Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

  • Главная
  • Three-axis microelectromechanical system (MEMS) gyroscope

Three-axis microelectromechanical system (MEMS) gyroscope

Номер патента: US11639852B2
Опубликовано: 02-05-2023
Автор(ы): Bo Zou, Qinglong Zheng, Shuang Liu
Принадлежит: Senodia Technologies Shaoxing Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Three-axis mems gyroscope

Номер патента: EP4060287C0. Автор: Shuang Liu,Bo Zou,Qinglong Zheng. Владелец: Senodia Technologies Shaoxing Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-10.

Three-axis mems gyroscope

Номер патента: EP4060287B1. Автор: Shuang Liu,Bo Zou,Qinglong Zheng. Владелец: Senodia Technologies Shaoxing Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-10.

Three-axis mems gyroscope

Номер патента: WO2021109378A1. Автор: 刘爽,邹波,郑青龙. Владелец: 深迪半导体(上海)有限公司. Дата публикации: 2021-06-10.

Three-axis MEMS gyroscope

Номер патента: CN110926445A. Автор: 刘爽,邹波,郑青龙. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2020-03-27.

Mems gyroscope

Номер патента: US20230266124A1. Автор: Yang Li,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-24.

MEMS gyroscope

Номер патента: US12013240B2. Автор: Yang Li,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-18.

Driving circuit, method for driving a MEMS gyroscope and a corresponding MEMS gyroscope

Номер патента: US11841229B2. Автор: Stefano Facchinetti. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-12-12.

Three-axis mems gyroscope

Номер патента: US20200166341A1. Автор: Meihan GUO,Bo Zou. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2020-05-28.

Mems gyroscope and electronic device including the same

Номер патента: US20200208973A1. Автор: Yuwei Liu,Zhenkui Meng. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2020-07-02.

MEMS gyroscope for determining rotational movements about an x, y, and/or z axis

Номер патента: US09909873B2. Автор: Alessandro Rocchi. Владелец: Hanking Electronics Ltd. Дата публикации: 2018-03-06.

MEMS Gyroscope

Номер патента: US20230228569A1. Автор: Yang Li,YAN Hong,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-20.

MEMS gyroscope with calibration of the scale factor in real time and calibration method thereof

Номер патента: US11808573B2. Автор: Luca Giuseppe Falorni,Luca Guerinoni,Matteo Fabio Brunetto. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-11-07.

Three-axis mems gyroscope

Номер патента: US20230314139A1. Автор: Yang Li,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

High-Q MEMS gyroscope

Номер патента: US09835454B2. Автор: Stephen Lloyd. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-12-05.

High-Q MEMS Gyroscope

Номер патента: US20160231117A1. Автор: Stephen Lloyd. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-08-11.

High-q mems gyroscope

Номер патента: WO2016130320A1. Автор: Stephen Lloyd. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-08-18.

Mems gyroscope with horizontally oriented drive electrodes

Номер патента: EP1774259A1. Автор: Mark W. Weber,Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell Inc. Дата публикации: 2007-04-18.

Mems gyroscope start-up process and circuit

Номер патента: US20200408523A1. Автор: Chao-Ming Tsai,Yamu Hu,Deyou Fang. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2020-12-31.

CIRCUIT AND DRIVING METHOD FOR A MEMS GYROSCOPE AND ITS MEMS GYROSCOPE

Номер патента: IT201700103058A1. Автор: Stefano Facchinetti. Владелец: St Microelectronics Srl. Дата публикации: 2019-03-14.

Driving circuit, method for driving a mems gyroscope and a corresponding mems gyroscope

Номер патента: US20210172738A1. Автор: Stefano Facchinetti. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2021-06-10.

Mems gyroscope and electronic device including the same

Номер патента: US20200208973A1. Автор: Yuwei Liu,Zhenkui Meng. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2020-07-02.

Micromechanical detection structure for a mems sensor device, in particular a mems gyroscope, with improved driving features

Номер патента: EP3217147B1. Автор: Gabriele Gattere,Carlo Valzasina,Luca Giuseppe Falorni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2018-12-12.

Flexural couplers for microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20180172446A1. Автор: Igor P. Prikhodko,Jeffrey A. Gregory. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2018-06-21.

Mems gyroscope with frequency regulation and electrostatic cancellation of the quadrature error

Номер патента: EP3279609A1. Автор: Carlo Valzasina,Daniele Prati,Tiziano Chiarillo,Pasquale Franco. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2018-02-07.

Mems gyroscope for detecting rotational motions about an x-, y-, and/or z-axis

Номер патента: KR101885909B1. Автор: 알레산드로 로키. Владелец: 핸킹 일렉트로닉스, 엘티디.. Дата публикации: 2018-08-06.

MEMS link mechanism used for MEMS gyroscopes

Номер патента: KR101776583B1. Автор: 김용국,강정식,송기무,한승오,송현주,윤근중. Владелец: 주식회사 신성씨앤티. Дата публикации: 2017-09-11.

MEMS Gyroscope for Determining Rotational Movements about an X, Y, and/or Z Axis

Номер патента: US20160025492A1. Автор: Alessandro Rocchi. Владелец: Maxim Integrated Products Inc. Дата публикации: 2016-01-28.

Mems gyroscope for detecting rotational motions about an x-, y- and/or z- axis

Номер патента: CA2753455A1. Автор: Alessandro Rocchi. Владелец: SENSORDYNAMICS AG. Дата публикации: 2010-09-02.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope calibration

Номер патента: US20190186950A1. Автор: Doruk Senkal,Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai,Ali Shirvani. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-06-20.

Quality factor compensation in microelectromechanical system (mems) gyroscopes

Номер патента: US20190219394A1. Автор: James Lin,Lijun Gao,Ronald A. Kapusta, JR.. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2019-07-18.

Microelectromechanical systems package and method for manufacturing the same

Номер патента: US20240083743A1. Автор: Guofu Zhou,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Sock Kuan Soo,Poh Liang Yap. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2024-03-14.

Fractional-order MEMS gyroscope acceleration adaptive backstepping control method without accurate reference trajectory

Номер патента: GB2591179A. Автор: LUO SHAOHUA,LI SHAOBO,Zhao Le,Yang Guanci,M Ouakad Hassen. Владелец: GUIZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2021-07-21.

Quadrature Error Compensation Circuit for a MEMS Gyroscope

Номер патента: US20170328735A1. Автор: Hugues Beaulaton,Thierry Dominique Yves Cassagnes,Philippe Patrick Calmettes. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-11-16.

Phase-locked loop for a driver circuit for operating a MEMS gyroscope

Номер патента: US12098921B2. Автор: Andrea Visconti,Francesco DIAZZI. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2024-09-24.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: US20190226847A1. Автор: Tomas Neuzil,Jan Scheirich,Martin Vagner. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2019-07-25.

MEMS gyroscope with parametric gain

Номер патента: US6715353B2. Автор: Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2004-04-06.

Phase-locked loop for a driver circuit for operating a mems gyroscope

Номер патента: US20230003525A1. Автор: Andrea Visconti,Francesco DIAZZI. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2023-01-05.

Mems gyroscopes with in-line springs and related systems and methods

Номер патента: US20190310087A1. Автор: Jeffrey A. Gregory,Charles Blackmer. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2019-10-10.

Reading circuit for a multi-axis MEMS gyroscope having detection directions inclined with respect to the reference axes, and corresponding multi-axis mems gyroscope

Номер патента: EP2236981A1. Автор: Carlo Caminada,Luciano Prandi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2010-10-06.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE READOUT WITH OPTICAL DIRECTIONAL COUPLER

Номер патента: US20190226847A1. Автор: Neuzil Tomas,Scheirich Jan,Vagner Martin. Владелец: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.. Дата публикации: 2019-07-25.

High-sensitivity single-axis MEMS gyroscope

Номер патента: CN110319822B. Автор: 刘爽,邹波,郑青龙. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-01.

Reading circuit for a multi-axis MEMS gyroscope having detection directions inclined with respect to the reference axes

Номер патента: US8459109B2. Автор: Carlo Caminada,Luciano Prandi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2013-06-11.

Rotation-type decoupled mems gyroscope

Номер патента: JP2003247831A. Автор: Sang-Woo Lee,Jun-O Kim,Hee-Moon Jeong,喜 文 鄭,秉 烈 李,Byeung-leul Lee,準 ▲オ▼ 金,▲サン▼ 禹 李. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2003-09-05.

MEMS gyroscope and preparation method thereof

Номер патента: CN115164861A. Автор: 兰之康,李维平. Владелец: Nanjing Gaohua Technology Co ltd. Дата публикации: 2022-10-11.

Whole angle MEMS gyroscope

Номер патента: US10113873B2. Автор: Jonathan J. Bernstein,Marc S. Weinberg,Eugene H. Cook. Владелец: Charles Stark Draper Laboratory Inc. Дата публикации: 2018-10-30.

Mems gyroscope with enhanced robustness against vibrations and reduced dimensions

Номер патента: US20240003685A1. Автор: Gabriele Gattere,Carlo Valzasina,Luca Giuseppe Falorni,Patrick Fedeli,Paola Carulli. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-01-04.

Mems gyroscope with enhanced robustness against vibrations and reduced dimensions

Номер патента: EP4300040A1. Автор: Gabriele Gattere,Carlo Valzasina,Luca Giuseppe Falorni,Patrick Fedeli,Paola Carulli. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-01-03.

Silicon MEMS gyroscopes with upper and lower sense plates

Номер патента: US12092460B2. Автор: Jonathan J. Bernstein,Marc Steven Weinberg,Eugene H. Cook,Mirela G. Bancu,William Sawyer. Владелец: Charles Stark Draper Laboratory Inc. Дата публикации: 2024-09-17.

A mem gyroscope and a method of making same

Номер патента: EP1305256A2. Автор: Randall L. Kubena,David T. Chang. Владелец: HRL LABORATORIES LLC. Дата публикации: 2003-05-02.

Methods for fabricating silicon mems gyroscopes with upper and lower sense plates

Номер патента: US20200096336A1. Автор: Jonathan J. Bernstein,Marc Steven Weinberg,Eugene H. Cook,Mirela G. Bancu,William Sawyer. Владелец: Charles Stark Draper Laboratory Inc. Дата публикации: 2020-03-26.

Mems gyroscope

Номер патента: US20150033853A1. Автор: Tao Ju,Biao Zhang. Владелец: INSIGHTECH LLC. Дата публикации: 2015-02-05.

In-plane detection MEMS gyroscope device based on four-bridge tunnel magnetoresistive element

Номер патента: CN110966998A. Автор: 张瑞,金丽,李孟委,秦世洋. Владелец: NORTH UNIVERSITY OF CHINA. Дата публикации: 2020-04-07.

MEMS gyroscope having coupling springs

Номер патента: US20060010978A1. Автор: Sang-Woo Lee,Jong-pal Kim,Byeung-leul Lee,Joon-hyock Choi. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2006-01-19.

A kind of MEMS gyroscope and its manufacturing process

Номер патента: CN106500682A. Автор: 李航,于连忠,胡宗达. Владелец: Institute of Geology and Geophysics of CAS. Дата публикации: 2017-03-15.

MEMS gyroscope with horizontally oriented drive electrodes

Номер патента: US20050284222A1. Автор: Mark Weber,Burgess Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2005-12-29.

Four-mass full-differential double-shaft MEMS gyroscope

Номер патента: CN116147599B. Автор: 请求不公布姓名. Владелец: Huaxin Tuoyuan Tianjin Technology Co ltd. Дата публикации: 2023-06-23.

Mems gyroscope

Номер патента: EP4148384A2. Автор: Ville-Pekka RYTKÖNEN,Anssi Blomqvist. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-15.

Shock-robust integrated multi-axis MEMS gyroscope

Номер патента: US09726493B2. Автор: Alessandro Rocchi,Lorenzo BERTINI. Владелец: Hanking Electronics Ltd. Дата публикации: 2017-08-08.

Multimass mems gyroscope featuring orthogonal arrangement

Номер патента: US20240142234A1. Автор: Yang Li,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-02.

Mems gyroscope having quadrature compensation electrodes and method for compensating a quadrature error

Номер патента: US20230135941A1. Автор: Gabriele Gattere,Carlo Valzasina,Manuel RIANI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-05-04.

MEMS gyroscope having an improved rejection of the quadrature error

Номер патента: US11965739B2. Автор: Luca Giuseppe Falorni,Daniele Prati,Luca Guerinoni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-04-23.

Mems gyroscope having an improved rejection of the quadrature error

Номер патента: US20230036566A1. Автор: Luca Giuseppe Falorni,Daniele Prati,Luca Guerinoni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-02-02.

QUALITY FACTOR COMPENSATION IN MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) GYROSCOPES

Номер патента: US20190219394A1. Автор: Gao Lijun,Lin James,JR. Ronald A.,Kapusta. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2019-07-18.

Temperature-Robust MEMS Gyroscope with 2-DOF Sense-Mode Addressing the Tradeoff Between Bandwidth and Gain

Номер патента: US20140083189A1. Автор: Andrei Shkel,Alexander Trusov,Adam Schofield. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2014-03-27.

Method of making a micro-electro-mechanical-systems (mems) device

Номер патента: CN102452638A. Автор: 刘威,刘连军,利萨·H·卡林,大卫·W·基尔斯特,鲁本·B·蒙特兹,罗伯特·F·施泰梅尔. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2012-05-16.

Temperature-robust MEMS gyroscope with 2-DOF sense-mode addressing the tradeoff between bandwidth and gain

Номер патента: US8656776B2. Автор: Andrei Shkel,Alexander Trusov,Adam Schofield. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2014-02-25.

Temperature-Robust MEMS Gyroscope with 2-DOF Sense-Mode Addressing the Tradeoff Between Bandwidth and Gain

Номер патента: US20130074304A1. Автор: Andrei Shkel,Alexander Trusov,Adam Schofield. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2013-03-28.

READING CIRCUIT FOR A MULTI-AXIS MEMS GYROSCOPE HAVING DETECTION DIRECTIONS INCLINED WITH RESPECT TO THE REFERENCE AXES, AND CORRESPONDING MULTI-AXES MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20130180331A1. Автор: Prandi Luciano,Caminada Carlo. Владелец: STMICROELECTRONICS S.R.L.. Дата публикации: 2013-07-18.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: IL264238A. Автор: Neuzil Tomas,Scheirich Jan,Vagner Martin. Владелец: Honeywell Int Inc. Дата публикации: 2019-05-30.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: EP3514490B1. Автор: Tomas Neuzil,Jan Scheirich,Martin Vagner. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2020-04-22.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: IL264238B. Автор: Neuzil Tomas,Scheirich Jan,Vagner Martin. Владелец: Honeywell Int Inc. Дата публикации: 2022-03-01.

Micro-electro-mechanical-system(mems) driver

Номер патента: KR20130116189A. Автор: 이온 오프리스,하이 타오. Владелец: 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션. Дата публикации: 2013-10-23.

Mirco-electro-mechanical system (mems) device

Номер патента: KR101693935B1. Автор: 유 엔 슈,쉬 치에 린,치아 유 우. Владелец: 리치테크 테크놀로지 코포레이션. Дата публикации: 2017-01-06.

Methods and apparatus for generating a sinusoidal motor drive signal for a mems gyroscope

Номер патента: CA2497886A1. Автор: Stanley A. White. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-03-18.

Electronic circuit for measuring rotational speed in a MEMS gyroscope and method for actuating the circuit

Номер патента: US9528831B2. Автор: Sylvain Grosjean,Christophe Entringer,Alexandre Deschildre. Владелец: EM Microelectronic Marin SA. Дата публикации: 2016-12-27.

SPRING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20140144232A1. Автор: Lin Yizhen,NAUMANN MICHAEL,Mehner Jan. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-29.

Method of producing an isolator for a microelectromechanical system (MEMS) die

Номер патента: US8322028B2. Автор: A. Dorian Challoner,Howard H. Ge. Владелец: Boeing Co. Дата публикации: 2012-12-04.

Fractional-order MEMS gyroscope acceleration adaptive backstepping control method without accurate reference trajectory

Номер патента: GB2591179B. Автор: LUO SHAOHUA,LI SHAOBO,Zhao Le,Yang Guanci,M Ouakad Hassen. Владелец: GUIZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2021-12-29.

Temperature-Robust MEMS Gyroscope with 2-DOF Sense-Mode Addressing the Tradeoff Between Bandwidth and Gain

Номер патента: US20140083189A1. Автор: Schofield Adam,Trusov Alexander,Shkel Andrei. Владелец: The Regents of the University of California. Дата публикации: 2014-03-27.

ELECTRONIC CIRCUIT FOR MEASURING ROTATIONAL SPEED IN A MEMS GYROSCOPE AND METHOD FOR ACTUATING THE CIRCUIT

Номер патента: US20150176992A1. Автор: ENTRINGER Christophe,GROSJEAN Sylvain,DESCHILDRE Alexandre. Владелец: EM MICROELECTRONIC-MARIN SA. Дата публикации: 2015-06-25.

MEMS Gyroscope Amplitude Control via Quadrature

Номер патента: US20170199035A1. Автор: Joseph Seeger. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-07-13.

Quadrature Error Compensation Circuit for a MEMS Gyroscope

Номер патента: US20170328735A1. Автор: Beaulaton Hugues,CASSAGNES THIERRY DOMINIQUE YVES,Calmettes Philippe Patrick. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-16.

Method of making a MEMS gyroscope having a magnetic source and a magnetic sensing mechanism

Номер патента: US9254992B2. Автор: Tao Ju. Владелец: Tao Ju. Дата публикации: 2016-02-09.

MEMS gyroscope with a mass vibrating vertically with respect to the substrate

Номер патента: DE60239723D1. Автор: Sang-Woo Lee,Jun-O Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2011-05-26.

A digital controller for a mems gyroscope

Номер патента: KR101944237B1. Автор: 라울리 콜린,콘스타 우주가,라쎄 알토넨. Владелец: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼. Дата публикации: 2019-01-31.

A kind of two axle MEMS gyroscopes

Номер патента: CN107782299A. Автор: 王辉,邹波,郑青龙. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-09.

MEMS gyroscope, electronic equipment and control method of electronic equipment

Номер патента: CN108225296B. Автор: 陈志刚,李富贵. Владелец: Vivo Mobile Communication Co Ltd. Дата публикации: 2019-12-27.

Non-degenerate modes mems gyroscope

Номер патента: WO2012128796A1. Автор: John A. Geen,Houri Johari-Galle,Michael W. Judy. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2012-09-27.

MEMS gyroscope and accelerometer with mechanical reference

Номер патента: US20020174720A1. Автор: Donato Cardarelli. Владелец: Donato Cardarelli. Дата публикации: 2002-11-28.

Shaking micro-nano structure of MEMS gyroscope

Номер патента: CN114858151B. Автор: 李长健,冯立辉,郭军强,郭芃. Владелец: Beijing Institute of Technology BIT. Дата публикации: 2022-09-30.

Integrated packaging method of novel MEMS gyroscope

Номер патента: CN104330080A. Автор: 李�杰,凌波,王晓臣,鞠莉娜,康宝鹏. Владелец: China North Industries Group Corp No 214 Research Institute Suzhou R&D Center. Дата публикации: 2015-02-04.

3-axis MEMS gyroscope

Номер патента: KR101984078B1. Автор: 이상우,김용국,안재현,정규동,송기무,윤근중,무하마드 알리 샤,루안 콩 트란. Владелец: 주식회사 신성씨앤티. Дата публикации: 2019-05-31.

MEMS gyroscope

Номер патента: CN111156980A. Автор: 李杨,张睿,黎家健,占瞻,马昭,刘雨微,谭秋喻. Владелец: Ruisheng Technology Nanjing Co Ltd. Дата публикации: 2020-05-15.

Noise source for starting MEMS gyroscope

Номер патента: AU2003220071B2. Автор: William P Platt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2006-06-22.

METHODS FOR FABRICATING SILICON MEMS GYROSCOPES WITH UPPER AND LOWER SENSE PLATES

Номер патента: US20200096336A1. Автор: Sawyer William,Bernstein Jonathan J.,Weinberg Marc Steven,Cook Eugene H.,Bancu Mirela G.. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-26.

High-dynamic-input MEMS gyroscope bandwidth expansion closed-loop control method

Номер патента: CN111024056B. Автор: 申强,谢建兵,王修谱,武亦轩. Владелец: Taicang Yangtze River Delta Research Institute of Northwestern Polytechnical University. Дата публикации: 2022-09-16.

MEMS gyroscope and electronic product

Номер патента: CN213985134U. Автор: 李杨,张睿,洪燕,黎家健,占瞻,杨珊,马昭,谭秋喻. Владелец: Ruisheng Technology Nanjing Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-17.

Mems gyroscope

Номер патента: WO2021134678A1. Автор: 李杨,张睿,黎家健,占瞻,马昭,刘雨微,谭秋喻. Владелец: 瑞声科技（南京）有限公司. Дата публикации: 2021-07-08.

Noise source for starting MEMS gyroscope

Номер патента: JP2005519296A. Автор: プラット，ウィリアム・ピー. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2005-06-30.

A digital controller for a mems gyroscope

Номер патента: EP3249357A1. Автор: Lasse Aaltonen,Konsta WJUGA,Rauli COLLIN. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-29.

Micro-electro-mechanical-system(mems) driver

Номер патента: KR101999745B1. Автор: 이온 오프리스,하이 타오. Владелец: 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션. Дата публикации: 2019-10-01.

Mems gyroscope and electronic product technical field

Номер патента: US20240271932A1. Автор: Yang Li,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan,Houming Chong,Zaixiang Pua. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

MEMS gyroscope for three-axis detection

Номер патента: US12130139B2. Автор: Yang Li,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-29.

Mems gyroscope control circuit

Номер патента: US20200408525A1. Автор: Chao-Ming Tsai,David McClure,Yamu Hu,Milad Alwardi,Deyou Fang. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2020-12-31.

MEMS gyroscope control circuit

Номер патента: US12111158B2. Автор: Chao-Ming Tsai,David McClure,Yamu Hu,Milad Alwardi,Deyou Fang. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2024-10-08.

Dual-mode control circuit for microelectromechanical system gyroscopes

Номер патента: US20240093995A1. Автор: Marco Bestetti,Giacomo Langfelder,Carlo Valzasina,Andrea Giovanni BONFANTI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-03-21.

Quad proof mass mems gyroscope with outer couplers and related methods

Номер патента: US20180058853A1. Автор: Xin Zhang,Jianglong Zhang,Kemiao Jia,Jinbo Kuang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2018-03-01.

Digital demodulator and complex compensator for mems gyroscope

Номер патента: US20220057209A1. Автор: Vito Avantaggiati. Владелец: InvenSense Italy SRL. Дата публикации: 2022-02-24.

Method for open-loop compensation of a MEMS gyroscope

Номер патента: US10921124B2. Автор: Kevin Hughes. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2021-02-16.

Systems and methods for improving MEMS gyroscope start time

Номер патента: US09562767B2. Автор: Mark W. Weber,Douglas Campbell Macgugan,Dang Tu Van-Cao,Marie Annette Cox. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2017-02-07.

MEMS Gyroscope and Electronic Device Using Same

Номер патента: US20230130249A1. Автор: Yang Li,YAN Hong,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-27.

Circuit for a mems gyroscope and method for operating a corresponding circuit

Номер патента: US20230288226A1. Автор: Andrea Visconti,Alexandru Negut. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2023-09-14.

Mems gyroscope sensitivity compensation

Номер патента: US20210278213A1. Автор: Lasse Aaltonen. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-09.

Systems and methods for improving mems gyroscope start time

Номер патента: US20160046485A1. Автор: Mark W. Weber,Douglas Campbell Macgugan,Dang Tu Van-Cao,Marie Annette Cox. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2016-02-18.

MEMS gyroscope and electronic device using same

Номер патента: US11674804B2. Автор: Yang Li,YAN Hong,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-13.

Mechanism for selective coupling in microelectromechanical systems inertial sensors

Номер патента: US20210396520A1. Автор: Jeffrey A. Gregory,Laura Cornelia Popa. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2021-12-23.

Systems and methods for improving mems gyroscope start time

Номер патента: EP2985567A3. Автор: Mark W. Weber,Dang Tu Van-Cao,Marie Annette Cox,Douglas Campbell MacGuan. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2016-03-16.

MEMS gyroscope

Номер патента: US12050104B2. Автор: Yang Li,YAN Hong,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-30.

MEMS gyroscope

Номер патента: US12050105B2. Автор: YAN Hong,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-30.

Mems gyroscope

Номер патента: US20230213339A1. Автор: YAN Hong,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-06.

Fully decoupled three-axis mems gyroscope

Номер патента: US20240093996A1. Автор: Yang Li,ZHAN Zhan,Xiao Kan,Zhao MA,Shan Yang,Kahkeen Lai,Shitao Yan,Hongtao Peng,Veronica Tan. Владелец: AAC Kaitai Technologies Wuhan Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-21.

Mems gyroscope sensing in-plane rotations

Номер патента: US20230408256A1. Автор: Tommi PIIRAINEN. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.

Microelectromechanical systems gyroscope

Номер патента: US20210088335A1. Автор: Shih-Wei Lee,Chao-Shiun Wang. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2021-03-25.

Mems gyroscope self-test using a technique for deflection of the sensing mobile mass

Номер патента: US20220128360A1. Автор: David McClure,Huantong Zhang,Yamu Hu,Naren K. Sahoo,Deyou Fang. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2022-04-28.

Mems gyroscope self-test using a technique for deflection of the sensing mobile mass

Номер патента: US20200408524A1. Автор: David McClure,Huantong Zhang,Yamu Hu,Naren K. Sahoo,Deyou Fang. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2020-12-31.

Increasing the dynamic range of a mems gyroscope

Номер патента: EP1497616A2. Автор: William P. Platt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2005-01-19.

Increasing the dynamic range of a mems gyroscope

Номер патента: WO2004001335A2. Автор: William P. Platt. Владелец: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.. Дата публикации: 2003-12-31.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE and fabrication method thereof

Номер патента: US20230348259A1. Автор: Guofu Zhou,Wai Mun Chong,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Rohit Pulikkal Kizhakkeyil. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-11-02.

Cyrogenic inertial micro-electro-mechanical system (MEMS) device

Номер патента: US6487864B1. Автор: William P. Platt,Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2002-12-03.

A quadrature compensation method for mems gyroscopes and a gyroscope sensor

Номер патента: EP3234503A1. Автор: Gert Andersson,Erik Svensson,Borys Stoew,Nils Hedenstierna. Владелец: RISE Acreo AB. Дата публикации: 2017-10-25.

A quadrature compensation method for mems gyroscopes and a gyroscope sensor

Номер патента: US20170284803A1. Автор: Gert Andersson,Erik Svensson,Borys Stoew,Nils Hedenstierna. Владелец: RISE Acreo AB. Дата публикации: 2017-10-05.

Mems gyroscope having an improved rejection of the quadrature error

Номер патента: EP4124827B1. Автор: Luca Giuseppe Falorni,Daniele Prati,Luca Guerinoni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-10-30.

MEMS GYROSCOPE WITH REGULATION OF THE MISMATCH BETWEEN THE DRIVING AND SENSING FREQUENCIES

Номер патента: US20190072389A1. Автор: PRATI Daniele. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-07.

Symmetrical z-axis mems gyroscopes

Номер патента: US20180135984A1. Автор: Yong Kook Kim,Seung Ho Han,Ci Moo Song,Keun Jung YOUN,Jeong Sik Kang,Hyun Ju Song. Владелец: Shin Sung C&t Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-17.

MEMS gyroscope with 2 DOF sense-mode

Номер патента: KR101754634B1. Автор: 김용국,강정식,송기무,한승오,송현주,윤근중. Владелец: 주식회사 신성씨앤티. Дата публикации: 2017-07-07.

Shock robust integrated multi-axis MEMS gyroscope

Номер патента: CN105387853B. Автор: L·贝尔蒂尼,A·罗基. Владелец: Hanking Microelectronics Co ltd. Дата публикации: 2020-11-20.

Symmetrical z-axis mems gyroscope

Номер патента: EP3296692A1. Автор: Yong Kook Kim,Seung Ho Han,Ci Moo Song,Keun Jung YOUN,Jeong Sik Kang,Hyun Ju Song. Владелец: Shin Sung C&t Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-21.

Symmetrical z-axis mems gyroscope

Номер патента: WO2016182306A1. Автор: 김용국,강정식,송기무,한승오,송현주,윤근중. Владелец: 주식회사 신성씨앤티. Дата публикации: 2016-11-17.

Mems gyroscope

Номер патента: US20230085473A1. Автор: Ville-Pekka RYTKÖNEN,Anssi Blomqvist. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-16.

MEMS GYROSCOPES WITH IN-LINE SPRINGS AND RELATED SYSTEMS AND METHODS

Номер патента: US20190310087A1. Автор: Gregory Jeffrey A.,Blackmer Charles. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2019-10-10.

Symmetrical z-axis MEMS gyroscopes

Номер патента: KR101679592B1. Автор: 김용국,강정식,송기무,한승오,송현주,윤근중. Владелец: 주식회사 신성씨앤티. Дата публикации: 2016-11-25.

Microelectromechanical systems (MEMS) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US11754397B2. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2023-09-12.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US20210262796A1. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2021-08-26.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US20190186917A1. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-06-20.

Mems gyroscope start-up process and circuit

Номер патента: US20230314138A1. Автор: Marco Garbarino,David McClure,Yamu Hu,Naren K. Sahoo,Pavan Nallamothu,Deyou Fang. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2023-10-05.

Mems gyroscope start-up process and circuit

Номер патента: EP4269949A2. Автор: Marco Garbarino,David McClure,Yamu Hu,Pavan Nallamothu,Deyou Fang,Naren K Sahoo. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2023-11-01.

Mems gyroscope start-up process and circuit

Номер патента: EP4269949A3. Автор: Marco Garbarino,David McClure,Yamu Hu,Pavan Nallamothu,Deyou Fang,Naren K Sahoo. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2024-04-10.

Mems gyroscopes with reduced errors

Номер патента: US20130283908A1. Автор: John A. Geen,John F. Chang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2013-10-31.

Mems gyroscope device

Номер патента: US20170350701A1. Автор: Aaron A. Geisberger. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-12-07.

MEMS Gyroscopes with Reduced Errors

Номер патента: EP2657648B1. Автор: John Chang,John Geen. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2017-05-24.

Multiple sense axis MEMS gyroscope having a single drive mode

Номер патента: US9360319B2. Автор: Kemiao Jia. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-06-07.

Systems and methods for MEMS gyroscope shock robustness

Номер патента: US09995583B2. Автор: Alessandro Rocchi,Eleonora Marchetti,Lorenzo BERTINI. Владелец: Hanking Electronics Ltd. Дата публикации: 2018-06-12.

SYSTEMS AND METHODS FOR MEMS GYROSCOPE SHOCK ROBUSTNESS

Номер патента: US20150330783A1. Автор: Rocchi Alessandro,Bertini Lorenzo,Marchetti Eleanor. Владелец: MAXIM INTEGRATED PRODUCTS, INC.. Дата публикации: 2015-11-19.

Drive frequency tunable MEMS gyroscope

Номер патента: US8210038B2. Автор: Marko Rocznik. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2012-07-03.

Drive frequency tunable mems gyroscope

Номер патента: WO2010096306A1. Автор: Marko Rocznik. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2010-08-26.

MEMS gyroscope magnetic sensitivity reduction

Номер патента: EP2236982A1. Автор: Bharat Pant,Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-10-06.

MEMS gyroscope with reduced magnetic sensitivity

Номер патента: JP5671245B2. Автор: バージェス・アール・ジョンソン,バラト・パント. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2015-02-18.

Drive frequency tunable mems gyroscope

Номер патента: CN102356300A. Автор: M·罗茨尼克. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2012-02-15.

MEMS GYROSCOPE HAVING A HIGH STABILITY WITH RESPECT TO TEMPERATURE AND HUMIDITY VARIATIONS

Номер патента: US20180094929A1. Автор: Valzasina Carlo,GATTERE Gabriele,TOCCHIO Alessandro. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-05.

Impact resistance systems and methods of a MEMS gyroscope

Номер патента: DE102015107251A1. Автор: Alessandro Rocchi,Eleonora Marchetti,Lorenzo BERTINI. Владелец: Maxim Integrated Products Inc. Дата публикации: 2015-11-19.

Multiple sense axis mems gyroscope having a single drive mode

Номер патента: CN104422435A. Автор: 贾可淼. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2015-03-18.

Microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: US20190119104A1. Автор: Michael W. Cumbie,Chien-Hua Chen,Devin Alexander Mourey,Si-Lam J. Choy. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2019-04-25.

Mems gyroscope device with improved hot startup and corresponding method

Номер патента: US20230168089A1. Автор: Marco Milani. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-06-01.

Extending the range of a mems gyroscope using eccentric accelerometers

Номер патента: EP3559411A1. Автор: Robert A. Estes,Randell R. RIGGS. Владелец: Baker Hughes a GE Co LLC. Дата публикации: 2019-10-30.

DRIVING CIRCUIT, METHOD FOR DRIVING A MEMS GYROSCOPE AND A CORRESPONDING MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20190078889A1. Автор: Facchinetti Stefano. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-14.

A QUADRATURE COMPENSATION METHOD FOR MEMS GYROSCOPES AND A GYROSCOPE SENSOR

Номер патента: US20170284803A1. Автор: ANDERSSON Gert,HEDENSTIERNA Nils,SVENSSON Erik,STOEW Borys. Владелец: RISE Acreo AB. Дата публикации: 2017-10-05.

Control circuit of MEMS gyroscope, MEMS gyroscope and control method

Номер патента: CN115876177A. Автор: A·格拉纳塔. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-03-31.

Mems gyroscope device with improved hot startup and corresponding method

Номер патента: EP4187203B1. Автор: Marco Milani. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-10-23.

MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20150033854A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: IINSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2015-02-05.

MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20150033856A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: INSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2015-02-05.

MEMS GYROSCOPE WITH FREQUENCY REGULATION AND ELECTROSTATIC CANCELLATION OF THE QUADRATURE ERROR

Номер патента: US20180038692A1. Автор: Valzasina Carlo,Chiarillo Tiziano,PRATI Daniele,Franco Pasquale. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-08.

DIGITAL DEMODULATOR AND COMPLEX COMPENSATOR FOR MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20220057209A1. Автор: AVANTAGGIATI Vito. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-24.

SYSTEMS AND METHODS FOR IMPROVING MEMS GYROSCOPE START TIME

Номер патента: US20160046485A1. Автор: Weber Mark W.,Van-Cao Dang Tu,Cox Marie Annette,MacGugan Douglas Campbell. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

Multiple sense axis mems gyroscope having a single drive mode

Номер патента: US20150059473A1. Автор: Kemiao Jia. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2015-03-05.

QUAD PROOF MASS MEMS GYROSCOPE WITH OUTER COUPLERS AND RELATED METHODS

Номер патента: US20180058853A1. Автор: Zhang Xin,Kuang Jinbo,Jia Kemiao,Zhang Jianglong. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2018-03-01.

MICROMECHANICAL DETECTION STRUCTURE FOR A MEMS SENSOR DEVICE, IN PARTICULAR A MEMS GYROSCOPE, WITH IMPROVED DRIVING FEATURES

Номер патента: US20200064134A1. Автор: Valzasina Carlo,GATTERE Gabriele,FALORNI Luca Giuseppe. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-27.

MEMS GYROSCOPE HAVING 2-DEGREE-OF-FREEDOM SENSING MODE

Номер патента: US20180135985A1. Автор: Kim Yong Kook,HAN Seung Ho,SONG Ci Moo,YOUN Keun Jung,KANG Jeong Sik,SONG Hyun Ju. Владелец: SHIN SUNG C&T CO., LTD.. Дата публикации: 2018-05-17.

MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20160153780A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: INSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2016-06-02.

WAFER BONDING METHOD FOR USE IN MAKING A MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20160154070A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: INSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2016-06-02.

THREE-AXIS MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20200166341A1. Автор: Zou Bo,Guo Meihan. Владелец: SENODIA TECHNOLOGIES (SHANGHAI) CO., LTD.. Дата публикации: 2020-05-28.

MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20150226555A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: INSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2015-08-13.

MEMS GYROSCOPE SENSITIVITY COMPENSATION

Номер патента: US20210278213A1. Автор: AALTONEN Lasse. Владелец: . Дата публикации: 2021-09-09.

MICROMECHANICAL DETECTION STRUCTURE FOR A MEMS SENSOR DEVICE, IN PARTICULAR A MEMS GYROSCOPE, WITH IMPROVED DRIVING FEATURES

Номер патента: US20170261322A1. Автор: Valzasina Carlo,GATTERE Gabriele,FALORNI Luca Giuseppe. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-14.

DEMODULATOR FOR IN-PHASE AND QUADRATURE MODULATED SIGNALS, MEMS GYROSCOPE INCLUDING THE SAME AND DEMODULATION METHOD

Номер патента: US20180274924A1. Автор: PESENTI Paolo,Quartiroli Matteo,Mecchia Alessandro. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-27.

MEMS GYROSCOPE WITH IMPROVED REJECTION OF A QUADRATURE ERROR

Номер патента: US20180306580A1. Автор: GATTERE Gabriele,Izadi Mohammad,FALORNI Luca Giuseppe,GUERINONI Luca,Braghin Francesco,RESTA FERRUCCIO,Milani Damiano. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-25.

SHOCK-ROBUST INTEGRATED MULTI-AXIS MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20150330784A1. Автор: Rocchi Alessandro,Bertini Lorenzo. Владелец: MAXIM INTEGRATED PRODUCTS, INC.. Дата публикации: 2015-11-19.

WHOLE ANGLE MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20160341551A1. Автор: Weinberg Marc S.,Bernstein Jonathan J.,Cook Eugene H.. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-24.

MEMS GYROSCOPE WITH CALIBRATION OF THE SCALE FACTOR IN REAL TIME AND CALIBRATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20200400434A1. Автор: Brunetto Matteo Fabio,FALORNI Luca Giuseppe,GUERINONI Luca. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-24.

MEMS GYROSCOPE CONTROL CIRCUIT

Номер патента: US20200408525A1. Автор: FANG Deyou,ALWARDI Milad,McClure David,Hu Yamu,TSAI Chao-Ming. Владелец: STMicroelectronics, Inc.. Дата публикации: 2020-12-31.

Micro-electromechanical MEMS sensor, method for sensor and micro-electromechanical MEMS gyroscope

Номер патента: CN111465821B. Автор: H·乔哈里-加勒,D·森卡尔,J·塞格尔. Владелец: Yingmeisheng Co ltd. Дата публикации: 2021-08-17.

MEMS gyroscope

Номер патента: CN112710293A. Автор: 李杨,洪燕,黎家健,占瞻,杨珊,马昭,阚枭,谭秋喻. Владелец: Ruisheng Technology Nanjing Co Ltd. Дата публикации: 2021-04-27.

Capacitive MEMS gyroscope and method of making the same

Номер патента: CN101957201B. Автор: 河·H·黄. Владелец: Lexvu Opto Microelectronics Technology Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-03.

Offset-cancelling capacitive mems gyroscope

Номер патента: EP3786581B1. Автор: Anssi Blomqvist,Lasse Aaltonen. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-07.

Extending the range of a mems gyroscope using eccentric accelerometers

Номер патента: WO2018119169A1. Автор: Robert A. Estes,Randell R. RIGGS. Владелец: Baker Hughes, a GE company, LLC. Дата публикации: 2018-06-28.

MEMS gyroscope sensitivity compensation

Номер патента: US11650055B2. Автор: Lasse Aaltonen. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-16.

MEMS GYROSCOPE CONTROL CIRCUIT

Номер патента: US20220034659A1. Автор: FANG Deyou,ALWARDI Milad,McClure David,Hu Yamu,TSAI Chao-Ming. Владелец: STMicroelectronics, Inc.. Дата публикации: 2022-02-03.

OFFSET-CANCELLING CAPACITIVE MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20210063158A1. Автор: BLOMQVIST Anssi,AALTONEN Lasse. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-04.

USE OF MEMS GYROSCOPE FOR COMPENSATION OF ACCELEROMETER STRESS INDUCED ERRORS

Номер патента: US20210278212A1. Автор: Hughes Kevin,Scafidi Pietro,Ghezzi Daniele. Владелец: . Дата публикации: 2021-09-09.

WHOLE ANGLE MEMS GYROSCOPE ON HEXAGONAL CRYSTAL SUBSTRATE

Номер патента: US20160341552A1. Автор: Weinberg Marc S.,Hobart Karl D.,Kub Francis J.,Bernstein Jonathan J.,Cook Eugene H.,Imhoff Eugene,Myers-Ward Rachael. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-24.

Z-axis angular rate micro electro-mechanical systems (mems) sensor

Номер патента: WO2005040715A2. Автор: Vasile Nistor,Eric P. Chojnacki,June P. Shen-Epstein,Nenad Nenadic,Nathan L. Stirling. Владелец: Kionix, Inc.. Дата публикации: 2005-05-06.

Z-axis angular rate micro electro-mechanical systems (MEMS) sensor

Номер патента: US20050066728A1. Автор: Vasile Nistor,Nenad Nenadic,June Shen-Epstein,Eric Chojnacki,Nathan Stirling. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2005-03-31.

Increasing the dynamic range of a mems gyroscope

Номер патента: AU2003269815A1. Автор: William P. Platt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2004-01-06.

Improved start time of mems gyroscope

Номер патента: AU2003228420A1. Автор: William P. Platt,Mark W. Weber. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-10-20.

MEMS GYROSCOPE START-UP PROCESS AND CIRCUIT

Номер патента: US20200408523A1. Автор: FANG Deyou,Hu Yamu,TSAI Chao-Ming. Владелец: STMicroelectronics, Inc.. Дата публикации: 2020-12-31.

SOI-MEMS gyroscope having three-fold symmetry

Номер патента: US7267005B1. Автор: Michael S. Kranz,Sherrie Burgett Holt. Владелец: US Department of Army. Дата публикации: 2007-09-11.

Pulse width modulation drive signal for a mems gyroscope

Номер патента: CA2483618A1. Автор: William P. Platt. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-11-13.

Parametric amplification of a mems gyroscope by capacitance modulation

Номер патента: US20090320591A1. Автор: Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2009-12-31.

High-Q MEMS Gyroscope

Номер патента: US20160231117A1. Автор: LLOYD Stephen. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-11.

Method and Apparatus for Electrostatic Mode-Alignment on Planar MEMS Gyroscopes

Номер патента: US20160349055A1. Автор: Rahafrooz Amir,JAFRI Ijaz,Serrano Diego Emilio. Владелец: Qualtre, Inc.. Дата публикации: 2016-12-01.

MEMS GYROSCOPE SELF-TEST USING A TECHNIQUE FOR DEFLECTION OF THE SENSING MOBILE MASS

Номер патента: US20200408524A1. Автор: Zhang Huantong,FANG Deyou,McClure David,Hu Yamu,SAHOO Naren K.. Владелец: STMicroelectronics, Inc.. Дата публикации: 2020-12-31.

Pulse width modulation drive signal for a mems gyroscope

Номер патента: AU2003223779A1. Автор: William P. Platt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-11-17.

Increasing the dynamic range of a MEMS gyroscope

Номер патента: AU2003269815B2. Автор: William P. Platt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2007-01-18.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS)

Номер патента: US09463974B2. Автор: Bernard Chaumet,Bertrand Leverrier,Olivier Lefort,Andre Boura. Владелец: Thales SA. Дата публикации: 2016-10-11.

In-band beating removal for a mems gyroscope

Номер патента: EP3071931A1. Автор: Laurent Cornibert,Thierry Cassagnes,Hugues Beaulaton,Yean Ling Teo. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-09-28.

Method of detecting whether microelectromechanical system device is hermetic

Номер патента: US9915679B2. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang,Hung-Sen Chen. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Method of Detecting Whether Microelectromechanical System Device Is Hermetic

Номер патента: US20170227575A1. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang,Hung-Sen Chen. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2017-08-10.

Inertial measurement unit (imu) with blending of outputs from an array of micro-electromechanical system (mems) sensors

Номер патента: US20240302169A1. Автор: Shuang Li,Jingwei Li,Christopher J. Mauer,Zhizhen Shen. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2024-09-12.

Inertial measurement unit (imu) with blending of outputs from an array of micro-electromechanical system (mems) sensors

Номер патента: AU2024200797A1. Автор: Shuang Li,Jingwei Li,Christopher J. Mauer,Zhizhen Shen. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2024-09-26.

Integrationsverfahren zum waferebenenpackaging und mikroelektromechanisches system-, mems-, bauelement

Номер патента: DE102018122261B4. Автор: Ping-Yin Liu,Chung-Yi Yu,Jung-Huei Peng,Hung-Hua Lin,Chang-Ming Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-03-28.

Bilden eines mikroelektromechanische-systeme-(mems-) bauelements unter verwendung von silizium-auf-nichts und epitaxie

Номер патента: DE102018205003A1. Автор: Thoralf Kautzsch. Владелец: Infineon Technologies Dresden GmbH and Co KG. Дата публикации: 2018-10-11.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US20190186917A1. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-06-20.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US20210262796A1. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2021-08-26.

Signal processing method of multiple mirco-electro-mechanical system (MEMS) devices and combo MEMS device applying the method

Номер патента: US09563102B2. Автор: Chia-Yu Wu,Yu-Wen Hsu,Ying-Che Lo,Lu-Po Liao. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-02-07.

An ac, dc input and ac output rate gyro module based on micro-electro-mechanical systems (mems) sensor

Номер патента: WO2020012506A1. Автор: Vanamala Madhusudana RAO. Владелец: Chairman, Defence Research And Development Organisation. Дата публикации: 2020-01-16.

COMPENSATED DEMODULATOR FOR IN-PHASE AND QUADRATURE MODULATED SIGNALS, MEMS GYROSCOPE INCLUDING THE SAME AND DEMODULATION METHOD

Номер патента: US20210102822A1. Автор: Donadel Andrea,PESENTI Paolo,Quartiroli Matteo,Mecchia Alessandro,Facchinetti Stefano. Владелец: . Дата публикации: 2021-04-08.

COMPENSATED DEMODULATOR FOR IN-PHASE AND QUADRATURE MODULATED SIGNALS, MEMS GYROSCOPE INCLUDING THE SAME AND DEMODULATION METHOD

Номер патента: US20180274941A1. Автор: Donadel Andrea,PESENTI Paolo,Quartiroli Matteo,Mecchia Alessandro,Facchinetti Stefano. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-27.

Vertical MEMS gyroscope by horizontal driving and it's fabrication method

Номер патента: KR100492105B1. Автор: 정규동,이문철,강석진,홍석우,정석환. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-06-01.

A kind of MEMS gyroscope non-overshoot guaranteed cost fuzzy wavelet nerve control method

Номер патента: CN110440778A. Автор: 杨卫,苏敏,邵星灵,石燚. Владелец: NORTH UNIVERSITY OF CHINA. Дата публикации: 2019-11-12.

Circuit for a mems gyroscope and method for operating a corresponding circuit

Номер патента: WO2022053595A1. Автор: Andrea Visconti,Alexandru Negut. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2022-03-17.

Power-efficient chopping scheme for offset error correction in MEMS gyroscopes

Номер патента: US9419597B1. Автор: Achal Venkatesh,Abhinav Kumar Dikshit. Владелец: Analog Devices Global ULC. Дата публикации: 2016-08-16.

Compensated demodulator for in-phase and quadrature modulated signals, mems gyroscope including the same and demodulation method

Номер патента: US20210102822A1. Автор: Andrea Donadel,Paolo Pesenti,Stefano Facchinetti,Alessandro Mecchia,Matteo Quartiroli. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2021-04-08.

Adjusting a mems gyroscope to reduce thermally varying bias

Номер патента: CN102768038A. Автор: R·苏皮诺,H·B·弗伦奇. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2012-11-07.

THREE-AXIS MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICES

Номер патента: US20160084872A1. Автор: NAUMANN MICHAEL. Владелец: Freescale Semiconductor, Inc.. Дата публикации: 2016-03-24.

THREE-AXIS MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICE WITH SINGLE PROOF MASS

Номер патента: US20160097792A1. Автор: NAUMANN MICHAEL. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

Microelectromechanical system (mems) sensors and applications thereof

Номер патента: WO2024113011A1. Автор: Van Thanh Dau,Barry Wai Choo KOK,Cong Thanh NGUYEN,Dzung Viet DAO. Владелец: Future Sense Holdings Pty Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Miniaturized integrated circuit of optical sensor matrix made according to principles of microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: RU2565351C2. Автор: Хакан УРЕЙ,Бурханеттин Эрдем АЛАДЖА,Эрман ТИМУРДОГАН. Владелец: Кодж Университеси. Дата публикации: 2015-10-20.

Piezoelectric microelectromechanical system (mems) signal processing for contact detection

Номер патента: WO2024182629A1. Автор: Robert John Littrell. Владелец: QUALCOMM INCORPORATED. Дата публикации: 2024-09-06.

Piezoelectric microelectromechanical system (mems) signal processing for contact detection

Номер патента: US20240298108A1. Автор: Robert John Littrell. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2024-09-05.

Cover based adhesion force measurement system for microelectromechanical system (mems)

Номер патента: US20190062147A1. Автор: Alexander Castro,Chae AHN. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-02-28.

Microelectromechanical systems (mems) audio sensor-based proximity sensor

Номер патента: WO2016048659A3. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-06-16.

Microelectromechanical systems devices with improved lateral sensitivity

Номер патента: US09612254B2. Автор: Michael Naumann. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-04-04.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: US20220324701A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Berkin BV. Дата публикации: 2022-10-13.

Microelectromechanical systems sensor testing device, system and method

Номер патента: US20200048083A1. Автор: Fabio TOTA,Andrea Labombarda,Stefano Bosco,Federico IACCARINO. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2020-02-13.

Coupled accordion springs in microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20180087491A1. Автор: Qian Zhang,Lei Gu,Kuang L. Yang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2018-03-29.

Non-resonant microelectromechanical systems scanner with piezoelectric actuators

Номер патента: EP3959559A1. Автор: Utku Baran. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2022-03-02.

Non-resonant microelectromechanical systems scanner with piezoelectric actuators

Номер патента: US20200341265A1. Автор: Utku Baran. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2020-10-29.

Microelectromechanical system pressure sensor with pressure sensing element having phase-change material

Номер патента: WO2024087110A1. Автор: Shao-Fu Sanford Chu. Владелец: Yangtze Advanced Memory Industrial Innovation Center Co., Ltd. Дата публикации: 2024-05-02.

Microelectromechanical systems (mems) audio sensor-based proximity sensor

Номер патента: WO2016048659A2. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-03-31.

Micro-electromechanical system (MEMS) based current and magnetic field sensor

Номер патента: US7705583B2. Автор: Ertugrul Berkcan,Shankar Chandrasekaran. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2010-04-27.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: CA3150338A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-03-25.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: WO2021054829A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Berkin B.V.. Дата публикации: 2021-03-25.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: EP4031484A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Berkin BV. Дата публикации: 2022-07-27.

Apparatuses and methods for testing semiconductor circuitry using microelectromechanical systems switches

Номер патента: US12099085B2. Автор: Padraig Fitzgerald,Eric James Carty,Erkan Acar,Patrick M. MCGUINNESS,Randy Oltman,Naveen Dhull,Derek W. Nolan. Владелец: Analog Devices International ULC. Дата публикации: 2024-09-24.

Methods and structures for thin-film encapsulation and co-integration of same with microelectronic devices and microelectromechanical systems (MEMS)

Номер патента: US10173893B2. Автор: Emmanuel P. Quevy,Mehrnaz Motiee,Jeremy R. Hui,Carrie Wing-Zin Low. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2019-01-08.

Wärmesensor auf der basis eines mikro-elektro-mechanischen systems (mems)

Номер патента: DE102019117890A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) thermal sensor

Номер патента: US11796396B2. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-10-24.

Optical sensor with micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA) steering of the optical transmit beam

Номер патента: US11835709B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Jon E. Leigh,Eric Rogala,Mark K. Lange,Vanessa Reyna,Craig O. Shott,Garret A. Odom. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2023-12-05.

Micro-Electro-Mechanical System (Mems) Thermal Sensor

Номер патента: US20230375416A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA) and off-axis parabola (OAP) steered active situational awareness sensor

Номер патента: US12025790B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-07-02.

Micro-electro-mechanical system (mems) thermal sensor

Номер патента: US20200103290A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array steered laser transmitter and situational awareness sensor with wavelength conversion

Номер патента: US12117607B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-10-15.

Apparatuses and methods for testing semiconductor circuitry using microelectromechanical systems switches

Номер патента: US20220373592A1. Автор: Padraig Fitzgerald,Eric James Carty,Erkan Acar,Patrick M. MCGUINNESS,Randy Oltman,Naveen Dhull,Derek W. Nolan. Владелец: Analog Devices International ULC. Дата публикации: 2022-11-24.

Micro-electrical-mechanical-systems (mems) accelerometer systems

Номер патента: US20240345124A1. Автор: Richard A. Hull,Vasileios TSACHOURIDIS. Владелец: Collins Aerospace Ireland Ltd. Дата публикации: 2024-10-17.

Micro-electrical-mechanical-systems (mems) accelerometer systems

Номер патента: EP4446752A1. Автор: Richard A. Hull,Vasileios TSACHOURIDIS. Владелец: Atlantic Inertial Systems Inc. Дата публикации: 2024-10-16.

Miniaturized integrated micro electo-mechanical systems (MEMS) optical sensor array for viscosity and mass detection

Номер патента: US09846115B2. Автор: Hakan Urey,Goksenin YARALIOGLU. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2017-12-19.

A microfluidic-channel embeddable, laterally oscillating gravimetric sensor device fabricated with micro-electro-mechanical systems (mems) technology

Номер патента: CA2771155C. Автор: Haluk Kulah,Ata Tuna Ciftlik. Владелец: Mikrobiyosistemler Elektronik San Ve Tic AS. Дата публикации: 2018-04-24.

Mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Trägheitssensoren mit Energieerntern und zugehörige Verfahren

Номер патента: DE102018128130B4. Автор: Xin Zhang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2022-02-03.

Pressure sensor of strain gauge type with a thin film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2657362C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Наталья Анатольевна Козлова. Владелец: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2018-06-13.

MULTI-PATH SIGNAL PROCESSING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SENSORS

Номер патента: US20180031597A1. Автор: Oliaei Omid,Ayat Mehran. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20190119104A1. Автор: Mourey Devin Alexander,Chen Chien-Hua,Cumbie Michael W.,Choy Si-lam J.. Владелец: Hewlett-Packard Development Company, L.P.. Дата публикации: 2019-04-25.

A kind of signal processing system of MEMS gyroscope

Номер патента: CN109253725A. Автор: 邹波,罗皓. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2019-01-22.

Single-chip triaxial MEMS gyroscope based on wheel-ring form

Номер патента: CN109163717B. Автор: 刘俊,唐军,石云波,高晋阳,曹慧亮,申冲,黄堃,邵星灵,王亚中,曹思宇. Владелец: NORTH UNIVERSITY OF CHINA. Дата публикации: 2020-04-24.

Mems gyroscope

Номер патента: US20080121054A1. Автор: Ryan Nielsen,Felix Goldenberg. Владелец: Rosemount Aerospace Inc. Дата публикации: 2008-05-29.

A kind of silicon MEMS gyroscopes multiloop Digitized Closed Loop control device

Номер патента: CN110160514A. Автор: 杨波,李成,张婷,郭鑫,梁卓玥. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2019-08-23.

Output feedback control method and device of MEMS gyroscope

Номер патента: CN111897226A. Автор: 许斌,张睿,闵海波. Владелец: Beijing Aibingo Technology Co ltd. Дата публикации: 2020-11-06.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) GYROSCOPE CALIBRATION

Номер патента: US20190186950A1. Автор: DAKSHINAMURTHY Sriraman,Pinna Carlo,Senkal Doruk,Shirvani Ali,Desai Ronak Chetan. Владелец: . Дата публикации: 2019-06-20.

Use of mems gyroscope for compensation of accelerometer stress induced errors

Номер патента: US20210278212A1. Автор: Kevin Hughes,Daniele Ghezzi,Pietro Scafidi. Владелец: InvenSense Italy SRL. Дата публикации: 2021-09-09.

Use of mems gyroscope for compensation of accelerometer stress induced errors

Номер патента: EP4115188A1. Автор: Kevin Hughes,Daniele Ghezzi,Pietro Scafidi. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2023-01-11.

Multi-path signal processing for microelectromechanical systems (MEMS) sensors

Номер патента: US10281485B2. Автор: Omid Oliaei,Mehran Ayat. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-05-07.

Use of mems gyroscope for compensation of accelerometer stress induced errors

Номер патента: EP4115188B1. Автор: Kevin Hughes,Daniele Ghezzi,Pietro Scafidi. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2024-10-16.

Inertial Measurement and Navigation System And Method Having Low Drift MEMS Gyroscopes And Accelerometers Operable In GPS Denied Environments

Номер патента: US20160047675A1. Автор: Tanenhaus Martin E.,Carhoun Dean. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

EXTENDING THE RANGE OF A MEMS GYROSCOPE USING ECCENTRIC ACCELEROMETERS

Номер патента: US20180180418A1. Автор: Estes Robert A.,Riggs Randell R.. Владелец: BAKER HUGHES INCORPORATED. Дата публикации: 2018-06-28.

Quadrature adc feedback compensation for capacitive-based mems gyroscope

Номер патента: US20190265036A1. Автор: Gregory B. Arndt,Christopher C. Painter. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2019-08-29.

IN-BAND BEATING REMOVAL FOR A MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20160290804A1. Автор: Beaulaton Hugues,Cassagnes Thierry,Teo Yean Ling,Cornibert Laurent. Владелец: . Дата публикации: 2016-10-06.

MEMS gyroscope calibration method capable of resisting stronger magnetic field interference

Номер патента: CN110926503A. Автор: 王聪,郑翔,何明,周星宇,项鹏,俞璐,武欣嵘. Владелец: Army Engineering University of PLA. Дата публикации: 2020-03-27.

Automatic calibration method for MEMS gyroscope

Номер патента: CN115406467B. Автор: 刘海涛,王硕,白浪,刘尔静. Владелец: Beijing Kaikai Hangyu Navigation Control Technology Co ltd. Дата публикации: 2023-03-21.

MEMS gyroscope online frequency difference identification method based on noise power spectrum estimation

Номер патента: CN111272193A. Автор: 刘学文,张含,李宏生,丁徐锴,黄丽斌,赵立业. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2020-06-12.

MEMS gyroscope calibration test platform and calibration method

Номер патента: CN111024133A. Автор: 徐涛,吴丹,李昕. Владелец: Xi'an Sentton Intelligent Control Technology Co ltd. Дата публикации: 2020-04-17.

Simultaneous 3-Axis Calibration Device of Multi-Axis MEMS Gyroscope

Номер патента: KR102243634B1. Автор: 이병렬,파이잘. Владелец: 한국기술교육대학교 산학협력단. Дата публикации: 2021-04-22.

magnetometer/MEMS gyroscope combination system for microsatellite

Номер патента: CN110174902B. Автор: 孔令波,王超群,冯猛,陈茂胜,李庚垚. Владелец: Chang Guang Satellite Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-01-28.

Differential band-pass type frequency modulation MEMS gyroscope rate analysis device and method

Номер патента: CN111256729B. Автор: 李崇,王雨晨,侯佳坤. Владелец: OCEAN UNIVERSITY OF CHINA. Дата публикации: 2021-07-30.

DIGITAL CONTROLLER FOR A MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20170328712A1. Автор: AALTONEN Lasse,COLLIN Rauli,WJUGA Konsta. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-16.

Quadrature ADC feedback compensation for capacitive-based MEMS gyroscope

Номер патента: US10782131B2. Автор: Gregory B. Arndt,Christopher C. Painter. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2020-09-22.

MEMS gyroscope quick start method based on parallel estimation Hybrid Learning

Номер патента: CN107870566A. Автор: 刘洋,吴枫,刘瑞鑫,林建华,许斌,张睿,刘美霞,应俊,张安龙,成宇翔,赵万良,谷丛,邵添羿,慕容欣. Владелец: Shenzhen Institute of Northwestern Polytechnical University. Дата публикации: 2018-04-03.

Magnetometer/MEMS gyroscope combination system for microsatellite

Номер патента: CN110174902A. Автор: 孔令波,王超群,冯猛,陈茂胜,李庚垚. Владелец: Chang Guang Satellite Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-27.

Push-bench gesture ambiguity control system and method based on MEMS gyroscope

Номер патента: CN107328415A. Автор: 唐飞,翟华,吕庆洲,万文松,郝予琛. Владелец: Hefei University of Technology. Дата публикации: 2017-11-07.

Microelectromechanical systems (MEMS) scanners for scanning laser devices

Номер патента: US09946062B1. Автор: Dean R. Brown,Mark P. Helsel,Jason B. Tauscher,Wyatt O. Davis,Matthieu Saracco,Quinn William Haynie. Владелец: Microvision Inc. Дата публикации: 2018-04-17.

Enhanced microelectromechanical system mirror apparatus

Номер патента: EP4330756A1. Автор: Jukka Kyynäräinen,Dmitry MORITS. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2024-03-06.

Microelectromechanical system (MEMS) scanner having a torsional beam flexure with variable width

Номер патента: US11714276B2. Автор: Wyatt Owen Davis,Utku Baran,Xiao Chuan Ong. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2023-08-01.

Microelectromechanical system (mems) scanner having a torsional beam flexure with variable width

Номер патента: WO2021231041A1. Автор: Wyatt Owen Davis,Utku Baran,Xiao Chuan Ong. Владелец: Microsoft Technology Licensing, LLC. Дата публикации: 2021-11-18.

Driving circuits for a piezoelectric microelectromechanical system mirror

Номер патента: US20220411255A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2022-12-29.

Driving circuits for a piezoelectric microelectromechanical system mirror

Номер патента: EP4066041A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2022-10-05.

Microelectromechanical system device having a hinge layer

Номер патента: US09500857B2. Автор: Nan Liu,Chien-Tang Wang,Hui-Lun Chen,Wei-Hsiao Chen,Chun-Hao Su,Roland V. Gelder. Владелец: Himax Display Inc. Дата публикации: 2016-11-22.

Microelectromechanical systems scanning mirror for a laser scanner

Номер патента: US6155490A. Автор: H. Sprague Ackley. Владелец: INTERMEC IP CORP. Дата публикации: 2000-12-05.

Microelectromechanical system device

Номер патента: US20160033759A1. Автор: Nan Liu,Chien-Tang Wang,Hui-Lun Chen,Wei-Hsiao Chen,Chun-Hao Su,Roland V. Gelder. Владелец: Himax Display Inc. Дата публикации: 2016-02-04.

Microelectromechanical system (mems) scanner having actuator pairs cantilevered adjacent to opposite sides of a scanning mirror

Номер патента: US20210396995A1. Автор: Utku Baran. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2021-12-23.

Method of forming a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure

Номер патента: US09593007B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-14.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US09981842B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-05-29.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US09938137B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-04-10.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US09932222B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-04-03.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09604839B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-28.

Micro-electromechanical systems (mems) device and noise cancellation method

Номер патента: EP4237369A1. Автор: Jörg Albers,Stephan Marauska,Ulrich Hofmann,Thomas von Wantoch,Leon Pohl,Thomas KNIELING,Frank Senger,Christian Janicke. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-06.

Micro-electromechanical systems (mems) device and noise cancellation method

Номер патента: US20230365401A1. Автор: Stephan Marauska,Ulrich Hofmann,Joerg Albers,Thomas von Wantoch,Leon Pohl,Thomas KNIELING,Frank Senger,Christian Janicke. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-16.

Micro-electromechanical systems (mems) device and noise cancellation method

Номер патента: WO2022100850A1. Автор: Jörg Albers,Stephan Marauska,Ulrich Hofmann,Thomas von Wantoch,Leon Pohl,Thomas KNIELING,Frank Senger,Christian Janicke. Владелец: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.. Дата публикации: 2022-05-19.

Method for forming micro-electro-mechanical system (MEMS) beam structure

Номер патента: US09969613B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-05-15.

Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, method of manufacture and design structures

Номер патента: WO2012177304A3. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-03-13.

Methods of manufacturing a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure

Номер патента: US8973250B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-03-10.

Heat dissipation system with microelectromechanical system (MEMS) for cooling electronic or photonic components

Номер патента: US11910568B2. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2024-02-20.

Isolated protrusion/recession features in a microelectromechanical system

Номер патента: WO2018187769A2. Автор: Patrick Ian Oden,William C. McDonald,James Carl Baker,Sandra Zheng. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2018-10-11.

Spatial light modulator for actuating microelectromechanical systems (mems) structures

Номер патента: WO2014043234A2. Автор: Charles F. Hester,C. Anthony Hester. Владелец: Hester Charles F. Дата публикации: 2014-03-20.

A lens for a microelectromechanical system mirror

Номер патента: US20230023127A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2023-01-26.

A lens for a microelectromechanical system mirror

Номер патента: EP4078267A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2022-10-26.

Optical switch using frequency-based addressing in a microelectromechanical systems array

Номер патента: US20060262379A1. Автор: Hyuck Choo,Richard Muller. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2006-11-23.

Microelectromechanical system (MEMS) structure and method of formation

Номер патента: US11953674B2. Автор: Jose A. Martinez. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-04-09.

Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device

Номер патента: US20020071169A1. Автор: John Bowers,Seung Lee,Noel MacDonald,Roger Helkey,Charles Corbalis,Robert Sink. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-06-13.

Small angle optical beam steering using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas)

Номер патента: US20220229285A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Eric Rogala,Mark K. Lange,Craig O. Shott,Zachary D. Barker. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-07-21.

Stiffening structures for micro-electro-mechanical system (mems) micromirrors

Номер патента: WO2023164190A1. Автор: Daniel Guenther Greif,Katherine Marie SMYTH,Kenneth Alexander Diest. Владелец: Meta Platforms Technologies, LLC. Дата публикации: 2023-08-31.

Optical scanning system using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (MMAs)

Номер патента: US12061334B2. Автор: David J. Knapp,Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Eric Rogala,Mark K. Lange,Craig O. Shott,Garret A. Odom,Zachary D. Barker. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-08-13.

Micro-electro-mechanical systems (mems) actuator that rotates discrete optical elements

Номер патента: US20180329147A1. Автор: Ho-Shang Lee,Jeffrey B. Lee,Robert E. Schleicher,Rong Ping Hsia. Владелец: Dicon Fiberoptics Inc. Дата публикации: 2018-11-15.

Micro-electromechanical system (MEMS) based tunable polarization rotator

Номер патента: US11808936B2. Автор: Sujit HANDANHAL RAMACHANDRA,Matthew Stewart Johnson,Trang Thu Pham,Aidas A. Jakubenas. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2023-11-07.

Electrostatically actuated micro-electro-mechanical system (mems) device

Номер патента: CA2366527C. Автор: Vladimir Anatolyevich Aksyuk,Flavio Pardo,Cristian A. Bolle. Владелец: Agere Systems Guardian Corp. Дата публикации: 2005-06-28.

Micro-electro-mechanical-system (mems) mirror device having large angle out of plane motion using shaped combed finger actuators and method for fabricating the same

Номер патента: US20030090172A1. Автор: Seung Lee,Noel MacDonald. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-05-15.

Stiffening structures for micro-electro-mechanical system (mems) micromirrors

Номер патента: US20230273424A1. Автор: Daniel Guenther Greif,Katherine Marie SMYTH,Kenneth Alexander Diest. Владелец: Meta Platforms Technologies LLC. Дата публикации: 2023-08-31.

Method for assembly of microelectromechanical systems using magnetic actuation

Номер патента: US6166478A. Автор: Chang Liu,Yong Wuk Yi. Владелец: University of Illinois. Дата публикации: 2000-12-26.

Isolated protrusion/recession features in microelectromechanical systems

Номер патента: US11932529B2. Автор: Patrick Ian Oden,William C. McDonald,James Carl Baker,Sandra Zheng. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Spatial light modulator for actuating microelectromechanical systems (mems) structures

Номер патента: US20160377858A1. Автор: Charles F. Hester,C. Anthony Hester. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-12-29.

Optical non-uniformity compensation (nuc) for passive imaging sensors using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas)

Номер патента: US20220311961A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Paul R. Spyak et al.. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-09-29.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20130156993A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brian M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20130154033A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brian M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Strukturen und entwurfsstrukturen mikroelektromechanischer systeme (mems)

Номер патента: DE102012221818A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brain M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Micro-electromechanical system (MEMS) carrier

Номер патента: US09815689B2. Автор: Ming-Ching Wu,Su-Jhen Lin. Владелец: Globalmems Taiwan Corp ltd. Дата публикации: 2017-11-14.

Micro-electromechanical system (MEMS) carrier

Номер патента: US09417425B2. Автор: Ming-Ching Wu,Su-Jhen Lin. Владелец: Globalmems Taiwan Corp ltd. Дата публикации: 2016-08-16.

Mikroelektromechanisches System (MEMS)

Номер патента: DE102023204477A1. Автор: Markus Hauf,Yanko Sarov,Markus Holz,Stefan Walz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-11-16.

Micro-electromechanical system (mems) carrier

Номер патента: US20150029606A1. Автор: Ming-Ching Wu,Su-Jhen Lin. Владелец: Globalmems Taiwan Corp ltd. Дата публикации: 2015-01-29.

Microelectromechanical System for Moving a Mechanical Part in Two Opposite Directions

Номер патента: US20240243672A1. Автор: Patrice Minotti,Gilles Bourbon,Patrice Le Moal,Thierry COTE. Владелец: Silmach SA. Дата публикации: 2024-07-18.

Microelectromechanical system contactor spring

Номер патента: US20200379249A1. Автор: Patrick Ian Oden. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2020-12-03.

Microelectromechanical system layout using genotype performance simulation

Номер патента: US20160132624A1. Автор: Jason V. Clark. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2016-05-12.

Photonic microelectromechanical systems and structures

Номер патента: RU2413963C2. Автор: Клэренс ЧУЙ. Владелец: Квэлкомм Мемс Текнолоджиз, Инк.. Дата публикации: 2011-03-10.

Microelectromechanical system substrate and display apparatus having the same

Номер патента: US20110157676A1. Автор: Yu-Kwan KIM,Hyun Min Cho,Jae Byung PARK,Seon-Tae Yoon,Donchan Cho. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2011-06-30.

Methods and apparatus for increasing efficiency and optical bandwidth of a microelectromechanical system piston-mode spatial light modulator

Номер патента: US20190179134A1. Автор: Adam Joseph Fruehling,James Norman Hall. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2019-06-13.

Methods and apparatus for increasing efficiency and optical bandwidth of a microelectromechanical system piston-mode spatial light modulator

Номер патента: EP3721283A1. Автор: Adam Joseph Fruehling,James Norman Hall. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2020-10-14.

Methods and apparatus for increasing efficiency and optical bandwidth of a microelectromechanical system piston-mode spatial light modulator

Номер патента: WO2019113586A1. Автор: Adam Joseph Fruehling,James Norman Hall. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2019-06-13.

Microelectromechanical system with reduced speckle contrast

Номер патента: EP2534093A2. Автор: Shahyaan Desai. Владелец: Mezmeriz Inc. Дата публикации: 2012-12-19.

Seismic sensor system with microelectromechanical systems ("mems") oscillator clock.

Номер патента: MX2019010500A. Автор: Husom Vidar. Владелец: Schlumberger Technology Bv. Дата публикации: 2020-02-10.

Microelectromechanical system (MEMS) sensor packages and methods for producing microelectromechanical system sensor packages having a plurality of MEMS sensor chips

Номер патента: US11851322B2. Автор: Jochen Dangelmaier,Rainer Markus Schaller. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-12-26.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical systems (mems) mirror control

Номер патента: KR20200060259A. Автор: 노르버트 드루믈,필립 그라이너,레브제니아 막시모바. Владелец: 인피니온 테크놀로지스 아게. Дата публикации: 2020-05-29.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical system (MEMS) mirror control

Номер патента: CN111198441A. Автор: N·德鲁梅尔,P·格雷纳,I·马克西默瓦. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-05-26.

Board mounted microelectromechanic system (mems) sensors for motor diagnostics and analytics

Номер патента: US20190092621A1. Автор: Michael J. Melfi,Arun K. Guru,John A. Balcerak,Zhenhuan Yuan,Kristin N. Yee. Владелец: Rockwell Automation Technologies Inc. Дата публикации: 2019-03-28.

Μικροηλεκτρομηχανικο συστημα (microelectromechanical system-mems) διαφορικου χωρητικου αισθητηρα πιεσης με σταθερο πυκνωτη αναφορας και μεθοδος κατασκευης του

Номер патента: GR20210100522A. Автор: Θεοδωρα-Αικατερινη Χαραλαμπου Σπυροπουλου,Εμμανουηλ Γεωργιου Ζερβακης,Θεοδωρος Αθανασοπουλος. Владелец: Ευρωπαϊκα Συστηματα Αισθητηρων Α.Ε.,. Дата публикации: 2023-02-10.

Synchronization of microelectromechanical system (mems) mirrors

Номер патента: US20240302647A1. Автор: Boris KIRILLOV,Norbert Druml,Philipp GREINER,Hendrikus VAN LIEROP,Ievgeniia MAKSYMOVA,Maksym Sladkov. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-09-12.

Wearable device having a micro-electromechanical system (mems) resonator for skin temperature sensing

Номер патента: US20240315568A1. Автор: Sachin Prakash Nadig. Владелец: Google LLC. Дата публикации: 2024-09-26.

Wearable device having a micro-electromechanical system (mems) resonator for skin temperature sensing

Номер патента: WO2024196435A1. Автор: Sachin Prakash Nadig. Владелец: Google LLC. Дата публикации: 2024-09-26.

Micro-electromechanical system (mems) interferometer for ft-mir spectroscopy

Номер патента: US20230136082A1. Автор: Dwight W. Swett. Владелец: Saudi Arabian Oil Co. Дата публикации: 2023-05-04.

Micro-electromechanical system (MEMS) humidity sensor and preparation method thereof

Номер патента: CN103630582A. Автор: 陈大鹏,欧文,毛海央,陈媛婧,谌灼杰. Владелец: Jiangsu IoT Research and Development Center. Дата публикации: 2014-03-12.

Micro-electromechanical system (MEMS) interferometer for FT-MIR spectroscopy

Номер патента: US11774289B2. Автор: Dwight W. Swett. Владелец: Saudi Arabian Oil Co. Дата публикации: 2023-10-03.

Optical system for object detection and location using a Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Micro-Mirror Array (MMA) beamsteering device

Номер патента: US12066574B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-08-20.

Microelectromechanical system (mems) and (mem) optical interferometer for hyper-spectral imaging and analysis

Номер патента: US20140078509A1. Автор: Danny S. Moshe. Владелец: GreenVision Systems Ltd. Дата публикации: 2014-03-20.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND (MEM) OPTICAL INTERFEROMETER FOR HYPER-SPECTRAL IMAGING AND ANALYSIS

Номер патента: US20190277698A1. Автор: Moshe Danny S.. Владелец: GREEN VISION SYSTEMS LTD.. Дата публикации: 2019-09-12.

Method for manufacturing ion aggregation device of micro electro mechanical system (MEMS) air amplifier

Номер патента: CN102556957B. Автор: 高帅,邹赫麟. Владелец: Dalian University of Technology. Дата публикации: 2014-06-25.

Microelectromechanical system (mems) and (mem) optical interferometer for hyper-spectral imaging and analysis

Номер патента: IL229213A0. Автор: . Владелец: Green Vision Systems Ltd. Дата публикации: 2014-01-30.

Microelectromechanical system (mems) and (mem) optical interferometer for hyper-spectral imaging and analysis

Номер патента: IL229213B. Автор: S Moshe Danny. Владелец: Green Vision Systems Ltd. Дата публикации: 2020-09-30.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) device with multi-dimensional spring structure and frame

Номер патента: US09733269B2. Автор: Chia-Yu Wu,Yu-Wen Hsu,Shih-Chieh Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-08-15.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) device including an internal anchor area

Номер патента: US09562926B2. Автор: Chiung-Cheng Lo,Yu-Fu Kang,Chiung-Wen Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-02-07.

Method and system for determining vehicle wheel alignment based on the application of systems using gyroscopic sensors and/or MEMS angular rate sensors (MEMS gyroscopes)

Номер патента: US20140310967A1. Автор: Nagornov Vladimir Vladimirovich. Владелец: . Дата публикации: 2014-10-23.

System-level synchronization of microelectromechanical system (mems) mirrors

Номер патента: US20230314790A1. Автор: Norbert Druml,Philipp GREINER. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-10-05.

Seismic Sensor System with Microelectromechanical Systems ("MEMS") Oscillator Clock

Номер патента: US20200064503A1. Автор: Husom Vidar. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-27.

Seismic sensor system with microelectromechanical systems ("mems") oscillator clock

Номер патента: EP3589580A1. Автор: Vidar Husom. Владелец: Schlumberger Technology Bv. Дата публикации: 2020-01-08.

Seismic sensor system with microelectromechanical systems ("mems") oscillator clock

Номер патента: EP3589580A4. Автор: Vidar Husom. Владелец: Schlumberger Technology Bv. Дата публикации: 2020-12-09.

Detection, correction, and compensation of coupling effects of microelectromechanical system (mems) axes of a two-dimensional scanning structure

Номер патента: US20230051926A1. Автор: Norbert Druml,Franz Michael Darrer,Philipp GREINER,Stephan Gerhard Albert. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-02-16.

Synchronization of microelectromechanical system (MEMS) mirrors

Номер патента: US12001010B2. Автор: Boris KIRILLOV,Norbert Druml,Philipp GREINER,Hendrikus VAN LIEROP,Ievgeniia MAKSYMOVA,Maksym Sladkov. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-06-04.

System and method for sensor replication for ensemble averaging in micro-electromechanical system (MEMS)

Номер патента: US7904185B2. Автор: Charalampos Pozidis,Sri M. Sri-Jayantha,Arun Sharma,Mark A. Lantz,Evangelos S. Eleftheriou,Hien Dang. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2011-03-08.

System and method for sensor replication for ensemble averaging in micro-electromechanical system (mems)

Номер патента: US20080270061A1. Автор: Charalampos Pozidis,Sri M. Sri-Jayantha,Arun Sharma,Mark A. Lantz,Hien Dang,Evangolos S. Eleftheriou. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2008-10-30.

System and method for sensor replication for ensemble averaging in micro-electromechanical systems (MEMS)

Номер патента: US20060082463A1. Автор: Charalampos Pozidis,Arun Sharma,Evangelos Eleftheriou,Sri Sri-Jayantha,Hien Dang,Mark Lantz. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2006-04-20.

COVER BASED ADHESION FORCE MEASUREMENT SYSTEM FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20190062147A1. Автор: Castro Alexander,AHN Chae. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

Synchronization of microelectromechanical system (mems) mirrors

Номер патента: US20200319450A1. Автор: Boris KIRILLOV,Norbert Druml,Philipp GREINER,Hendrikus VAN LIEROP,Ievgeniia MAKSYMOVA,Maksym Sladkov. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-10-08.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) AUDIO SENSOR-BASED PROXIMITY SENSOR

Номер патента: US20160090293A1. Автор: Oliaei Omid. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-31.

COUPLED ACCORDION SPRINGS IN MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20180087491A1. Автор: Zhang Qian,Gu Lei,Yang Kuang L.. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2018-03-29.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ACOUSTIC SENSOR-BASED GESTURE RECOGNITION

Номер патента: US20160091308A1. Автор: Oliaei Omid. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-31.

Microelectromechanical systems (mems) pressure sensor having a leakage path to a cavity

Номер патента: US20160091378A1. Автор: Aleksey S. Khenkin,Baris CAGDASER,Fariborz Assaderaghi,James Christian Salvia,Julius Ming-Lin Tsai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-03-31.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) INERTIAL SENSORS WITH ENERGY HARVESTERS AND RELATED METHODS

Номер патента: US20190154725A1. Автор: Zhang Xin. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2019-05-23.

GRAPHENE MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) RESONANT GAS SENSOR

Номер патента: US20200244243A1. Автор: Cullinan Michael,CHO Joon-Hyung,CAYLL David,LADNER Ian. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-30.

FORMING A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE USING SILICON-ON-NOTHING AND EPITAXY

Номер патента: US20180290883A1. Автор: Kautzsch Thoralf. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-11.

PACKAGES FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) MIRROR AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20190293923A1. Автор: Theuss Horst,GHAHREMANI Cyrus. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2019-09-26.

ELECTROCHEMICAL IMPEDANCE SPECTROSCOPY ANALYZER ("EISA") CHIP FOR A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20190310215A1. Автор: Ballantine Arne,Cronin John,BODKIN Joseph. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-10.

SUBTERRANEAN FORMATION CHARACTERIZATION USING MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20170322341A1. Автор: Rowe Mathew Dennis,Galliano Clinton Cheramie,Graves Walter Varney Andrew. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-09.

SYNCHRONIZATION OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) MIRRORS

Номер патента: US20200319450A1. Автор: KIRILLOV Boris,Greiner Philipp,VAN LIEROP Hendrikus,Druml Norbert,MAKSYMOVA Ievgeniia,SLADKOV Maksym. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-10-08.

Methods and structures for thin-film encapsulation and co-integration of same with microelectronic devices and microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: US20160362295A1. Автор: Emmanuel P. Quevy,Mehrnaz Motiee,Jeremy R. Hui,Carrie Wing-Zin Low. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Corp. Дата публикации: 2016-12-15.

Subterranean formation characterization using microelectromechanical system (MEMS) devices

Номер патента: US10718883B2. Автор: Clinton Cheramie Galliano,Mathew Dennis Rowe,Walter Varney Andrew Graves. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2020-07-21.

Subterranean formation characterization using microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: WO2016108849A1. Автор: Clinton Cheramie Galliano,Mathew Dennis Rowe,Walter Varney Andrew Graves. Владелец: Halliburton Energy Services, Inc.. Дата публикации: 2016-07-07.

Compact integrated microelectromechanical system (MEMS) photosensor array for detecting viscosity and mass

Номер патента: JP2016532874A. Автор: ハカン・ウレイ,ギョクセニン・ヤラルオール. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2016-10-20.

Electrochemical impedance spectroscopy analyzer (“EISA”) chip for a microelectromechanical system (MEMS)

Номер патента: US11150208B2. Автор: Joseph BODKIN,John Cronin,Arne Ballantine. Владелец: Bloom Energy Corp. Дата публикации: 2021-10-19.

Conformal air speed sensor with microelectromechanical system (mems)

Номер патента: RU2620876C2. Автор: Гери А. РЭЙ. Владелец: Зе Боинг Компани. Дата публикации: 2017-05-30.

Microelectromechanical systems (mems) force die with buried cavity vented to the edges

Номер патента: EP3376194B1. Автор: Richard Wade,Richard Alan Davis,Bradley David ALISTAIR. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2021-05-05.

Wireless microelectromechanical systems (MEMS) pressure sensor with built-in calibration

Номер патента: US7918138B2. Автор: Qing Jiang,Harold Glick. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2011-04-05.

Microelectromechanical system (MEMS) interferometer

Номер патента: JP5860809B2. Автор: カリル、ディア・エー,モルタダ、バセム,ナビル、モハメッド,メダット、モスタファ,サダニイ、バサム・エー. Владелец: SI Ware Systems Inc. Дата публикации: 2016-02-16.

ADAPTIVE AND CONTEX-AWARENESS MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) MIRROR CONTROL

Номер патента: DE102019130645A1. Автор: Norbert Druml,Philipp GREINER,Ievgeniia MAKSYMOVA. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-05-20.

Energy harvesting microelectromechanical system (MEMS) inertial sensors and associated methods

Номер патента: DE102018128130A1. Автор: Xin Zhang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2019-05-23.

Electrostatic actuator for microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: WO2010040873A1. Автор: José Ignacio IZPURA TORRES,Javier MALO GÓMEZ,Enrique Iborra Grau. Владелец: UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID. Дата публикации: 2010-04-15.

Electrostatic actuator for microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: ES2329644A1. Автор: José Ignacio IZPURA TORRES,Javier MALO GÓMEZ,Enrique Iborra Grau. Владелец: UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID. Дата публикации: 2009-11-27.

Graphene microelectromechanical system (MEMS) resonant gas sensor

Номер патента: US11228294B2. Автор: Michael CULLINAN,Joon-Hyung CHO,David CAYLL,Ian Seth LADNER. Владелец: University of Texas System. Дата публикации: 2022-01-18.

SELF TEST OF MEMS GYROSCOPE WITH ASICS INTEGRATED CAPACITORS

Номер патента: US20130263641A1. Автор: Opris Ion,Seng Justin. Владелец: Fairchild Semiconductor Corporation. Дата публикации: 2013-10-10.

MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20160154019A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: INSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2016-06-02.

MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20160154020A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: INSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2016-06-02.

A kind of MEMS gyroscope circuit board detecting method and device

Номер патента: CN107817432A. Автор: 刘松,武东,要彦清,蔡童童,汤,汤一,齐芳艺. Владелец: Beijing Chenjing Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Micro-machined electromechanical system (mems) accelerometer device having arcuately shaped flexures

Номер патента: EP1419396A1. Автор: Mark Eskridge. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2004-05-19.

Miniaturized Integrated Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) Optical Sensor Array

Номер патента: US20140147337A1. Автор: Alaca Burhanettin Erdem,Urey Hakan,TIMURDOGAN Erman. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2014-05-29.

SILICON CARBIDE-BASED COMBINED TEMPERATURE-PRESSURE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) SENSOR CHIP AND PREPARATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20220146352A1. Автор: Wu Chen,JIANG ZHUANGDE,ZHAO LIBO,SUN Hao,Zhu Nan,WANG SONGLI,FANG Xudong,FANG Ziyan,TIAN Bian,DENG Wubin,GAO Bonan,WU Junxia. Владелец: . Дата публикации: 2022-05-12.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) THERMAL SENSOR

Номер патента: US20200103290A1. Автор: KUO Shih-Chi,Hung Tsai-Hao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2020-04-02.

MIRCO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20160131679A1. Автор: Lin Shih-Chieh,Hsu Yu-Wen,WU Chia-Yu. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2016-05-12.

ADAPTIVE AND CONTEXT-AWARE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MIRROR CONTROL

Номер патента: US20200159005A1. Автор: Greiner Philipp,Druml Norbert,MAKSYMOVA Ievgeniia. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-21.

MINIATURIZED INTEGRATED MICRO ELECTO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) OPTICAL SENSOR ARRAY FOR VISCOSITY AND MASS DETECTION

Номер патента: US20160223456A1. Автор: Urey Hakan,YARALIOGLU Goksenin. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2016-08-04.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20160370397A1. Автор: Lin Shih-Chieh,Lo Chiung-Cheng. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2016-12-22.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAY STEERED LASER TRANSMITTER AND SITUATIONAL AWARENESS SENSOR WITH WAVELEGTH CONVERSION

Номер патента: US20220350133A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-03.

A microfluidic-channel embeddable, laterally oscillating gravimetric sensor device fabricated with micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology

Номер патента: KR101369941B1. Автор: 할루크 쿨라,아타 투나 지프트릭. Владелец: 아타 투나 지프트릭. Дата публикации: 2014-03-06.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical systems (mems) mirror control

Номер патента: KR102350443B1. Автор: 노르버트 드루믈,필립 그라이너,레브제니아 막시모바. Владелец: 인피니온 테크놀로지스 아게. Дата публикации: 2022-01-14.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110187556A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick L. Covington,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-04.

Microelectromechanical systems (MEMS) devices with control circuits and methods of fabrication

Номер патента: US09359192B1. Автор: Philip H. Bowles,Vijay Sarihan,Mamur Chowdhury. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-06-07.

Microelectromechanical system (mems) on application specific integrated circuit (asic)

Номер патента: RU2602746C2. Автор: Торстен Мейер,Геральд ОФНЕР. Владелец: ИНТЕЛ АйПи КОРПОРЕЙШН. Дата публикации: 2016-11-20.

Microelectromechanical systems (mems) switching circuit and related apparatus

Номер патента: US20190371554A1. Автор: Nadim Khlat. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2019-12-05.

Microelectromechanical Systems Sensor with Frequency Dependent Input Attenuator

Номер патента: US20240217810A1. Автор: Steven Boor,Michael Jennings,Divya Kesharwani. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-07-04.

A microelectromechanical system with a micro-scale spring suspension system and methods for making the same

Номер патента: WO2015026516A1. Автор: John E. Rogers. Владелец: HARRIS CORPORATION. Дата публикации: 2015-02-26.

Microelectrochemical systems (MEMS) device having a seal layer arranged over or lining a hole in fluid communication with a cavity of the MEMS device

Номер патента: US09567204B2. Автор: Hsin-Ting HUANG,Shao-Chi Yu,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Packaging of microelectromechanical system devices

Номер патента: EP4412946A1. Автор: Jae-Wung Lee. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2024-08-14.

Method for using microelectromechanical systems to generate movement in a phacoemulsification handpiece

Номер патента: EP2544639A2. Автор: Timothy Hunter. Владелец: Abbott Medical Optics Inc. Дата публикации: 2013-01-16.

Integrated microelectromechanical system devices and methods for making the same

Номер патента: WO2015026515A1. Автор: John E. Rogers. Владелец: HARRIS CORPORATION. Дата публикации: 2015-02-26.

Edge patterns of microelectromechanical systems (mems) microphone backplate holes

Номер патента: US20220070568A1. Автор: Chia-Yu Wu,Pirmin Rombach,Chung-Hsien Lin,Dennis Mortensen,Tsung Lin Tang. Владелец: Invensense Taiwan Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Molded interconnect mircoelectromechanical system (MEMS) device package

Номер патента: US09781519B2. Автор: Kuldeep Saxena. Владелец: Akustica Inc. Дата публикации: 2017-10-03.

Method for thin film encapsulation (TFE) of a microelectromechanical system (MEMS) device and the MEMS device encapsulated thereof

Номер патента: US09505612B2. Автор: Navab Singh,Jae-Wung Lee,Jaibir Sharma. Владелец: Agency for Science Technology and Research Singapore. Дата публикации: 2016-11-29.

Stress buffer layer for integrated microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: US20150266728A1. Автор: Thorsten Meyer,Christian Mueller,Christian Geissler,Gerald Ofner,Reinhard Mahnkopf,Andreas Augustin. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2015-09-24.

Structure for microelectromechanical systems (mems) devices to control pressure at high temperature

Номер патента: US20210087055A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-25.

Blockage detection for a microelectromechanical systems sensor

Номер патента: US09924288B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Baris CAGDASER,Renata Melamud Berger,Omid Oliaei. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-03-20.

Microelectromechanical systems (MEMS) devices at different pressures

Номер патента: US09856139B2. Автор: Bruce C. S. CHOU,Hsin-Ting HUANG,Shao-Chi Yu,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Allen Timothy Chang,Wen-Chuan Tai,Chin-Min Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-01-02.

Microelectromechanical system (MEMS) on application specific integrated circuit (ASIC)

Номер патента: US09663353B2. Автор: Thorsten Meyer,Christian Geissler,Gerald Ofner,Reinhard Mahnkopf,Andreas Augustin. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2017-05-30.

Stress buffer layer for integrated microelectromechanical systems (MEMS)

Номер патента: US09550670B2. Автор: Thorsten Meyer,Christian Mueller,Christian Geissler,Gerald Ofner,Reinhard Mahnkopf,Andreas Augustin. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

Microelectromechanical systems component and method of making same

Номер патента: EP2259995A1. Автор: Daniel N. Koury, Jr.,Lianjun Liu,Melvy F. Miller. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2010-12-15.

Getter electrode to improve vacuum level in a microelectromechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US09938134B2. Автор: Jung-Huei Peng,Shiang-Chi LIN,Yu-Chia Liu,Yi-Chien Wu,Wei Siang Tan. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-04-10.

Microelectromechanical systems (MEMS) structure to prevent stiction after a wet cleaning process

Номер патента: US09676606B2. Автор: Chung-Yen Chou. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-06-13.

Microelectromechanical system resonators and related methods and apparatus

Номер патента: US09537466B1. Автор: Andrew Sparks,Jan H. Kuypers,Florian Thalmayr. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2017-01-03.

Movement microelectromechanical systems (MEMS) package

Номер патента: US09527721B2. Автор: Jui-Chun Weng,Chih-Yu Wang,Chih-Shan Chen,Wei-Ding Wu,Ji-Hong CHIANG,Hsi-Cheng Hsu,Shyh-Wei Cheng,Chuan-Yi KO,Chao-Po Lu,Chung-Hsien Hun. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-12-27.

Top port microelectromechanical systems microphone

Номер патента: US09426581B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Anthony D. Minervini. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-08-23.

Microelectromechanical system (mems) bond release structure and method of wafer transfer for three-dimensional integrated circuit (3d ic) integration

Номер патента: WO2016048649A1. Автор: Yang Du,Shiqun Gu,Yong Ju Lee,Jing Xie,Wenyue Zhang,Je-Hsiung Jeffrey Lan. Владелец: QUALCOMM INCORPORATED. Дата публикации: 2016-03-31.

Microelectromechanical systems design feature

Номер патента: US20080315400A1. Автор: Michael J. Foster. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2008-12-25.

Microelectromechanical systems (MEMS) microphone array with dedicated amplifiers

Номер патента: US09936289B2. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-04-03.

Microelectromechanical system (MEMS) bond release structure and method of wafer transfer for three-dimensional integrated circuit (3D IC) integration

Номер патента: US09922956B2. Автор: Yang Du,Shiqun Gu,Yong Ju Lee,Jing Xie,Wenyue Zhang,Je-Hsiung Jeffrey Lan. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2018-03-20.

Microelectromechanical systems devices with improved reliability

Номер патента: US09796578B2. Автор: Richard Yeh,Kuan-Lin Chen. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2017-10-24.

Polymer anchored microelectromechanical system (MEMS) cantilever and method of fabricating the same

Номер патента: US09731957B2. Автор: Rao Valipe Ramgopal,Patkar Rajul Sachin,Apte Prakash Ramchandra. Владелец: INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY BOMBAY. Дата публикации: 2017-08-15.

Microelectromechanical systems (MEMS) microphone having two back cavities separated by a tuning port

Номер патента: US09510106B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Anthony D. Minervini. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-11-29.

Method for manufacturing a microelectromechanical systems (MEMS) device with different electrical potentials and an etch stop

Номер патента: US09403673B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Yu-Chia Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-08-02.

Subterranean formation characterization using microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: CA2968953C. Автор: Clinton Cheramie Galliano,Mathew Dennis Rowe,Walter Varney Andrew Graves. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2019-12-03.

Method for manufacturing a microelectromechanical systems (MEMS) device with different electrical potentials and an etch stop

Номер патента: US9221674B1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Yu-Chia Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-12-29.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US11760626B2. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2023-09-19.

Microelectromechanical system (mems) bond release structure and method of wafer transfer for three-dimensional integrated circuit (3d ic) integration

Номер патента: EP3198634A1. Автор: Yang Du,Shiqun Gu,Yong Ju Lee,Jing Xie,Wenyue Zhang,Je-Hsiung Jeffrey Lan. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2017-08-02.

Wafer Level Hermetic Seal Process for microelectromechanical systems (MEMS) devices

Номер патента: US09975757B2. Автор: Chung-Yen Chou,Yuan-Chih Hsieh,Shih-Chang Liu,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-05-22.

Method for integrating complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) devices with microelectromechanical systems (MEMS) devices using a flat surface above a sacrificial layer

Номер патента: US09796582B1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Radio frequency (RF) microelectromechanical systems (MEMS) devices with gold-doped silicon

Номер патента: US09475692B2. Автор: Michael Carroll,Julio C. Costa,Jonathan Hale Hammond. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Microelectromechanical system (mens) device

Номер патента: EP1386347A2. Автор: Patrick C. Herbert,Jun J. Yao,Robert J. Kretschmann,Ernst H. Dummermuth,Jeffrey R. Annis,Richard D. Harris,Winfred L. Morris,Henric Larsson,Michael J. Knieser. Владелец: Rockwell Automation Technologies Inc. Дата публикации: 2004-02-04.

Microelectromechanical system assembly and method for manufacturing thereof

Номер патента: WO2007123505A2. Автор: Anthony Minervini. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2007-11-01.

Microelectromechanical system assembly and method for manufacturing thereof

Номер патента: WO2007123505A3. Автор: Anthony Minervini. Владелец: Anthony Minervini. Дата публикации: 2008-08-07.

Microelectromechanical systems (mems) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: EP4423786A1. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2024-09-04.

Dual layer microelectromechanical systems device and method of manufacturing same

Номер патента: US09617147B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Te-Hao Lee,Jiou-Kang Lee,Kai-Chih Liang,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Microelectromechanical system devices having through substrate vias and methods for the fabrication thereof

Номер патента: US09469523B2. Автор: Lianjun Liu. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-10-18.

Microelectromechanical systems (“MEMS”) device having a built-in self-test (“BIST”) and a method of application of a BIST to measure MEMS health

Номер патента: US11975963B2. Автор: John J. Albers,Jorge GRILO. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-05-07.

Microelectromechanical Systems Sensor with Stabilization Circuit

Номер патента: US20240214747A1. Автор: Mark Niederberger. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-06-27.

Microelectromechanical system device

Номер патента: US20180208457A1. Автор: Li-Tien Tseng,Chih-Liang Kuo,I-Heng Chou. Владелец: MIRAMEMS SENSING TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-26.

Method for using microelectromechanical systems to generate movement in a phacoemulsification handpiece

Номер патента: US20110218483A1. Автор: Timothy Hunter. Владелец: Abbott Medical Optics Inc. Дата публикации: 2011-09-08.

Method for manufacturing microelectromechanical system structure

Номер патента: US20190256350A1. Автор: Jr-Sheng Chen,Chih-Hsien Hsu,Chin-Han Meng,Lin-Ching Huang,Yu-Pei Chiang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-08-22.

Microelectromechanical systems electret microphone

Номер патента: US20160165355A1. Автор: Aleksey S. Khenkin,Mike Daneman. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-06-09.

Microelectromechanical systems electret microphone

Номер патента: US09736594B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Mike Daneman. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Packaging of microelectromechanical system devices

Номер патента: FI20216035A1. Автор: Jae-Wung Lee. Владелец: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY. Дата публикации: 2023-04-07.

Microelectromechanical system microphone array capsule

Номер патента: US20230188904A1. Автор: Jeremy Parker. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2023-06-15.

Microelectromechanical system (mems) device with backside pinhole release and re-seal

Номер патента: WO2021142403A1. Автор: Ting-Ta Yen,Bichoy BAHR,Benjamin Cook,Jeronimo SEGOVIA-FERNANDEZ. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2021-07-15.

Microelectromechanical systems (mems) device including a superlattice and associated methods

Номер патента: EP1896361A2. Автор: Richard A. Blanchard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2008-03-12.

Microelectromechanical System Oven-Controlled Oscillator

Номер патента: US20240186947A1. Автор: Aaron Partridge,Yushu MA,Carl Martin Arft,Sassan Tabatabaei Zavareh,Markus Rudolf Lutz,Li Ko Chiu. Владелец: Sitime Corp. Дата публикации: 2024-06-06.

Oscillator calibrated to a microelectromechanical system (mems) resonator-based oscilator

Номер патента: US20240113717A1. Автор: Bichoy BAHR,Yogesh Ramadass. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-04-04.

Microelectromechanical system oven-controlled oscillator

Номер патента: WO2024119166A2. Автор: Aaron Partridge,Yushu MA,Carl Martin Arft,Sassan Tabatabaei Zavareh,Markus Rudolf Lutz,Li Ko CHUI. Владелец: SiTime Corporation. Дата публикации: 2024-06-06.

Method and apparatus for improving performance of digital microelectromechanical systems microphones

Номер патента: US09716933B2. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-07-25.

Semiconductor device and method of forming microelectromechanical systems (MEMS) package

Номер патента: US09527723B2. Автор: KANG Chen,Yaojian Lin,Won Kyoung Choi,Ivan Micallef. Владелец: Stats Chippac Pte Ltd. Дата публикации: 2016-12-27.

Method for integrating complementary metal-oxide-semiconductor (cmos) devices with microelectromechanical systems (mems) devices using a flat surface above a sacrificial layer

Номер патента: US20200024135A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

Method for integrating complementary metal-oxide-semiconductor (cmos) devices with microelectromechanical systems (mems) devices using a flat surface above a sacrificial layer

Номер патента: US20200346925A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-11-05.

Blockage detection for a microelectromechanical systems sensor

Номер патента: WO2016069812A1. Автор: Aleksey S. Khenkin,Baris CAGDASER,Renata Melamud Berger,Omid Oliaei. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-05-06.

Microelectromechanical systems (mems) structure to prevent stiction after a wet cleaning process

Номер патента: US20170267516A1. Автор: Chung-Yen Chou. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-21.

Microelectromechanical system oven-controlled oscillator

Номер патента: WO2024119166A3. Автор: Aaron Partridge,Yushu MA,Carl Martin Arft,Sassan Tabatabaei Zavareh,Markus Rudolf Lutz,Li Ko CHUI. Владелец: SiTime Corporation. Дата публикации: 2024-07-11.

Oscillator calibrated to a microelectromechanical system (MEMS) resonator-based oscilator

Номер патента: US12095471B2. Автор: Bichoy BAHR,Yogesh Ramadass. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-09-17.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US20230331545A1. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2023-10-19.

Microelectromechanical systems (MEMS) microphone bias voltage

Номер патента: US10349170B2. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-07-09.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: US20170318385A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-11-02.

Microelectromechanical systems (mems) and related packages

Номер патента: WO2023146865A1. Автор: Li Chen,Xin Zhang,Jianglong Zhang,Michael Judy,John C. Cowles,Shafi Saiyed. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2023-08-03.

Microelectromechanical Systems Devices with Improved Reliability

Номер патента: US20160159638A1. Автор: Richard Yeh,Kuan-Lin Chen. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2016-06-09.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: US20180332390A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-11-15.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US20210323811A1. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2021-10-21.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US20220259036A1. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2022-08-18.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: EP3449645A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-03-06.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: WO2017189932A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2017-11-02.

Structure for microelectromechanical systems (mems) devices to control pressure at high temperature

Номер патента: US20230294978A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

Microelectromechanical systems (MEMS) device and an aircraft exterior light assembly including the same

Номер патента: US11965644B1. Автор: Deepak Kumar,Prashant Deshpande,Sridhar Vanka,Pranita Madke,Ritu Rai. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2024-04-23.

Microelectromechanical systems (mems) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: US20240166497A1. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2024-05-23.

Power switching system including a micro-electromechanical system (MEMS) array

Номер патента: EP2472717A3. Автор: John Kenneth Hooker,Brent Charles Kumfer,Sriram Changali,Pradeep Kumar Anand,Remesh Kumar Keeramthode. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2016-10-05.

Microelectromechanical system converter for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same

Номер патента: TW201902812A. Автор: 哈拉爾 申克,霍格 康萊德. Владелец: 弗勞恩霍夫爾協會. Дата публикации: 2019-01-16.

Microelectromechanical systems (MEMS) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: US11858807B2. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2024-01-02.

Microelectromechanical system (mens) device

Номер патента: EP1386347A4. Автор: Jun J Yao,Henric Larsson,Jeffrey R Annis,Robert J Kretschmann,Winfred L Morris,Patrick C Herbert,Ernst H Dummermuth,Richard D Harris,Michael J Knieser. Владелец: Rockwell Automation Technologies Inc. Дата публикации: 2005-05-25.

Microelectromechanical systems (mems) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: WO2023075938A1. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2023-05-04.

Micro-electro-mechanical systems (mems) microphone assembly

Номер патента: EP4140150A1. Автор: Yu Du. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2023-03-01.

Gradient micro-electro-mechanical systems (MEMS) microphone with varying height assemblies

Номер патента: US09955246B2. Автор: Marc REESE,John Baumhauer,Fengyuan LI,Spiro Iraclianos. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

Micro-electro mechanical system (MEMS) device having a blocking layer formed between closed chamber and a dielectric layer of a CMOS substrate

Номер патента: US09617150B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Micro-electro mechanical system (MEMS) structures with through substrate vias and methods of forming the same

Номер патента: US09466532B2. Автор: Chia-Hua Chu,Kuei-Sung CHANG,Te-Hao Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Systems and methods for providing getters in microelectromechanical systems

Номер патента: WO2018200666A1. Автор: Jongwoo Shin,Daesung Lee,Jeff Chunchieh Huang,Bongsang Kim,Logeeswaran VEERAYEH JAYARAMAN. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2018-11-01.

Microelectromechanical system device and method of manufacturing the microelectromechanical system device

Номер патента: US20110156830A1. Автор: Seog-Woo Hong,Chan-Wook Baik,Hwan-soo Suh. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2011-06-30.

Systems and methods for providing getters in microelectromechanical systems

Номер патента: US11945713B2. Автор: Jongwoo Shin,Daesung Lee,Logeeswaran Veerayah Jayaraman,Jeff Chunchieh Huang,Bongsang Kim. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2024-04-02.

Micro-electro mechanical system (MEMS) device having a blocking layer formed between closed chamber and a dielectric layer of a CMOS substrate

Номер патента: US09487391B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

Gradient micro-electro-mechanical systems (MEMS) microphone with varying height assemblies

Номер патента: US10827245B2. Автор: Marc REESE,John Baumhauer,Fengyuan LI,Spiro Iraclianos. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2020-11-03.

Capless semiconductor package with a micro-electromechanical system (MEMS)

Номер патента: US11897763B2. Автор: Jefferson Sismundo TALLEDO. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2024-02-13.

Microelectromechanical system device and method of manufacturing the microelectromechanical system device

Номер патента: EP2341030A3. Автор: Seog-Woo Hong,Chan-Wook Baik,Hwan-soo Suh. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2013-07-17.

Capless semiconductor package with a micro-electromechanical system (mems)

Номер патента: US20240124300A1. Автор: Jefferson Sismundo TALLEDO. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2024-04-18.

Micro Electro Mechanical System (MEMS) on Application Specific Integrated Circuit (ASIC)

Номер патента: DE112013003153T5. Автор: Thorsten Meyer,Gerald Ofner. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2015-05-13.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: CA2827763C. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2016-06-21.

Electrodes for microelectromechanical system microphones

Номер патента: WO2024112406A1. Автор: Joseph Seeger,Dennis Mortensen. Владелец: TDK Electronics AG. Дата публикации: 2024-05-30.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) package having hydrophobic layer

Номер патента: US20060076666A1. Автор: Suk Hong,Yeong Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2006-04-13.

Micro-electromechanical system (mems) including tantalum as a structural material

Номер патента: US20230271822A1. Автор: Maarten P. de Boer,Longchang Ni,Ryan M. Pocratsky. Владелец: CARNEGIE MELLON UNIVERSITY. Дата публикации: 2023-08-31.

Microelectromechanical system resonator assembly

Номер патента: WO2021209682A2. Автор: Aarne Oja,Antti Jaakkola,Ville SAARELA. Владелец: KYOCERA Tikitin Oy. Дата публикации: 2021-10-21.

Microelectromechanical Systems Die

Номер патента: US20240217807A1. Автор: Shubham Shubham,Yunfei Ma,Ann George. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-07-04.

Microelectromechanical system resonator assembly

Номер патента: FI131117B1. Автор: Aarne Oja,Antti Jaakkola,Ville SAARELA. Владелец: Kyocera Tech Oy. Дата публикации: 2024-10-10.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structure and design structures

Номер патента: US09496110B2. Автор: Anthony K. Stamper,Kimball M. Watson,Jenifer E. Lary,Ward A. Johnson,Pui L. Yee. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2016-11-15.

Suspended microelectromechanical system (MEMS) devices

Номер патента: US10843920B2. Автор: Kotlanka Rama Krishna,Paul Lambkin,Michael John Flynn,Lynn Khine,Seamus Paul Whiston. Владелец: Analog Devices International ULC. Дата публикации: 2020-11-24.

Leadframe-based premolded package having acoustic air channel for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: EP2519970A2. Автор: James R. Huckabee,Ray H. Purdom. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2012-11-07.

Leadframe-based premolded package having acoustic air channel for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: WO2011082214A3. Автор: James R. Huckabee,Ray H. Purdom. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2011-11-10.

Semiconductor device comprising different types of microelectromechanical systems devices

Номер патента: US11851323B2. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Fixed-fixed membrane for microelectromechanical system microphone

Номер патента: US20240089668A1. Автор: Sushil Bharatan,Joseph Seeger,Andrew Randles,Michael John Foster. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2024-03-14.

Semiconductor device comprising different types of microelectromechanical systems devices

Номер патента: US20230406695A1. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.

Piezoelectric anti-stiction structure for microelectromechanical systems

Номер патента: US11834325B2. Автор: Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-05.

Semiconductor Device and Method of Forming Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20200399117A1. Автор: KANG Chen,Yaojian Lin,Won Kyoung Choi,Ivan Micallef. Владелец: Stats Chippac Pte Ltd. Дата публикации: 2020-12-24.

Microelectromechanical systems device having a mechanically robust anti-stiction/outgassing structure

Номер патента: US20230382712A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Fei-Lung Lai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

Microelectromechanical systems device having improved signal distortion

Номер патента: US20230015144A1. Автор: Ting-Jung Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-01-19.

Fixed-fixed membrane for microelectromechanical system microphone

Номер патента: WO2024058783A1. Автор: Sushil Bharatan,Joseph Seeger,Andrew Randles,Michael John Foster. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2024-03-21.

Piezoelectric micro-electromechanical system (mems)

Номер патента: US20170301853A1. Автор: Rakesh Kumar,Jia Jie Xia,Zouhair Sbiaa,Minu Prabhachandran NAIR,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka. Владелец: GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE LTD. Дата публикации: 2017-10-19.

Cantilevered piezoelectric microelectromechanical systems microphone

Номер патента: US20230012046A1. Автор: You Qian,Rakesh Kumar,Guofeng Chen. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2023-01-12.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20140332913A1. Автор: Anthony K. Stamper. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2014-11-13.

Piezoelectric anti-stiction structure for microelectromechanical systems

Номер патента: US20230373780A1. Автор: Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Piezoelectric anti-stiction structure for microelectromechanical systems

Номер патента: US20210061641A1. Автор: Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

A semiconductor device having microelectromechanical systems devices with improved cavity pressure uniformity

Номер патента: US20210060610A1. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Li-Chun Peng,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Microelectromechanical system (mems) microphone and fabrication method thereof

Номер патента: US20230406692A1. Автор: Weng-Yi Chen,Jung-Hao CHANG. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2023-12-21.

Microelectromechanical systems device having a mechanically robust anti-stiction/outgassing structure

Номер патента: US11814283B2. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Fei-Lung Lai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-14.

Electrodes for microelectromechanical system microphones

Номер патента: US20240171917A1. Автор: Joseph Seeger,Dennis Mortensen. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2024-05-23.

Microelectromechanical systems device having a mechanically robust anti-stiction/outgassing structure

Номер патента: US20210024348A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Fei-Lung Lai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-01-28.

Circuit topology for protecting vulnerable micro electro-mechanical system (MEMS) and electronic relay devices

Номер патента: US20020089804A1. Автор: Ramon Chea. Владелец: Turnstone Systems Inc. Дата публикации: 2002-07-11.

A micro-electromechanical system (mems) device

Номер патента: SG185230A1. Автор: COLLET Joël,Boillot Francois-Xavier,Renard Stéphane,Filipe Antoine. Владелец: Tronics Microsystems S A. Дата публикации: 2012-11-29.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) circuit and method for reconstructing a disturbance variable

Номер патента: DE102017101497B4. Автор: Andreas Wiesbauer,Niccolo de Milleri,Dietmar Sträussnigg. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-08-27.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE and fabrication method thereof

Номер патента: US20230382713A1. Автор: Wai Mun Chong,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Rohit Pulikkal Kizhakkeyil,Hup Fong Tan. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-11-30.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US9580298B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-02-28.

Micro-electromechanical systems (mems) device with outgas layer

Номер патента: US20230399226A1. Автор: Jung-Kuo Tu,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Ching-Kai Shen,Fan Hu,Li-Chun Peng,Hung-Wei Liang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Micro-electro-mechanical system (mems) devices and fabrication methods thereof

Номер патента: US20230294980A1. Автор: Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Sock Kuan Soo,Muniandy Shunmugam. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Micro-electrical-mechanical system (mems) microphone

Номер патента: US20150315013A1. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2015-11-05.

Method for forming micro-electro-mechanical system (mems) structure

Номер патента: US20190315620A1. Автор: Kai-Fung Chang,Len-Yi Leu,Lien-Yao TSAI. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-10-17.

Micro electrical mechanical system (mems) valve

Номер патента: US20190219193A1. Автор: Jonathan Fry,Yongchun Xin,Daniel Piper,Jang Sim. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2019-07-18.

Micro-electrical-mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: US09955268B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-24.

Micro electro mechanical system (MEMS) device having via extending through plug

Номер патента: US09771256B2. Автор: Chia-Shiung Tsai,Chung-Yen Chou,Ru-Liang Lee,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-26.

Method for forming a micro-electro mechanical system (MEMS) including bonding a MEMS substrate to a CMOS substrate via a blocking layer

Номер патента: US10486964B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-11-26.

Micro-electro-mechanical systems (mems) terminal structure of board-to-board electrical connector and manufacturing method thereof

Номер патента: US20180309216A1. Автор: Ta-Teh Meng,Cheng-Feng Yu,Kuo-Ching Lee. Владелец: Advanced Connectek Inc. Дата публикации: 2018-10-25.

Filter plate pack for a filter press, comprising a microelectromechanical system

Номер патента: DE202021101891U1. Автор: . Владелец: Jz Engineering GmbH. Дата публикации: 2021-04-20.

Electromechanical microswitch for switching an electrical signal, microelectromechanical system, integrated circuit, and method for producing an integrated circuit

Номер патента: WO2011069988A2. Автор: Bernd Tillack,Karl-Ernst Ehwald,Mario Birkholz,René SCHOLZ,Mehmet Kaynak. Владелец: Ihp Gmbh - Innovations For High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut Für Innovative Mikroelektronik. Дата публикации: 2011-06-16.

Micro electro-mechanical system (MEMS) based hydraulic control system for full hybrid vehicles

Номер патента: US09358867B2. Автор: Farzad Samie,Chunhao J. Lee,Kumaraswamy V. Hebbale,Andrew L. Bartos,Dongxu Li,Chi-Kuan Kao,Kevin B. Rober. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2016-06-07.

Method for forming micro-electro-mechanical system (mems) device structure

Номер патента: US20180148324A1. Автор: Jr-Sheng Chen,Chen-Huang HUANG,Chia-Chi Chung,Wen-Chih Chen,zhi-sheng Xu,Kuo-Chin Liu,Chih-Hsien Hsu,Chin-Han Meng,Lin-Ching Huang,Yu-Pei Chiang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-05-31.

Balancing a microelectromechanical system

Номер патента: US20120306030A1. Автор: Pavel Kornilovich,Vladek Kasperchik,James William Stasiak. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2012-12-06.

Electrical component for a microelectromechanical systems device

Номер патента: WO2022243666A1. Автор: Andrew VELLA. Владелец: XAAR TECHNOLOGY LIMITED. Дата публикации: 2022-11-24.

Microelectromechanical system and a method of manufacturing a microelectromechanical system

Номер патента: US09856134B2. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2018-01-02.

Microelectromechanical systems device package and method for producing the microelectromechanical systems device package

Номер патента: US09479138B2. Автор: Gilles Moulard. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2016-10-25.

Method of manufacturing crystals of microelectromechanical systems

Номер патента: RU2625248C1. Автор: Валерий Евгеньевич Пауткин,Александр Евгеньевич Мишанин,Ильяс Рашитович Вергазов. Владелец: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2017-07-12.

Acoustic resistance improvement in piezoelectric microelectromechanical system microphone using compliant joint

Номер патента: US20230188896A1. Автор: Siarhei Dmitrievich Barsukou. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2023-06-15.

Microelectromechanical system

Номер патента: US11750973B2. Автор: Anup Patel,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.

Microelectromechanical system

Номер патента: US20220256284A1. Автор: Anup Patel,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-11.

Method of manufacturing inverted organic solar microarray for applications in microelectromechanical systems

Номер патента: US09425397B2. Автор: Jason Erik Lewis,Xiaomei Jiang. Владелец: UNIVERSITY OF SOUTH FLORIDA. Дата публикации: 2016-08-23.

Method for controlling a microelectromechanical system

Номер патента: US20240262680A1. Автор: Gilles Bourbon,Patrice Le Moal,Marc Sworowski,Cédric VUILLEMIN,Haythem AMEUR. Владелец: Silmach SA. Дата публикации: 2024-08-08.

Microelectromechanical systems package structure

Номер патента: US20180213312A1. Автор: Hsu-Liang Hsiao,Lu-Ming Lai,Ching-Han Huang,Yu-Hsuan Tsai,Pu Shan Huang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2018-07-26.

Microelectromechanical systems package structure

Номер патента: US10841679B2. Автор: Hsu-Liang Hsiao,Lu-Ming Lai,Ching-Han Huang,Yu-Hsuan Tsai,Pu Shan Huang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2020-11-17.

A microelectromechanical system and method

Номер патента: WO2014141258A1. Автор: Shay Kaplan,Yuval Cohen. Владелец: AUDIO PIXELS LTD.. Дата публикации: 2014-09-18.

Microelectromechanical system and method

Номер патента: US20140264646A1. Автор: Shay Kaplan,Yuval Cohen. Владелец: Audio Pixels Ltd. Дата публикации: 2014-09-18.

Piezoelectric microelectromechanical system microphone with optimized output capacitance

Номер патента: US12101601B2. Автор: You Qian,Rakesh Kumar,Guofeng Chen,Michael Jon Wurtz,Humberto CAMPANELLA-PINEDA. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-09-24.

Microelectromechanical system and fabricating process having decoupling structure that includes attaching element for fastening to carrier

Номер патента: US09731958B2. Автор: Bernard Chaumet,Bertrand Leverrier,Fabien Filhol,Regis Quer,Pierre-Olivier Lefort. Владелец: Thales SA. Дата публикации: 2017-08-15.

Microelectromechanical system microphone

Номер патента: US09668064B2. Автор: Yuan-Sheng Lin,Kuan-Yu Wang,Yan-Da Chen,Chang-Sheng Hsu,Wei-Hua Fang. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2017-05-30.

Extension structures in piezoelectric microelectromechanical system microphones

Номер патента: US11979712B2. Автор: You Qian,Rakesh Kumar,Guofeng Chen. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-05-07.

Microelectromechanical System

Номер патента: US20190215587A1. Автор: Wolfgang Klein. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2019-07-11.

Piezoelectric microelectromechanical system microphone

Номер патента: US20240098426A1. Автор: Siarhei Dmitrievich Barsukou. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-03-21.

Microelectromechanical system

Номер патента: US20090141913A1. Автор: Heinrich Heiss,Michael Mauer. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2009-06-04.

Dual membrane piezoelectric microelectromechanical system microphone

Номер патента: GB2621512A. Автор: Dmitrievich Barsukou Siarhei. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-02-14.

Dual membrane piezoelectric microelectromechanical system microphone

Номер патента: GB2608236A. Автор: Dmitrievich Barsukou Siarhei. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2022-12-28.

Microelectromechanical system and process of making it

Номер патента: US20220306455A1. Автор: Colin Robert Jenkins,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-29.

Microelectromechanical systems device

Номер патента: US20220408196A1. Автор: Hideo Yamada,Tetsuya Enomoto,Takahide Usui,Yuki Ohara,Hiroyuki KUCHIJI,Tomoya JOKE,Shuji KATAKAMI,Naoki Masumoto. Владелец: Mirise Technologies Corp. Дата публикации: 2022-12-22.

Microelectromechanical system

Номер патента: US20220363533A1. Автор: Scott Lyall Cargill. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-17.

Circuit for electrostatically driving a plant such as a comb-drive microelectromechanical system (mems) mirror and related subsystem, system, and method

Номер патента: WO2008082404A1. Автор: Michael P. Weir,Thomas W. Montague,Gregory T. Gibson,Robert J. Dunki-Jacobs,Wyatt O. Davis. Владелец: MICROVISION, INC.. Дата публикации: 2008-07-10.

Waveguide tunable bragg grating using compliant microelectromechanical system (MEMS) technology

Номер патента: US20020003925A1. Автор: John Bailey,Michael Little. Владелец: Solus Micro Technologies Inc. Дата публикации: 2002-01-10.

Waveguide tunable bragg grating using compliant microelectromechanical system (mems) technology

Номер патента: WO2001088582A1. Автор: Michael J. Little,John Terry 19 Mustang Lane BAILEY. Владелец: Solus Micro Technologies, Inc.. Дата публикации: 2001-11-22.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) and related actuator bumps, method of manufacture and design structures

Номер патента: CN103917481A. Автор: C.V.杰恩斯,A.K.斯坦珀. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2014-07-09.

Optical true time delay (ttd) device using micro-electrical-mechanical system (mems) micromirror arrays (mmas) that exhibit tip/tilt/piston (ttp) actuation

Номер патента: US20220059933A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-02-24.

Microelectromechanical system (MEMS) optical switch and method of manufacturing the same

Номер патента: JP2003519821A. Автор: ジェイムズ ジー． コウィラード. Владелец: コーニング・インコーポレーテッド. Дата публикации: 2003-06-24.

Micro Electromechanical System (MEMS) Spatial Light Modulator Pixel Driver Circuits

Номер патента: US20120169692A1. Автор: Ion E. Opris. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-07-05.

3-D printing cards leveraging an extended reality (XR) environment and micro electromechanical systems (MEMS) technology

Номер патента: US12026570B1. Автор: Sandeep Kumar Chauhan,Shailendra Singh,Sheetal Bhatia. Владелец: Bank of America Corp. Дата публикации: 2024-07-02.

Microelectromechanical systems (mems) and methods

Номер патента: EP3292078A1. Автор: Yinong Liu,John Bumgarner,Jarek Antoszewski,John Marcel Dell,Lorenzo Faraone,Mariusz Martyniuk,Dilusha Silva,Dhirendra TRIPATHI,Kirsten BROOKSHIRE,Mao HAIFENG. Владелец: University of Western Australia. Дата публикации: 2018-03-14.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) capacitive ohmic switch and design structures

Номер патента: CN103186693A. Автор: 丁汉屹,刘奇志,A·K·斯坦珀. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-07-03.

Coherent optical beam combination using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas) that exhibit tip/tilt/piston (ttp) actuation

Номер патента: US20220094128A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-03-24.

HEAT DISSIPATION SYSTEM WITH MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) FOR COOLING ELECTRONIC OR PHOTONIC COMPONENTS

Номер патента: US20210329810A1. Автор: Goergen Joel Richard. Владелец: CISCO TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2021-10-21.

System and method for healing a wound using a microelectromechanical system (MEMS)

Номер патента: JP5599803B2. Автор: ケルヒ，ランドール，ピー．. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2014-10-01.

Binocular display light engine with single microelectromechanical system (MEMS) mirror and multiple light transmitters

Номер патента: US11796820B1. Автор: Boris KIRILLOV. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-10-24.

Bewegungssteuerung von Beleuchtungsvorrichtungskomponenten durch mikroelektromechanische Systeme (MEMS)

Номер патента: AT17476U1. Автор: . Владелец: Zumtobel Lighting GmbH. Дата публикации: 2022-05-15.

Verkehrsdatenerfassung durch mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS)

Номер патента: EP1103939A3. Автор: Ulrich Dr. Fastenrath. Владелец: DDG Gesellschaft fuer Verkehrsdaten mbH. Дата публикации: 2002-01-23.

Verkehrsdatenerfassung durch mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS)

Номер патента: DE19957833A1. Автор: Ulrich Fastenrath. Владелец: DDG Gesellschaft fuer Verkehrsdaten mbH. Дата публикации: 2001-06-13.

SYSTEM AND METHOD FOR USING MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) FOR HEALING RAS

Номер патента: RU2011107114A. Автор: Рэндалл Пол КЕЛЧ,Рэндалл Пол КЕЛЧ (US). Владелец: КейСиАй Лайсензинг, Инк. (US). Дата публикации: 2012-11-10.

SIGNAL PROCESSING METHOD OF MULTIPLE MIRCO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICES AND COMBO MEMS DEVICE APPLYING THE METHOD

Номер патента: US20150355523A1. Автор: Hsu Yu-Wen,WU Chia-Yu,Lo Ying-Che,Liao Lu-Po. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2015-12-10.

Optical zoom system using an adjustable reflective fresnel lens implemented with a micro-electro-mechanical system (MEMs) micro-mirror array (MMA)

Номер патента: US11921284B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Eric Rogala. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-03-05.

Methods and apparatus for micro-electro-mechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20240067519A1. Автор: Sean C. O'Brien,Jose A. Martinez,John Wesley Hamlin,Kathleen Rose Ferreira. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

Active pushbroom imaging system using a micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA)

Номер патента: US11815676B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2023-11-14.

DIELECTRIC MICROSTRUCTURE FOR USE IN MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICES AND METHOD OF FORMING SAME

Номер патента: US20140016171A1. Автор: Hornbeck Larry J.. Владелец: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED. Дата публикации: 2014-01-16.

DEEP LEARNING SOFTWARE ENHANCED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) BASED INERTIAL MEASUREMENT UNIT (IMU)

Номер патента: US20190135616A1. Автор: Chodavarapu Vamsy,Aggarwal Priyanka. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-09.

Microelectromechanical systems (MEMS) and methods

Номер патента: US20180162724A1. Автор: LIU Yinong,Dell John Marcel,Martyniuk Mariusz,Faraone Lorenzo,Bumgarner John,Silva Dilusha,TRIPATHI Dhirendra,ANTOSZEWSKI Jarek,BROOKSHIRE Kirsten,HAIFENG Mao. Владелец: The University of Western Australia. Дата публикации: 2018-06-14.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE AND METHOD OF FORMATION

Номер патента: US20190204586A1. Автор: Martinez Jose A.. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-04.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) SCANNER HAVING A TORSIONAL BEAM FLEXURE WITH VARIABLE WIDTH

Номер патента: US20210356733A1. Автор: DAVIS Wyatt Owen,BARAN Utku,ONG Xiao Chuan. Владелец: . Дата публикации: 2021-11-18.

SPATIAL LIGHT MODULATOR FOR ACTUATING MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STRUCTURES

Номер патента: US20160377858A1. Автор: Hester C. Anthony,Hester Charles F.. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-29.

Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US6794119B2. Автор: Mark W. Miles. Владелец: Iridigm Display Corp. Дата публикации: 2004-09-21.

A method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems mems device

Номер патента: KR100947813B1. Автор: 마일즈마크더블유. Владелец: 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스 인크.. Дата публикации: 2010-03-15.

Microelectromechanical system (MEMS) display device and method of addressing such a device

Номер патента: EP1630780A2. Автор: Marc Mignard. Владелец: IDC LLC. Дата публикации: 2006-03-01.

Microelectromechanical system (MEMS) structure and method of formation

Номер патента: US10928624B2. Автор: Jose A. Martinez. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2021-02-23.

STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: DE102012221818B4. Автор: Anthony K. Stamper,Brain M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2016-07-21.

Structure and method for microelectromechanical system (MEMS) devices integrated with other semiconductor structures

Номер патента: US20030015768A1. Автор: John Holmes,Rudy Emrick,Nestor Escalera,Bruce Bosco,Steven Franson,Stephen Rockwell. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2003-01-23.

Waveguide tunable bragg grating using compliant microelectromechanical system (mems) technology

Номер патента: AU2001277841A1. Автор: Michael J. Little,John Terry Bailey. Владелец: Solus Micro Technologies Inc. Дата публикации: 2001-11-26.

MEMS gyroscope parameter identification driving control method based on parallel estimation

Номер патента: CN110389529B. Автор: 许斌,张睿,魏琦. Владелец: Northwestern Polytechnical University. Дата публикации: 2022-04-01.

MEMS gyroscope parameter identification drive control method based on data screening

Номер патента: CN110389530A. Автор: 许斌,张睿,寿莹鑫. Владелец: Northwest University of Technology. Дата публикации: 2019-10-29.

MEMS gyroscope quick start method based on Hybrid Learning

Номер патента: CN107861384A. Автор: 刘洋,吴枫,刘瑞鑫,林建华,许斌,张睿,刘美霞,应俊,张安龙,成宇翔,赵万良,谷丛,邵添羿,慕容欣. Владелец: Shenzhen Institute of Northwestern Polytechnical University. Дата публикации: 2018-03-30.

Intelligent antitheft alarm detection method and device based on MEMS gyroscope

Номер патента: CN106408824A. Автор: 张柏林. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-02-15.

Verkehrsdatenerfassung durch mikro-elektro- mechanische systeme (mems)

Номер патента: ATE291263T1. Автор: Ulrich Dr Fastenrath. Владелец: Ddg Ges Fuer Verkehrsdaten Mbh. Дата публикации: 2005-04-15.

Verkehrsdatenerfassung durch mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS)

Номер патента: EP1103939B1. Автор: Ulrich Dr. Fastenrath. Владелец: DDG Gesellschaft fuer Verkehrsdaten mbH. Дата публикации: 2005-03-16.

Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US20120319527A1. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2012-12-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20130154033A1. Автор: Stamper Anthony K.,CZABAJ Brian M.,DeMUYNCK David A.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-20.

Micro-electro-mechanical system (mems) capacitive ohmic switch and design structures

Номер патента: US20130168783A1. Автор: Anthony K. Stamper,Hanyi Ding,Qizhi Liu. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-07-04.

MULTIPLE TARGET TRACKER AND MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAY FOR DESIGNATION, RANGE FINDING, AND ACTIVE IMAGING

Номер патента: US20200013181A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Becker John R.. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-09.

MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) CARRIER

Номер патента: US20150029606A1. Автор: Wu Ming-Ching,LIN SU-JHEN. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-29.

PIXEL FOR REALIZING A FULL-COLOR DISPLAY, MICRO- ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) INCLUDING THE SAME AND FABRICATION METHODS THEREOF, AND METHOD TO REALIZE FULL-COLOR DISPLAY WITH SINGLE PIXEL

Номер патента: US20170031184A1. Автор: LO Cheng-Yao,Hung Chien-Wei,CHEN Yi-Chu. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

OPTICAL TRUE TIME DELAY (TTD) DEVICE USING MICRO-ELECTRICAL-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROMIRROR ARRAYS (MMAS) THAT EXHIBIT TIP/TILT/PISTON (TTP) ACTUATION

Номер патента: US20220059933A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20150054100A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-26.

Active pushbroom imaging system using a micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror array (mma)

Номер патента: US20220082816A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-03-17.

COHERENT OPTICAL BEAM COMBINATION USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS (MMAS) THAT EXHIBIT TIP/TILT/PISTON (TTP) ACTUATION

Номер патента: US20220094128A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-24.

OPTICAL DATA COMMUNICATION USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS

Номер патента: US20210088776A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-25.

OPTICAL NON-UNIFORMITY CORRECTION (NUC) FOR ACTIVE MODE IMAGING SENSORS USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS (MMAs)

Номер патента: US20210092260A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-25.

MICROELECTROMECHICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE AND METHOD OF FORMATION

Номер патента: US20210141215A1. Автор: Martinez Jose A.. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-13.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20190115179A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-18.

ULTRA-BROADBAND SILICON WAVEGUIDE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) PHOTONIC SWITCH

Номер патента: US20220269007A1. Автор: Sun Yi,Dai Daoxin. Владелец: Zhejiang University. Дата публикации: 2022-08-25.

ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING HOLDING STRUCTURE FOR MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROPHONE THAT REDUCES SOUND NOISE DUE TO PHOTOELECTRIC EFFECT

Номер патента: US20190127216A1. Автор: Tagaya Akira. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20170133185A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) CAPACITIVE OHMIC SWITCH AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140231236A1. Автор: Liu Qizhi,Stamper Anthony K.,DING Hanyi. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-08-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140231936A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-08-21.

OPTICAL ZOOM SYSTEM USING AN ADJUSTABLE REFLECTIVE FRESNEL LENS IMPLEMENTED WITH A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAY (MMA)

Номер патента: US20220299756A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Rogala Eric. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-22.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20180179052A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-28.

Micro-Electromechanical System (MEMS) Devices and Methods for Packaging the Same

Номер патента: US20160187643A1. Автор: Booth James Ronald,Klement Martin C.,Cannon Roger Steven. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-30.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20180201502A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20180201503A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140308771A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-10-16.

MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) CARRIER

Номер патента: US20160252703A1. Автор: Wu Ming-Ching,LIN SU-JHEN. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160257555A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-08.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140368292A1. Автор: Stamper Anthony K.,WATSON Kimball M.,Johnson Ward A.,Lary Jenifer E.,Yee Pui L.. Владелец: . Дата публикации: 2014-12-18.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ACTUATOR THAT ROTATES DISCRETE OPTICAL ELEMENTS

Номер патента: US20180329147A1. Автор: Lee Ho-Shang,Schleicher Robert E.,Lee Jeffrey B.,Hsia Rong Ping. Владелец: DICON FIBEROPTICS, INC.. Дата публикации: 2018-11-15.

Corrugated package for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: WO2017178464A1. Автор: Kuldeep Saxena. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-10-19.

Corrugated package for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: EP3442900A1. Автор: Kuldeep Saxena. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2019-02-20.

Hermetic encapsulation for microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20170022050A1. Автор: Feras Eid,Sasha N. OSTER,Weng Hong Teh,Sarah K. Haney. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-01-26.

Method for fabricating an isolated microelectromechanical system (MEMS) device using an internal void

Номер патента: US20060096947A1. Автор: Richard Harris,Robert Kretschmann,Mark Lucak,Michael Knieser. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-05-11.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SWITCH SWITCH AND SWITCH SWITCH CONTAINING RF MEMS SWITCHES

Номер патента: RU2013147496A. Автор: Кристоф ПАВАГО. Владелец: Дельфмемс. Дата публикации: 2015-05-10.

Microelectromechanical system (mems) comprising microphone and low power circuitry with detection of audio signal

Номер патента: WO2017194580A1. Автор: Matthew Zeleznik,Axel Kaschner. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-11-16.

Device and method for active circuit package microelectromechanical system (MEMS) device anti-stiction

Номер патента: CN110482485B. Автор: 陈立,杨光隆,T·K·努南. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2023-05-23.

Method of manufacturing a microelectromechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US12043537B2. Автор: Shih-Wei Lin,Chang-Ming Wu,Ting-Jung Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Forming an offset in an interdigitated capacitor of a microelectromechanical systems (mems) device

Номер патента: US20190031499A1. Автор: Uwe Rudolph,Sebastian Pregl. Владелец: Infineon Technologies Dresden GmbH and Co KG. Дата публикации: 2019-01-31.

Power switching system including a micro-electromechanical system (MEMS) array

Номер патента: CN102594222A. Автор: J·K·胡克,B·C·孔菲尔,R·K·基拉姆索德,P·K·阿南德,S·钱加利. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2012-07-18.

MEMS devices and methods of assembling micro electromechanical systems (MEMS)

Номер патента: EP2181961A3. Автор: Galen Magendanz,Mark Eskridge. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2013-05-15.

Microelectromechanical system (MEMS) device and fabrication method thereof

Номер патента: CN103663345A. Автор: 刘志成,李建兴,谢聪敏. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-26.

Micro-electro-mechanical systems (mems) package and method for forming the mems package

Номер патента: CN101665230B. Автор: 李建兴,谢聪敏,林智翔. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-21.

Micro electro mechanical system (MEMS) device and manufacture method of MEMS device

Номер патента: CN102616727B. Автор: 黄河,陈晓军,吴秉寰. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2015-04-29.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments.

Номер патента: MX345470B. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2017-02-01.

Micro-electro-mechanical system (mems) capacitors, inductors, and related systems and methods

Номер патента: WO2006063257A3. Автор: Arthur S Morris,Shawn J Cunningham. Владелец: Shawn J Cunningham. Дата публикации: 2008-04-17.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Sensor and Method for Making Same

Номер патента: US20110183455A1. Автор: Chuan Wei WANG. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2011-07-28.

Micro-electromechanical system (mems) structure and mems microphone comprising same

Номер патента: EP4418688A1. Автор: WEI Hu,Genlan RONG,Kai Sun,Yanzi MENG. Владелец: Memsensing Microsystems Suzhou China Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-21.

Raised shoulder micro electro mechanical system (mems) microphone

Номер патента: WO2016191453A1. Автор: Sandra F. Vos,Eric J. Lautenschlager. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2016-12-01.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROPHONE WITH PROTECTION FILM AND MEMS MICROPHONECHIPS AT WAFER LEVEL

Номер патента: US20150118780A1. Автор: Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2015-04-30.

METHOD FOR THIN FILM ENCAPSULATION (TFE) OF A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE AND THE MEMS DEVICE ENCAPSULATED THEREOF

Номер патента: US20150175408A1. Автор: SINGH Navab,Lee Jae-Wung,Sharma Jaibir. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-25.

Mechanical stress decoupling of micro-electromechanical system (MEMS) elements with gel filling

Номер патента: CN111646424A. Автор: R·迈耶,B·温克勒,F·布兰德尔,D·迈因霍尔德,R·格林贝格尔,W·朗海因里希,S·卢贝. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-09-11.

Integrated micro-mechano electric system (MEMS) sensor device

Номер патента: CN101905853A. Автор: L·维萨纳瓦萨姆. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-12-08.

Forming an offset in an interdigitated capacitor of a microelectromechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US10843915B2. Автор: Uwe Rudolph,Sebastian Pregl. Владелец: Infineon Dresdon & Co KG GmbH. Дата публикации: 2020-11-24.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) chip

Номер патента: US9206032B1. Автор: Chiung-C. Lo,Yu-Fu Kang. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2015-12-08.

Forming an offset in an interdigitated capacitor of a microelectromechanical systems (mems) device

Номер патента: US20190233276A1. Автор: Uwe Rudolph,Sebastian Pregl. Владелец: Infineon Dresden & Co KG GmbH. Дата публикации: 2019-08-01.

A method for forming a capped micro-electro-mechanical system (mems) device

Номер патента: CN102344112A. Автор: 利萨·H·卡林,维拉·M·贡图鲁,希夫查兰·V·卡玛拉朱. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2012-02-08.

Micro-electro mechanical systems (MEMS) device using silicon on insulator (SOI) wafer, and method of fabricating and grounding the same

Номер патента: US20040099909A1. Автор: Ki Kim,Kyu Park. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2004-05-27.

Electrostatic Discharge Protection Circuit Employing a Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) Structure

Номер патента: US20090296292A1. Автор: Choshu Ito,William Loh,Tze Wee Chen. Владелец: LSI Corp. Дата публикации: 2009-12-03.

Wafer level chip scale packaged micro-electro-mechanical-system (MEMS) device and methods of producing thereof

Номер патента: US09682854B2. Автор: Piu Francis Man,Anru Andrew Cheng. Владелец: Memsic Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS) and corresponding manufacturing process

Номер патента: US09642244B2. Автор: Fulvio Vittorio Fontana. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2017-05-02.

Microelectromechanical systems (MEMS) device including a superlattice and associated methods

Номер патента: AU2006252590A8. Автор: Richard A. Blanchard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2008-04-03.

Microelectromechanical systems (MEMS) device including a superlattice

Номер патента: TW200707650A. Автор: Richard A Blanchard. Владелец: Mears R J Llc. Дата публикации: 2007-02-16.

Microelectromechanical systems (MEMS) device including a superlattice and associated methods

Номер патента: AU2006252590A1. Автор: Richard A. Blanchard. Владелец: RJ Mears LLC. Дата публикации: 2006-12-07.

Microelectromechanical systems (mems) device including a superlattice

Номер патента: TWI306646B. Автор: A Blanchard Richard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2009-02-21.

Method for making a microelectromechanical systems (mems) device including a superlattice

Номер патента: TWI306666B. Автор: A Blanchard Richard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2009-02-21.

Microelectromechanical system (mems) bond release structure and method of wafer transfer for three-dimensional integrated circuit (3d ic) integration

Номер патента: SG11201700918RA. Автор: Yang Du,Shiqun Gu,Yong Ju Lee,Jing Xie,Wenyue Zhang,Je-Hsiung Jeffrey Lan. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2017-04-27.

Microelectromechanical systems (mems) actuator with magnetic latching and methods for manufacturing and using the same

Номер патента: US20240351860A1. Автор: William A. Boettcher,Klaus R. Zietlow,Jeffrey A. Holden. Владелец: Atomic Machines Inc. Дата публикации: 2024-10-24.

Hybrid current for the encapsulation of micro-electromechanical system (MEMS) sensor component connects system

Номер патента: CN109661367A. Автор: M.Va.苏万托. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2019-04-19.

Method and device for passivating anodic bonding regions, which are arranged over electrically active structures of microelectromechanical systems (Microelectromechnical System: MEMS)

Номер патента: DE10129821A1. Автор: Roy Knechtel,Karlheinz Freywald. Владелец: X Fab Semiconductor Foundries GmbH. Дата публикации: 2003-01-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE MEMS

Номер патента: US20180115836A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2018-04-26.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE MEMS

Номер патента: US20190124452A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2019-04-25.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (MEMS) and MEMS based devices

Номер патента: US20040266048A1. Автор: William Platt,Carol Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2004-12-30.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS) device and method for fabricating the MEMS

Номер патента: US10798493B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-06.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (mems) and mems based devices

Номер патента: AU2003223194A1. Автор: William P. Platt,Carol M. Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-09-09.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (mems) and mems based devices

Номер патента: AU2003223194A8. Автор: William P Platt,Carol M Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-09-09.

Miniature micro-electromechanical system (mems) based directional sound sensor

Номер патента: US20110299701A1. Автор: Gamani KARUNASIRI,Jose SINIBALDI. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2011-12-08.

Rf micro-electro-mechanical system (mems) capacitive switch

Номер патента: EP2845216A1. Автор: Brandon William PILLANS,Cody Blake MOODY,Francis Joseph MORRIS. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2015-03-11.

Rf micro-electro-mechanical system (mems) capacitive switch

Номер патента: WO2013165446A1. Автор: Brandon William PILLANS,Cody Blake MOODY,Francis Joseph MORRIS. Владелец: Raytheon Company. Дата публикации: 2013-11-07.

Micro-electro-mechanical system (mems) vibration sensor and fabricating method thereof

Номер патента: US20240208801A1. Автор: Hsien-Lung Ho,Hsi-Wen TUNG. Владелец: Upbeat Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Asymmetric phononic crystal (pnc) tethering for radio frequency (rf) micro-electro-mechanical system (mems) resonator

Номер патента: WO2017154020A1. Автор: Udit RAWAT,Amitava Dasgupta,Deleep NAIR. Владелец: INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY MADRAS (IIT MADRAS). Дата публикации: 2017-09-14.

Microelectromechanical systems (mems) resonators and related apparatus and methods

Номер патента: US20120280594A1. Автор: David M. Chen,Jan H. Kuypers,Guiti Zolfagharkhani,Klaus Juergen Schoepf,Reimund Rebel,Pritiraj Mohanty,Jason Goodelle. Владелец: Sand 9 Inc. Дата публикации: 2012-11-08.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) RESONATORS AND RELATED APPARATUS AND METHODS

Номер патента: US20130140651A1. Автор: Chen David M.,Kuypers Jan H.,Mohanty Pritiraj,Schoepf Klaus Juergen,Rebel Reimund,Zolfagharkhani Guiti,Goodelle Jason. Владелец: Sand 9, Inc.. Дата публикации: 2013-06-06.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) RESONATORS AND RELATED APPARATUS AND METHODS

Номер патента: US20130140944A1. Автор: Chen David M.,Kuypers Jan H.,Mohanty Pritiraj,Schoepf Klaus Juergen,Rebel Reimund,Zolfagharkhani Guiti,Goodelle Jason. Владелец: Sand 9, Inc.. Дата публикации: 2013-06-06.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) RESONATORS AND RELATED APPARATUS AND METHODS

Номер патента: US20130140958A1. Автор: Chen David M.,Kuypers Jan H.,Mohanty Pritiraj,Schoepf Klaus Juergen,Rebel Reimund,Zolfagharkhani Guiti,Goodelle Jason. Владелец: Sand 9, Inc.. Дата публикации: 2013-06-06.

LIMITED Q FACTOR TUNABLE FRONT END USING TUNABLE CIRCUITS AND MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20130244591A1. Автор: Weissman Haim M.,Brillant Avigdor,Pezo David. Владелец: QUALCOMM INCORPORATED. Дата публикации: 2013-09-19.

LEADFRAME-BASED PREMOLDED PACKAGE HAVING AIR CHANNEL FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20140011313A1. Автор: Huckabee James R.,Purdom Ray H.. Владелец: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED. Дата публикации: 2014-01-09.

Low loss microelectromechanical system (mems) phase shifter

Номер патента: US20210013569A1. Автор: Sofia RAHIMINEJAD,Maria A. Del Pino,Cecile D. Jung-Kubiak,Theodore J. Reck,Goutam Chattopadhyay. Владелец: California Institute of Technology CalTech. Дата публикации: 2021-01-14.

Methods And Structures For Thin-Film Encapsulation And Co-Integration Of Same With Microelectronic Devices and Microelectromechanical Systems (MEMS)

Номер патента: US20160023888A1. Автор: Quevy Emmanuel P.,Hui Jeremy R.,Low Carrie Wing-Zin,Motiee Mehrnaz. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-28.

RADIO FREQUENCY (RF) MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES WITH GOLD-DOPED SILICON

Номер патента: US20160023892A1. Автор: Costa Julio C.,Carroll Michael,Hammond Jonathan Hale. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-28.

HERMETIC ENCAPSULATION FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20170022050A1. Автор: TEH Weng Hong,Oster Sasha N.,EID Feras,Haney Sarah K.. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-26.

METHOD FOR INTEGRATING COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICES WITH MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES USING A FLAT SURFACE ABOVE A SACRIFICIAL LAYER

Номер патента: US20200024135A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

METHOD FOR MANUFACTURING A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE WITH DIFFERENT ELECTRICAL POTENTIALS AND AN ETCH STOP

Номер патента: US20160031703A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen,Chang Kuei-Sung,Liu Yu-Chia. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE PACKAGING

Номер патента: US20180029880A1. Автор: Lim Tony K.,Talag Norman D.. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2018-02-01.

INTEGRATION SCHEME FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES AND COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICES

Номер патента: US20180029882A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

FORMING AN OFFSET IN AN INTERDIGITATED CAPACITOR OF A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20190031499A1. Автор: Rudolph Uwe,PREGL Sebastian. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-31.

Monolithic integration of stress isolation feautures in a microelectromechanical system (mems) structure

Номер патента: US20160039664A1. Автор: Ryan Supino,Grant H. Lodden. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2016-02-11.

METHODS FOR PACKAGING A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) WAFER AND APPLICATION-SPECIFIC INTEGRATED CIRCUIT (ASIC) DIES USING THROUGH MOLD VIAS (TMVS)

Номер патента: US20160046483A1. Автор: Cheng Chun-Wen,Tsai Hung-Chia. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

METHODS FOR PACKAGING A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) WAFER AND APPLICATION-SPECIFIC INTEGRATED CIRCUIT (ASIC) DIES USING WIRE BONDING

Номер патента: US20160046484A1. Автор: Cheng Chun-Wen,Tsai Hung-Chia. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

Semiconductor Device and Method of Forming Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20190047845A1. Автор: Lin Yaojian,Chen Kang,Choi Won Kyoung,Micallef Ivan. Владелец: STATS ChipPAC Pte. Ltd.. Дата публикации: 2019-02-14.

EDGE PATTERNS OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE BACKPLATE HOLES

Номер патента: US20220070568A1. Автор: Lin Chung-Hsien,WU Chia-Yu,Rombach Pirmin,Mortensen Dennis,TANG Tsung Lin. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-03.

Method for integrating complementary metal-oxide-semiconductor (cmos) devices with microelectromechanical systems (mems) devices using a flat surface above a sacrificial layer

Номер патента: US20190055120A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-02-21.

STRUCTURE FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES TO CONTROL PRESSURE AT HIGH TEMPERATURE

Номер патента: US20220089434A1. Автор: HSIEH Yuan-Chih,Pan Shing-Chyang,Wang Yi-Ren. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-24.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STRUCTURE TO PREVENT STICTION AFTER A WET CLEANING PROCESS

Номер патента: US20200079642A1. Автор: CHOU Chung-Yen. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-12.

STRUCTURE FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES TO CONTROL PRESSURE AT HIGH TEMPERATURE

Номер патента: US20210087055A1. Автор: HSIEH Yuan-Chih,Pan Shing-Chyang,Wang Yi-Ren. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-25.

STRESS BUFFER LAYER FOR INTEGRATED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20150091167A1. Автор: Mueller Christian,Meyer Thorsten,GEISSLER Christian,Ofner Gerald,Mahnkopf Reinhard,Augustin Andreas. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-02.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) BOND RELEASE STRUCTURE AND METHOD OF WAFER TRANSFER FOR THREE-DIMENSIONAL INTEGRATED CIRCUIT (3D IC) INTEGRATION

Номер патента: US20160093591A1. Автор: Gu Shiqun,LEE Yong Ju,ZHANG Wenyue,Xie Jing,Du Yang,Lan Je-Hsiung Jeffrey. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-31.

BOARD MOUNTED MICROELECTROMECHANIC SYSTEM (MEMS) SENSORS FOR MOTOR DIAGNOSTICS AND ANALYTICS

Номер патента: US20190092621A1. Автор: Balcerak John A.,Melfi Michael J.,Yuan Zhenhuan,Guru Arun K.,Yee Kristin N.. Владелец: ROCKWELL AUTOMATION TECHNOLOGIES, INC.. Дата публикации: 2019-03-28.

Method for the integration of a microelectromechanical systems (mems) microphone device with a complementary metal-oxide-semiconductor (cmos) device

Номер патента: US20160119722A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-04-28.

METHOD FOR SEALING A CAVITY OF A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE USING A SEAL LAYER COVERING OR LINING A HOLE IN FLUID COMMUNICATION WITH THE CAVITY

Номер патента: US20170121174A1. Автор: Huang Hsin-Ting,HUNG Chia-Ming,TAI Wen-Chuan,CHEN Hsiang-Fu,Yu Shao-Chi. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-04.

INTEGRATION SCHEME FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES AND COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICES

Номер патента: US20200115222A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE AND FABRICATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20150132880A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-14.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES AT DIFFERENT PRESSURES

Номер патента: US20160130137A1. Автор: Chou Bruce C.S.,Lin Chin-Min,Chang Allen Timothy,Huang Hsin-Ting,HUNG Chia-Ming,TAI Wen-Chuan,CHEN Hsiang-Fu,Yu Shao-Chi. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-12.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE ARRAY WITH DEDICATED AMPLIFIERS

Номер патента: US20160150325A1. Автор: Oliaei Omid. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-26.

Semiconductor Device and Method of Forming Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20220289560A1. Автор: Lin Yaojian,Chen Kang,Choi Won Kyoung,Micallef Ivan. Владелец: STATS ChipPAC Pte. Ltd.. Дата публикации: 2022-09-15.

PLANAR PROCESSING OF SUSPENDED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20180148318A1. Автор: Lambkin Paul,Flynn Michael John,Whiston Seamus Paul,McLoughlin Christina B.. Владелец: ANALOG DEVICES GLOBAL. Дата публикации: 2018-05-31.

METHOD FOR INTEGRATING COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICES WITH MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES USING A FLAT SURFACE ABOVE A SACRIFICIAL LAYER

Номер патента: US20180148326A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STOPPER STRUCTURE FOR STICTION IMPROVEMENT

Номер патента: US20160167945A1. Автор: Chang Kai-Fung,TSAI Lien-Yao,LEU Len-Yi. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-16.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE FEEDBACK FILTERING

Номер патента: US20180167730A1. Автор: Parker Jeremy Michael. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-14.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE PACKAGING

Номер патента: US20190169022A1. Автор: Lim Tony K.,Talag Norman Dennis. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2019-06-06.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE WITH BACKSIDE PINHOLE RELEASE AND RE-SEAL

Номер патента: US20210214212A1. Автор: Cook Benjamin,Yen Ting-Ta,BAHR BICHOY,SEGOVIA-FERNANDEZ Jeronimo. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-15.

DIELECTRIC CLADDING OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ELEMENTS FOR IMPROVED RELIABILITY

Номер патента: US20180186625A1. Автор: Jacobs Simon Joshua,TAYLOR Kelly Jay,Sing Molly Nelis. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-05.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) ON APPLICATION SPECIFIC INTEGRATED CIRCUIT (ASIC)

Номер патента: US20180186627A1. Автор: Meyer Thorsten,GEISSLER Christian,Ofner Gerald,Mahnkopf Reinhard,Augustin Andreas. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-05.

POLYMER ANCHORED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) CANTILEVER AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20150203345A1. Автор: Sachin Patkar Rajul,Ramchandra Apte Prakash,Ramgopal Rao Valipe. Владелец: . Дата публикации: 2015-07-23.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) ON APPLICATION SPECIFIC INTEGRATED CIRCUIT (ASIC)

Номер патента: US20160200566A1. Автор: Meyer Thorsten,GEISSLER Christian,Ofner Gerald,Mahnkopf Reinhard,Augustin Andreas. Владелец: Intel IP Corporation. Дата публикации: 2016-07-14.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) ON APPLICATION SPECIFIC INTEGRATED CIRCUIT (ASIC)

Номер патента: US20170217766A1. Автор: Meyer Thorsten,GEISSLER Christian,Ofner Gerald,Mahnkopf Reinhard,Augustin Andreas. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-03.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES AT DIFFERENT PRESSURES

Номер патента: US20170233249A1. Автор: Chou Bruce C.S.,Lin Chin-Min,Chang Allen Timothy,Huang Hsin-Ting,HUNG Chia-Ming,TAI Wen-Chuan,CHEN Hsiang-Fu,Yu Shao-Chi. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-17.

FORMING AN OFFSET IN AN INTERDIGITATED CAPACITOR OF A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20190233276A1. Автор: Rudolph Uwe,PREGL Sebastian. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-01.

Semiconductor Device and Method of Forming Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20150259194A1. Автор: KANG Chen,Yaojian Lin,Won Kyoung Choi,Ivan Micallef. Владелец: Stats Chippac Pte Ltd. Дата публикации: 2015-09-17.

STRESS BUFFER LAYER FOR INTEGRATED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20150266728A1. Автор: Mueller Christian,Meyer Thorsten,GEISSLER Christian,Ofner Gerald,Mahnkopf Reinhard,Augustin Andreas. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-24.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STRUCTURE TO PREVENT STICTION AFTER A WET CLEANING PROCESS

Номер патента: US20170267516A1. Автор: CHOU Chung-Yen. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-21.

Atomic Layer Deposition Layer for a Microelectromechanical system (MEMS) Device

Номер патента: US20170275154A1. Автор: Gary Yama,Seow Yuen Yee,Ashwin Samarao. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-09-28.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE HAVING TWO BACK CAVITIES SEPARATED BY A TUNING PORT

Номер патента: US20150289045A1. Автор: Khenkin Aleksey S.,Minervini Anthony D.. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2015-10-08.

Hermetic encapsulation for microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20150291415A1. Автор: Feras Eid,Sasha N. OSTER,Weng Hong Teh,Sarah K. Haney. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2015-10-15.

Semiconductor Device and Method of Forming Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20170297903A1. Автор: Lin Yaojian,Chen Kang,Choi Won Kyoung,Micallef Ivan. Владелец: STATS ChipPAC Pte. Ltd.. Дата публикации: 2017-10-19.

GETTER ELECTRODE TO IMPROVE VACUUM LEVEL IN A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20170297904A1. Автор: Peng Jung-Huei,Wu Yi-Chien,Liu Yu-Chia,LIN SHIANG-CHI. Владелец: . Дата публикации: 2017-10-19.

Corrugated Package for Microelectromechanical System (MEMS) Device

Номер патента: US20170297905A1. Автор: Saxena Kuldeep. Владелец: . Дата публикации: 2017-10-19.

MECHANICAL STRESS DECOUPLING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ELEMENTS WITH GEL-FILLING

Номер патента: US20200283286A1. Автор: Winkler Bernhard,Meier Roland,Gruenberger Robert,Langheinrich Wolfram,Meinhold Dirk,BRANDL Florian,Luber Sebastian. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-09-10.

Suspended microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: US20200283291A1. Автор: Kotlanka Rama Krishna,Paul Lambkin,Michael John Flynn,Lynn Khine,Seamus Paul Whiston. Владелец: Analog Devices International ULC. Дата публикации: 2020-09-10.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STRUCTURE TO PREVENT STICTION AFTER A WET CLEANING PROCESS

Номер патента: US20160318753A1. Автор: CHOU Chung-Yen. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-03.

SUBTERRANEAN FORMATION CHARACTERIZATION USING MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20170314391A1. Автор: Rowe Mathew Dennis,Galliano Clinton Cheramie,Graves Walter Varney Andrew. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-02.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE BIAS VOLTAGE

Номер патента: US20170318385A1. Автор: Lafort Adrianus Maria,Moss Brian,Harney Kieran,Ivo De Roo Dion. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-02.

Movement Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20160332863A1. Автор: Chen Chih-Shan,Cheng Shyh-Wei,Hsu Hsi-Cheng,Wang Chih-Yu,Weng Jui-Chun,Wu Wei-Ding,Chiang Ji-Hong,KO Chuan-Yi,Lu Chao-Po,Hun Chung-Hsien. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-17.

WIRE-BASED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) APPARATUS

Номер патента: US20200317507A1. Автор: Khlat Nadim,Aigner Robert. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-08.

MONOLITHIC FABRICATION OF THERMALLY ISOLATED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20160340174A1. Автор: Lodden Grant H.,Reinke John R.. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-24.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE BIAS VOLTAGE

Номер патента: US20180332390A1. Автор: Lafort Adrianus Maria,Moss Brian,Harney Kieran,Ivo De Roo Dion. Владелец: . Дата публикации: 2018-11-15.

WAFER LEVEL HERMETIC SEAL PROCESS FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20160355394A1. Автор: HSIEH Yuan-Chih,Liu Shih-Chang,Tseng Lee-Chuan,CHOU Chung-Yen. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-08.

Microelectromechanical System (MEMS) Comprising Microphone and Low Power Circuitry with Detection of Audio Signal

Номер патента: US20200336841A1. Автор: KASCHNER Axel,Zeleznik Matthew. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-22.

METHOD FOR INTEGRATING COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICES WITH MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES USING A FLAT SURFACE ABOVE A SACRIFICIAL LAYER

Номер патента: US20200346925A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2020-11-05.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SWITCHING CIRCUIT AND RELATED APPARATUS

Номер патента: US20190367356A1. Автор: Khlat Nadim. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-05.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SWITCHING CIRCUIT AND RELATED APPARATUS

Номер патента: US20190371554A1. Автор: Khlat Nadim. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-05.

Semiconductor Device and Method of Forming Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20200399117A1. Автор: Lin Yaojian,Chen Kang,Choi Won Kyoung,Micallef Ivan. Владелец: STATS ChipPAC Pte. Ltd.. Дата публикации: 2020-12-24.

Microelectromechanical system (mems) device and methods for fabricating the same

Номер патента: US20110175177A1. Автор: Tsyr-Shyang Liou. Владелец: Richwave Technology Corp. Дата публикации: 2011-07-21.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SWITCH AND RELATED METHODS

Номер патента: US20220371882A1. Автор: Brennan Philip James,Fitzgerald Padraig,Twohig Michael James,Lampen James Lee. Владелец: Analog Devices International Unlimited Company. Дата публикации: 2022-11-24.

Method for fabricating microelectromechanical system (MEMS) devices

Номер патента: US7346981B2. Автор: Robert L. Borwick, III,Jeffrey F. DeNatale,Philip A. Stupar,Jun J. Yao,Sangtae Park. Владелец: Teledyne Licensing LLC. Дата публикации: 2008-03-25.

Surgical instruments including microelectromechanical systems (MEMS)

Номер патента: JP2005523105A. Автор: ラッセル ヘインリック，,ダグラス ジェイ． カニー，. Владелец: タイコ ヘルスケア グループ エルピー. Дата публикации: 2005-08-04.

Monolithic fabrication of thermally isolated microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: EP3095755A1. Автор: Grant Lodden,John Reinke. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2016-11-23.

Radio frequency microelectromechanical systems (mems) devices on low-temperature co-fired ceramic (ltcc) substrates

Номер патента: WO2002096166A1. Автор: Michael A. Huff,Mehmet Ozgur. Владелец: CORPORATION FOR NATIONAL RESEARCH INITIATIVES. Дата публикации: 2002-11-28.

Microelectromechanical systems (MEMS)-type high-capacity inertial-switching device

Номер патента: US6314887B1. Автор: Charles H. Robinson. Владелец: US Department of Army. Дата публикации: 2001-11-13.

Radio frequency microelectromechanical systems (MEMS) devices on low-temperature co-fired ceramic (LTCC) substrates

Номер патента: US6815739B2. Автор: Michael A. Huff,Mehmet Ozgur. Владелец: Corp for National Research Initiatives. Дата публикации: 2004-11-09.

Method of fabricating a radio frequency (RF) microelectromechanical system (MEMS) asymmetrical switch

Номер патента: US8074346B2. Автор: Hung-Pin Chang,Mark Bachman,Bedri A. Cetiner,Guann-Pyng Li,Jiangyuan Qian,Franco DeFlaviis. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2011-12-13.

Production of microelectromechanical systems (MEMS) using the high-temperature silicon fusion bonding of wafers

Номер патента: EP1569865B1. Автор: Uwe Schwarz. Владелец: X Fab Semiconductor Foundries GmbH. Дата публикации: 2008-02-13.

Microelectromechanical systems (MEMS) devices at different pressures

Номер патента: US9656857B2. Автор: Bruce C. S. CHOU,Hsin-Ting HUANG,Shao-Chi Yu,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Allen Timothy Chang,Wen-Chuan Tai,Chin-Min Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-05-23.

Bimaterial microelectromechanical system (MEMS) solar power generator

Номер патента: US8525393B1. Автор: Sebastian Osswald,Dragoslav Grbovic. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2013-09-03.

Microelectromechanical system (mems) resonant switches and applications for power converters and amplifiers

Номер патента: WO2009148677A2. Автор: Yang Lin,Clark Tu-Cuong Nguyen,Bongsang Kim,Wei-Chang Li. Владелец: The Regents of the University of California. Дата публикации: 2009-12-10.

Microelectromechanical system (mems) on application specific integrated circuit (asic)

Номер патента: TWI585944B. Автор: 克里斯坦 吉瑟勒,特羅斯登 梅耶爾,吉拉德 歐弗納,倫哈德 曼科普夫,安卓斯 奧古斯汀. Владелец: 英特爾Ｉｐ公司. Дата публикации: 2017-06-01.

Method for constructing an isolate microelectromechanical system (MEMS) device using surface fabrication techniques

Номер патента: US20030060051A1. Автор: Richard Harris,Robert Kretschmann,Mark Lucak,Michael Knieser. Владелец: Rockwell Automation Technologies Inc. Дата публикации: 2003-03-27.

Monolithic integration of stress isolation feautures in a microelectromechanical system (mems) structure

Номер патента: EP2982643A1. Автор: Ryan Supino,Grant H. Lodden. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2016-02-10.

Microelectromechanical system (MEMS) variable capacitor (elastomer CMOS-based microelectromechanical varactor)

Номер патента: JP4806219B2. Автор: アニル・ケイ・チンタキンディ,ヘンリ・ディー・シュナーマン. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2011-11-02.

Molded interconnect microelectromechanical system (mems) device package

Номер патента: WO2017180858A1. Автор: Kuldeep Saxena. Владелец: Akustica, Inc.. Дата публикации: 2017-10-19.

Method for making a microelectromechanical systems (MEMS) device including a superlattice

Номер патента: TW200711124A. Автор: Richard A Blanchard. Владелец: Mears R J Llc. Дата публикации: 2007-03-16.

Microelectromechanical system (MEMS) device packaging

Номер патента: US10227232B2. Автор: Tony K. LIM,Norman D. Talag. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2019-03-12.

Microelectromechanical systems (mems) device including a superlattice and associated methods

Номер патента: CA2609614A1. Автор: Richard A. Blanchard. Владелец: Rj Mears, Llc. Дата публикации: 2006-12-07.

Semiconductor device and method of forming microelectromechanical systems (mems) package

Номер патента: SG10201800409RA. Автор: KANG Chen,Yaojian Lin,Won Kyoung Choi,Ivan Micallef. Владелец: Stats Chippac Pte Ltd. Дата публикации: 2018-02-27.

Semiconductor device and method of forming microelectromechanical systems (mems) package

Номер патента: SG10201501875SA. Автор: KANG Chen,Yaojian Lin,Won Kyoung Choi,Ivan Micallef. Владелец: Stats Chippac Ltd. Дата публикации: 2015-10-29.

Low loss microelectromechanical system (MEMS) phase shifter

Номер патента: US11764450B2. Автор: Sofia RAHIMINEJAD,Maria A. Del Pino,Cecile D. Jung-Kubiak,Theodore J. Reck,Goutam Chattopadhyay. Владелец: California Institute of Technology CalTech. Дата публикации: 2023-09-19.

Subterranean formation characterization using microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: GB201707629D0. Автор: . Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2017-06-28.

WAFER BONDING METHOD FOR USE IN MAKING A MEMS GYROSCOPE

Номер патента: US20150034620A1. Автор: Zhang Biao,Ju Tao. Владелец: INSIGHTECH, LLC. Дата публикации: 2015-02-05.

Angular rate closed-loop method for improving static and linear indexes of MEMS gyroscope

Номер патента: CN109168116B. Автор: 王刚,孟冰,李文宏,吕航伟. Владелец: Xian Flight Automatic Control Research Institute of AVIC. Дата публикации: 2020-09-22.

Full-automatic assembly tool for MEMS gyroscope

Номер патента: CN115533482A. Автор: 李擎. Владелец: SHIJIAZHUANG INFORMATION ENGINEERING VOCATIONAL COLLEGE. Дата публикации: 2022-12-30.

MEMS gyroscope capable of controlling Q-factor and method for signal processing the same

Номер патента: KR100491598B1. Автор: 이상우,이석한,이병렬,리진밍. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-05-27.

Full-automatic assembly tool for MEMS gyroscope

Номер патента: CN115533482B. Автор: 李擎. Владелец: SHIJIAZHUANG INFORMATION ENGINEERING VOCATIONAL COLLEGE. Дата публикации: 2023-03-24.

Temperature-Robust MEMS Gyroscope with 2-DOF Sense-Mode Addressing the Tradeoff Between Bandwidth and Gain

Номер патента: US20130074304A1. Автор: Schofield Adam,Trusov Alexander,Shkel Andrei. Владелец: The Regents of the University of California. Дата публикации: 2013-03-28.

Efficient image array micro electromechanical system (MEMS) JET

Номер патента: TW200918444A. Автор: Donald J Drake,Peter J Nystrom. Владелец: Xerox Corp. Дата публикации: 2009-05-01.

Micromechanical arm array in micro-electromechanical system (MEMS) actuators

Номер патента: US11757378B1. Автор: Tsai-Hao Hung,Shih-Yu LIAO. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-09-12.

Gradient micro-electro-mechanical systems (mems) microphone

Номер патента: EP3905719B1. Автор: Alan D. Michel,Marc REESE,Fengyuan LI,John C. Baumhauer,Larry A. Marcus. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2024-04-10.

Blood pressure gauge with micro-electro-mechanical system (mems) microphone

Номер патента: EP2842482A4. Автор: Chia-Ming Lin. Владелец: MICROLIFE INTELLECTUAL PROPERTY GMBH. Дата публикации: 2016-03-30.

System and method for sensing vital signs of human and animal using an array of 3d-micro electro-mechanical system (mems) sensors for remote health monitoring

Номер патента: US20240115207A1. Автор: Hung Cao Nguyen. Владелец: Onsky Health International. Дата публикации: 2024-04-11.

Three dimensional (3D) robotic micro electro mechanical systems (MEMS) arm and system

Номер патента: US09473048B2. Автор: Harold L. Stalford. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-10-18.

METHOD FOR FABRICATING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20130260504A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-03.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) DRIVER

Номер патента: US20130271228A1. Автор: Opris Ion,Tao Hai. Владелец: Fairchild Semiconductor Corporation. Дата публикации: 2013-10-17.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) AND CORRESPONDING MANUFACTURING PROCESS

Номер патента: US20130276896A1. Автор: FONTANA Fulvio Vittorio. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-24.

Micro electro mechanical system (mems) microwave switch structures

Номер патента: US20130299328A1. Автор: Brandon W. Pillans,Cody B. Moody,Andrew Malczewski. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2013-11-14.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM(MEMS) ACOUSTIC SENSOR AND FABRICATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20140061825A1. Автор: KIM Jong Dae,LEE Jae Woo,YANG Woo Seok,Je Chang Han. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2014-03-06.

Micro electro mechanical system (mems) microphone and fabrication method thereof

Номер патента: US20140084394A1. Автор: Chang Han Je. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI. Дата публикации: 2014-03-27.

MICRO ELECTRICAL MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MULTIPLEXING MIXING

Номер патента: US20200001257A1. Автор: Xin Yongchun,Fry Jonathan,Piper Daniel,Sim Jang. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

Номер патента: US20190002275A1. Автор: Chang Kai-Fung,TSAI Lien-Yao,LEU Len-Yi. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2019-01-03.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE WITH VARYING HEIGHT ASSEMBLIES

Номер патента: US20160007107A1. Автор: LI Fengyuan,REESE Marc,Baumhauer John,Iraclianos Spiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-07.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20150010191A1. Автор: JR. John C.,Baumhauer,LI Fengyuan,MARCUS Larry A.,MICHEL Alan D.,REESE Marc. Владелец: HARMAN INTERNATIONAL INDUSTRIES, INC.. Дата публикации: 2015-01-08.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES WITH THROUGH SUBSTRATE VIAS AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20170022049A1. Автор: Chu Chia-Hua,Chang Kuei-Sung,Lee Te-Hao. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-26.

Three dimensional (3D) robotic micro electro mechanical systems (MEMS) arm and system

Номер патента: US20200024128A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Structures And Design Structures

Номер патента: US20160031699A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Structures And Design Structures

Номер патента: US20150035122A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

Semiconductor Chips and Systems Having Phase-Change Material (PCM) Switches Integrated with Micro-Electrical-Mechanical Systems (MEMS) and/or Resonators

Номер патента: US20200058865A1. Автор: Howard David J.,EI-Hinnawy Nabil. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

ENERGY HARVESTING WITH A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20160072412A1. Автор: Baugher Jeffrey Paul. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-10.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20190110116A1. Автор: JR. John C.,Baumhauer,LI Fengyuan,MARCUS Larry A.,MICHEL Alan D.,REESE Marc. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-11.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), APPARATUS, AND OPERATING METHODS THEREOF

Номер патента: US20160118993A1. Автор: Huang Wen-Hung,Peng Yung-Chow,LIN Yu-Wei. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-28.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20140203421A1. Автор: KALNITSKY Alex,SHU Chia-Pao,HUNG Chia-Ming,TAI Wen-Chuan,WANG Hung-Sen,CHEN Hsiang-Fu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2014-07-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20140211366A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norito. Владелец: . Дата публикации: 2014-07-31.

THREE DIMENSIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20170129770A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), SYSTEMS, AND OPERATING METHODS THEREOF

Номер патента: US20140225759A1. Автор: Huang Wen-Hung,Peng Yung-Chow,LIN Yu-Wei. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2014-08-14.

METHOD FOR FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE STRUCTURE

Номер патента: US20180148324A1. Автор: Chen Wen-Chih,Chung Chia-Chi,Hsu Chih-Hsien,CHEN Jr-Sheng,Chiang Yu-Pei,Meng Chin-Han,Huang Lin-Ching,Huang Chen-Huang,Liu Kuo-Chin,XU Zhi-Sheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2018-05-31.

METHOD FOR FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE STRUCTURE

Номер патента: US20180148327A1. Автор: WANG I-Shi,Liu Jen-Hao,Chang Chih-Hang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2018-05-31.

CAPLESS SEMICONDUCTOR PACKAGE WITH A MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20210179423A1. Автор: TALLEDO Jefferson Sismundo. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-17.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20170154734A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norito. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-01.

OPTICAL NON-UNIFORMITY COMPENSATION (NUC) FOR PASSIVE IMAGING SENSORS USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS (MMAS)

Номер патента: US20220311961A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.,Spyak et al. Paul R.. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-29.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) BASED WIDE-BAND POLYMER PHOTO-DETECTOR

Номер патента: US20160211475A1. Автор: Chaki Roy Sangita,Kundu Tapanendu,Rao V. Ramgopal. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-21.

THREE DIMENSIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20160211779A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-21.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Circuit and Method for Reconstructing an Interference Variable

Номер патента: US20180213324A1. Автор: Wiesbauer Andreas,Straeussnigg Dietmar,De Milleri Niccoló. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-26.

Molded Interconnect Mircoelectromechanical System (MEMS) Device Package

Номер патента: US20160234604A1. Автор: Saxena Kuldeep. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-11.

MICRO ELECTRICAL MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VALVE

Номер патента: US20190219192A1. Автор: Xin Yongchun,Fry Jonathan,Piper Daniel,Sim Jang. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-18.

MICRO ELECTRICAL MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VALVE

Номер патента: US20190219193A1. Автор: Xin Yongchun,Fry Jonathan,Piper Daniel,Sim Jang. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-18.

Micro-concentrator solar array using micro-electromechanical systems (MEMS) based reflectors

Номер патента: US20150243819A1. Автор: Karam Nasser H.,Krut Dimitri D.,Singer Scott B.. Владелец: The Boeing Company. Дата публикации: 2015-08-27.

Micro-Concentrator Solar Array Using Micro-Electromechanical Systems (MEMS) Based Reflectors

Номер патента: US20150244310A1. Автор: Karam Nasser H.,Krut Dimitri D.,Singer Scott Benjamin. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-27.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140332913A1. Автор: Stamper Anthony K.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-11-13.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160257556A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-08.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE WITH VARYING HEIGHT ASSEMBLIES

Номер патента: US20180249235A1. Автор: LI Fengyuan,REESE Marc,Baumhauer John,Iraclianos Spiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-08-30.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160264405A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160264406A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160264410A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

WAFER LEVEL CHIP SCALE PACKAGED MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) DEVICE AND METHODS OF PRODUCING THEREOF

Номер патента: US20160297674A1. Автор: Man Piu Francis,Cheng Anru Andrew. Владелец: . Дата публикации: 2016-10-13.

PIEZOELECTRIC MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20170301853A1. Автор: Kumar Rakesh,XIA Jia Jie,Yelehanka Ramachandramurthy Pradeep,Sbiaa Zouhair,PRABHACHANDRAN NAIR Minu. Владелец: . Дата публикации: 2017-10-19.

MICRO-ELECTRICAL-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20150315013A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng,Tsai Cheng-Wei. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-05.

METHOD OF CONTROLLING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VALVE

Номер патента: US20150316167A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Olson Bret M.,SONG Xingyong,Fuller Edward N.. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-05.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) TERMINAL STRUCTURE OF BOARD-TO-BOARD ELECTRICAL CONNECTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20180309216A1. Автор: Lee Kuo-Ching,Meng Ta-Teh,Yu Cheng-Feng. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-25.

Micro ElectroMechanical System (MEMS) Energy Harvester With Residual Stress Induced Instability

Номер патента: US20180316287A1. Автор: Kim Sang-Gook,Xu Ruize. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2018-11-01.

METHOD FOR FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE

Номер патента: US20190315620A1. Автор: Chang Kai-Fung,TSAI Lien-Yao,LEU Len-Yi. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2019-10-17.

MICRO ELECTRICAL MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VALVE

Номер патента: US20190323627A1. Автор: Xin Yongchun,Fry Jonathan,Piper Daniel,Sim Jang. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-24.

RAISED SHOULDER MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20160353212A1. Автор: Lautenschlager Eric J.,Vos Sandra F.. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2016-12-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20150368090A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20190362899A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norlito. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-28.

PACKAGE STRUCTURE OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) MICROPHONE PACKAGE AND PACKAGING METHOD THEREOF

Номер патента: US20200385263A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2020-12-10.

Integrated micro-electro-mechanical systems (mems) sensor device

Номер патента: US20100312468A1. Автор: Lakshman Withanawasam. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-12-09.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US7712527B2. Автор: Craig W. Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2010-05-11.

Use of micro-electro-mechanical systems MEMS in well treatments

Номер патента: US8342242B2. Автор: Craig W. Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2013-01-01.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: US20080236814A1. Автор: Craig W. Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2008-10-02.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20100051266A1. Автор: Craig W. Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2010-03-04.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110186290A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-04.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192598A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Gordon Moake,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192593A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192594A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Clovis Bonavides,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192592A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Michael Bittar,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192597A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Batakrishna Mandal,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110199228A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-18.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US9732584B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Multifunctional sensory microelectromechanical system

Номер патента: RU2533325C2. Автор: Дмитрий Юрьевич Соколов,Виктор Александрович Быков. Владелец: Закрытое Акционерное Общество "Нанотехнология Мдт". Дата публикации: 2014-11-20.

METHODS FOR MAKING IN-PLANE AND OUT-OF-PLANE SENSING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20120001277A1. Автор: Liu Lianjun,Park Woo Tae,Loreck Heinz,KARLIN LISA H.,Desai Hemant D.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS INTEGRATING MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH CIRCUIT CHIP AND METHODS FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20120001276A1. Автор: . Владелец: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2012-01-05.

Method to produce pressure sensor of high stability on basis of nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2572527C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Нина Евгеньевна Белозубова,Юлия Алексеевна Савинова. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2016-01-20.

Method to manufacture strain gauge pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2545314C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2015-03-27.

Method to manufacture pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2488082C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов,Нина Евгеньевна Белозубова,Виталий Юрьевич Майоров. Владелец: Виталий Юрьевич Майоров. Дата публикации: 2013-07-20.

Method to manufacture thin-film nano and microelectromechanical system of high temperature sensor of mechanical values

Номер патента: RU2547291C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Александр Вячеславович Хошев. Владелец: Александр Вячеславович Хошев. Дата публикации: 2015-04-10.

High-precision pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2541714C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Мария Александровна Калмыкова. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет " (ПГУ). Дата публикации: 2015-02-20.

Pressure sensor of strain gauge with thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2391641C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Нина Евгеньевна Белозубова,Светлана Александровна Васильева. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2010-06-10.

Manufacturing method of resistive strain-gauge pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2498249C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Нина Евгеньевна Белозубова,Наталья Анатольевна Козлова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2013-11-10.

Strain gage pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2547886C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2015-04-10.

Pressure sensor of increased sensitivity based on nano- and microelectromechanical system with thin-film resistance strain gauges

Номер патента: RU2427810C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов,Александр Иванович Запевалин. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2011-08-27.

Method of manufacturing of heat-resistant nano and microelectromechanical system of mechanical value transmitter

Номер патента: RU2548380C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Александр Вячеславович Хошев,Игорь Николаевич Чебурахин. Владелец: Игорь Николаевич Чебурахин. Дата публикации: 2015-04-20.

Method of manufacturing of thin film nano- and microelectromechanical system of mechanical values transmitter

Номер патента: RU2544864C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Александр Вячеславович Хошев,Сергей Владимирович Тимаков. Владелец: Сергей Владимирович Тимаков. Дата публикации: 2015-03-20.

Pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system of increased accuracy and reliability

Номер патента: RU2480723C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Дмитрий Михайлович Хованов. Владелец: Дмитрий Михайлович Хованов. Дата публикации: 2013-04-27.

Method for measuring pressure, calibration, and pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2498250C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2013-11-10.

Pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system of beam type

Номер патента: RU2520943C2. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Андрей Владимирович Кондратьев. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2014-06-27.

Method of pressure resistive tensor transducer built around thin-film nano- and microelectromechanical system (mamos)

Номер патента: RU2528541C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2014-09-20.

Pressure measurement method, calibration method and pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2484435C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов. Владелец: Павел Сергеевич Чернов. Дата публикации: 2013-06-10.

Method of making pressure strain gage on basis of thin-film nano-and microelectromechanical system (nmems)

Номер патента: RU2522770C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2014-07-20.

Micro electro mechanical system (MEMS) gyroscope, chip level temperature control method thereof and processing method thereof

Номер патента: CN102042832A. Автор: 杨波,殷勇,李宏生,黄丽斌,徐露,王寿荣. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-05-04.

Micro electro mechanical system (MEMS) gyroscope

Номер патента: CN201909632U. Автор: 杨波,殷勇,李宏生,黄丽斌,徐露,王寿荣. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-07-27.

Microelectromechanical systems (MEMS) structure with substrate through vias and forming method thereof

Номер патента: CN103224216B. Автор: 李德浩,朱家骅,张贵松. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-12-21.

Method and structure for packaging semiconductor microelectromechanical system (MEMS) chip

Номер патента: CN102431959B. Автор: 熊笔锋. Владелец: YANTAI RAYTRON TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2015-04-22.

Micro-electromechanical system (MEMS) microphone and MEMS acoustical sensor chip

Номер патента: CN105072551A. Автор: 刘文涛,袁兆斌,吴安生. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2015-11-18.

Micro-electromechanical system (MEMS) camera diaphragm control device and MEMS camera thereof

Номер патента: CN103095976A. Автор: 曾元清,周奇群. Владелец: GUANGDONG OPPO MOBILE TELECOMMUNICATIONS CORP LTD. Дата публикации: 2013-05-08.

Wafer level packaging method for micro electromechanical system (MEMS) chip and single-chip micro-miniature type MEMS chip

Номер патента: CN103552980A. Автор: 华亚平. Владелец: ANHUI NORTHERN XINDONG LIANKE MICROSYSTEMS TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2014-02-05.

Micro-electro-mechanic system (MEMS) microphone

Номер патента: CN203406992U. Автор: 王顺,刘瑞宝,李欣亮. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2014-01-22.

Method, device and system for detecting characteristics of micro-electronic mechanical system (MEMS) acceleration sensor chip

Номер патента: CN103837706A. Автор: 董旸,冯方方. Владелец: Institute of Geology and Geophysics of CAS. Дата публикации: 2014-06-04.

Method for reducing packaging stress of micro-electromechanical system (MEMS) chip through back graphics

Номер патента: CN103193198A. Автор: 华亚平. Владелец: ANHUI NORTHERN XINDONG LIANKE MICROSYSTEMS TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2013-07-10.

Micro-electromechanical system (MEMS) microphone and packaging method thereof

Номер патента: CN102595293B. Автор: 宋青林,庞胜利,谷芳辉. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2015-04-08.

Micro-electromechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: CN202488706U. Автор: 宋青林,潘昕. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2012-10-10.

Two-end micro-electro-mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: CN102932723A. Автор: 田达亨. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2013-02-13.

Double-working-mode micro electro mechanical system (MEMS) optical probe

Номер патента: CN103054544A. Автор: 谢会开,傅霖来. Владелец: WUXI WIO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-24.

Micro-electro-mechanic system (MEMS) microphone

Номер патента: CN203407016U. Автор: 庞胜利,解士翔. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2014-01-22.

On-chip testing system of micro-electromechanical system (MEMS) device and testing method thereof

Номер патента: CN103018651B. Автор: 李博,杨拥军,徐爱东,卢新艳. Владелец: CETC 13 Research Institute. Дата публикации: 2014-09-03.

Low-temperature double-layer isolation compensating type micro-electromechanical system (MEMS) microwave power sensor

Номер патента: CN103197137A. Автор: 周锐,廖小平. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-07-10.

Micro-electromechanical system (MEMS) piezoelectric resonator utilizing double resonance elements to offset feed-through flux

Номер патента: CN104821800A. Автор: 张超,张翼,秦风,鲍景富,李昕熠,陈兆隽,黄裕霖,安佳琪. Владелец: University of Electronic Science and Technology of China. Дата публикации: 2015-08-05.

Micro electromechanical system (MEMS) optical probe

Номер патента: CN102894947B. Автор: 谢会开,周正伟,王东琳,傅霖来. Владелец: WUXI WIO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2015-04-15.

Multi-parameter batch test equipment of micro-electromechanical systems (MEMS) acceleration sensor

Номер патента: CN103063879B. Автор: 郭涛,刘俊,石云波,丑修建,薛彦辉. Владелец: In Suzhou Contain A Meter Science And Technology Ltd. Дата публикации: 2014-11-05.

Leadframe array, packaging structure and island-free leadframe for micro-electromechanical system (MEMS) chip packaging,

Номер патента: CN103130173A. Автор: 郑志荣,张政林,张小键. Владелец: Wuxi China Resources Micro Assembly Tech Ltd. Дата публикации: 2013-06-05.

Micro-electromechanical systems (MEMS) device assembling technology

Номер патента: CN104370271A. Автор: 黄海,何晓峰,黄建冬. Владелец: Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2015-02-25.

Processing method for double-mask silicon on insulator (SOI) micro electro mechanical system (MEMS)

Номер патента: CN102616734A. Автор: 高杨,苏伟,彭勃,施志贵,张照云. Владелец: Institute of Electronic Engineering of CAEP. Дата публикации: 2012-08-01.

Micro-electromechanical systems (MEMS) microphone

Номер патента: CN202799145U. Автор: 宋青林,庞胜利,端木鲁玉,孙德波. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2013-03-13.

Microelectromechanical Systems (MEMS) And Methods

Номер патента: AU2015901600A0. Автор: John Bumgarner,Jarek Antoszewski,Lorenzo Faraone,Mariusz Martyniuk,Dhirendra TRIPATHI,Delusha Silva. Владелец: University of Western Australia. Дата публикации: 2015-05-21.

Micro-electro-mechanical system (MEMS)-based vibration energy acquisition device

Номер патента: CN102694452A. Автор: 郭丹,苏宇锋,段智勇. Владелец: ZHENGZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2012-09-26.

Micro liquid volume metering device based on micro electro mechanism system (MEMS) technique

Номер патента: CN201787991U. Автор: 陈杰,刘旭东,田海涛,肖巍,徐剑飞,刘宇兵,冯中宝. Владелец: YIWEN ENVIRONMENTAL SCIENCE TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-06.

Micro-electromechanical system (MEMS) triaxial accelerometer and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102798734A. Автор: 徐静,吴亚明,钟少龙,杨丹琼. Владелец: Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology of CAS. Дата публикации: 2012-11-28.

Motion tracking system and method based on micro-electromechanical systems (MEMS) sensor

Номер патента: CN103105176A. Автор: 张盛,刘艺,肖康,马天鸣. Владелец: Shenzhen Graduate School Tsinghua University. Дата публикации: 2013-05-15.

Method for preparing micro-electromechanical system (MEMS) piezoresistive multi-axis sensor

Номер патента: CN102976263B. Автор: 张威,陈广忠,李宋,苏卫国,沈唯真,周浩楠,戴啸宁. Владелец: PEKING UNIVERSITY. Дата публикации: 2015-04-15.

Integrated fluid sensor capable of simultaneously measuring density, pressure and temperature of fluid based on micro-electromechanical system (MEMS) technology

Номер патента: CN102288516A. Автор: 赵玉龙,刘志刚,赵立波,蒋庄德,苑国英,张桂铭,王晓坡,黄恩泽. Владелец: Xian Jiaotong University. Дата публикации: 2011-12-21.

System and method for releasing micro-electromechanical system (MEMS) structure by etching silicon sacrificial layer

Номер патента: CN102115024A. Автор: 王磊,高超群,惠瑜,景玉鹏. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2011-07-06.

Manufacturing method of closed cavity of micro-electromechanical system (MEMS)

Номер патента: CN103449358A. Автор: 杨海波,郑欢,徐元俊. Владелец: Shanghai Advanced Semiconductor Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2013-12-18.

Capacitive micro-electromechanical system (MEMS) accelerometer and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102759636B. Автор: 杨静,张富强,孟美玉. Владелец: China Aviation Airspace Spaceflight Technology Group Co No9 Academy No772 Research Institute. Дата публикации: 2014-04-09.

Preparation method for micro-electro-mechanical system (MEMS) atomic vapor chamber and atomic vapor chamber

Номер патента: CN102259825A. Автор: 陈硕,马波,阮勇,尤政. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-11-30.

High-performance micro-electromechanical system (MEMS) thermopile infrared detector structure and manufacturing method thereof

Номер патента: CN103207021A. Автор: 欧文,吴文刚,毛海央,欧毅. Владелец: Jiangsu IoT Research and Development Center. Дата публикации: 2013-07-17.

Measuring apparatus of micro electronic mechanical system (MEMS) two-dimension (2d) scanning mirror scanning angle

Номер патента: CN102435152A. Автор: 孙剑,张弛,尤政,张潮,史浩天. Владелец: Xian Jiaotong University. Дата публикации: 2012-05-02.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) PACKAGE

Номер патента: US20120025335A1. Автор: Goel Atul,MARTIN DAVID,LECLAIR Timothy,Martin Steve. Владелец: Avago Technologies Wireless IP (Singapore) Pte. Ltd.. Дата публикации: 2012-02-02.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) CARRIER AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20120032282A1. Автор: Tsai Kun-Chen. Владелец: UNIMICRON TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2012-02-09.

SACRAFICIAL LAYERS MADE FROM AEROGEL FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE FABRIACTION PROCESSES

Номер патента: US20120115269A1. Автор: Detry James F.. Владелец: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.. Дата публикации: 2012-05-10.

Microelectromechanical System (MEMS) Device, Method of Operating The Same, and Method of Forming the Same

Номер патента: US20120182594A1. Автор: DU YU,Zhang Qingxin,Tan Chee Wei. Владелец: AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH. Дата публикации: 2012-07-19.

STRUCTURED GLASS WAFER FOR PACKAGING A MICROELECTROMECHANICAL-SYSTEM (MEMS) WAFER

Номер патента: US20120199920A1. Автор: Alley Rodney L.,ZHANG Zhuqing. Владелец: . Дата публикации: 2012-08-09.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE AND FABRICATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20140077317A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2014-03-20.

Microelectromechanical system (mems) sensors and applications thereof

Номер патента: AU2022903615A0. Автор: . Владелец: Geoinventions Consulting Services Pty Ltd. Дата публикации: 2022-12-15.

Fractional-order MEMS gyroscope acceleration adaptive backstepping control method without accurate reference trajectory

Номер патента: GB202019112D0. Автор: . Владелец: GUIZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2021-01-20.

Non-Degenerate Mode MEMS Gyroscope

Номер патента: US20120137774A1. Автор: . Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2012-06-07.

BIAS MEASUREMENT FOR MEMS GYROSCOPES AND ACCELEROMETERS

Номер патента: US20120198934A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-08-09.

ADJUSTING A MEMS GYROSCOPE TO REDUCE THERMALLY VARYING BIAS

Номер патента: US20120272711A1. Автор: . Владелец: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.. Дата публикации: 2012-11-01.

Vehicle navigation equipment based on big dipper and MEMS gyroscope and convenient to dismouting

Номер патента: CN215097353U. Автор: 徐永军,由克. Владелец: Shenzhen Nanbo Technology Co ltd. Дата публикации: 2021-12-10.

MEMS gyroscope calibration test platform

Номер патента: CN211234451U. Автор: 徐涛,吴丹,李昕. Владелец: Xi'an Sentton Intelligent Control Technology Co ltd. Дата публикации: 2020-08-11.

Double-shaft MEMS gyroscope

Номер патента: CN201653422U. Автор: 邹波,华亚平. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2010-11-24.

Method for correcting zero drift of MEMS gyroscope

Номер патента: CN103033197B. Автор: 高栋,吴凡,曾重,周勇军,唐万强,苏效民,刘艳行,水冰. Владелец: Xian Electronic Engineering Research Institute. Дата публикации: 2015-03-18.

Detection device and MEMS gyroscope

Номер патента: CN212843622U. Автор: 王丹,李慧灵,宋吉涛,牛满科,余综. Владелец: Beijing Tanda Lianxuan Control Technology Co ltd. Дата публикации: 2021-03-30.

Manufacturing method of subminiature MEMS gyroscope sensor

Номер патента: CN101844739A. Автор: 邹波,李莉,华亚平. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2010-09-29.

MEMS gyroscope accurate installation reference component and installation method thereof

Номер патента: CN101109634A. Автор: 房建成,陶冶,秦杰,张海鹏,冯浩楠,蒋颜伟. Владелец: BEIHANG UNIVERSITY. Дата публикации: 2008-01-23.

Automatic testing method for key parameters of MEMS gyroscope structure

Номер патента: CN105571612A. Автор: 崔健,杨军,王晓磊,郭中洋,林梦娜. Владелец: Beijing Automation Control Equipment Institute BACEI. Дата публикации: 2016-05-11.

Detuning capacitor compensation process and circuit in MEMS gyroscope capacitor read-out circuit

Номер патента: CN101424533A. Автор: 刘畅,王佳,李志宏,闫桂珍,鲁文高,王展飞. Владелец: PEKING UNIVERSITY. Дата публикации: 2009-05-06.

Blazed grating MEMS gyroscope based on optical beat frequency detection

Номер патента: CN115962767A. Автор: 王策,金丽,李孟委,辛晨光. Владелец: NORTH UNIVERSITY OF CHINA. Дата публикации: 2023-04-14.

MEMS gyroscope modified fuzzy sliding mode controlling method based on Hybrid Learning

Номер патента: CN107608217A. Автор: 刘洋,吴枫,刘瑞鑫,林建华,许斌,张睿,刘美霞,应俊,张安龙,成宇翔,赵万良,谷丛,邵添羿,慕容欣. Владелец: Shenzhen Institute of Northwestern Polytechnical University. Дата публикации: 2018-01-19.

A kind of push-bench shown based on MEMS gyroscope progress track

Номер патента: CN206737925U. Автор: 唐飞,翟华,吕庆洲,万文松,郝予琛,黄照森. Владелец: Hefei University of Technology. Дата публикации: 2017-12-12.

Method for correcting zero drift of MEMS gyroscope

Номер патента: CN103033197A. Автор: 高栋,吴凡,曾重,周勇军,唐万强,苏效民,刘艳行,水冰. Владелец: Xian Electronic Engineering Research Institute. Дата публикации: 2013-04-10.

MEMS gyroscope Hybrid Learning control method based on interference observer

Номер патента: CN107607103A. Автор: 刘洋,吴枫,刘瑞鑫,林建华,许斌,张睿,刘美霞,应俊,张安龙,成宇翔,赵万良,谷丛,邵添羿,慕容欣. Владелец: Shenzhen Institute of Northwestern Polytechnical University. Дата публикации: 2018-01-19.

In-plane detection MEMS gyroscope device based on four-bridge tunnel magnetoresistive element

Номер патента: CN211904158U. Автор: 张瑞,金丽,李孟委,秦世洋. Владелец: NORTH UNIVERSITY OF CHINA. Дата публикации: 2020-11-10.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) RESONATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20120025922A1. Автор: Sato Akira,INABA Shogo. Владелец: SEIKO EPSON CORPORATION. Дата публикации: 2012-02-02.

MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STRUCTURE

Номер патента: US20120090398A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng,Tsao Li-Chi. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) BASED HYDRAULIC CONTROL SYSTEM FOR FULL HYBRID VEHICLES

Номер патента: US20120090426A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Hebbale Kumaraswamy V.,Kao Chi-Kuan,Bartos Andrew L.,Rober Kevin B.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) BASED HYDRAULIC CONTROL SYSTEM FOR MILD HYBRID VEHICLES

Номер патента: US20120090427A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Hebbale Kumaraswamy V.,Kao Chi-Kuan,Bartos Andrew L.,Rober Kevin B.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

WAFER LEVEL PACKAGING OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) AND COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) SUBSTRATES

Номер патента: US20120098122A1. Автор: YANG Hsueh-An. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2012-04-26.

METHOD OF MAKING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20120107993A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-05-03.

MICROFLUIDIC-CHANNEL EMBEDDABLE, LATERALLY OSCILLATING GRAVIMETRIC SENSOR DEVICE FABRICATED WITH MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) TECHNOLOGY

Номер патента: US20120148448A1. Автор: Kulah Haluk,Ciftlik Ata Tuna. Владелец: . Дата публикации: 2012-06-14.

ON-CHIP MEASUREMENT OF CAPACITANCE FOR MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) ACTUATOR CIRCUIT

Номер патента: US20120153973A1. Автор: Guo Dianbo. Владелец: STMicroelectronics Asia Pacific Pte Ltd.. Дата публикации: 2012-06-21.

CONTROL SURFACE FOR TOUCH AND MULTI-TOUCH CONTROL OF A CURSOR USING A MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) SENSOR

Номер патента: US20120154273A1. Автор: McDade,SR. Darryn D.,Mohammadi Hamid. Владелец: STMicroelectronics, Inc.. Дата публикации: 2012-06-21.

POWER SWITCHING SYSTEM INCLUDING A MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) ARRAY

Номер патента: US20120169266A1. Автор: . Владелец: GENERAL ELECTRIC COMPANY. Дата публикации: 2012-07-05.

Micro Electromechanical System (MEMS) Spatial Light Modulator Pixel Driver Circuits

Номер патента: US20120169692A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-07-05.

MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120187077A1. Автор: PARK Kang Ho,KIM Jong Dae,LEE Jae Woo. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2012-07-26.

THREE DIMENTIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20120217031A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-08-30.

MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20120267730A1. Автор: . Владелец: TRONICS MICROSYSTEMS S.A.. Дата публикации: 2012-10-25.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20120274176A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-11-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20120319528A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2012-12-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20130056841A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2013-03-07.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20130156993A1. Автор: Stamper Anthony K.,CZABAJ Brian M.,DeMUYNCK David A.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20130168782A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-07-04.

DETECTING RESPONSES OF MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) RESONATOR DEVICE

Номер патента: US20130169341A1. Автор: LEGRAND Bernard,TANBAKUCHI HASSAN,Ducatteau Damien,Theron Didier. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES, INC.. Дата публикации: 2013-07-04.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES WITH THROUGH SUBSTRATE VIAS AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20130193527A1. Автор: Chu Chia-Hua,Chang Kuei-Sung,Lee Te-Hao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2013-08-01.

Energy harvesting with a micro-electro-machanical system (MEMS)

Номер патента: US20130193930A1. Автор: Baugher Jeffrey Paul. Владелец: Duality Reality Energy, LLC. Дата публикации: 2013-08-01.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STRUCTURES AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20130214400A1. Автор: KALNITSKY Alex,SHU Chia-Pao,HUNG Chia-Ming,TAI Wen-Chuan,WANG Hung-Sen,CHEN Hsiang-Fu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2013-08-22.

RF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) CAPACITIVE SWITCH

Номер патента: US20130284571A1. Автор: Pillans Brandon William,Moody Cody Blake,Morris Francis Joseph. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-31.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.