Strukturen und entwurfsstrukturen mikroelektromechanischer systeme (mems)
Номер патента: DE102012221818A1
Опубликовано: 20-06-2013
Автор(ы): Anthony K. Stamper, Brain M. Czabaj, David A. DeMuynck
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-06-2013
Автор(ы): Anthony K. Stamper, Brain M. Czabaj, David A. DeMuynck
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures
Номер патента: US20130156993A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brian M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.