STABLE METAL COMPOUNDS AS HARDMASKS AND FILLING MATERIALS, THEIR COMPOSITIONS AND METHODS OF USE
Номер патента: US20150064904A1
Опубликовано: 05-03-2015
Автор(ы): CHO JoonYeon, MCKENZIE Douglas, MULLEN Salem K., Padmanaban Munirathna, WOLFER Elizabeth, YAO Huirong
Принадлежит: AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-03-2015
Автор(ы): CHO JoonYeon, MCKENZIE Douglas, MULLEN Salem K., Padmanaban Munirathna, WOLFER Elizabeth, YAO Huirong
Принадлежит: AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
A temporary subsequent material composition, and a manufacturing method of a thin wafer
Номер патента: TWI526512B. Автор: Hideyuki Ito,Hideto Kato,Masahiro Yoshizawa,Masahiro Furuya,Shohei Tagami. Владелец: Shinetsu Chemical Co. Дата публикации: 2016-03-21.