Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler
Номер патента: IL264238A
Опубликовано: 30-05-2019
Автор(ы): Neuzil Tomas, Scheirich Jan, Vagner Martin
Принадлежит: Honeywell Int Inc, Neuzil Tomas, Scheirich Jan, Vagner Martin
Опубликовано: 30-05-2019
Автор(ы): Neuzil Tomas, Scheirich Jan, Vagner Martin
Принадлежит: Honeywell Int Inc, Neuzil Tomas, Scheirich Jan, Vagner Martin
Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler
Номер патента: US20190226847A1. Автор: Tomas Neuzil,Jan Scheirich,Martin Vagner. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2019-07-25.