Offset-cancelling capacitive mems gyroscope
Номер патента: EP3786581B1
Опубликовано: 07-06-2023
Автор(ы): Anssi Blomqvist, Lasse Aaltonen
Принадлежит: Murata Manufacturing Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-06-2023
Автор(ы): Anssi Blomqvist, Lasse Aaltonen
Принадлежит: Murata Manufacturing Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Mems gyroscope sensitivity compensation
Номер патента: US20210278213A1. Автор: Lasse Aaltonen. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-09.