Apparatus for the removal of a fluorinated polymer from a substrate
Номер патента: US8926789B2
Опубликовано: 06-01-2015
Автор(ы): Andras Kuthi, Andrew D. Bailey, III, Hyungsuk Alexander Yoon, John Boyd
Принадлежит: Lam Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-01-2015
Автор(ы): Andras Kuthi, Andrew D. Bailey, III, Hyungsuk Alexander Yoon, John Boyd
Принадлежит: Lam Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate holding apparatus of a simple structure for holding a rotating substrate, and a substrate processing apparatus including the substrate holding apparatus
Номер патента: US5322079A. Автор: Yasushi Nakamura,Masami Ohtani,Yoshiteru Fukutomi. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 1994-06-21.