THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC LIGHT-EMITTING DISPLAY APPARATUS BY USING THE SAME
Номер патента: US20160006001A1
Опубликовано: 07-01-2016
Автор(ы): Kim Eunho, Kim Muhyun, Lee Suhwan
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-01-2016
Автор(ы): Kim Eunho, Kim Muhyun, Lee Suhwan
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
Номер патента: US09644272B2. Автор: Muhyun Kim,Suhwan Lee,Eunho Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-09.