamber with first power during the first cleansing time. The substrate support kit and the shutter wafer can prevent the cleansing gas from etching the heater when cleansing ...

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Номер записи: 12
06-09-2017 дата публикации

MOVING ROBOT AND CONTROLLING METHOD THEREOF

Номер: KR1020170101873A
Автор: KIM, HWANG, PARK, SUNG IL, KIM, SOO HYUN, YOON, BYUNG HO, HAN, SANG HOON, JEON, YOUNG JUN
Принадлежит:

In order to solve the problem of the present invention, according to an embodiment of the present invention, a moving robot comprises: a body; a driving unit moving the body; and a cleaning unit cleaning a cleaning area in which the body is placed. The driving unit comprises: a main wheel; a motor generating a driving force; a gear unit connected to the main wheel and the motor, and transmitting the driving force of the motor to the main wheel; and a leg member arranged on a shaft to connect the main wheel and the gear unit. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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Номер записи: 13
25-08-2016 дата публикации

METAL IMPLANT CAPABLE OF MULTIPLE RELEASES OF DRUG, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер: KR1020160101231A
Автор: KIM, HYOUN EE, SONG, JU HA, LEE, HYUN, YOON, BYUNG HO
Принадлежит:

The present invention relates to a metal implant capable of multiple releases of a drug, and to a manufacturing method thereof. According to the present invention, a pore size and the porosity of a used metal support are easily adjustable, and the drug can be discharged from a single bio-implantable implant while exhibiting multiple release conditions. Thus, an effect of delivering the drug to a site to which the implant is transplanted within certain time is maximized. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 14
29-08-2016 дата публикации

서셉터 및 이를 구비한 기판처리장치

Номер: KR0101651884B1
Автор: 이상선, 김진영, 안명헌, 윤병호, 김재우
Принадлежит: 주식회사 테스

... 본 발명은 본 발명의 목적은 파우더가 쌓이게 되는 것이 방지되도록 구조가 개선된 서셉터 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 서셉터는 기판이 안착되는 안착면과, 상기 안착면에 안착된 기판이 이탈되는 것이 방지되도록 상기 안착면의 둘레를 따라 배치되는 복수의 가이드핀을 구비하는 서셉터에 있어서, 상기 각 가이드핀의 상기 안착면과 평행한 방향으로의 단면에서, 상기 서셉터의 직경 방향으로의 길이가, 상기 직경 방향과 직교하는 방향으로의 길이 보다 더 길게 형성되는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 15
13-12-2016 дата публикации

2족 고속 주행을 위한 자세보정 메커니즘

Номер: KR0101685916B1
Автор: 김수현, 이진이, 박종원, 이진우, 윤병호, 김충희
Принадлежит: 한국과학기술원

... 본 발명은 2족 고속 주행을 위한 자세보정 메커니즘에 관한 것으로, 더욱 상세하게 고양이 뒷다리의 움직임을 생체 모방한 생체 모방형 이족 로봇의 좌우 측면에 꼬리가 장착됨으로써, 3차원 이동시 균형을 잡으면서 고속주행이 가능할 뿐만 아니라, 제어가 간단한 자세보정 메커니즘에 관한 것이다.

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Номер записи: 16
12-01-2016 дата публикации

APPARATUS AND METHOD FOR IMPROVING SOUND EFFECT IN PORTABLE TERMINAL

Номер: KR0101582336B1
Автор: 조종근, 윤병호, 김정범, 김학수, 윤주현, 장철상, 정하영
Принадлежит: 삼성전자주식회사

... 본 발명은 휴대용 단말기의 사운드 발생 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 상기 휴대용 단말기에서 모션 UI 실행시 발생하는 사운드를 객체의 재질, 모양과 같은 특성에 따라 현실적으로 제공하여 사운드 효과를 향상시키기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 출력중인 객체에 해당하는 사운드를 제공할 경우, 출력중인 객체의 특성 및, 상기 객체의 위치를 해당 객체에 해당하는 사운드에 반영하여 출력하도록 처리하는 사운드 조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 17
21-02-2019 дата публикации

OPTICAL OUTPUT DEVICE FOR SKIN CARE

Номер: WO2019035535A1
Автор: YOON, Byoungho, KIM, Jooyong, CHO, Byungwon
Принадлежит:

An optical output device for skin care, according to an embodiment of the present invention, comprises: a substrate disposed such that at least one light source is oriented toward a user's skin; a front cover covering one surface of the substrate; a rear cover covering the other surface of the substrate; a wearable device coupled to the rear cover so as to make contact with a part of the user's body such that the optical output device for skin care is worn by the user; and a wearing sensor for detecting whether the user is wearing the device.

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Номер записи: 18
22-01-2016 дата публикации

PROCESS KIT FOR PROTECTING HEATER AND CHAMBER CLEANING METHOD THEREOF

Номер: KR0101587793B1
Автор: 정웅식, 김진영, 윤병호, 이준희
Принадлежит: 주식회사 테스

... 본 발명은 히터 보호용 프로세스 키트 및 이를 이용한 챔버 세정방법으로서, 히터를 둘러싸는 본체부와, 기판을 안착시키는 기판안착턱을 갖는 기판지지 키트와, 상기 기판지지 키트에 안착되어 상기 히터를 상기 챔버의 내부공간과 분리시키는 셔터 웨이퍼를 이용하여, 상기 챔버에 상기 셔터 웨이퍼를 공급하여 상기 기판지지키트에 안착시켜서 상기 히터와 상기 챔버의 세정공간을 분리하고, 상기 기판지지키트와 상기 히터 사이에 N2가스를 공급하여 상기 세정가스가 상기 히터에 맞닿는 것을 차단한 후, 제 1 가스농도를 가지는 세정가스를 공급하고 제 1 파워로 제 1 세정시간동안 상기 기판지지키트의 상부면과 상기 챔버내부를 세정하여, 공정 챔버내에서 공정 완료후 챔버 내의 파티클을 세정할 때에 상기 기판지지키트 및 상기 셔터 웨이퍼에 의해 세정가스가 상기 히터를 식각하는 것을 방지할 수 있으므로, 챔버 내의 히터가 손상되지 않도록 보호하면서 챔버를 세정하는 것이 가능하다.

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Номер записи: 19
02-05-2017 дата публикации

샤워헤드

Номер: KR0101729491B1
Автор: 이상선, 김진영, 안명헌, 윤병호, 김재우
Принадлежит: 주식회사 테스

... 본 발명은 샤워헤드 내부에서 파우더가 발생되는 것이 방지되도록 구조가 개선된 샤워헤드에 관한 것이다. 본 발명에 따른 샤워헤드는 기판처리장치에 설치되어 기판으로 가스를 공급하기 위한 것으로, 가스가 공급되는 가스유로가 형성되어 있는 상부플레이트와, 다수의 분사홀이 관통 형성되어 있으며, 상부플레이트와의 사이에 확산공간이 형성되도록 상부플레이트의 하방에 결합되는 분사플레이트와, 상부플레이트의 상면에 결합되며, 상부플레이트를 가열하는 가열패드를 포함한다.

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Номер записи: 20
22-02-2019 дата публикации

피부 관리용 광 출력 기기

Номер: KR1020190018221A
Автор: 윤병호, 김주용, 조병원
Принадлежит:

... 본 발명의 실시 예에 따른 피부 관리용 광 출력 기기는, 적어도 하나의 광원이 사용자의 피부를 향하도록 배치되는 기판, 상기 기판의 일 면을 덮는 프론트 커버, 상기 기판의 타 면을 덮는 리어 커버, 상기 리어 커버에 체결되어, 상기 피부 관리용 광 출력 기기가 상기 사용자에게 착용되도록 상기 사용자의 신체 일부와 접촉되는 착용 장치, 및 상기 사용자의 착용 여부를 감지하는 착용 감지 센서를 포함한다.

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Номер записи: 21
22-08-2018 дата публикации

DISPLAY APPARATUS, DISPLAY METHOD, AND ADVERTISEMENT SERVER

Номер: KR1020180093721A
Автор: YUN, BYOUNG HO
Принадлежит:

The present invention discloses a display apparatus, a display method, and an advertisement server. The display apparatus according to an aspect of the present invention includes: a display for displaying contents; a communication unit for communicating with a first external server; an interface unit for receiving a user input using at least one input device; and a processor for transmitting input device information for the checked input device to the first external server through the communication unit, receiving a first image for interfacing with a user through one input device among the checked input devices, and overlaying the first image on the contents, wherein the one input device is an input device with highest use frequency information or a most recently used input device. Accordingly, the present invention can interact with the user through the input device of high preference of the user. COPYRIGHT KIPO 2018 (710) Is it a predetermined point of time? (720) Generate input device ...

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Номер записи: 22
29-06-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING DEVICE

Номер: KR1020160075141A
Автор: LEE, SANG SUN, KIM, JIN YOUNG, AN, MYEONG HEON, YUN, BYEONG HO, KIM, JAE WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing device with an improved structure to prevent by-products generated during a process from flowing into a bellows. According to the present invention, the substrate processing device includes: a chamber which includes a space unit inside and a through hole into which a lift shaft is inserted on the bottom; a susceptor which is connected to the lift shaft, is installed in the space unit of the chamber, and supports a substrate; a gas supply device which is installed on top of the susceptor and sprays processing gas towards the substrate; a bellows which is stretchable and reducible, is combined with the bottom of the chamber to surround the lift shaft, is placed outside the chamber, and prevents the vacuum state of the space unit from being released through the space between the lift shaft and the through hole; and a blocking member which selectively blocks the space to prevent by-products during a process from flowing into the bellows ...

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Номер записи: 23
29-06-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

Номер: KR1020160075145A
Автор: LEE, SANG SUN, KIM, JIN YOUNG, AN, MYEONG HEON, YUN, BYEONG HO, KIM, JAE WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing system with an improved structure to increase the substrate processing speed when a plurality of processes are continuously applied to a substrate. According to the present invention, the substrate processing system includes: a cassette module in which substrates before or after processing are stored; a waiting and transfer module which transfers the substrates stored in the cassette module; a wet processing module which cleans the surface of the substrates by supplying a cleaning agent onto the substrates; a load lock module which is connected to the wet processing module and converts the pressure into the atmospheric pressure or a vacuum state; a vacuum transfer module which is connected to the load lock module, in which the vacuum state is maintained, and which includes a substrate transfer robot; and a dry processing module which is connected to the vacuum transfer module and sprays etching gas to the substrates to etch a film ...

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Номер записи: 24
01-06-2015 дата публикации

ROBOT SYSTEM FOR REMOVING WEED IN PADDY FIELD BY CULTIVATING HARD GROUND

Номер: KR101524784B1
Автор: KIM, JEE HYOUNG, KIM, SOO HYUN, PARK, KWANG HO, HONG, YUN SIC, JU, HAN JONG, YOON, BYUNG HO, CHOI, KEUN HA, LEE, JIN YI, LEE, JIN WOO
Принадлежит: DUKSAN MECASYS

The present invention relates to a robot system for managing unmanned weeding and farm work, wherein weeds can be effectively removed by cultivating the ground without an additional structure but only with a movement in a paddy field which is a high-viscosity ground using a screw and a floater. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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Номер записи: 25
29-06-2016 дата публикации

SUSCEPTOR AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING SUSCEPTOR

Номер: KR1020160075385A
Автор: LEE, SANG SUN, KIM, JIN YOUNG, AN, MYEONG HEON, YUN, BYEONG HO, KIM, JAE WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a susceptor with an improved structure to prevent powder from being piled, and a substrate processing apparatus including the susceptor. The susceptor according to the present invention comprises: a placement face on which a substrate is placed; and a plurality of guide pins which are disposed along the circumference of the placement face to prevent the substrate placed on the placement face from being separated, wherein the length of the susceptor in a diameter direction on a cross section of each guide pin in a direction parallel to the placement face is longer than the length in a direction perpendicular to the diameter direction. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 26
29-06-2016 дата публикации

SHOWER HEAD

Номер: KR1020160075149A
Автор: LEE, SANG SUN, KIM, JIN YOUNG, AN, MYEONG HEON, YUN, BYEONG HO, KIM, JAE WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a shower head with an improved structure so as to prevent the generation of a powder inside a shower head. According to the present invention, the shower head is installed on a substrate treating apparatus to supply gas to a substrate. The shower head includes: an upper plate on which a gas flow path through which the gas is supplied is formed; a spray plate having multiple spray holes formed therein by penetrating the same, and coupled to the lower part of the upper plate such that a diffusion space is formed between the upper plate and the spray plate; and a heating pad coupled to the upper surface of the upper plate and heating the upper plate. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 27
13-09-2016 дата публикации

LEVEL ADJUSTING DEVICE FOR SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND LEVEL ADJUSTING METHOD USING SAME

Номер: KR101657101B1
Автор: YUN, BYEONG HO, JANG, KYUNG HO, ROH, HEE SUNG, CHOI, NAK GU, JUN, SANG HEE
Принадлежит: TES CO., LTD.

The present invention relates to a level adjusting method for a level adjusting device of a substrate processing device, capable of accurately and simply adjusting a level of a support plate. According to the present invention, the substrate processing device includes: the support plate connected to a susceptor on which a substrate is mounted; a cam member applying a predetermined power to the support plate; and a driving unit separated at predetermined intervals from a rotation center of the cam member and including a rotation shaft rotating the cam member by being connected to the cam member. The level adjusting method includes: a step of setting a case in which the rotation center of the cam member and the rotation shaft are leveled by the rotation of the rotation shaft, as a reference height; a step of setting a range of a rotation angle of the rotation shaft to be less than the angle of 180 degrees when the rotation shaft rotates in a normal direction or a reverse direction at the ...

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Номер записи: 28
12-02-2016 дата публикации

METHOD FOR EXTRACTING DRIVING LINE OF WEED CONTROL ROBOT IN RICE PADDY USING RICE MORPHOLOGIC FEATURE

Номер: KR1020160014958A
Автор: KIM, SOO HYUN, PARK, KANG HO, CHOI, KEUN HA, HAN, SANG KWON, YOON, BYUNG HO, LEE, JIN YI, HAN, SANG HON, LEE, JIN WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a method for extracting a driving line of a weed control robot in a rice paddy using a rice morphologic feature and, more particularly, to a method which comprises: an image obtainment step (S100) of obtaining a binary image of a rice row from a camera pre-equipped in a robot; an image processing step of obtaining a sequential difference image (SDI) of the binary image obtained by the image obtainment step (S100), and clustering rice pixels (data); a guidance line extraction step (S300) of extracting a guidance line by using the binary image passing through the image processing step (S200); and a robot control step (S400) of controlling an operation of the robot by the guidance line extracted by the guidance line extraction step (S300). COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 29
29-06-2016 дата публикации

SUSCEPTOR AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING SAME

Номер: KR1020160075153A
Автор: LEE, SANG SUN, KIM, JIN YOUNG, AN, MYEONG HEON, YUN, BYEONG HO, KIM, JAE WOO
Принадлежит:

The present invention relates to a susceptor and a substrate processing apparatus having the same which have an improved structure to prevent powder accumulation. According to the present invention, the susceptor comprises: a seating surface on which a substrate is seated; and a plurality of guide pins arranged along a circumference of the seating surface to prevent the substrate seated on the seating surface from escaping. The length of each guide pin in a radial direction of the susceptor in a section of the guide pin in a direction parallel with the seating surface is longer than the length of the guide pin in a direction perpendicular to the radial direction. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 30
04-07-2016 дата публикации

METHOD FOR PRODUCING BIOCOMPATIBLE POROUS TITANIUM AND POROUS TITANIUM PRODUCED THEREBY

Номер: KR1020160077958A
Автор: CHUNG, SUNG MIN, YOON, BYUNG HO, KIM, MIN GI
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The present invention relates to a method for producing a biocompatible porous titanium, comprising the steps of: producing titanium slurry by mixing titanium powder, a binder, a dispersant, and a freezing medium; primarily forming the slurry; secondarily forming the primarily formed titanium slurry under the vacuum; forming a titanium molded body by cooling the secondarily formed titanium slurry under a freezing point of the freezing medium; forming a porous titanium molded body by freeze-drying the titanium molded body; and heating the porous titanium molded body. COPYRIGHT KIPO 2016 (AA) Start (BB) Step for preparing raw materials (CC) Step for primarily forming titanium slurry (DD) Step for secondarily forming titanium slurry (EE) Step for forming a titanium forming body (FF) Step for forming a porous titanium forming body (GG) Thermal treatment step (HH) Step for processing a surface (II) End ...

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22-11-2016 дата публикации

기판처리시스템

Номер: KR0101678367B1
Автор: 이상선, 김진영, 안명헌, 윤병호, 김재우
Принадлежит: 주식회사 테스

... 본 발명은 기판에 대한 복수의 공정을 연속적으로 진행할 때, 기판을 처리하는 속도가 향상되도록 구조가 개선된 기판처리시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판에 대한 처리공정이 행해지기 전의 기판 또는 상기 처리공정이 행해진 후의 기판이 수납되는 카세트모듈과, 상기 카세트모듈에 수납된 기판을 이송하는 대기이송모듈과, 상기 대기이송모듈에 연결되며, 상기 기판으로 세정액을 공급하여 상기 기판 표면을 세정하는 습식처리모듈과, 상기 습식처리모듈에 연결되며, 대기압 상태와 진공 상태에서 압력이 변환되는 로드락모듈과, 상기 로드락모듈에 연결되며, 내부가 진공상태로 유지되며, 기판이송로봇을 가지는 진공이송모듈과, 상기 진공이송모듈에 연결되며, 상기 기판으로 식각가스를 분사하여 상기 기판 상에 형성된 막을 식각하는 건식처리모듈을 포함한다.

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Номер записи: 32