Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

  • Главная
  • HERMETIC ENCAPSULATION FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES

HERMETIC ENCAPSULATION FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20170022050A1
Опубликовано: 26-01-2017
Автор(ы): EID Feras, Haney Sarah K., Oster Sasha N., TEH Weng Hong
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Hermetic encapsulation for microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20170022050A1. Автор: Feras Eid,Sasha N. OSTER,Weng Hong Teh,Sarah K. Haney. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-01-26.

Structure for microelectromechanical systems (mems) devices to control pressure at high temperature

Номер патента: US20210087055A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-25.

Corrugated package for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: WO2017178464A1. Автор: Kuldeep Saxena. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-10-19.

Corrugated package for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: EP3442900A1. Автор: Kuldeep Saxena. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2019-02-20.

Wafer Level Hermetic Seal Process for microelectromechanical systems (MEMS) devices

Номер патента: US09975757B2. Автор: Chung-Yen Chou,Yuan-Chih Hsieh,Shih-Chang Liu,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-05-22.

Method of fabricating mems devices with electrical components in their sidewalls

Номер патента: WO2010139034A4. Автор: Vladimir Stavrov. Владелец: Amg Technology Ltd.. Дата публикации: 2011-06-30.

Method of fabricating mems devices with electrical components in their sidewalls

Номер патента: WO2010139034A3. Автор: Vladimir Stavrov. Владелец: Amg Technology Ltd.. Дата публикации: 2011-05-12.

Cover based adhesion force measurement system for microelectromechanical system (mems)

Номер патента: US20190062147A1. Автор: Alexander Castro,Chae AHN. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-02-28.

Structure for microelectromechanical systems (mems) devices to control pressure at high temperature

Номер патента: US20230294978A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

Leadframe-based premolded package having acoustic air channel for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: EP2519970A2. Автор: James R. Huckabee,Ray H. Purdom. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2012-11-07.

Piezoelectric anti-stiction structure for microelectromechanical systems

Номер патента: US20210061641A1. Автор: Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

A microelectromechanical system with a micro-scale spring suspension system and methods for making the same

Номер патента: WO2015026516A1. Автор: John E. Rogers. Владелец: HARRIS CORPORATION. Дата публикации: 2015-02-26.

Leadframe-based premolded package having acoustic air channel for microelectromechanical system (mems) device

Номер патента: WO2011082214A3. Автор: James R. Huckabee,Ray H. Purdom. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2011-11-10.

Piezoelectric anti-stiction structure for microelectromechanical systems

Номер патента: US11834325B2. Автор: Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-05.

Piezoelectric anti-stiction structure for microelectromechanical systems

Номер патента: US20230373780A1. Автор: Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Integrated microelectromechanical system devices and methods for making the same

Номер патента: WO2015026515A1. Автор: John E. Rogers. Владелец: HARRIS CORPORATION. Дата публикации: 2015-02-26.

Membrane structures for microelectromechanical pixel and display devices and systems, and methods for forming membrane structures and related devices

Номер патента: US09798132B2. Автор: Bernhard WINKLER,Thomas Popp,Klemens Pruegl,Roland Meier,Raimund Foerg. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-10-24.

Packaging of microelectromechanical system devices

Номер патента: EP4412946A1. Автор: Jae-Wung Lee. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2024-08-14.

Method for thin film encapsulation (TFE) of a microelectromechanical system (MEMS) device and the MEMS device encapsulated thereof

Номер патента: US09505612B2. Автор: Navab Singh,Jae-Wung Lee,Jaibir Sharma. Владелец: Agency for Science Technology and Research Singapore. Дата публикации: 2016-11-29.

Microelectromechanical systems (MEMS) devices at different pressures

Номер патента: US09856139B2. Автор: Bruce C. S. CHOU,Hsin-Ting HUANG,Shao-Chi Yu,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Allen Timothy Chang,Wen-Chuan Tai,Chin-Min Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-01-02.

Molded interconnect mircoelectromechanical system (MEMS) device package

Номер патента: US09781519B2. Автор: Kuldeep Saxena. Владелец: Akustica Inc. Дата публикации: 2017-10-03.

Microelectronics package with vertically stacked MEMS device and controller device

Номер патента: US12129168B2. Автор: Julio C. Costa,Mickael Renault. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2024-10-29.

Microelectrochemical systems (MEMS) device having a seal layer arranged over or lining a hole in fluid communication with a cavity of the MEMS device

Номер патента: US09567204B2. Автор: Hsin-Ting HUANG,Shao-Chi Yu,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Microelectromechanical systems (MEMS) devices with control circuits and methods of fabrication

Номер патента: US09359192B1. Автор: Philip H. Bowles,Vijay Sarihan,Mamur Chowdhury. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-06-07.

Microelectromechanical systems design feature

Номер патента: US20080315400A1. Автор: Michael J. Foster. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2008-12-25.

Wafer level packaging for mems device

Номер патента: US20190144265A1. Автор: Rakesh Kumar,Pradeep Yelehanka,Natarajan Rajasekaran,Siddharth Chakravarty,Sharath Poikayil POIKAYIL SATHEESH,Chun Hoe YIK. Владелец: GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE LTD. Дата публикации: 2019-05-16.

Methods for forming a mems device layer on an active device layer and devices formed thereby

Номер патента: US20210292161A1. Автор: Marco Francesco Aimi,Joleyn Eileen Brewer. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2021-09-23.

Movement microelectromechanical systems (MEMS) package

Номер патента: US09527721B2. Автор: Jui-Chun Weng,Chih-Yu Wang,Chih-Shan Chen,Wei-Ding Wu,Ji-Hong CHIANG,Hsi-Cheng Hsu,Shyh-Wei Cheng,Chuan-Yi KO,Chao-Po Lu,Chung-Hsien Hun. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-12-27.

Fixed-fixed membrane for microelectromechanical system microphone

Номер патента: US20240089668A1. Автор: Sushil Bharatan,Joseph Seeger,Andrew Randles,Michael John Foster. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2024-03-14.

Fixed-fixed membrane for microelectromechanical system microphone

Номер патента: WO2024058783A1. Автор: Sushil Bharatan,Joseph Seeger,Andrew Randles,Michael John Foster. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2024-03-21.

Method for manufacturing a microelectromechanical systems (MEMS) device with different electrical potentials and an etch stop

Номер патента: US9221674B1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Yu-Chia Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-12-29.

Getter electrode to improve vacuum level in a microelectromechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US09938134B2. Автор: Jung-Huei Peng,Shiang-Chi LIN,Yu-Chia Liu,Yi-Chien Wu,Wei Siang Tan. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-04-10.

Method for integrating complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) devices with microelectromechanical systems (MEMS) devices using a flat surface above a sacrificial layer

Номер патента: US09796582B1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Method of making a MEMS die having a MEMS device on a suspended structure

Номер патента: US09458008B1. Автор: Ruben B. Montez,Fengyuan LI,Chad S. Dawson,Colin B. Stevens. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-10-04.

Method for manufacturing a microelectromechanical systems (MEMS) device with different electrical potentials and an etch stop

Номер патента: US09403673B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Yu-Chia Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-08-02.

Systems, methods, and devices for in vivo delivery using remote actuation of implantable hydrogel MEMS devices

Номер патента: US09907906B2. Автор: Samuel K. Sia,Olga Ordeig,Sau Yin Chin,Yuk Kee Cheung POH,Anne-Celine Kohler. Владелец: Columbia University in the City of New York. Дата публикации: 2018-03-06.

Compensation and calibration for MEMS devices

Номер патента: US09834438B2. Автор: Raimondo P. Sessego,Tehmoor M. Dar,Bruno J. Debeurre,Richard A. Deken,Aaron A. Geisberger,Krithivasan Suryanarayanan. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-12-05.

Radio frequency (RF) microelectromechanical systems (MEMS) devices with gold-doped silicon

Номер патента: US09475692B2. Автор: Michael Carroll,Julio C. Costa,Jonathan Hale Hammond. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Microelectromechanical systems devices with improved reliability

Номер патента: US09796578B2. Автор: Richard Yeh,Kuan-Lin Chen. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2017-10-24.

Dual layer microelectromechanical systems device and method of manufacturing same

Номер патента: US09617147B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Te-Hao Lee,Jiou-Kang Lee,Kai-Chih Liang,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Inhibiting propagation of surface cracks in a MEMS device

Номер патента: US09540227B2. Автор: Chad S. Dawson. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Embedded circuit in a MEMS device

Номер патента: US09485560B2. Автор: Sandra F. Vos,Daniel Giesecke. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2016-11-01.

MCU-based compensation and calibration for MEMS devices

Номер патента: US09335396B2. Автор: Raimondo P. Sessego,Tehmoor M. Dar,Bruno Debeurre. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-05-10.

Double layer mems devices and method of manufacture

Номер патента: EP4446281A1. Автор: Altti Torkkeli,Antti Iihola,Petteri Kilpinen,Marko Peussa. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-16.

Microelectromechanical systems devices with improved lateral sensitivity

Номер патента: US09612254B2. Автор: Michael Naumann. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-04-04.

Microelectromechanical system devices having through substrate vias and methods for the fabrication thereof

Номер патента: US09469523B2. Автор: Lianjun Liu. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-10-18.

Microelectromechanical system (mems) on application specific integrated circuit (asic)

Номер патента: RU2602746C2. Автор: Торстен Мейер,Геральд ОФНЕР. Владелец: ИНТЕЛ АйПи КОРПОРЕЙШН. Дата публикации: 2016-11-20.

Membrane structures for microelectromechanical pixel and display devices and systems, and methods for forming membrane structures and related devices

Номер патента: US20150362722A1. Автор: Bernhard WINKLER,Thomas Popp,Klemens Pruegl,Roland Meier,Raimund Foerg. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2015-12-17.

Stress isolation for MEMS device

Номер патента: US09446940B2. Автор: Stephen R. Hooper,Chad S. Dawson. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-09-20.

APPARATUS AND METHOD FOR LARGE AREA HERMETIC ENCAPSULATION OF ONE OR MORE ORGANIC LIGHT EMITTING DIODES (OLEDs)

Номер патента: US20130068374A1. Автор: Thomas Alexander Knapp,James Michael Kostka,Keith Raymond Woerner,Edward James Balaschak. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2013-03-21.

Microelectromechanical system device having a hinge layer

Номер патента: US09500857B2. Автор: Nan Liu,Chien-Tang Wang,Hui-Lun Chen,Wei-Hsiao Chen,Chun-Hao Su,Roland V. Gelder. Владелец: Himax Display Inc. Дата публикации: 2016-11-22.

Mems device with membrane and upright nanostructures

Номер патента: US20240253976A1. Автор: Hutomo Suryo Wasisto,Sebastian Anzinger,Fabian Streb. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-08-01.

Temperature compensation for MEMS devices

Номер патента: US09602026B2. Автор: Daniel N. Koury, Jr.,Emmanuel P. Quevy. Владелец: Silicon Laboratories Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Signal processing method of multiple mirco-electro-mechanical system (MEMS) devices and combo MEMS device applying the method

Номер патента: US09563102B2. Автор: Chia-Yu Wu,Yu-Wen Hsu,Ying-Che Lo,Lu-Po Liao. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-02-07.

Hermetically sealed mems device and its fabrication

Номер патента: US20180148319A1. Автор: Virgil Cotoco Ararao,John Charles Ehmke. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2018-05-31.

MEMS devices and circuits including same

Номер патента: GB2613103A. Автор: STEEL Victor,HARIDAS Nakul. Владелец: Sofant Technologies Ltd. Дата публикации: 2023-05-24.

Hermetically sealed MEMS device and its fabrication

Номер патента: US09890036B2. Автор: Virgil Cotoco Ararao,John Charles Ehmke. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2018-02-13.

Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems

Номер патента: WO2007126844A3. Автор: Ming-Hau Tung,William J Cummings,Lior Kogut,Sriram Akella. Владелец: Sriram Akella. Дата публикации: 2007-12-21.

Microelectromechanical system (mems) device with backside pinhole release and re-seal

Номер патента: WO2021142403A1. Автор: Ting-Ta Yen,Bichoy BAHR,Benjamin Cook,Jeronimo SEGOVIA-FERNANDEZ. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2021-07-15.

Coupled accordion springs in microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20180087491A1. Автор: Qian Zhang,Lei Gu,Kuang L. Yang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2018-03-29.

Microelectromechanical systems (mems) device including a superlattice and associated methods

Номер патента: EP1896361A2. Автор: Richard A. Blanchard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2008-03-12.

Hermetically sealed MEMS device and its fabrication

Номер патента: US9890036B2. Автор: Virgil Cotoco Ararao,John Charles Ehmke. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2018-02-13.

Method of sealing and shielding for dual pressure MEMs devices

Номер патента: US09481564B2. Автор: Kuei-Sung CHANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-11-01.

Position sensing circuit for an electrostatically driven MEMS device

Номер патента: US11820649B2. Автор: Robert Matthew Panas,Steven L. Hunter,Princess CORRAL,Phillip Harris PAUL. Владелец: Lawrence Livermore National Security LLC. Дата публикации: 2023-11-21.

Mems device having a getter

Номер патента: EP2973685A1. Автор: Ando Feyh,Gary Yama,Gary O'brien,Fabian Purkl,Bongsang Kim,Andrew Graham,Ashwin Samarao. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2016-01-20.

Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems

Номер патента: WO2007126844A2. Автор: Ming-Hau Tung,William J. Cummings,Lior Kogut,Sriram Akella. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2007-11-08.

MEMS device having a getter

Номер патента: US09511998B2. Автор: Ando Feyh,Gary Yama,Gary O'brien,Fabian Purkl,Bongsang Kim,Andrew Graham,Ashwin Samarao. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2016-12-06.

Microelectromechanical Systems Sensor with Frequency Dependent Input Attenuator

Номер патента: US20240217810A1. Автор: Steven Boor,Michael Jennings,Divya Kesharwani. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-07-04.

Method of fabricating a mems device

Номер патента: US20160299334A1. Автор: Sean Christopher O'Brien. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2016-10-13.

Method of fabricating a MEMS device

Номер патента: US09632308B2. Автор: Sean Christopher O'Brien. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2017-04-25.

Micro-electro mechanical system (MEMS) device having a blocking layer formed between closed chamber and a dielectric layer of a CMOS substrate

Номер патента: US09487391B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

Dielectric protection layer configured to increase performance of mems device

Номер патента: US20240375943A1. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-11-14.

Microelectromechanical systems package and method for manufacturing the same

Номер патента: US20240083743A1. Автор: Guofu Zhou,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Sock Kuan Soo,Poh Liang Yap. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2024-03-14.

Packaging of microelectromechanical system devices

Номер патента: FI20216035A1. Автор: Jae-Wung Lee. Владелец: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY. Дата публикации: 2023-04-07.

Stress-isolated MEMS device comprising substrate having cavity and method of manufacture

Номер патента: US11981560B2. Автор: Xin Zhang,Michael Judy,Christopher Needham,Laura Cornelia Popa,Andrew Proudman,Nikolay Pokrovskiy,II George M. Molnar. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2024-05-14.

Micro-electro mechanical system (MEMS) device having a blocking layer formed between closed chamber and a dielectric layer of a CMOS substrate

Номер патента: US09617150B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Microelectromechanical system device

Номер патента: US20180208457A1. Автор: Li-Tien Tseng,Chih-Liang Kuo,I-Heng Chou. Владелец: MIRAMEMS SENSING TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-26.

Method of manufacturing a microelectromechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US12043537B2. Автор: Shih-Wei Lin,Chang-Ming Wu,Ting-Jung Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Forming an offset in an interdigitated capacitor of a microelectromechanical systems (mems) device

Номер патента: US20190031499A1. Автор: Uwe Rudolph,Sebastian Pregl. Владелец: Infineon Technologies Dresden GmbH and Co KG. Дата публикации: 2019-01-31.

MEMS device with perimeter barometric relief pierce

Номер патента: US11772961B2. Автор: Bing Yu,Michael Kuntzman,Peter V. Loeppert,Vahid Naderyan,Ken Deng,Faisal Zaman. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2023-10-03.

Mems device with membrane comprising laser structured nanostructures and method for manufacturing same

Номер патента: US20240253977A1. Автор: Hutomo Suryo Wasisto,Sebastian Anzinger,Fabian Streb. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-08-01.

Composite spring structure to reinforce mechanical robustness of a mems device

Номер патента: US20240270565A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Kuei-Sung CHANG,Wei-Jhih Mao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

MEMS device with isolation sub-frame structure

Номер патента: US09745189B1. Автор: Aaron A. Geisberger. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-08-29.

MEMS device with isolation sub-frame structure

Номер патента: US09663348B1. Автор: Aaron A. Geisberger. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-05-30.

MEMS device with release aperture

Номер патента: US09550666B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Microelectromechanical systems (“MEMS”) device having a built-in self-test (“BIST”) and a method of application of a BIST to measure MEMS health

Номер патента: US11975963B2. Автор: John J. Albers,Jorge GRILO. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-05-07.

System and method for mems devices

Номер патента: US20230273423A1. Автор: Kelly J. Taylor,John Hamlin,Toby Linder. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2023-08-31.

Fabrication method for a MEMS device

Номер патента: US12017909B2. Автор: Deniz Sabuncuoglu Tezcan,Antonia MALAINOU. Владелец: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC. Дата публикации: 2024-06-25.

Two degree-of-freedom actuator and MEMS device

Номер патента: US12013527B2. Автор: Fabian LOFINK,Shanshan Gu-Stoppel,Jide LIANG. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-18.

Hermetic package for mems devices with integrated carrier

Номер патента: WO2002055428A1. Автор: Richard L. Simmons. Владелец: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY. Дата публикации: 2002-07-18.

Wafer level chip scale packaged micro-electro-mechanical-system (MEMS) device and methods of producing thereof

Номер патента: US09682854B2. Автор: Piu Francis Man,Anru Andrew Cheng. Владелец: Memsic Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Microelectromechanical system (MEMS) on application specific integrated circuit (ASIC)

Номер патента: US09663353B2. Автор: Thorsten Meyer,Christian Geissler,Gerald Ofner,Reinhard Mahnkopf,Andreas Augustin. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2017-05-30.

MEMS devices and fabrication methods thereof

Номер патента: US09452924B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Te-Hao Lee,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-09-27.

MEMS devices and fabrication methods thereof

Номер патента: US09450109B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Te-Hao Lee,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Hermetic MEMS device and method for fabricating hermetic MEMS device and package structure of MEMS device

Номер патента: US8217474B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2012-07-10.

Microelectromechanical system (mems) sensors and applications thereof

Номер патента: WO2024113011A1. Автор: Van Thanh Dau,Barry Wai Choo KOK,Cong Thanh NGUYEN,Dzung Viet DAO. Владелец: Future Sense Holdings Pty Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Stress buffer layer for integrated microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: US20150266728A1. Автор: Thorsten Meyer,Christian Mueller,Christian Geissler,Gerald Ofner,Reinhard Mahnkopf,Andreas Augustin. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2015-09-24.

Microelectromechanical systems component and method of making same

Номер патента: EP2259995A1. Автор: Daniel N. Koury, Jr.,Lianjun Liu,Melvy F. Miller. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2010-12-15.

A micro-electromechanical system (mems) device

Номер патента: SG185230A1. Автор: COLLET Joël,Boillot Francois-Xavier,Renard Stéphane,Filipe Antoine. Владелец: Tronics Microsystems S A. Дата публикации: 2012-11-29.

Mems device package and method for manufacturing the same

Номер патента: US20190055118A1. Автор: Chien-Hua Chen,Chin-Cheng Kuo,Cheng-Yuan KUNG,Che-Hau Huang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2019-02-21.

Microelectromechanical systems (MEMS) scanners for scanning laser devices

Номер патента: US09946062B1. Автор: Dean R. Brown,Mark P. Helsel,Jason B. Tauscher,Wyatt O. Davis,Matthieu Saracco,Quinn William Haynie. Владелец: Microvision Inc. Дата публикации: 2018-04-17.

Stress buffer layer for integrated microelectromechanical systems (MEMS)

Номер патента: US09550670B2. Автор: Thorsten Meyer,Christian Mueller,Christian Geissler,Gerald Ofner,Reinhard Mahnkopf,Andreas Augustin. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

MEMS device having a metallization structure embedded in a dielectric structure with laterally offset sidewalls of a first portion and a second portion

Номер патента: US11932534B2. Автор: Ping-Yin Liu,Chung-Yi Yu,Jung-Huei Peng,Hung-Hua Lin,Chang-Ming Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-03-19.

Charge transfer circuitry for mems devices

Номер патента: US20230061174A1. Автор: Bing Wen,Edward Chan,HeeSun SHIN,John Hong,Tallis Chang,Sean ANDREWS. Владелец: Obsidian Sensors Inc. Дата публикации: 2023-03-02.

Method of detecting whether microelectromechanical system device is hermetic

Номер патента: US9915679B2. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang,Hung-Sen Chen. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Method for integrating complementary metal-oxide-semiconductor (cmos) devices with microelectromechanical systems (mems) devices using a flat surface above a sacrificial layer

Номер патента: US20200024135A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

Method for fabricating an isolated microelectromechanical system (MEMS) device using an internal void

Номер патента: US20060096947A1. Автор: Richard Harris,Robert Kretschmann,Mark Lucak,Michael Knieser. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-05-11.

Microelectromechanical systems (mems) and related packages

Номер патента: WO2023146865A1. Автор: Li Chen,Xin Zhang,Jianglong Zhang,Michael Judy,John C. Cowles,Shafi Saiyed. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2023-08-03.

Method of Detecting Whether Microelectromechanical System Device Is Hermetic

Номер патента: US20170227575A1. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang,Hung-Sen Chen. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2017-08-10.

Fabrication method for suspended mems device

Номер патента: US20160272482A1. Автор: Ruben B. Montez,Fengyuan LI,Chad S. Dawson,Colin B. Stevens. Владелец: NXP BV. Дата публикации: 2016-09-22.

Mems device and method for calibrating a mems device

Номер патента: US20180141805A1. Автор: Aaron A. Geisberger,Laurent Cornibert,Yean Ling Teo. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2018-05-24.

Micro-electromechanical system (mems) including tantalum as a structural material

Номер патента: US20230271822A1. Автор: Maarten P. de Boer,Longchang Ni,Ryan M. Pocratsky. Владелец: CARNEGIE MELLON UNIVERSITY. Дата публикации: 2023-08-31.

Microelectromechanical systems (MEMS) structure to prevent stiction after a wet cleaning process

Номер патента: US09676606B2. Автор: Chung-Yen Chou. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-06-13.

Microelectromechanical system resonators and related methods and apparatus

Номер патента: US09537466B1. Автор: Andrew Sparks,Jan H. Kuypers,Florian Thalmayr. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2017-01-03.

Miniaturized integrated circuit of optical sensor matrix made according to principles of microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: RU2565351C2. Автор: Хакан УРЕЙ,Бурханеттин Эрдем АЛАДЖА,Эрман ТИМУРДОГАН. Владелец: Кодж Университеси. Дата публикации: 2015-10-20.

Method for integrating complementary metal-oxide-semiconductor (cmos) devices with microelectromechanical systems (mems) devices using a flat surface above a sacrificial layer

Номер патента: US20200346925A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-11-05.

Microelectromechanical Systems Devices with Improved Reliability

Номер патента: US20160159638A1. Автор: Richard Yeh,Kuan-Lin Chen. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2016-06-09.

Microelectromechanical systems (MEMS) device and an aircraft exterior light assembly including the same

Номер патента: US11965644B1. Автор: Deepak Kumar,Prashant Deshpande,Sridhar Vanka,Pranita Madke,Ritu Rai. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2024-04-23.

Mems devices

Номер патента: EP3772485A1. Автор: Stefan Barzen,Wolfgang Klein,Arnaud Walther,Johann Strasser. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2021-02-10.

Mems device

Номер патента: WO2018189547A1. Автор: James Thomas Deas,Marek Sebastian Piechocinski,Colin Wei Hong CHUNG. Владелец: Cirrus Logic International Semiconductor Limited. Дата публикации: 2018-10-18.

Mems devices

Номер патента: US20210044905A1. Автор: Stefan Barzen,Wolfgang Klein,Arnaud Walther,Johann Strasser. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2021-02-11.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US11760626B2. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2023-09-19.

Methods and apparatus for attaching getters to MEMS device housings

Номер патента: US20050208739A1. Автор: Max Glenn,Jon DCamp,Harlan Curtis,Lori Dunaway. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-09-22.

Methods of Manufacture MEMS Devices

Номер патента: US20120164774A1. Автор: Bernhard WINKLER,Werner Weber,Wolfgang Raberg,Florian Schoen. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2012-06-28.

Mems device with acoustic leak control features

Номер патента: EP3192279A1. Автор: Thomas Buck,John Zinn,Andrew Doller. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-07-19.

Microelectromechanical system (MEMS) scanner having a torsional beam flexure with variable width

Номер патента: US11714276B2. Автор: Wyatt Owen Davis,Utku Baran,Xiao Chuan Ong. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2023-08-01.

Microelectromechanical system (mems) scanner having a torsional beam flexure with variable width

Номер патента: WO2021231041A1. Автор: Wyatt Owen Davis,Utku Baran,Xiao Chuan Ong. Владелец: Microsoft Technology Licensing, LLC. Дата публикации: 2021-11-18.

Piezoelectric microelectromechanical system (mems) signal processing for contact detection

Номер патента: WO2024182629A1. Автор: Robert John Littrell. Владелец: QUALCOMM INCORPORATED. Дата публикации: 2024-09-06.

Polymer anchored microelectromechanical system (MEMS) cantilever and method of fabricating the same

Номер патента: US09731957B2. Автор: Rao Valipe Ramgopal,Patkar Rajul Sachin,Apte Prakash Ramchandra. Владелец: INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY BOMBAY. Дата публикации: 2017-08-15.

Systems, Methods, and Devices for In Vivo Delivery Using Remote Actuation of Implantable Hydrogel MEMS Devices

Номер патента: US20180256816A1. Автор: Samuel K. Sia,Sau Yin Chin,Yuk Kee Cheung POH,Anne-Celine Kohler. Владелец: Columbia University in the City of New York. Дата публикации: 2018-09-13.

Hybrid mems fabrication method and new optical mems device

Номер патента: EP1461287A2. Автор: Jeffrey F. De Natale. Владелец: Teledyne Licensing LLC. Дата публикации: 2004-09-29.

Systems and methods to reduce stiction in mems devices

Номер патента: US20230305291A1. Автор: Timothy Patterson,Toby Linder,Lisa Wesneski. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2023-09-28.

Rough anti-stiction layer for mems device

Номер патента: US20190119099A1. Автор: I-Shi WANG,Jen-Hao Liu,Ren-Dou Lee,Yu-Jui Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-04-25.

Encapsulation process for microelectromechanical structures

Номер патента: EP1101730A3. Автор: Robert L. Wood,Bruce W. Dudley. Владелец: JDS Uniphase Corp. Дата публикации: 2003-03-12.

Mems device built on substrate with ruthenium based contact surface material

Номер патента: WO2021195512A9. Автор: Xu Zhu,Andrew Minnick,Christopher F. Keimel. Владелец: Menlo Microsystems, Inc.. Дата публикации: 2021-10-28.

MEMS Device Built On Substrate With Ruthenium Based Contact Surface Material

Номер патента: US20230064520A1. Автор: Xu Zhu,Andrew Minnick,Christopher F. Keimel. Владелец: Menlo Microsystems Inc. Дата публикации: 2023-03-02.

Mems device built on substrate with ruthenium based contact surface material

Номер патента: EP4126754A1. Автор: Xu Zhu,Andrew Minnick,Christopher F. Keimel. Владелец: Menlo Microsystems Inc. Дата публикации: 2023-02-08.

Comb drive for microelectromechanical system

Номер патента: US20230047220A1. Автор: Anup Patel,Yannick Pierre Kervran,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-16.

Methods and devices for microelectromechanical resonators

Номер патента: US12081192B2. Автор: Vamsy P. Chodavarapu,George Xereas. Владелец: Stathera IP Holdings Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

Method and apparatus for reducing in-process and in-use stiction for MEMS devices

Номер патента: US09878899B2. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Shih-Chang Liu,Chang-Ming Wu,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

Reducing the effect of glass charging in MEMS devices

Номер патента: US09568491B2. Автор: Mark W. Weber,Timothy J. Hanson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2017-02-14.

Integrated circuits having shielded mems devices and methods for fabricating shielded mems devices

Номер патента: US20170313577A1. Автор: NAGARAJAN Ranganathan,Rakesh Kumar,Humberto CAMPANELLA PINEDA,Zouhair Sbiaa,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka. Владелец: GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE LTD. Дата публикации: 2017-11-02.

Hybrid mems fabrication method and new optical mems device

Номер патента: WO2003031321A2. Автор: Jeffrey F. De Natale. Владелец: Rockwell Scientific Licensing, Llc. Дата публикации: 2003-04-17.

Reduction of ringing and intermodulation distortion in a mems device

Номер патента: US20230101598A1. Автор: Adam Joseph Fruehling. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2023-03-30.

Method and apparatus for improving measurement accuracy of mems devices

Номер патента: EP2135839A3. Автор: Christopher J. Kulach,Paul R. MacDonald. Владелец: GARMIN SWITZERLAND GMBH. Дата публикации: 2013-10-16.

Fabrication of mems device with automated dispensing of damping fluid and viscosity control

Номер патента: US20240174510A1. Автор: Stefan Richter,Veljko Milanovic,Johannes Kindt. Владелец: Mirrocle Technologies Inc. Дата публикации: 2024-05-30.

Microelectromechanical system assembly and method for manufacturing thereof

Номер патента: WO2007123505A2. Автор: Anthony Minervini. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2007-11-01.

Microelectromechanical systems (mems) audio sensor-based proximity sensor

Номер патента: WO2016048659A3. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-06-16.

MEMS Device Built On Substrate With Ruthenium Based Contact Surface Material

Номер патента: US20210304973A1. Автор: Xu Zhu,Andrew Minnick,Christopher F. Keimel. Владелец: Menlo Microsystems Inc. Дата публикации: 2021-09-30.

Driving circuits for a piezoelectric microelectromechanical system mirror

Номер патента: US20220411255A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2022-12-29.

Microelectromechanical system assembly and method for manufacturing thereof

Номер патента: WO2007123505A3. Автор: Anthony Minervini. Владелец: Anthony Minervini. Дата публикации: 2008-08-07.

Driving circuits for a piezoelectric microelectromechanical system mirror

Номер патента: EP4066041A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2022-10-05.

Microelectromechanical systems (mems) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: EP4423786A1. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2024-09-04.

Method and system for MEMS devices with dual damascene formed electrodes

Номер патента: US09919915B2. Автор: Peter Smeys,Chunchieh Huang. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-03-20.

MEMS Devices and Methods of Forming Same

Номер патента: US20190047851A1. Автор: Chia-Hua Chu,Te-Hao Lee,Jiou-Kang Lee,Kai-Chih Liang,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-02-14.

Mems devices and methods of forming same

Номер патента: US20170066647A1. Автор: Chia-Hua Chu,Te-Hao Lee,Jiou-Kang Lee,Kai-Chih Liang,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-03-09.

Microelectromechanical system device

Номер патента: US20160033759A1. Автор: Nan Liu,Chien-Tang Wang,Hui-Lun Chen,Wei-Hsiao Chen,Chun-Hao Su,Roland V. Gelder. Владелец: Himax Display Inc. Дата публикации: 2016-02-04.

MEMS Devices and Methods of Forming Same

Номер патента: US20200062588A1. Автор: Chia-Hua Chu,Te-Hao Lee,Jiou-Kang Lee,Kai-Chih Liang,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-02-27.

MEMS devices and methods of forming same

Номер патента: US10099919B2. Автор: Chia-Hua Chu,Te-Hao Lee,Jiou-Kang Lee,Kai-Chih Liang,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-10-16.

MEMS devices and methods of forming same

Номер патента: US9499396B2. Автор: Chia-Hua Chu,Te-Hao Lee,Jiou-Kang Lee,Kai-Chih Liang,Chung-Hsien Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-11-22.

MEMS Device for Interaction with Fluids

Номер патента: US20240158222A1. Автор: Christoph Schelling,Timothy Schultz. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2024-05-16.

Micro-electromechanical systems (mems) device and noise cancellation method

Номер патента: EP4237369A1. Автор: Jörg Albers,Stephan Marauska,Ulrich Hofmann,Thomas von Wantoch,Leon Pohl,Thomas KNIELING,Frank Senger,Christian Janicke. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-06.

Micro-electromechanical systems (mems) device and noise cancellation method

Номер патента: US20230365401A1. Автор: Stephan Marauska,Ulrich Hofmann,Joerg Albers,Thomas von Wantoch,Leon Pohl,Thomas KNIELING,Frank Senger,Christian Janicke. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-16.

Micro-electromechanical systems (mems) device and noise cancellation method

Номер патента: WO2022100850A1. Автор: Jörg Albers,Stephan Marauska,Ulrich Hofmann,Thomas von Wantoch,Leon Pohl,Thomas KNIELING,Frank Senger,Christian Janicke. Владелец: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.. Дата публикации: 2022-05-19.

Mems device with dummy-area utilization for pressure enhancement

Номер патента: US20200131032A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Fei-Lung Lai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-30.

Method of fabricating MEMS devices having a plurality of cavities

Номер патента: US09561954B2. Автор: Jung-Kuo Tu,Jui-Chun Weng,Chih-Yu Wang,Hsi-Cheng Hsu,Yu-Ting Hsu,Shyh-Wei Cheng,Che-Jung Chu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-02-07.

MEMS device with a bonding layer embedded in the cap

Номер патента: US09540231B2. Автор: Kai-Fung Chang,Len-Yi Leu,Lien-Yao TSAI. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-01-10.

Vertical stopper for capping MEMS devices

Номер патента: US10239746B2. Автор: Jinbo Kuang,Gaurav Vohra. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2019-03-26.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope calibration

Номер патента: US20190186950A1. Автор: Doruk Senkal,Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai,Ali Shirvani. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-06-20.

2 degree-of-freedom actuator and mems device

Номер патента: WO2020001744A1. Автор: Fabian LOFINK,Shanshan Gu-Stoppel,Jide LIANG. Владелец: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.. Дата публикации: 2020-01-02.

Mems device with off-axis shock protection

Номер патента: US20180231579A1. Автор: Aaron A. Geisberger,Fengyuan LI. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2018-08-16.

Mems device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20230159322A1. Автор: Hyun Soo Kim,Dong Gu Kim,Jang Hyeon Lee,Il Seon Yoo,Dae Sung Kwon. Владелец: Kia Corp. Дата публикации: 2023-05-25.

2 degree-of-freedom actuator and mems device

Номер патента: EP3790838A1. Автор: Fabian LOFINK,Shanshan Gu-Stoppel,Jide LIANG. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-17.

Microelectromechanical systems sensor testing device, system and method

Номер патента: US20200048083A1. Автор: Fabio TOTA,Andrea Labombarda,Stefano Bosco,Federico IACCARINO. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2020-02-13.

MEMS Device for Interaction with Fluids

Номер патента: US20240158221A1. Автор: Christoph Schelling,Timothy Schultz. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2024-05-16.

Method for manufacturing microelectromechanical system structure

Номер патента: US20190256350A1. Автор: Jr-Sheng Chen,Chih-Hsien Hsu,Chin-Han Meng,Lin-Ching Huang,Yu-Pei Chiang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-08-22.

Microelectromechanical systems electret microphone

Номер патента: US20160165355A1. Автор: Aleksey S. Khenkin,Mike Daneman. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-06-09.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: US20220324701A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Berkin BV. Дата публикации: 2022-10-13.

Microelectromechanical systems electret microphone

Номер патента: US09736594B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Mike Daneman. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Suspended microelectromechanical system (MEMS) devices

Номер патента: US10843920B2. Автор: Kotlanka Rama Krishna,Paul Lambkin,Michael John Flynn,Lynn Khine,Seamus Paul Whiston. Владелец: Analog Devices International ULC. Дата публикации: 2020-11-24.

Dielectric protection layer configured to increase performance of mems device

Номер патента: US20230382724A1. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE and fabrication method thereof

Номер патента: US20230382713A1. Автор: Wai Mun Chong,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Rohit Pulikkal Kizhakkeyil,Hup Fong Tan. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-11-30.

Reduced noise mems device with force feedback

Номер патента: US20220337947A1. Автор: Michael Pedersen,Peter V. Loeppert,Vahid Naderyan. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2022-10-20.

Support structure for MEMS device with particle filter

Номер патента: US11807521B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Wen Cheng Kuo. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-07.

Imaging apparatus having print engine that includes MEMS device

Номер патента: US7733365B2. Автор: Martin Christopher Klement,Christopher Gregory Chee. Владелец: Lexmark International Inc. Дата публикации: 2010-06-08.

Method to release diaphragm in mems device

Номер патента: US20150147841A1. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2015-05-28.

CMOS cap for MEMS devices

Номер патента: US11990498B2. Автор: Ilker Ender Ocak,Wan Chia ANG,Piotr Kropelnicki,Paul Simon Pontin. Владелец: Meridian Innovation Pte Ltd. Дата публикации: 2024-05-21.

Microelectromechanical systems device having a mechanically robust anti-stiction/outgassing structure

Номер патента: US20210024348A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Fei-Lung Lai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-01-28.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE and fabrication method thereof

Номер патента: US20230348259A1. Автор: Guofu Zhou,Wai Mun Chong,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Rohit Pulikkal Kizhakkeyil. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-11-02.

Microelectromechanical systems device having a mechanically robust anti-stiction/outgassing structure

Номер патента: US20230382712A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Fei-Lung Lai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

Microelectromechanical systems (mems) structure to prevent stiction after a wet cleaning process

Номер патента: US20170267516A1. Автор: Chung-Yen Chou. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-21.

Microelectromechanical systems device having a mechanically robust anti-stiction/outgassing structure

Номер патента: US11814283B2. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Fei-Lung Lai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Shing-Chyang Pan,Yi-Ren Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-14.

Method for forming micro-electro-mechanical system (mems) structure

Номер патента: US20190315620A1. Автор: Kai-Fung Chang,Len-Yi Leu,Lien-Yao TSAI. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-10-17.

Mems device

Номер патента: US20200290863A1. Автор: Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Fan Hu,Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-09-17.

Methods and apparatus for shielding mems devices

Номер патента: WO2004102119A1. Автор: Jon B. DCamp,Harlan L. Curtis,Max C. Glenn,Lori A. Dunaway. Владелец: HONEYWELL INTERNATION INC.. Дата публикации: 2004-11-25.

MEMS device

Номер патента: US09969609B2. Автор: Wei Xu. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2018-05-15.

Micro electro mechanical system (MEMS) device having via extending through plug

Номер патента: US09771256B2. Автор: Chia-Shiung Tsai,Chung-Yen Chou,Ru-Liang Lee,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-26.

Semiconductor device and method of forming microelectromechanical systems (MEMS) package

Номер патента: US09527723B2. Автор: KANG Chen,Yaojian Lin,Won Kyoung Choi,Ivan Micallef. Владелец: Stats Chippac Pte Ltd. Дата публикации: 2016-12-27.

Variable capacitor and switch structures in single crystal piezoelectric MEMS devices using bimorphs

Номер патента: US09466430B2. Автор: Kushal Bhattacharjee. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2016-10-11.

Stopper bump structures for mems device

Номер патента: US20230257256A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Wei-Jhih Mao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Semiconductor structure for mems device

Номер патента: US20200361767A1. Автор: Jung-Huei Peng,Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Yu-Chia Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-11-19.

Micro-electro mechanical systems (MEMS) device using silicon on insulator (SOI) wafer, and method of fabricating and grounding the same

Номер патента: US20040099909A1. Автор: Ki Kim,Kyu Park. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2004-05-27.

Micro-electromechanical systems (mems) device with outgas layer

Номер патента: US20230399226A1. Автор: Jung-Kuo Tu,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Ching-Kai Shen,Fan Hu,Li-Chun Peng,Hung-Wei Liang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Mems device having a getter

Номер патента: US20160137493A1. Автор: Ando Feyh,Gary Yama,Gary O'brien,Fabian Purkl,Bongsang Kim,Andrew Graham,Ashwin Samarao. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2016-05-19.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: US20170318385A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-11-02.

Plasma shielding for an electrostatic mems device

Номер патента: WO2024002585A1. Автор: Christian Wagner,Marcus Adrianus Van De Kerkhof,Marco Matheus Louis Steeghs. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-01-04.

Microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: US20190119104A1. Автор: Michael W. Cumbie,Chien-Hua Chen,Devin Alexander Mourey,Si-Lam J. Choy. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2019-04-25.

Elevated mems device in a microphone with ingress protection

Номер патента: US20190084828A1. Автор: Sung Bok Lee,John J. Albers,Brandon Harrington. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2019-03-21.

Two degree-of-freedom actuator and mems device

Номер патента: US20210149187A1. Автор: Fabian LOFINK,Shanshan Gu-Stoppel,Jide LIANG. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2021-05-20.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) chip

Номер патента: US9206032B1. Автор: Chiung-C. Lo,Yu-Fu Kang. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2015-12-08.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: US20180332390A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-11-15.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US20220259036A1. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2022-08-18.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: EP3449645A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-03-06.

MEMS device with a dual hinge structure

Номер патента: US12007555B2. Автор: Gonzalo Wills,Wenlin Jin,Stephen Bagnald,Maziar MORADI. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2024-06-11.

Elevated mems device in a microphone with ingress protection

Номер патента: US20200239301A1. Автор: Sung Bok Lee,John J. Albers,Brandon Harrington. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2020-07-30.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US20230331545A1. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2023-10-19.

Microelectromechanical systems (MEMS) microphone bias voltage

Номер патента: US10349170B2. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-07-09.

Piezoelectric micro-electromechanical system (mems)

Номер патента: US20170301853A1. Автор: Rakesh Kumar,Jia Jie Xia,Zouhair Sbiaa,Minu Prabhachandran NAIR,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka. Владелец: GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE LTD. Дата публикации: 2017-10-19.

Mems device and fabrication method thereof

Номер патента: US20200331749A1. Автор: Wei Dong,Pei-Chun Liao,Re-Ching Lin. Владелец: Wuhan Yanxi Micro Components Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-22.

Apparatus and method for dissipating heat with microelectromechanical system

Номер патента: US20210323811A1. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2021-10-21.

Microelectromechanical systems (mems) microphone bias voltage

Номер патента: WO2017189932A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2017-11-02.

Mems device with damping fluid vertically sandwiched between moving and non-moving structures

Номер патента: US20240174509A1. Автор: Stefan Richter,Veljko Milanovic,Johannes Kindt. Владелец: Mirrocle Technologies Inc. Дата публикации: 2024-05-30.

A method for the manufacture of a MEMS device

Номер патента: GB2566309A. Автор: SCOTT Bruce. Владелец: Xaar Technology Ltd. Дата публикации: 2019-03-13.

Mems device and interconnects for same

Номер патента: WO2009020801A2. Автор: Teruo Sasagawa. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2009-02-12.

Forming an offset in an interdigitated capacitor of a microelectromechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US10843915B2. Автор: Uwe Rudolph,Sebastian Pregl. Владелец: Infineon Dresdon & Co KG GmbH. Дата публикации: 2020-11-24.

Micro-electro-mechanical system (mems) devices and fabrication methods thereof

Номер патента: US20230294980A1. Автор: Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Sock Kuan Soo,Muniandy Shunmugam. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Mems device and fabrication method thereof

Номер патента: US20230336157A1. Автор: Wei Li,Herb He Huang,Hailong LUO. Владелец: Ningbo Semiconductor International Corp. Дата публикации: 2023-10-19.

MEMS device with Z-axis asymetry

Номер патента: EP1932803A3. Автор: Michael J. Foster,Shifang Zhou. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2012-05-23.

Microelectromechanical systems (mems) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: US20240166497A1. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2024-05-23.

Forming an offset in an interdigitated capacitor of a microelectromechanical systems (mems) device

Номер патента: US20190233276A1. Автор: Uwe Rudolph,Sebastian Pregl. Владелец: Infineon Dresden & Co KG GmbH. Дата публикации: 2019-08-01.

Inertial measurement unit (imu) with blending of outputs from an array of micro-electromechanical system (mems) sensors

Номер патента: US20240302169A1. Автор: Shuang Li,Jingwei Li,Christopher J. Mauer,Zhizhen Shen. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2024-09-12.

Inertial measurement unit (imu) with blending of outputs from an array of micro-electromechanical system (mems) sensors

Номер патента: AU2024200797A1. Автор: Shuang Li,Jingwei Li,Christopher J. Mauer,Zhizhen Shen. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2024-09-26.

Mems device and method of fabricating the same

Номер патента: US20100301430A1. Автор: Herb He Huang. Владелец: Jiangsu Lexvu Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2010-12-02.

Microelectromechanical system converter for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same

Номер патента: TW201902812A. Автор: 哈拉爾 申克,霍格 康萊德. Владелец: 弗勞恩霍夫爾協會. Дата публикации: 2019-01-16.

Method and apparatus for reducing in-process and in-use stiction for mems devices

Номер патента: US20170096328A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Shih-Chang Liu,Chang-Ming Wu,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-04-06.

Microelectromechanical systems (MEMS) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: US11858807B2. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2024-01-02.

Microelectromechanical systems (mems) audio sensor-based proximity sensor

Номер патента: WO2016048659A2. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-03-31.

Imaging apparatus having print engine that includes MEMS device

Номер патента: US20080074720A1. Автор: Christopher Chee,Martin Klement. Владелец: Lexmark International Inc. Дата публикации: 2008-03-27.

Module for mounting a MEMS device

Номер патента: US20060065808A1. Автор: Christopher Chee,Martin Klement. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-03-30.

Method and apparatus for reducing in-process and in-use stiction for mems devices

Номер патента: US20190241425A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Shih-Chang Liu,Chang-Ming Wu,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-08-08.

Microelectromechanical systems (mems) rectifier and storage element for energy harvesting

Номер патента: WO2023075938A1. Автор: Amit Lal. Владелец: X Development LLC. Дата публикации: 2023-05-04.

Microelectromechanical system (mems) scanner having actuator pairs cantilevered adjacent to opposite sides of a scanning mirror

Номер патента: US20210396995A1. Автор: Utku Baran. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2021-12-23.

Mems device and method for manufacturing the same

Номер патента: US20240158225A1. Автор: Weng-Yi Chen,Jung-Hao CHANG. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2024-05-16.

Micro-electro-mechanical systems (mems) microphone assembly

Номер патента: EP4140150A1. Автор: Yu Du. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2023-03-01.

Method of forming a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure

Номер патента: US09593007B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-14.

Microelectromechanical systems device package and method for producing the microelectromechanical systems device package

Номер патента: US09479138B2. Автор: Gilles Moulard. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2016-10-25.

Micro-electro mechanical system (MEMS) structures with through substrate vias and methods of forming the same

Номер патента: US09466532B2. Автор: Chia-Hua Chu,Kuei-Sung CHANG,Te-Hao Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Rotational MEMS device having piezo-resistor sensor

Номер патента: EP1944596A1. Автор: Young-chul c/o Samsung Advanced Institute of Technology Ko,Jin-woo c/o Samsung Advanced Institute of Technology Cho,U-Hyeok c/o Samsung Advanced Institute of Technology Choi,Seong-ho c/o Samsung Advanced Institute of Technology Shin. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2008-07-16.

Systems and methods for providing getters in microelectromechanical systems

Номер патента: WO2018200666A1. Автор: Jongwoo Shin,Daesung Lee,Jeff Chunchieh Huang,Bongsang Kim,Logeeswaran VEERAYEH JAYARAMAN. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2018-11-01.

Microelectromechanical system device and method of manufacturing the microelectromechanical system device

Номер патента: US20110156830A1. Автор: Seog-Woo Hong,Chan-Wook Baik,Hwan-soo Suh. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2011-06-30.

Systems and methods for providing getters in microelectromechanical systems

Номер патента: US11945713B2. Автор: Jongwoo Shin,Daesung Lee,Logeeswaran Veerayah Jayaraman,Jeff Chunchieh Huang,Bongsang Kim. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2024-04-02.

Microelectromechanical system device and method of manufacturing the microelectromechanical system device

Номер патента: EP2341030A3. Автор: Seog-Woo Hong,Chan-Wook Baik,Hwan-soo Suh. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2013-07-17.

Composite spring structure to reinforce mechanical robustness of a MEMS device

Номер патента: US11993510B2. Автор: Shang-Ying Tsai,Kuei-Sung CHANG,Wei-Jhih Mao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-05-28.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US09981842B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-05-29.

Method for forming micro-electro-mechanical system (MEMS) beam structure

Номер патента: US09969613B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-05-15.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US09938137B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-04-10.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US09932222B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-04-03.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09604839B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-28.

Mems device

Номер патента: GB2454603B. Автор: Richard Ian Laming,Anthony Bernard Traynor. Владелец: Wolfson Microelectronics plc. Дата публикации: 2010-05-05.

Method for forming a micro-electro mechanical system (MEMS) including bonding a MEMS substrate to a CMOS substrate via a blocking layer

Номер патента: US10486964B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-11-26.

Heat dissipation system with microelectromechanical system (MEMS) for cooling electronic or photonic components

Номер патента: US11910568B2. Автор: Joel Richard Goergen. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2024-02-20.

Capless semiconductor package with a micro-electromechanical system (MEMS)

Номер патента: US11897763B2. Автор: Jefferson Sismundo TALLEDO. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2024-02-13.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: CA3150338A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-03-25.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: WO2021054829A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Berkin B.V.. Дата публикации: 2021-03-25.

Microelectromechanical system component or a microfluidic component comprising a free-hanging or free-standing microchannel

Номер патента: EP4031484A1. Автор: Joost Conrad Lötters,Meint Jelle De Boer,Jack Herman Van Putten,Jarno GROENESTEIJN,Remco John WIEGERINK,Wouter SPARREBOOM,Henk-Willem VELTKAMP,Qihui YU,Mahdieh YARIESBOUEI,Miguel A. RODRIGUEZ OLGUIN. Владелец: Berkin BV. Дата публикации: 2022-07-27.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) package having hydrophobic layer

Номер патента: US20060076666A1. Автор: Suk Hong,Yeong Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2006-04-13.

Capless semiconductor package with a micro-electromechanical system (mems)

Номер патента: US20240124300A1. Автор: Jefferson Sismundo TALLEDO. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2024-04-18.

Isolated protrusion/recession features in a microelectromechanical system

Номер патента: WO2018187769A2. Автор: Patrick Ian Oden,William C. McDonald,James Carl Baker,Sandra Zheng. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2018-10-11.

Microelectromechanical system resonator assembly

Номер патента: FI131117B1. Автор: Aarne Oja,Antti Jaakkola,Ville SAARELA. Владелец: Kyocera Tech Oy. Дата публикации: 2024-10-10.

Micro Electro Mechanical System (MEMS) on Application Specific Integrated Circuit (ASIC)

Номер патента: DE112013003153T5. Автор: Thorsten Meyer,Gerald Ofner. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2015-05-13.

Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, method of manufacture and design structures

Номер патента: WO2012177304A3. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-03-13.

Methods of manufacturing a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure

Номер патента: US8973250B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-03-10.

Semiconductor device comprising different types of microelectromechanical systems devices

Номер патента: US11851323B2. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Process for manufacturing a micro-electro-mechanical device from a single semiconductor wafer and related mems device

Номер патента: US20230107094A1. Автор: Andrea NOMELLINI,Luca SEGHIZZI,Gianluca Longoni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-04-06.

Semiconductor device comprising different types of microelectromechanical systems devices

Номер патента: US20230406695A1. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.

Semiconductor Device and Method of Forming Microelectromechanical Systems (MEMS) Package

Номер патента: US20200399117A1. Автор: KANG Chen,Yaojian Lin,Won Kyoung Choi,Ivan Micallef. Владелец: Stats Chippac Pte Ltd. Дата публикации: 2020-12-24.

Quality factor compensation in microelectromechanical system (mems) gyroscopes

Номер патента: US20190219394A1. Автор: James Lin,Lijun Gao,Ronald A. Kapusta, JR.. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2019-07-18.

Methods and structures for thin-film encapsulation and co-integration of same with microelectronic devices and microelectromechanical systems (MEMS)

Номер патента: US10173893B2. Автор: Emmanuel P. Quevy,Mehrnaz Motiee,Jeremy R. Hui,Carrie Wing-Zin Low. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2019-01-08.

Microelectromechanical system (MEMS) structure and method of formation

Номер патента: US11953674B2. Автор: Jose A. Martinez. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-04-09.

Microelectromechanical systems device having improved signal distortion

Номер патента: US20230015144A1. Автор: Ting-Jung Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-01-19.

Cantilevered piezoelectric microelectromechanical systems microphone

Номер патента: US20230012046A1. Автор: You Qian,Rakesh Kumar,Guofeng Chen. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2023-01-12.

A semiconductor device having microelectromechanical systems devices with improved cavity pressure uniformity

Номер патента: US20210060610A1. Автор: Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Li-Chun Peng,I-Hsuan CHIU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Microelectromechanical system (mems) microphone and fabrication method thereof

Номер патента: US20230406692A1. Автор: Weng-Yi Chen,Jung-Hao CHANG. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2023-12-21.

Methods and devices for microelectromechanical resonators

Номер патента: US20230308076A1. Автор: Vamsy P. Chodavarapu,George Xereas. Владелец: Stathera IP Holdings Inc. Дата публикации: 2023-09-28.

A lens for a microelectromechanical system mirror

Номер патента: US20230023127A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2023-01-26.

Microelectromechanical system resonator assembly

Номер патента: WO2021209682A2. Автор: Aarne Oja,Antti Jaakkola,Ville SAARELA. Владелец: KYOCERA Tikitin Oy. Дата публикации: 2021-10-21.

A lens for a microelectromechanical system mirror

Номер патента: EP4078267A1. Автор: Tapio PERNU. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2022-10-26.

Microelectromechanical Systems Die

Номер патента: US20240217807A1. Автор: Shubham Shubham,Yunfei Ma,Ann George. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-07-04.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) circuit and method for reconstructing a disturbance variable

Номер патента: DE102017101497B4. Автор: Andreas Wiesbauer,Niccolo de Milleri,Dietmar Sträussnigg. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-08-27.

Method for forming micro-electro-mechanical system (mems) device structure

Номер патента: US20180148324A1. Автор: Jr-Sheng Chen,Chen-Huang HUANG,Chia-Chi Chung,Wen-Chih Chen,zhi-sheng Xu,Kuo-Chin Liu,Chih-Hsien Hsu,Chin-Han Meng,Lin-Ching Huang,Yu-Pei Chiang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-05-31.

Integrationsverfahren zum waferebenenpackaging und mikroelektromechanisches system-, mems-, bauelement

Номер патента: DE102018122261B4. Автор: Ping-Yin Liu,Chung-Yi Yu,Jung-Huei Peng,Hung-Hua Lin,Chang-Ming Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-03-28.

Methods and apparatus for micro-electro-mechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20240067519A1. Автор: Sean C. O'Brien,Jose A. Martinez,John Wesley Hamlin,Kathleen Rose Ferreira. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

Methods of forming MEMS device

Номер патента: US9315379B2. Автор: Lei XIONG,Zhenxing Zhang,Ting Shi,Jianpeng Wang,Pei Xi. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2016-04-19.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20140332913A1. Автор: Anthony K. Stamper. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2014-11-13.

MEMS device and fabrication method thereof

Номер патента: US9502300B2. Автор: Wei Xu. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-11-22.

Mems device and fabrication method thereof

Номер патента: US20160083248A1. Автор: Wei Xu. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-03-24.

Wärmesensor auf der basis eines mikro-elektro-mechanischen systems (mems)

Номер патента: DE102019117890A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US9580298B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-02-28.

Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device

Номер патента: US20020071169A1. Автор: John Bowers,Seung Lee,Noel MacDonald,Roger Helkey,Charles Corbalis,Robert Sink. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-06-13.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) thermal sensor

Номер патента: US11796396B2. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-10-24.

Method and apparatus for forming mems device

Номер патента: WO2011046986A2. Автор: Vladimir Bulovic,Vanessa C. Wood,Corinne E. Packard. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2011-04-21.

Micro-electro-mechanical system (mems) thermal sensor

Номер патента: US20200103290A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Micro-Electro-Mechanical System (Mems) Thermal Sensor

Номер патента: US20230375416A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Method and apparatus for forming mems device

Номер патента: WO2011046986A3. Автор: Vladimir Bulovic,Vanessa C. Wood,Corinne E. Packard. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2011-08-11.

Micro-electrical-mechanical system (mems) microphone

Номер патента: US20150315013A1. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2015-11-05.

Optical scanning system using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (MMAs)

Номер патента: US12061334B2. Автор: David J. Knapp,Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Eric Rogala,Mark K. Lange,Craig O. Shott,Garret A. Odom,Zachary D. Barker. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-08-13.

Micro electrical mechanical system (mems) valve

Номер патента: US20190219193A1. Автор: Jonathan Fry,Yongchun Xin,Daniel Piper,Jang Sim. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2019-07-18.

Stiffening structures for micro-electro-mechanical system (mems) micromirrors

Номер патента: WO2023164190A1. Автор: Daniel Guenther Greif,Katherine Marie SMYTH,Kenneth Alexander Diest. Владелец: Meta Platforms Technologies, LLC. Дата публикации: 2023-08-31.

Micro-electrical-mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: US09955268B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-24.

Micro-electro-mechanical-system (mems) mirror device having large angle out of plane motion using shaped combed finger actuators and method for fabricating the same

Номер патента: US20030090172A1. Автор: Seung Lee,Noel MacDonald. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-05-15.

Micro-electro-mechanical systems (mems) terminal structure of board-to-board electrical connector and manufacturing method thereof

Номер патента: US20180309216A1. Автор: Ta-Teh Meng,Cheng-Feng Yu,Kuo-Ching Lee. Владелец: Advanced Connectek Inc. Дата публикации: 2018-10-25.

Stiffening structures for micro-electro-mechanical system (mems) micromirrors

Номер патента: US20230273424A1. Автор: Daniel Guenther Greif,Katherine Marie SMYTH,Kenneth Alexander Diest. Владелец: Meta Platforms Technologies LLC. Дата публикации: 2023-08-31.

Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices

Номер патента: WO2008016516A2. Автор: Manish Kothari,Jeffrey B. Sampsell. Владелец: Idc, Llc. Дата публикации: 2008-02-07.

Mems devices with unreleased thin film components

Номер патента: WO2005044721A1. Автор: Mark W. Miles. Владелец: Idc, Llc. Дата публикации: 2005-05-19.

Bilden eines mikroelektromechanische-systeme-(mems-) bauelements unter verwendung von silizium-auf-nichts und epitaxie

Номер патента: DE102018205003A1. Автор: Thoralf Kautzsch. Владелец: Infineon Technologies Dresden GmbH and Co KG. Дата публикации: 2018-10-11.

Mems device with membrane comprising upright nanostructures and method for manufacturing same

Номер патента: EP4408016A1. Автор: Hutomo Suryo Wasisto,Sebastian Anzinger,Fabian Streb. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-07-31.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20130156993A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brian M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20130154033A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brian M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Strukturen und entwurfsstrukturen mikroelektromechanischer systeme (mems)

Номер патента: DE102012221818A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brain M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Miniaturized integrated micro electo-mechanical systems (MEMS) optical sensor array for viscosity and mass detection

Номер патента: US09846115B2. Автор: Hakan Urey,Goksenin YARALIOGLU. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2017-12-19.

Micro-electromechanical system (MEMS) carrier

Номер патента: US09815689B2. Автор: Ming-Ching Wu,Su-Jhen Lin. Владелец: Globalmems Taiwan Corp ltd. Дата публикации: 2017-11-14.

Micro-electromechanical system (MEMS) carrier

Номер патента: US09417425B2. Автор: Ming-Ching Wu,Su-Jhen Lin. Владелец: Globalmems Taiwan Corp ltd. Дата публикации: 2016-08-16.

Micro electro-mechanical system (MEMS) based hydraulic control system for full hybrid vehicles

Номер патента: US09358867B2. Автор: Farzad Samie,Chunhao J. Lee,Kumaraswamy V. Hebbale,Andrew L. Bartos,Dongxu Li,Chi-Kuan Kao,Kevin B. Rober. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2016-06-07.

Method for assembly of microelectromechanical systems using magnetic actuation

Номер патента: US6166478A. Автор: Chang Liu,Yong Wuk Yi. Владелец: University of Illinois. Дата публикации: 2000-12-26.

Filter plate pack for a filter press, comprising a microelectromechanical system

Номер патента: DE202021101891U1. Автор: . Владелец: Jz Engineering GmbH. Дата публикации: 2021-04-20.

Isolated protrusion/recession features in microelectromechanical systems

Номер патента: US11932529B2. Автор: Patrick Ian Oden,William C. McDonald,James Carl Baker,Sandra Zheng. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Mikroelektromechanisches System (MEMS)

Номер патента: DE102023204477A1. Автор: Markus Hauf,Yanko Sarov,Markus Holz,Stefan Walz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-11-16.

Micro-electromechanical system (mems) carrier

Номер патента: US20150029606A1. Автор: Ming-Ching Wu,Su-Jhen Lin. Владелец: Globalmems Taiwan Corp ltd. Дата публикации: 2015-01-29.

Radio-Frequency Microelectromechanical Systems and Method of Manufacturing such Systems

Номер патента: US20100255322A1. Автор: Jacob M. J. Den Toonder,Jozef T.M. Van Beek,Auke R. Van Dijken,Theodoor G.S. Rijks. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV. Дата публикации: 2010-10-07.

Method for fabricating an isolated microelectromechanical system device

Номер патента: US20030082928A1. Автор: Richard Harris,Robert Kretschmann,Mark Lucak,Michael Knieser. Владелец: Rockwell Automation Technologies Inc. Дата публикации: 2003-05-01.

Microelectromechanical system device with internal direct electric coupling

Номер патента: US09452920B2. Автор: Joseph Seeger,Matthew Julian Thompson. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-09-27.

Balancing a microelectromechanical system

Номер патента: US20120306030A1. Автор: Pavel Kornilovich,Vladek Kasperchik,James William Stasiak. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2012-12-06.

Double layer mems devices

Номер патента: EP4421022A1. Автор: LIUKKU Matti,Ville-Pekka RYTKÖNEN,Anssi Blomqvist,Tadayuki Okawa,Altti Torkkeli,Petteri Kilpinen,Mazakasu FUKUMITSU. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-28.

Double layer mems devices

Номер патента: US20240286890A1. Автор: Ville-Pekka RYTKÖNEN,Matti LIUKKU,Anssi Blomqvist,Tadayuki Okawa,Altti Torkkeli,Petteri Kilpinen,Masakazu FUKUMITSU. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-29.

Mems device and manufacturing method for mems device

Номер патента: US20240308841A1. Автор: Naoki Izumi,Toma Fujita,Daisuke Kaminishi,Martin Wilfried HELLER. Владелец: ROHM CO LTD. Дата публикации: 2024-09-19.

Mems device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240336474A1. Автор: ZHAN Zhan,Kahkeen Lai,Veronica Tan,Houming Chong,Zaixiang Pua. Владелец: AAC Technologies Pte Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Microelectromechanical system with piezoelectric film and manufacturing method thereof

Номер патента: US12133467B2. Автор: Ting-Jung Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-10-29.

Integration of active devices with passive components and MEMS devices

Номер патента: US09481568B2. Автор: David J. Howard,Jeff Rose,Michael J. Debar. Владелец: Newport Fab LLC. Дата публикации: 2016-11-01.

Apparatus and method for shielding and biasing in mems devices encapsulated by active circuitry

Номер патента: WO2014209953A1. Автор: Li Chen,Thomas Kieran Nunan,Jeffrey A. Gregory,Kuang L. Yang. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2014-12-31.

Electronic device comprising differential sensor mems devices and drilled substrates

Номер патента: EP2121513A2. Автор: Lorenzo Baldo,Mario Francesco Cortese,Chantal Combi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2009-11-25.

Internal barrier for enclosed mems devices

Номер патента: WO2016040897A1. Автор: Peter Smeys,Jong Ii Shin,Jongwoo Shin,Cerina Zhang,Anatole HUANG. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-03-17.

MEMS device, assembly comprising the MEMS device, and method of operating the MEMS device

Номер патента: US11770659B2. Автор: Holger Conrad,Bert Kaiser,Jorge Mario MONSALVE GUARACAO. Владелец: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV. Дата публикации: 2023-09-26.

Electronic device including mems devices and holed substrates, in particular of the lga or bga type

Номер патента: US20110081739A1. Автор: Lorenzo Baldo,Edward Myers,Mario Cortese,Chantal Combi,Mark Anthony Azzopardi. Владелец: STMicroelectronics Malta Ltd. Дата публикации: 2011-04-07.

Substrate plate for mems devices

Номер патента: US20150102835A1. Автор: Alex N. Westland,Maikel A.J. HUYGENS,René J. van der Meer,Reinier PANNEKOEK. Владелец: Oce Technologies BV. Дата публикации: 2015-04-16.

Mems device package with thermally compliant insert

Номер патента: WO2007117447A2. Автор: John Dangtran,Roger Horton. Владелец: S3C, Incorporated. Дата публикации: 2007-10-18.

Mems device, method for manufacturing mems device and electronic device

Номер патента: US20240262678A1. Автор: Jingwen GUO,Biqi LI,Jianyun ZHAO,Jianxing Liu. Владелец: Beijing BOE Technology Development Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Method of fabricating integrated structure for MEMS device and semiconductor device

Номер патента: US09988264B2. Автор: Wei-Cheng Wu,Min Chen,Bang-Chiang Lan,Chien-Hsin Huang,Hui-Min Wu,Tzung-I Su,Li-Hsun Ho. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2018-06-05.

Substrate plate for MEMS devices

Номер патента: US09856140B2. Автор: Alex N. Westland,René J. van der Meer,Reinier PANNEKOEK,Maikel A. J. Huygens. Владелец: Oce Technologies BV. Дата публикации: 2018-01-02.

MEMS device with polymer layer, system of a MEMS device with a polymer layer, method of making a MEMS device with a polymer layer

Номер патента: US09708180B2. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-07-18.

Packaged MEMS device comprising adjustable ventilation opening

Номер патента: US09673785B2. Автор: Stefan Barzen,Michael Kropfitsch,Martin Wurzer,Roland Helm,Christian Herzum. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-06-06.

Apparatus comprising and a method for manufacturing an embedded MEMS device

Номер патента: US09593009B2. Автор: Rainer Leuschner,Horst Theuss,Edward Fuergut. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-03-14.

Mems devices sealing method

Номер патента: RU2662061C1. Автор: Анатолий Андреевич Ковалев,Сергей Валентинович Лебедев,Яков Валерьевич Беляев,Олег Юльевич Яковлев. Владелец: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники". Дата публикации: 2018-07-23.

Mems devices with an etch stop layer

Номер патента: WO2008140815A1. Автор: Fusao Ishii. Владелец: Fusao Ishii. Дата публикации: 2008-11-20.

Method of providing a MEMS device comprising a pyramidal protrusion, and a mold

Номер патента: US12013415B2. Автор: Edin Sarajlic. Владелец: SmartTip BV. Дата публикации: 2024-06-18.

A method of providing a mems device comprising a pyramidal protrusion, and a mold

Номер патента: WO2020209716A1. Автор: Edin Sarajlic. Владелец: SmartTip BV. Дата публикации: 2020-10-15.

A method of providing a MEMS device comprising a pyramidal protrusion, and a mold

Номер патента: NL2022939B1. Автор: Sarajlic Edin. Владелец: SmartTip BV. Дата публикации: 2020-10-20.

A method of providing a mems device comprising a pyramidal protrusion, and a mold

Номер патента: EP3953716A1. Автор: Edin Sarajlic. Владелец: SmartTip BV. Дата публикации: 2022-02-16.

Mems device

Номер патента: WO2013145735A1. Автор: Yutaka Nonomura,Keiichi Shimaoka,Takashi Ozaki,Norio Fujitsuka. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO. Дата публикации: 2013-10-03.

Method for measuring a behaviour of a mems device

Номер патента: WO2019011909A1. Автор: Wolfgang Pahl,Andreas Barbul. Владелец: TDK Electronics AG. Дата публикации: 2019-01-17.

Integrated structure of mems device and cmos image sensor device and fabricating method thereof

Номер патента: US20100148283A1. Автор: Hui-Shen Shih. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2010-06-17.

Mems device

Номер патента: WO2013145735A4. Автор: Yutaka Nonomura,Keiichi Shimaoka,Takashi Ozaki,Norio Fujitsuka. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO. Дата публикации: 2014-01-09.

Mems device

Номер патента: EP2844611A1. Автор: Yutaka Nonomura,Keiichi Shimaoka,Takashi Ozaki,Norio Fujitsuka. Владелец: Toyota Central R&D Labs Inc. Дата публикации: 2015-03-11.

Method for Measuring a Behavior of a MEMS Device

Номер патента: US20200124419A1. Автор: Wolfgang Pahl,Andreas Barbul. Владелец: TDK Electronics AG. Дата публикации: 2020-04-23.

Method and apparatus for MEMS device nebulizer lubrication system

Номер патента: US20050178848A1. Автор: Roger Robbins. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-08-18.

Saw debris reduction in MEMS devices

Номер патента: EP2147894A3. Автор: Max Glenn,Robert D. Horning,Jeff A. Ridley,James C. Nohava,Jame Rekstad. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-06-16.

Saw debris reduction in mems devices

Номер патента: US20100019364A1. Автор: Max Glenn,Robert D. Horning,Jeff A. Ridley,Jane Rekstad,James C. Nohava. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-01-28.

Method and apparatus for wafer-level solder hermetic seal encapsulation of mems devices

Номер патента: EP2780278A1. Автор: John H. Hong,Chong U. Lee,Tallis Y. Chang,Yaoling Pan. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2014-09-24.

MEMS Device and Method of Manufacturing a MEMS Device

Номер патента: US20150024536A1. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2015-01-22.

MEMS Device and Method of Manufacturing a MEMS Device

Номер патента: US20140210020A1. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2014-07-31.

Mems device with controlled electrode off-state position

Номер патента: EP2121510A2. Автор: Peter G. Steeneken. Владелец: NXP BV. Дата публикации: 2009-11-25.

Mems device with controlled electrode off-state position

Номер патента: WO2008072163A3. Автор: Peter G Steeneken. Владелец: Peter G Steeneken. Дата публикации: 2008-10-23.

Integrated structure of mems device and cmos image sensor device

Номер патента: US20110006350A1. Автор: Hui-Shen Shih. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2011-01-13.

Integrated structure of MEMS device and CMOS image sensor device

Номер патента: US8134192B2. Автор: Hui-Shen Shih. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2012-03-13.

Method of producing a mems device

Номер патента: EP1776313A1. Автор: John R. Martin,Manolo G. Mena,Michael P. Duffy,Maurice S. Karpman,Lawrence E. Felton,Elmer S. Lacsamana,William A. Webster. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2007-04-25.

Method of Producing a MEMS Device

Номер патента: US20110266639A1. Автор: Manolo G. Mena,Lawrence E. Felton,Elmer S. Lacsamana,William A. Webster. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2011-11-03.

Method of producing a mems device

Номер патента: WO2006022957A1. Автор: John R. Martin,Manolo G. Mena,Michael P. Duffy,Maurice S. Karpman,Lawrence E. Felton,Elmer S. Lacsamana,William A. Webster. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2006-03-02.

Method of making dimple structure for prevention of mems device stiction

Номер патента: US20070269920A1. Автор: Lianzhong Yu,Ken L. Yang. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2007-11-22.

Mems device with non-standard profile

Номер патента: EP1776314A1. Автор: John R. Martin,Lawrence E. Felton. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2007-04-25.

MEMS device having decreased contact resistance

Номер патента: US12077431B2. Автор: Mickael Renault,Shibajyoti Ghosh DASTIDER,Jacques Marcel MUYANGO. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

MEMS device with stress relief structures

Номер патента: US09676614B2. Автор: Houri Johari-Galle,Michael W. Judy. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Integrated MEMS device

Номер патента: US09676609B2. Автор: Jerwei Hsieh. Владелец: Asia Pacific Microsystems Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Apparatus with a rotatable MEMS device

Номер патента: US09664897B1. Автор: Arnon Hirshberg. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2017-05-30.

MEMS device and method for manufacturing the MEMS device

Номер патента: US09641949B2. Автор: Johann Massoner. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-05-02.

Simplified MEMS device fabrication process

Номер патента: US09630836B2. Автор: Roman Gutierrez,Tony Tang,Xiaolei Liu,Matthew Ng,Guiqin Wang. Владелец: MEMS Drive Inc. Дата публикации: 2017-04-25.

MEMS device and process for RF and low resistance applications

Номер патента: US09617141B2. Автор: Xiang Li,Martin Lim,Li-Wen Hung,Michael Julian Daneman. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-04-11.

System and method for packaged MEMS device having embedding arrangement, MEMS die, and grille

Номер патента: US09584889B2. Автор: Edward Fuergut,Alfons Dehe,Irmgard Escher-Poeppel. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-02-28.

MEMS device and method of making a MEMS device

Номер патента: US09580299B2. Автор: Alfons Dehe,Martin Wurzer,Christian Herzum. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-02-28.

MEMS device and method of making a MEMS device

Номер патента: US09409763B2. Автор: Alfons Dehe,Martin Wurzer,Christian Herzum. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2016-08-09.

MEMS device and method of manufacturing a MEMS device

Номер патента: US09402138B2. Автор: Alfons Dehe,Carsten Ahrens,Bernhard Knott,Stephan Pindl. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2016-07-26.

Mems devices with support structures and methods of their production

Номер патента: RU2468988C2. Автор: Маниш КОТХАРИ,Марк В. МАЙЛЗ,Кларенс ЧУЙ,Вонсак ЧАНГ,Сурья Пракаш ГАНТИ,Джефри Б. СЭМПСЕЛ,Теруо САСАГАВА. Владелец: Квалкомм Инкорпорэйтэд. Дата публикации: 2012-12-10.

Acoustically decoupled MEMS devices

Номер патента: US11777468B2. Автор: Benoit Hamelin,Farrokh Ayazi,Jeremy Yang. Владелец: Georgia Tech Research Corp. Дата публикации: 2023-10-03.

Method for manufacturing mems device and mems device

Номер патента: US20240051819A1. Автор: Kahkeen Lai,Ping-He Chang. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-15.

Encapsulated mems device and method for manufacturing the mems device

Номер патента: EP4332052A1. Автор: Marc Fueldner,Arnaud Walther,Hans-Joerg Timme,Johann Strasser,Hutomo Suryo Wasisto,Fabian Streb. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-03-06.

MEMS Device and Method for Manufacturing a MEMS Device

Номер патента: US20240017986A1. Автор: Alexander Frey,Stefan Barzen,Hans-Jörg TIMME,Matthias Friedrich Herrmann,Jun Cheng Ooi. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-01-18.

MEMS device, electronic apparatus, and manufacturing method of MEMS device

Номер патента: US9496806B2. Автор: Yusuke Matsuzawa. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2016-11-15.

Mems device, electronic apparatus, and manufacturing method of mems device

Номер патента: US20140035433A1. Автор: Yusuke Matsuzawa. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2014-02-06.

Mems device with integrated cmos circuit

Номер патента: EP4208346A1. Автор: Gregory John McAvoy. Владелец: 3c Project Management Ltd. Дата публикации: 2023-07-12.

Comb MEMS Device and Method of Making a Comb MEMS Device

Номер патента: US20170073213A1. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-03-16.

Encapsulated mems device and method for manufacturing the mems device

Номер патента: US20240067520A1. Автор: Hans-Jörg TIMME,Arnaud Walther,Johann Strasser,Marc Füldner,Hutomo Suryo Wasisto,Fabian Streb. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-02-29.

Electrical component for a microelectromechanical systems device

Номер патента: WO2022243666A1. Автор: Andrew VELLA. Владелец: XAAR TECHNOLOGY LIMITED. Дата публикации: 2022-11-24.

MEMS device with getter layer

Номер патента: US09884756B2. Автор: Joël COLLET,Julien Cuzzocrea. Владелец: Tronics Microsystems SA. Дата публикации: 2018-02-06.

Microelectromechanical system and a method of manufacturing a microelectromechanical system

Номер патента: US09856134B2. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2018-01-02.

MEMS device with sealed cavity and method for fabricating same

Номер патента: US09725306B2. Автор: David J. Howard,Michael J. Debar. Владелец: Newport Fab LLC. Дата публикации: 2017-08-08.

MEMS device with electrodes permeable to outgassing species

Номер патента: US09663349B2. Автор: Joseph Seeger,Martin Lim,Jongwoo Shin,Houri Johari-Galle. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-05-30.

MEMS device having a getter structure and method of forming the same

Номер патента: US09637375B2. Автор: Chia-Shiung Tsai,Cheng-Yuan Tsai,Chin-Wei Liang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-05-02.

MEMS device positioning apparatus, test system, and test method

Номер патента: US09618556B2. Автор: Thomas J. Birk. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-04-11.

MEMS grid for manipulating structural parameters of MEMS devices

Номер патента: US09617142B1. Автор: Roman Gutierrez,Tony Tang,Xiaolei Liu,Matthew Ng,Guiqin Wang. Владелец: MEMS Drive Inc. Дата публикации: 2017-04-11.

Apparatus and method for preventing stiction of MEMS devices encapsulated by active circuitry

Номер патента: US09556017B2. Автор: Li Chen,Thomas Kieran Nunan,Kuang L. Yang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2017-01-31.

Recovery system and methods for MEMS devices

Номер патента: US09517930B2. Автор: Luca Coronato,Barbara Simoni,Gabriele CAZZANIGA,Luciano Prandi. Владелец: Hanking Electronics Ltd. Дата публикации: 2016-12-13.

Comb MEMS device and method of making a comb MEMS device

Номер патента: US09487386B2. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2016-11-08.

MEMS device comprising an under bump metallization

Номер патента: US09369066B2. Автор: Jan Tue Ravnkilde,Leif Steen Johansen. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2016-06-14.

Vacuum package fabrication of microelectromechanical system devices with integrated circuit components

Номер патента: WO2001056921A2. Автор: Roland W. Gooch,Thomas R. Schimert. Владелец: Raytheon Company. Дата публикации: 2001-08-09.

MEMS device and method for making the same

Номер патента: US11851318B2. Автор: Jung-Kuo Tu,Xin-Hua Huang,Ching-Kai Shen,Yi-Chuan Teng,Wei-Chu LIN,Wei-Cheng Shen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Piezoelectric mems device with thermal compensation from different material properties

Номер патента: US20230099440A1. Автор: Hiroyuki Nakamura,Myeong Gweon Gu,Siarhei Dmitrievich Barsukou. Владелец: Skyworks Global Pte Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Microelectromechanical systems, devices, and methods for fabricating a microelectromechanical systems device, and methods for generating a plurality of frequencies

Номер патента: US20200171541A1. Автор: Rakesh Kumar,Humberto CAMPANELLA PINEDA,Joan Josep GINER DE HARO,You Pak-Chum QIAN. Владелец: Vanguard International Semiconductor SIngapore Pte Ltd. Дата публикации: 2020-06-04.

Piezoelectric mems device with thermal compensation from different material thicknesses

Номер патента: US20230112443A1. Автор: Hiroyuki Nakamura,Myeong Gweon Gu,Siarhei Dmitrievich Barsukou. Владелец: Skyworks Global Pte Ltd. Дата публикации: 2023-04-13.

Integrated single-crystal mems device

Номер патента: WO2008001253A3. Автор: Pascal Philippe,Marc Sworowski,David D R Chevrie. Владелец: David D R Chevrie. Дата публикации: 2008-04-10.

Method of forming planar sacrificial material in a mems device

Номер патента: EP3041783A2. Автор: Joseph Damian Gordon Lacey,Mickael Renault,James F. Bobey,Thomas L. Maguire,Brian I. Troy. Владелец: Cavendish Kinetics Inc. Дата публикации: 2016-07-13.

Process for manufacturing a micro-electro-mechanical device, and mems device

Номер патента: US20240199408A1. Автор: Lorenzo Corso,Giorgio Allegato,Carlo Valzasina,Ilaria Gelmi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-06-20.

Mems device with differential vertical sense electrodes

Номер патента: US20150041927A1. Автор: Aaron A. Geisberger,Margaret L. Kniffin. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2015-02-12.

Mems device having an improved cap and manufacturing process thereof

Номер патента: US20240239648A1. Автор: Lorenzo Tentori,Giuseppe Bruno,Silvia Nicoli. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-07-18.

Method of making electrical connections to hermetically sealed MEMS devices

Номер патента: EP1593649A3. Автор: Luc Ouellet. Владелец: Dalsa Semiconductor Inc. Дата публикации: 2006-04-19.

Mems device with stress isolation and method of fabrication

Номер патента: US20120126345A1. Автор: Aaron A. Geisberger. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2012-05-24.

Mems device and electronics apparatus

Номер патента: US20200039817A1. Автор: You Wang,Quanbo Zou,Zhe Wang,Xianbin Wang. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2020-02-06.

MEMS device and method for manufacturing mems device

Номер патента: US11753296B2. Автор: Masakazu FUKUMITSU. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-12.

Substrate for diaphragm-type resonant mems devices, diaphragm-type resonant mems device and method for manufacturing same

Номер патента: US20160107880A1. Автор: Takahiro Sano,Takayuki Naono. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2016-04-21.

Piezoelectric single-crystal element, mems device using same, and method for manufacturing same

Номер патента: US20230120240A1. Автор: Sang Goo Lee. Владелец: Ibule Photonics Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-20.

MEMS device with piezoelectric actuation, a projective MEMS system including the MEMS device and related control method

Номер патента: US10310253B2. Автор: Domenico Giusti,Roberto Carminati,Sonia Constantini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2019-06-04.

MEMS Device Comprising a Hermetically Sealed Cavity and Devices Obtained Thereof

Номер патента: US20120013020A1. Автор: Luc Haspeslagh,Bin Guo. Владелец: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC. Дата публикации: 2012-01-19.

Microelectromechanical system

Номер патента: US11750973B2. Автор: Anup Patel,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.

Microelectromechanical system

Номер патента: US20220256284A1. Автор: Anup Patel,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-11.

MEMS device with enhanced membrane structure and method of forming the same

Номер патента: US11750980B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Chun Yin Tsai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.

Optical mems device and remote sensing system utilizing the same

Номер патента: WO2011053363A1. Автор: Glen Peter Koste,Faisal Razi Ahmad,Aaron Jay Knobloch,David William Vernooy. Владелец: GENERAL ELECTRIC COMPANY. Дата публикации: 2011-05-05.

MEMS device with a TMD structure

Номер патента: US12063469B2. Автор: Marc Fueldner,Dietmar Straeussnigg,Abidin Güçlü Onaran. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-08-13.

Optical-electrical MEMS devices and method

Номер патента: US20020167712A1. Автор: Charles Hsu,Vernon Shrauger,Bart Romanowicz,Matt Laudon. Владелец: Axiowave Networks Inc. Дата публикации: 2002-11-14.

Mems device and optical device

Номер патента: US20220229286A1. Автор: Chih-Hsien Tsai. Владелец: Coretronic Corp. Дата публикации: 2022-07-21.

Mems device and manufacturing method of mems device

Номер патента: US20240317578A1. Автор: Fumiya KUROKAWA,Yasuhiro Aida. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Capacitive MEMS device with programmable offset voltage control

Номер патента: EP2058276A3. Автор: Evgeni Gousev,Daniel Felnhofer. Владелец: Qualcomm Mems Technologies Inc. Дата публикации: 2012-08-29.

Mems device and method of manufacturing mems device

Номер патента: US20240317574A1. Автор: Hiroki Miyabuchi,Martin Wilfried HELLER. Владелец: ROHM CO LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Mems device and manufacturing method of mems device

Номер патента: US20240317580A1. Автор: Fumiya KUROKAWA,Yasuhiro Aida. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

MEMS device having an improved stress distribution and manufacturing process thereof

Номер патента: US12084341B2. Автор: Roberto Carminati,Massimiliano Merli,Nicolo' BONI,Lorenzo VINCIGUERRA. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-09-10.

MEMS devices and methods of fabrication thereof

Номер патента: US09950522B2. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Jiou-Kang Lee,Chun-Ren Cheng,Ting-Hau Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-04-24.

MEMS device, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, manufacturing method of MEMS device, and manufacturing method of liquid ejecting head

Номер патента: US09944077B2. Автор: Yoichi Naganuma,Toshiaki Hamaguchi,Eiju Hirai,Motoki Takabe. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-04-17.

MEMS devices including MEMS dies and connectors thereto

Номер патента: US09919914B2. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Chun-Wen Cheng,Yi-Chuan Teng,Hung-Chia Tsai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

MEMS device, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, manufacturing method of MEMS device, and manufacturing method of liquid ejecting head

Номер патента: US09919522B2. Автор: Yoichi Naganuma,Toshiaki Hamaguchi,Eiju Hirai,Motoki Takabe. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-03-20.

MEMS device mechanical amplitude control

Номер патента: US09903718B2. Автор: Ilya GURIN,Matthew J. Thompson. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-02-27.

Metallizing MEMS devices

Номер патента: US09758367B2. Автор: Bradley C. Kaanta. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2017-09-12.

Systems and methods to determine stiction failures in MEMS devices

Номер патента: US09733268B2. Автор: Igino Padovani,Roberto Casiraghi,Giorgio Massamiliano Membretti. Владелец: Hanking Electronics Ltd. Дата публикации: 2017-08-15.

MEMS device and fabrication method

Номер патента: US09731962B2. Автор: Hongmei Xie,Xuanjie Liu,Liangliang Guo. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2017-08-15.

Substrate for diaphragm-type resonant MEMS devices, diaphragm-type resonant MEMS device and method for manufacturing same

Номер патента: US09688528B2. Автор: Takahiro Sano,Takayuki Naono. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2017-06-27.

CMOS-MEMS device structure, bonding mesa structure and associated method

Номер патента: US09656852B2. Автор: Chun-Wen Cheng,Yi-Chuan Teng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-05-23.

Method for providing a MEMS device with a plurality of sealed enclosures having uneven standoff structures and MEMS device thereof

Номер патента: US09650241B2. Автор: Martin Lim,Cerina Zhang. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-05-16.

MEMS device with over-travel stop structure and method of fabrication

Номер патента: US09638712B2. Автор: JUN TANG,Andrew C. McNeil,Chad S. Dawson. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-05-02.

Cavity structures for MEMS devices

Номер патента: US09598277B2. Автор: Bernhard WINKLER,Klemens Pruegl,Stefan Kolb,Andreas Zankl. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-03-21.

MEMS device and formation method thereof

Номер патента: US09598276B2. Автор: Wei Xu,Guoan Liu. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2017-03-21.

Pre-molded MEMS device package having conductive column coupled to leadframe and cover

Номер патента: US09573800B2. Автор: Thomas M. Goida. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-02-21.

MEMS device calibration

Номер патента: US09513184B2. Автор: Martijn Goossens,Remco Henricus Wilhelmus Pijnenburg,Willem Frederik Adrianus Besling,Casper Van Der Avoort,Peter Gerard Steeneken. Владелец: ams International AG. Дата публикации: 2016-12-06.

Method of forming planar sacrificial material in a MEMS device

Номер патента: US09487395B2. Автор: Joseph Damian Gordon Lacey,Mickael Renault,James F. Bobey,Thomas L. Maguire,Brian I. Troy. Владелец: Cavendish Kinetics Inc. Дата публикации: 2016-11-08.

Methods for packaging a microelectromechanical systems device

Номер патента: US11286157B2. Автор: You Qian,Rakesh Kumar,Humberto CAMPANELLA PINEDA. Владелец: Vanguard International Semiconductor SIngapore Pte Ltd. Дата публикации: 2022-03-29.

Piezoelectric mems device with thermal compensation from one or more compensation layers

Номер патента: US20230094674A1. Автор: Hiroyuki Nakamura,Myeong Gweon Gu,Siarhei Dmitrievich Barsukou. Владелец: Skyworks Global Pte Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Silicon substrate mems device

Номер патента: WO2014168782A1. Автор: Mark D. Evans,Yonglin Xie,Carolyn R. Ellinger,Joseph Jech. Владелец: EASTMAN KODAK COMPANY. Дата публикации: 2014-10-16.

Mems device with electrodes and a dielectric

Номер патента: US20220177301A1. Автор: Michael Pedersen,Peter V. Loeppert. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2022-06-09.

MEMS device

Номер патента: US10781096B2. Автор: Kwang Su Kim,Tae Yoon Kim,Tae Hun Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2020-09-22.

Sacrificial layers made from aerogel for manufacturing MEMS devices

Номер патента: EP2450309A3. Автор: James F. Detry. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2014-04-30.

Method and apparatus for producing a mems device

Номер патента: WO2006107960A2. Автор: Thomas Chen,Michael Judy. Владелец: ANALOG DEVICES, INC.. Дата публикации: 2006-10-12.

Microelectromechanical (mem) device including a spring release bridge and method of making the same

Номер патента: WO2006052472A2. Автор: Bishnu Prasanna Gogoi. Владелец: Freescale Semiconductor, Inc.. Дата публикации: 2006-05-18.

Microelectromechanical System for Moving a Mechanical Part in Two Opposite Directions

Номер патента: US20240243672A1. Автор: Patrice Minotti,Gilles Bourbon,Patrice Le Moal,Thierry COTE. Владелец: Silmach SA. Дата публикации: 2024-07-18.

Mems device

Номер патента: US20200087141A1. Автор: Kwang Su Kim,Tae Yoon Kim,Tae Hun Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2020-03-19.

Mems device

Номер патента: US20180215608A1. Автор: Junichi Azumi,Shuichi Suzuki,Hidenori Kato,Masayuki Fujishima,Hidetaka Noguchi,Masashi SUEMATSU. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2018-08-02.

A Method of Manufacturing a MEMS Device

Номер патента: US20230416080A1. Автор: Edin Sarajlic. Владелец: Cytosurge AG. Дата публикации: 2023-12-28.

Mems device, electronic apparatus, and vehicle

Номер патента: US20210255214A1. Автор: Fumiya Ito. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2021-08-19.

MEMS Device, Electronic Apparatus, And Vehicle

Номер патента: US20240094239A1. Автор: Fumiya Ito. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2024-03-21.

MEMS Device with a Connecting Element

Номер патента: US20240214746A1. Автор: Ferruccio Bottoni,Andrea Rusconi Clerici Beltrami,Samu Bence Horváth. Владелец: USound GmbH. Дата публикации: 2024-06-27.

Mems device and method of fabrication

Номер патента: EP2504274A1. Автор: Martyn John Hucker,Ian Michael Sturland,Rebecka Eley. Владелец: BAE SYSTEMS plc. Дата публикации: 2012-10-03.

Mems device with stress isolation and method of fabrication

Номер патента: US20140312435A1. Автор: Aaron A. Geisberger. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2014-10-23.

Mems device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus

Номер патента: US20180079641A1. Автор: Masashi YOSHIIKE. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-03-22.

Mems device with optimized geometry for reducing the offset due to the radiometric effect

Номер патента: US20200216305A1. Автор: Alessandro Tocchio,Francesco Rizzini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2020-07-09.

Mems device having a mechanical barrier structure

Номер патента: US20230202833A1. Автор: Marc Füldner. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-06-29.

Mems device with membrane comprising laser structured nanostructures and method for manufacturing same

Номер патента: EP4408017A1. Автор: Hutomo Suryo Wasisto,Sebastian Anzinger,Fabian Streb. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-07-31.

Soi wafer, manufacturing method therefor, and mems device

Номер патента: US20140175573A1. Автор: Eiji Yoshikawa,Yukihisa Yoshida,Jyunichi Ichikawa. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2014-06-26.

Method for controlling a microelectromechanical system

Номер патента: US20240262680A1. Автор: Gilles Bourbon,Patrice Le Moal,Marc Sworowski,Cédric VUILLEMIN,Haythem AMEUR. Владелец: Silmach SA. Дата публикации: 2024-08-08.

Mems device

Номер патента: US20210163280A1. Автор: Stefan Richter,Veljko Milanovic,Johannes Kindt. Владелец: Mirrocle Technologies Inc. Дата публикации: 2021-06-03.

MEMS device with tiltable structure and improved control

Номер патента: US12066621B2. Автор: Marco Zamprogno,Andrea Barbieri,Roberto Carminati,Nicolo' BONI,Luca Molinari. Владелец: Stmicroelectron Srl. Дата публикации: 2024-08-20.

Mems device having a tiltable suspended structure controlled by electromagnetic actuation

Номер патента: US20200192081A1. Автор: Roberto Carminati,Sonia Costantini,Riccardo Gianola,Linda Montagna,Francesca Maria Carla CARPIGNANO. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2020-06-18.

A method of manufacturing a mems device

Номер патента: EP4232406A1. Автор: Edin Sarajlic. Владелец: Cytosurge AG. Дата публикации: 2023-08-30.

A method of manufacturing a mems device

Номер патента: WO2022084470A1. Автор: Edin Sarajlic. Владелец: Cytosurge AG. Дата публикации: 2022-04-28.

Mems devices and fabrication thereof

Номер патента: WO2009138906A3. Автор: Robertus T. F. Van Schaijk. Владелец: NXP B.V.. Дата публикации: 2010-06-10.

System and Method for Maintaining a Smoothed Surface on a MEMS Device

Номер патента: US20180362338A1. Автор: Gary Yama,Jochen STEHLE. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2018-12-20.

Microelectromechanical systems package structure

Номер патента: US20180213312A1. Автор: Hsu-Liang Hsiao,Lu-Ming Lai,Ching-Han Huang,Yu-Hsuan Tsai,Pu Shan Huang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2018-07-26.

Microelectromechanical systems package structure

Номер патента: US10841679B2. Автор: Hsu-Liang Hsiao,Lu-Ming Lai,Ching-Han Huang,Yu-Hsuan Tsai,Pu Shan Huang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2020-11-17.

A microelectromechanical system and method

Номер патента: WO2014141258A1. Автор: Shay Kaplan,Yuval Cohen. Владелец: AUDIO PIXELS LTD.. Дата публикации: 2014-09-18.

MEMS Device

Номер патента: US20220167095A1. Автор: Niccolo de Milleri,Christian Bretthauer,Alessandro Caspani,Alessandra Fusco. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2022-05-26.

Corrosion protection and lubrication of mems devices

Номер патента: EP2430212A2. Автор: Vlad Novotny,Gabriel Matus. Владелец: Spatial Photonics Inc. Дата публикации: 2012-03-21.

Surface roughening to reduce adhesion in an integrated mems device

Номер патента: WO2014163985A1. Автор: Martin Lim,Jongwoo Shin,Kegang Huang,Kirt Reed Williams,Wencheng Xu. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2014-10-09.

Microelectromechanical system and method

Номер патента: US20140264646A1. Автор: Shay Kaplan,Yuval Cohen. Владелец: Audio Pixels Ltd. Дата публикации: 2014-09-18.

Mems device with movable stage

Номер патента: US20200212826A1. Автор: Chin-Fu Kuo,Chao-Ta Huang,Yu-Wen Hsu,Che-Kai Yeh. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2020-07-02.

System and method for maintaining a smoothed surface on a mems device

Номер патента: EP3397587A1. Автор: Gary Yama,Jochen STEHLE. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2018-11-07.

Surface roughening to reduce adhesion in an integrated mems device

Номер патента: EP2973657A1. Автор: Martin Lim,Jongwoo Shin,Kegang Huang,Kirt Reed Williams,Wencheng Xu. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-01-20.

MEMS device

Номер патента: US11863933B2. Автор: Niccolo de Milleri,Christian Bretthauer,Alessandro Caspani,Alessandra Fusco. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-01-02.

MEMS device

Номер патента: US09983401B2. Автор: Nicolas Abele,Julien Gamet,Faouzi Khechana. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2018-05-29.

MEMS device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus

Номер патента: US09969162B2. Автор: Masao Nakayama,Eiju Hirai,Munehide Saimen. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-05-15.

MEMS devices and methods of forming the same

Номер патента: US09926190B2. Автор: Kai-Fung Chang,Len-Yi Leu,Lien-Yao TSAI. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

MEMS device and liquid ejecting head

Номер патента: US09908331B2. Автор: Yoichi Naganuma,Katsutomo Tsukahara,Eiju Hirai,Motoki Takabe,Munehide Saimen. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-03-06.

Package implemented with PCB and transparent substrate to contain and protect a MEMS device

Номер патента: US09885865B2. Автор: Fusao Ishii. Владелец: Ignite Inc. Дата публикации: 2018-02-06.

MEMS device and MEMS vacuum microphone

Номер патента: US09828237B2. Автор: Alfons Dehe,Arnaud Walther,Johann Strasser,Gerhard Metzger-Brueckl. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-11-28.

MEMS device and process

Номер патента: US09820025B2. Автор: Colin Robert Jenkins,Tsjerk Hoekstra. Владелец: Cirrus Logic Inc. Дата публикации: 2017-11-14.

MEMS device and corresponding micromechanical structure with integrated compensation of thermo-mechanical stress

Номер патента: US09815687B2. Автор: Angelo Antonio Merassi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2017-11-14.

MEMS device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus

Номер патента: US09770907B2. Автор: Masao Nakayama,Katsutomo Tsukahara,Eiju Hirai,Motoki Takabe,Munehide Saimen. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2017-09-26.

Microelectromechanical system and fabricating process having decoupling structure that includes attaching element for fastening to carrier

Номер патента: US09731958B2. Автор: Bernard Chaumet,Bertrand Leverrier,Fabien Filhol,Regis Quer,Pierre-Olivier Lefort. Владелец: Thales SA. Дата публикации: 2017-08-15.

MEMS device

Номер патента: US09728653B2. Автор: Alfons Dehe,Mohsin Nawaz. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-08-08.

MEMS device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus

Номер патента: US09724917B2. Автор: Takahiro Kamijo,Masanori MIKOSHIBA,Takeshi Yasoshima,Koji ARUGA. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2017-08-08.

Electrostatically driven MEMS device

Номер патента: US09670056B2. Автор: Sebastiano Conti,Roberto Carminati. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2017-06-06.

Microelectromechanical system microphone

Номер патента: US09668064B2. Автор: Yuan-Sheng Lin,Kuan-Yu Wang,Yan-Da Chen,Chang-Sheng Hsu,Wei-Hua Fang. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2017-05-30.

MEMS device

Номер патента: US09628886B2. Автор: Stefan Barzen,Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-04-18.

MEMS device and process

Номер патента: US09584903B2. Автор: Mark Hesketh,Tsjerk Hoekstra. Владелец: Cirrus Logic Inc. Дата публикации: 2017-02-28.

MEMS device

Номер патента: US09550663B2. Автор: Takeshi Mori,Hideki Ueda,Shinichi Kishimoto,Kazuo Goda,Takumi Taura. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Methods and apparatus for MEMS devices with increased sensitivity

Номер патента: US09505605B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-11-29.

MEMS device and method of manufacturing the same

Номер патента: US09499394B2. Автор: Takahiko Yoshizawa. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2016-11-22.

Release chemical protection for integrated complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) and micro-electro-mechanical (MEMS) devices

Номер патента: US09487396B2. Автор: Fariborz Assaderaghi,Michael J. Daneman. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-11-08.

MEMS device

Номер патента: US09434607B2. Автор: Takahiko Yoshizawa. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2016-09-06.

MEMS device

Номер патента: US09434605B2. Автор: Takahiko Yoshizawa. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2016-09-06.

MEMS device with integrated temperature stabilization

Номер патента: US09409768B2. Автор: Jeffrey F. DeNatale,Philip A. Stupar. Владелец: Teledyne Scientific and Imaging LLC. Дата публикации: 2016-08-09.

MEMS device having a microphone structure, and method for the production thereof

Номер патента: US09403670B2. Автор: Christoph Schelling,Stefan Singer,Jochen Zoellin. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2016-08-02.

Microelectromechanical system device

Номер патента: US20230192476A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chen Hsiung Yang,Chun-Wen Cheng,En-Chan Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-06-22.

Microelectromechanical system with piezoelectric film and manufacturing method thereof

Номер патента: US11482663B2. Автор: Ting-Jung Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-10-25.

Encapsulation for a three-dimensional microsystem

Номер патента: WO2001026136A3. Автор: Jens Anders Branebjerg,Pirmin Rombach,Jacob Janting. Владелец: Delta Danish Electronics Light. Дата публикации: 2001-12-13.

Mems device with integrated via and spacer

Номер патента: CA2752746C. Автор: Robert Ostrom. Владелец: Capella Photonics Inc. Дата публикации: 2012-09-25.

Phased array antenna using (MEMS) devices on low-temperature co-fired ceramic (LTCC) substrates

Номер патента: US7012327B2. Автор: Michael A. Huff,Mehmet Ozgur. Владелец: Corp for National Research Initiatives. Дата публикации: 2006-03-14.

Thin-film lid MEMS devices and methods

Номер патента: US8148790B2. Автор: LI Sun,Arthur S. Morris, III,Norlito Baytan. Владелец: Wispry Inc. Дата публикации: 2012-04-03.

Microstructure devices, methods of forming a microstructure device and a method of forming a MEMS device

Номер патента: US6887732B2. Автор: Vidyut Gopal,Jeffrey D. Chinn. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2005-05-03.

Electronic device including MEMS devices and holed substrates, in particular of the LGA or BGA type

Номер патента: US7875942B2. Автор: Lorenzo Baldo,Edward Myers,Mario Cortese,Chantal Combi,Mark Anthony Azzopardi. Владелец: STMicroelectronics Malta Ltd. Дата публикации: 2011-01-25.

Method for sealing a mems device and a sealed mems device

Номер патента: US20240116753A1. Автор: Antti Iihola,Jeanette LINDROOS. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Integration of active devices with passive components and MEMS devices

Номер патента: US9751753B2. Автор: David J. Howard,Jeff Rose,Michael J. Debar. Владелец: Newport Fab LLC. Дата публикации: 2017-09-05.

MEMS devices and methods of forming thereof

Номер патента: US11767217B2. Автор: RANGANATHAN Nagarajan,Rakesh Kumar,Jia Jie Xia,Bevita KALLUPALATHINKAL CHANDRAN. Владелец: Vanguard International Semiconductor SIngapore Pte Ltd. Дата публикации: 2023-09-26.

Electronic device, system, and method comprising differential sensor mems devices and drilled substrates

Номер патента: US20120164775A1. Автор: Lorenzo Baldo,Mario Francesco Cortese,Chantal Combi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2012-06-28.

Mems device package with thermally compliant insert

Номер патента: EP2004543A2. Автор: John Dangtran,Roger Horton. Владелец: S3C Inc. Дата публикации: 2008-12-24.

Method for sealing a mems device and a sealed mems device

Номер патента: EP4353674A1. Автор: Antti Iihola,Jeanette LINDROOS. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-17.

Integration of Active Devices with Passive Components and MEMS Devices

Номер патента: US20160289065A1. Автор: David J. Howard,Jeff Rose,Michael J. Debar. Владелец: Newport Fab LLC. Дата публикации: 2016-10-06.

Stacked mems device

Номер патента: WO2008079887A4. Автор: Kieran Harney,Raymond Goggin,Eva Murphy,Liam O'suilleabhain. Владелец: O Suilleabhain Liam. Дата публикации: 2009-03-26.

Mems device chip manufacturing method

Номер патента: US20150251902A1. Автор: Mark Brown,Aris Bernales,Devin Martin. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2015-09-10.

MEMS Device and process

Номер патента: GB2561921A. Автор: Brioschi Roberto,Achehboune Rkia,Sebastian Piechocinski Marek. Владелец: Cirrus Logic International Semiconductor Ltd. Дата публикации: 2018-10-31.

Mems device and method of manufacturing

Номер патента: EP3019442A1. Автор: Robert Mark Boysel,Louis Ross. Владелец: MOTION ENGINE Inc. Дата публикации: 2016-05-18.

Method of fabricating an integrated circuit that seals a MEMS device within a cavity

Номер патента: US7030432B2. Автор: Qing Ma. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2006-04-18.

Mems device and portable communication terminal with said mems device

Номер патента: US20080238257A1. Автор: Takashi Kawakubo,Toshihiko Nagano,Michihiko Nishigaki. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2008-10-02.

Photoacoustic sensors and MEMS devices

Номер патента: US11573204B2. Автор: Franz Jost,Horst Theuss,Stefan Kolb,Jochen Dangelmaier,Rainer Markus Schaller,Matthias Eberl,Simon Gassner. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-02-07.

Robust mems device and method for manufacturing a mems device

Номер патента: EP4307716A1. Автор: Alexander Frey,Stefan Barzen,Hans-Joerg Timme,Matthias Friedrich Herrmann,Jun Cheng Ooi. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-01-17.

MEMS device, manufacturing method of the same, and integrated MEMS module using the same

Номер патента: US11939212B2. Автор: Heng-Chung Chang,Jing-Yuan Lin,Jhih-Jie Huang,Chih-Ya TSAI. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2024-03-26.

Mems device and electro-acoustic transducer

Номер патента: US20230331543A1. Автор: Yannick Pierre Kervran,Colin Robert Jenkins,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd,Colin Wei Hong CHUNG. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-19.

Mems device and apparatus having such a mems device

Номер патента: EP4294051A1. Автор: Hans-Joerg Timme,Christian Bretthauer,Marco Haubold,Dominik MAYRHOFER. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-12-20.

Mems device with a stress-isolation structure

Номер патента: US20150284239A1. Автор: Joseph Seeger,Matthew Julian Thompson,Kirt Reed Williams. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2015-10-08.

Mems device, manufacturing method of the same, and integrated mems module using the same

Номер патента: US20210380404A1. Автор: Heng-Chung Chang,Jing-Yuan Lin,Jhih-Jie Huang,Chih-Ya TSAI. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2021-12-09.

Piezoelectric device and MEMS device

Номер патента: US11910720B2. Автор: Eiji Osawa,Hikaru Iwai. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2024-02-20.

Microelectromechanical system contactor spring

Номер патента: US20200379249A1. Автор: Patrick Ian Oden. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2020-12-03.

MEMS Device and Method for Operating a MEMS Device

Номер патента: US20230396930A1. Автор: Niccolo de Milleri,Andreas Bogner,Christian Bretthauer,Gabriele Bosetti. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-12-07.

Getter, mems device and method of forming the same

Номер патента: US20160214077A1. Автор: Chia-Shiung Tsai,Chun-Wen Cheng,Cheng-Yuan Tsai,Chin-Wei Liang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-07-28.

Mems grid for manipulating structural parameters of mems devices

Номер патента: WO2017059056A1. Автор: Roman Gutierrez,Tony Tang,Xiaolei Liu,Matthew Ng,Guiqin Wang. Владелец: MEMS DRIVE, INC.. Дата публикации: 2017-04-06.

Systems and methods for operating a mems device based on sensed temperature gradients

Номер патента: US11738994B2. Автор: Jongwoo Shin,David deKoninck,Varun Subramaniam Kumar,Matthew Julian Thompson,Vadim Tsinker,Logeeswaran Veerayah Jayaraman,Sarah Nitzan,Houri Johari-Galle,Le Jin. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2023-08-29.

MEMS device built using the BEOL metal layers of a solid state semiconductor process

Номер патента: US11780725B2. Автор: Josep Montanya Silvestre. Владелец: Nanusens SL. Дата публикации: 2023-10-10.

MEMS devices comprising spring element and comb drive and associated production methods

Номер патента: US11703681B2. Автор: Marten Oldsen,Stephan Gerhard Albert. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-07-18.

Mems device and method for producing a mems device

Номер патента: US20180152793A1. Автор: Stefan Jost,Stefan Geissler,Wolfgang Friza,Soenke Pirk. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AUSTRIA AG. Дата публикации: 2018-05-31.

Mems device having decreased contact resistance

Номер патента: WO2020243529A1. Автор: Mickael Renault,Shibajyoti Ghosh DASTIDER,Jacques Marcel MUYANGO. Владелец: QORVO US, INC.. Дата публикации: 2020-12-03.

MEMS Device and Apparatus Having Such a MEMS Device

Номер патента: US20230406694A1. Автор: Hans-Jörg TIMME,Christian Bretthauer,Marco Haubold,Dominik MAYRHOFER. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-12-21.

Mems device built using the beol metal layers of a solid state semiconductor process

Номер патента: EP4087815A2. Автор: Josep Montanya Silvestre. Владелец: Nanusens SL. Дата публикации: 2022-11-16.

MEMS device formed inside hermetic chamber having getter film

Номер патента: US7696622B2. Автор: Takashi Ikeda,Hiroshi Nishida,Tsuyoshi Takemoto,Osamu Torayashiki,Ryuta Araki. Владелец: Sumitomo Precision Products Co Ltd. Дата публикации: 2010-04-13.

Mems device and process for rf and low resistance applications

Номер патента: US20170297900A1. Автор: Xiang Li,Martin Lim,Li-Wen Hung,Michael J. Daneman. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-10-19.

Mems device including spurious mode suppression and corresponding operating method

Номер патента: US20200284583A1. Автор: Reinhard Neul,Frank Schatz,Andreas Lassl,Niels Bode,Nils Felix Kuhlmann,Peter Degenfeld-Schonburg,Matthias Kuehnel. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2020-09-10.

Mems devices

Номер патента: EP2297025A2. Автор: Johannes J. T. M. Donkers,Philippe Meunier-Beillard,Greja. J. A. M. Verheijden. Владелец: NXP BV. Дата публикации: 2011-03-23.

Microelectromechanical System

Номер патента: US20190215587A1. Автор: Wolfgang Klein. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2019-07-11.

Micro-machined electromechanical sensors (MEMS) devices

Номер патента: US6768181B2. Автор: Paul W Dwyer. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2004-07-27.

Mems device built using the beol metal layers of a solid state semiconductor process

Номер патента: WO2021140207A3. Автор: Josep Montanya Silvestre. Владелец: Nanusens SL. Дата публикации: 2022-04-28.

Mems device built using the beol metal layers of a solid state semiconductor process

Номер патента: US20230406693A1. Автор: Josep Montanya Silvestre. Владелец: Nanusens SL. Дата публикации: 2023-12-21.

Mems device with integrated cmos circuit

Номер патента: US20230312337A1. Автор: Gregory John McAvoy. Владелец: 3c Project Management Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Mems device with electrodes and a dielectric

Номер патента: US20220194780A1. Автор: Michael Pedersen,Peter V. Loeppert. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2022-06-23.

Mems device and method for operating a mems device

Номер патента: EP4287652A1. Автор: Niccolo de Milleri,Andreas Bogner,Christian Bretthauer,Gabriele Bosetti. Владелец: Technische Universitaet Muenchen. Дата публикации: 2023-12-06.

Mems grid for manipulating structural parameters of mems devices

Номер патента: US20170088415A1. Автор: Roman Gutierrez,Tony Tang,Xiaolei Liu,Matthew Ng,Guiqin Wang. Владелец: MEMS Drive Inc. Дата публикации: 2017-03-30.

Mems grid for manipulating structural parameters of mems devices

Номер патента: EP3356288A1. Автор: Roman Gutierrez,Tony Tang,Xiaolei Liu,Matthew Ng,Guiqin Wang. Владелец: MEMS Drive Inc. Дата публикации: 2018-08-08.

Mems grid for manipulating structural parameters of mems devices

Номер патента: US20170170059A1. Автор: Roman Gutierrez,Tony Tang,Xiaolei Liu,Matthew Ng,Guiqin Wang. Владелец: MEMS Drive Inc. Дата публикации: 2017-06-15.

Mems device having decreased contact resistance

Номер патента: EP3976527A1. Автор: Mickael Renault,Shibajyoti Ghosh DASTIDER,Jacques Marcel MUYANGO. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2022-04-06.

Mems device and method of forming the same

Номер патента: US20150291416A1. Автор: Chia-Shiung Tsai,Cheng-Yuan Tsai,Chin-Wei Liang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-10-15.

Mems device manufacturing

Номер патента: EP4240691A1. Автор: Tallis Chang,Sean ANDREWS. Владелец: Obsidian Sensors Inc. Дата публикации: 2023-09-13.

Piezoelectric mems device with cantilever structures

Номер патента: CA3063270A1. Автор: Dosi Dosev,David P. Potasek,Marcus Allen Childress. Владелец: Rosemount Aerospace Inc. Дата публикации: 2021-01-22.

Mems device packaging with sidewall leak protection

Номер патента: WO2010052684A3. Автор: Gerhard Koops,Greja Johanna Adriana Verheijden. Владелец: NXP B.V.. Дата публикации: 2011-03-03.

Mems device manufacturing

Номер патента: US20240043264A1. Автор: Tallis Chang,Sean ANDREWS. Владелец: Obsidian Sensors Inc. Дата публикации: 2024-02-08.

MEMS Device Comprising An Under Bump Metallization

Номер патента: US20140035434A1. Автор: Jan Tue Ravnkilde,Leif Steen Johansen. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2014-02-06.

Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process

Номер патента: US7795061B2. Автор: Chun-Ming Wang,Teruo Sasagawa,Jeffrey Lan. Владелец: Qualcomm Mems Technologies Inc. Дата публикации: 2010-09-14.

Mems device and method of fabrication

Номер патента: WO2007030349A2. Автор: Bernard Diem,Gary G. Li,Hemant D. Desai,Bishnu Gogoi,Jonathan Hale Hammond. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR. Дата публикации: 2007-03-15.

System and method of providing a regenerating protective coating in a MEMS device

Номер патента: US20060077150A1. Автор: Jeffrey Sampsell. Владелец: IDC LLC. Дата публикации: 2006-04-13.

MEMS device and manufacturing method of MEMS device

Номер патента: US20060180882A1. Автор: Akira Sato,Shogo Inaba. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2006-08-17.

Microelectromechanical system substrate and display apparatus having the same

Номер патента: US20110157676A1. Автор: Yu-Kwan KIM,Hyun Min Cho,Jae Byung PARK,Seon-Tae Yoon,Donchan Cho. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2011-06-30.

System and method of providing a regenerating protective coating in a MEMS device

Номер патента: US7446926B2. Автор: Jeffrey B. Sampsell. Владелец: IDC LLC. Дата публикации: 2008-11-04.

Microelectromechanical system

Номер патента: US20090141913A1. Автор: Heinrich Heiss,Michael Mauer. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2009-06-04.

Mems device with stress isolation and method of fabrication

Номер патента: WO2011028359A2. Автор: Aaron A. Geisberger. Владелец: Freescale Semiconductor Inc.. Дата публикации: 2011-03-10.

Sensitivity compensation for capacitive MEMS device

Номер патента: US10433070B2. Автор: Alfons Dehe,Abidin Güçlü Onaran. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2019-10-01.

Piezoelectric mems device with a suspended membrane having high mechanical shock resistance and manufacturing process thereof

Номер патента: US20230320222A1. Автор: Domenico Giusti,Carlo Luigi PRELINI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-10-05.

MEMS device

Номер патента: US11889282B2. Автор: Yannick Pierre Kervran,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-30.

Mems device comprising a deformable structure and manufacturing process of the mems device

Номер патента: US20240010489A1. Автор: Federico Vercesi,Gabriele Gattere,Manuel RIANI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-01-11.

MEMS devices and methods of fabrication thereof

Номер патента: US10688786B2. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Jiou-Kang Lee,Chun-Ren Cheng,Ting-Hau Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-06-23.

Mems device

Номер патента: US20160272481A1. Автор: Hiroaki Yamazaki,Tamio Ikehashi,Yoshihiko Kurui. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2016-09-22.

MEMS Devices Including MEMS Dies and Connectors Thereto

Номер патента: US20180194613A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Chun-Wen Cheng,Yi-Chuan Teng,Hung-Chia Tsai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-07-12.

Mems device, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, manufacturing method of mems device, and manufacturing method of liquid ejecting head

Номер патента: US20170066241A1. Автор: Yoichi Naganuma,Toshiaki Hamaguchi,Eiju Hirai,Motoki Takabe. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2017-03-09.

Method of manufacturing mems device and mems device

Номер патента: US20190036006A1. Автор: Yoshiki SUGAWARA,Takeshi Yasoshima,Miyuki Muramoto. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2019-01-31.

Methods and apparatus for increasing efficiency and optical bandwidth of a microelectromechanical system piston-mode spatial light modulator

Номер патента: US20190179134A1. Автор: Adam Joseph Fruehling,James Norman Hall. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2019-06-13.

Methods and apparatus for increasing efficiency and optical bandwidth of a microelectromechanical system piston-mode spatial light modulator

Номер патента: EP3721283A1. Автор: Adam Joseph Fruehling,James Norman Hall. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2020-10-14.

Methods and apparatus for increasing efficiency and optical bandwidth of a microelectromechanical system piston-mode spatial light modulator

Номер патента: WO2019113586A1. Автор: Adam Joseph Fruehling,James Norman Hall. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2019-06-13.

MEMs device and electronic device

Номер патента: US11594670B2. Автор: Eiji Osawa,Yasuyuki Matsumoto,Hironori Suzuki,Koji Ohashi,Tomohiro Sayama,Katsuhiro Imai,Takahiro Kamijo,Kanechika Kiyose,Chikara Kojima. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2023-02-28.

Mems device and electronic device

Номер патента: US20200303618A1. Автор: Eiji Osawa,Yasuyuki Matsumoto,Hironori Suzuki,Koji Ohashi,Tomohiro Sayama,Katsuhiro Imai,Takahiro Kamijo,Kanechika Kiyose,Chikara Kojima. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2020-09-24.

Method for Manufacturing a MEMS Device and MEMS Device

Номер патента: US20150054097A1. Автор: Alfons Dehe,Christoph Glacer,Soenke Pirk. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2015-02-26.

Mems device with enhanced membrane structure and method of forming the same

Номер патента: US20230370783A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Chun Yin Tsai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-16.

Mems device and method for manufacturing a mems device

Номер патента: US20160060105A1. Автор: Wolfgang Werner,Stefan Kolb,Till Schloesser,Andreas Meiser. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2016-03-03.

Process for manufacturing a micro-electro-mechanical device, and MEMS device

Номер патента: US11945712B2. Автор: Lorenzo Corso,Giorgio Allegato,Carlo Valzasina,Ilaria Gelmi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-04-02.

Semiconductor structure for mems device

Номер патента: US20170369308A1. Автор: Jung-Huei Peng,Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Yu-Chia Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-12-28.

Method of forming planar sacrificial material in a mems device

Номер патента: US20160207763A1. Автор: Joseph Damian Gordon Lacey,Mickael Renault,James F. Bobey,Thomas L. Maguire,Brian I. Troy. Владелец: Cavendish Kinetics Inc. Дата публикации: 2016-07-21.

Dual membrane piezoelectric microelectromechanical system microphone

Номер патента: GB2621512A. Автор: Dmitrievich Barsukou Siarhei. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-02-14.

Pre-molded mems device package having conductive column coupled to leadframe and cover

Номер патента: US20160130134A1. Автор: Thomas M. Goida. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-05-12.

Mems device

Номер патента: US20230388710A1. Автор: Yannick Pierre Kervran,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

Signal processing circuit for triple-membrane MEMS device

Номер патента: US11932533B2. Автор: Marc Fueldner,Andreas Wiesbauer,Athanasios Kollias. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-03-19.

Mems device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240092632A1. Автор: Daisuke Kaminishi,Martin Wilfried HELLER. Владелец: ROHM CO LTD. Дата публикации: 2024-03-21.

Mems device having an improved stress distribution and manufacturing process thereof

Номер патента: EP3984944A1. Автор: Roberto Carminati,Nicolò BONI,Massimiliano Merli,Lorenzo VINCIGUERRA. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2022-04-20.

MEMS devices utilizing a thick metal layer of an interconnect metal film stack

Номер патента: US9493340B2. Автор: Rashed Mahameed,Mohamed A. Abdelmoneum,Kristen L. Dorsey,Mamdouh O. Abdelmejeed. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2016-11-15.

MEMS devices utilizing a thick metal layer of an interconnect metal film stack

Номер патента: US9150402B2. Автор: Rashed Mahameed,Mohamed A. Abdelmoneum,Kristen L. Dorsey,Mamdouh O. M M Abdelmejeed. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2015-10-06.

Microelectromechanical system with reduced speckle contrast

Номер патента: EP2534093A2. Автор: Shahyaan Desai. Владелец: Mezmeriz Inc. Дата публикации: 2012-12-19.

Mems device and method of manufacturing mems device

Номер патента: US20240017989A1. Автор: Martin Wilfried HELLER. Владелец: ROHM CO LTD. Дата публикации: 2024-01-18.

Mems device and fabrication method

Номер патента: US20160264409A1. Автор: Hongmei Xie,Xuanjie Liu,Liangliang Guo. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-09-15.

Mems device with a tmd structure

Номер патента: US20220279270A1. Автор: Marc Fueldner,Dietmar Straeussnigg,Abidin Güçlü Onaran. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2022-09-01.

Mems device

Номер патента: US20240083741A1. Автор: Hideaki Hashimoto,Toma Fujita,Daisuke Nishinohara. Владелец: ROHM CO LTD. Дата публикации: 2024-03-14.

Mems device

Номер патента: US20230388711A1. Автор: Yannick Pierre Kervran,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

MEMS Devices and Methods of Fabrication Thereof

Номер патента: US20200023642A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Jiou-Kang Lee,Chun-Ren Cheng,Ting-Hau Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

MEMS Devices and Methods of Fabrication Thereof

Номер патента: US20160009089A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Jiou-Kang Lee,Chun-Ren Cheng,Ting-Hau Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-01-14.

MEMS Devices and Methods of Fabrication Thereof

Номер патента: US20180311955A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Jiou-Kang Lee,Chun-Ren Cheng,Ting-Hau Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-11-01.

Signal processing circuit for triple-membrane mems device

Номер патента: US20240174514A1. Автор: Marc Fueldner,Andreas Wiesbauer,Athanasios Kollias. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-05-30.

MEMS Devices Including MEMS Dies and Connectors Thereto

Номер патента: US20200024129A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Chun-Wen Cheng,Yi-Chuan Teng,Hung-Chia Tsai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

MEMS Devices and Methods for Forming Same

Номер патента: US20160368762A1. Автор: Shang-Ying Tsai,Jung-Huei Peng,Chun-Wen Cheng,Yi-Chuan Teng,Hung-Chia Tsai. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-12-22.

MEMS Device, Liquid Ejecting Head, Liquid Ejecting Apparatus, and MEMS Device Manufacturing Method

Номер патента: US20180111372A1. Автор: Shunsuke Watanabe,Motoki Takabe,Shingo TOMIMATSU. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-04-26.

Dual membrane piezoelectric microelectromechanical system microphone

Номер патента: GB2608236A. Автор: Dmitrievich Barsukou Siarhei. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2022-12-28.

Microelectromechanical system and process of making it

Номер патента: US20220306455A1. Автор: Colin Robert Jenkins,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-29.

Mems device having curved reflective layer and method for manufacturing mems device

Номер патента: US20210278282A1. Автор: Jongcheol Park,Jong-Kwon Lee,Jae-Sub OH. Владелец: Korea Advanced Institute of Science and Technology KAIST. Дата публикации: 2021-09-09.

Mems device with differential vertical sense electrodes

Номер патента: US20160083249A1. Автор: Aaron A. Geisberger,Margaret L. Kniffin. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2016-03-24.

Microelectromechanical systems device

Номер патента: US20220408196A1. Автор: Hideo Yamada,Tetsuya Enomoto,Takahide Usui,Yuki Ohara,Hiroyuki KUCHIJI,Tomoya JOKE,Shuji KATAKAMI,Naoki Masumoto. Владелец: Mirise Technologies Corp. Дата публикации: 2022-12-22.

Pre-Molded MEMS Device Package with Conductive Shell

Номер патента: US20150102436A1. Автор: Thomas Goida. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2015-04-16.

Pre-molded MEMS device package with conductive shell

Номер патента: US9260293B2. Автор: Thomas Goida. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-02-16.

Mems devices utilizing a thick metal layer of an interconnect metal film stack

Номер патента: EP3036188A1. Автор: Rashed Mahameed,Mohamed A. Abdelmoneum,Kristen L. Dorsey,Mamdouh O. M M Abdelmejeed. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2016-06-29.

Mems devices utilizing a thick metal layer of an interconnect metal film stack

Номер патента: US20150368091A1. Автор: Rashed Mahameed,Mohamed A. Abdelmoneum,Kristen L. Dorsey,Mamdouh O. M M Abdelmejeed. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2015-12-24.

MEMS device

Номер патента: US12022272B2. Автор: Yannick Pierre Kervran,Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Microelectromechanical system

Номер патента: US20220363533A1. Автор: Scott Lyall Cargill. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-17.

Mems device with tiltable structure and improved control

Номер патента: EP4075184A1. Автор: Marco Zamprogno,Andrea Barbieri,Roberto Carminati,Nicolò BONI,Luca Molinari. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2022-10-19.

Flexure with enhanced torsional stiffness and MEMS device incorporating same

Номер патента: US10712359B2. Автор: Andrew C. McNeil. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2020-07-14.

MEMS device with integral packaging

Номер патента: US6872902B2. Автор: Michael B. Cohn,Ji-Hai Xu. Владелец: MicroAssembly Tech Inc. Дата публикации: 2005-03-29.

Mems device

Номер патента: EP3730453A1. Автор: Yoshihisa Inoue,Yuichi Goto,Tadayuki Okawa,Keiichi Umeda,Taku Kamoto,Takehiko KISHI. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-28.

A mems device

Номер патента: WO2013185812A1. Автор: Nicolas Abele,Julien Gamet,Faouzi Khechana. Владелец: Lemoptix SA. Дата публикации: 2013-12-19.

Fabrication of MEMS devices with spin-on glass

Номер патента: US20050145962A1. Автор: Luc Ouellet. Владелец: Dalsa Semiconductor Inc. Дата публикации: 2005-07-07.

Reduced Stiction MEMS Device with Exposed Silicon Carbide

Номер патента: US20110073859A1. Автор: Li Chen,Thomas Kieran Nunan,Kuang L. Yang,Christine H. Tsau. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2011-03-31.

Method of fabricating MEMS devices on a silicon wafer

Номер патента: US20050095742A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2005-05-05.

MEMS device having electrothermal actuation and release and method for fabricating

Номер патента: US8264054B2. Автор: Dana Richard DeReus,John Richard Gilbert,Subham Sett,Shawn Jay Cunningham. Владелец: Wispry Inc. Дата публикации: 2012-09-11.

Mems device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20100308423A1. Автор: Yoshiaki Shimooka. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2010-12-09.

Self-sealing membrane for MEMS devices

Номер патента: US9013012B2. Автор: Ravi Shankar,Olivier Le Neel,Shian Yeu Kam,Tien Choy Loh. Владелец: STMICROELECTRONICS PTE LTD. Дата публикации: 2015-04-21.

MEMS device and manufacturing method thereof

Номер патента: US10065852B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Tzu-Heng Wu,Ming-Dao WU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-09-04.

Mems device

Номер патента: WO2019016058A1. Автор: Stefan Richter,Veljko Milanovic,Johannes Kindt. Владелец: CARL ZEISS AG. Дата публикации: 2019-01-24.

Mems device having support structures configured to minimize stress-related deformation and methods for fabricating same

Номер патента: WO2007022476A1. Автор: FAN Zhong,Lior Kogut. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2007-02-22.

MEMS device, electronic apparatus, and vehicle

Номер патента: US11867716B2. Автор: Fumiya Ito. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2024-01-09.

Resonant MEMS device having a tiltable, piezoelectrically controlled micromirror

Номер патента: US11933966B2. Автор: Roberto Carminati,Massimiliano Merli,Nicolo' BONI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-03-19.

MEMS Device and MEMS Vacuum Microphone

Номер патента: US20180099867A1. Автор: Alfons Dehe,Arnaud Walther,Johann Strasser,Gerhard Metzger-Brueckl. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2018-04-12.

MEMS Device, Electronic Apparatus, And Vehicle

Номер патента: US20230176086A1. Автор: Fumiya Ito. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2023-06-08.

MEMS device having a connection portion formed of a eutectic alloy

Номер патента: US11909379B2. Автор: Yoshihisa Inoue,Yuichi Goto,Masakazu FUKUMITSU. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-20.

Mems device and process

Номер патента: WO2014045041A1. Автор: Colin Robert Jenkins,Tsjerk Hoekstra. Владелец: Wolfson Microelectronics plc. Дата публикации: 2014-03-27.

Microfluidic MEMS device for fluid ejection with piezoelectric actuation

Номер патента: US11242242B2. Автор: Simon Dodd,Domenico Giusti. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2022-02-08.

Differential mems device and methods

Номер патента: US11892465B2. Автор: Sanjay Bhandari,Giovanni Bellusci. Владелец: Movella Inc. Дата публикации: 2024-02-06.

System and method for maintaining a smoothed and anti-stiction surface on a MEMS device

Номер патента: US10501314B2. Автор: Gary Yama,Jochen STEHLE. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2019-12-10.

Mems device

Номер патента: EP4270992A1. Автор: Stefan Barzen,Marc Fueldner,Stefan Geissler,Arnaud Walther,Hans-Joerg Timme,Matthias Friedrich Herrmann,Abidin Gueclue ONARAN,Konstantin Tkachuk,Maria Kiriak. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-11-01.

Mems device and fabrication method thereof

Номер патента: US20230336149A1. Автор: Wei Li,Herb He Huang,Hailong LUO. Владелец: Ningbo Semiconductor International Corp. Дата публикации: 2023-10-19.

Mems device and method for forming the same

Номер патента: US20200071157A1. Автор: Chia-Hua Chu,Chen Hsiung Yang,Chun-Wen Cheng,En-Chan Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-03-05.

MEMS device

Номер патента: US11806750B2. Автор: Tetsuya Kimura,Katsumi Fujimoto,Yutaka Kishimoto,Shinsuke Ikeuchi,Fumiya KUROKAWA. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-07.

MEMS device with optimized geometry for reducing the offset due to the radiometric effect

Номер патента: US11603310B2. Автор: Alessandro Tocchio,Francesco Rizzini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-03-14.

Mems device having a rugged package and fabrication process thereof

Номер патента: US11873215B2. Автор: Lorenzo Baldo,Enri Duqi,Marco Del Sarto. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-01-16.

Mems device having a rugged package and fabrication process thereof

Номер патента: US20220185661A1. Автор: Lorenzo Baldo,Enri Duqi,Marco Del Sarto. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2022-06-16.

MEMS Devices and Methods of Forming the Same

Номер патента: US20180194618A1. Автор: Kai-Fung Chang,Len-Yi Leu,Lien-Yao TSAI. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-07-12.

MEMS device comprising a membrane and an actuator

Номер патента: US11807517B2. Автор: Dario Paci,Domenico Giusti,Irene Martini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-11-07.

Hidden hinge mems device

Номер патента: EP1741669A3. Автор: Peter Enoksson,Martin Bring. Владелец: Micronic Laser Systems AB. Дата публикации: 2010-12-22.

Mems device

Номер патента: EP4231666A1. Автор: Niccolo de Milleri,Andreas Bogner,Christian Bretthauer,Gabriele Bosetti. Владелец: Technische Universitaet Muenchen. Дата публикации: 2023-08-23.

MEMS Device

Номер патента: US20230339743A1. Автор: Stefan Barzen,Hans-Jörg TIMME,Stefan Geissler,Arnaud Walther,Marc Füldner,Matthias Friedrich Herrmann,Abidin Güçlü Onaran,Konstantin Tkachuk,Maria Kiriak. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-10-26.

Piezoelectric body and MEMS device using same

Номер патента: US11968902B2. Автор: Hiroshi Yamada,Kenji Hirata,Morito Akiyama,Masato Uehara,Sri Ayu Anggraini. Владелец: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST. Дата публикации: 2024-04-23.

Mems device and process

Номер патента: WO2009037458A3. Автор: Richard Ian Laming,Colin Robert Jenkins. Владелец: Colin Robert Jenkins. Дата публикации: 2009-07-02.

System and method for maintaining a smoothed and anti-stiction surface on a mems device

Номер патента: WO2017114886A1. Автор: Gary Yama,Jochen STEHLE. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-07-06.

Mems device with improved dynamic mechanical performance through damping by localized viscoelastic medium

Номер патента: US20230399224A1. Автор: Stefan Richter,Veljko Milanovic,Johannes Kindt. Владелец: Mirrorcle Technologies Inc. Дата публикации: 2023-12-14.

Mems device with improved dynamic mechanical performance through damping by localized viscoelastic medium

Номер патента: US20230002215A1. Автор: Stefan Richter,Veljko Milanovic,Johannes Kindt. Владелец: Mirrocle Technologies Inc. Дата публикации: 2023-01-05.

MEMS device with improved dynamic mechanical performance through damping by localized viscoelastic medium

Номер патента: US11772959B2. Автор: Stefan Richter,Veljko Milanovic,Johannes Kindt. Владелец: Mirrorcle Technologies Inc. Дата публикации: 2023-10-03.

Stiction reduction for mems devices

Номер патента: WO2014088878A1. Автор: Gregory R. Black,Vijay L. Asrani,Adrian Napoles. Владелец: MOTOROLA MOBILITY LLC. Дата публикации: 2014-06-12.

Nitride piezoelectric body and mems device using same

Номер патента: EP3974376A1. Автор: Hiroshi Yamada,Kenji Hirata,Morito Akiyama,Masato Uehara,Sri Ayu Anggraini. Владелец: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST. Дата публикации: 2022-03-30.

Mems device comprising a membrane and an actuator

Номер патента: US20210206625A1. Автор: Dario Paci,Domenico Giusti,Irene Martini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2021-07-08.

Piezoelectric based MEMS device with time sharing actuation and sensing circuitry

Номер патента: US12001012B2. Автор: Davide Terzi,Dadi Sharon,Gianluca Mendicino. Владелец: STMicroelectronics Ltd. Дата публикации: 2024-06-04.

Mems device with non-planar features

Номер патента: US20150266727A1. Автор: James C. Baker,Patrick I. Oden,Robert S. Black. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2015-09-24.

Microfluidic mems device for fluid ejection with piezoelectric actuation

Номер патента: US20190367357A1. Автор: Simon Dodd,Domenico Giusti. Владелец: STMicroelectronics lnc USA. Дата публикации: 2019-12-05.

System and method for maintaining a smoothed and anti-stiction surface on a mems device

Номер патента: EP3397585A1. Автор: Gary Yama,Jochen STEHLE. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2018-11-07.

System and Method for Maintaining a Smoothed and Anti-Stiction Surface on a MEMS Device

Номер патента: US20190016592A1. Автор: Gary Yama,Jochen STEHLE. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2019-01-17.

Mems device

Номер патента: US20240025734A1. Автор: Haitao DING. Владелец: Zhunmao Hangzhou Technology Co. Дата публикации: 2024-01-25.

Method and apparatus for producing a mems device

Номер патента: WO2006107960A3. Автор: Thomas Chen,Michael Judy. Владелец: Michael Judy. Дата публикации: 2007-02-22.

Mems device

Номер патента: US20150277106A1. Автор: Takashi Ozaki,Norio Fujitsuka,Kazuya Asaoka,Norikazu Oota. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2015-10-01.

Mems device with optimized geometry for reducing the offset due to the radiometric effect

Номер патента: EP3680671A1. Автор: Alessandro Tocchio,Francesco Rizzini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2020-07-15.

MEMS device comprising a membrane and an actuator

Номер патента: US10981778B2. Автор: Dario Paci,Domenico Giusti,Irene Martini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2021-04-20.

Mems device including a piezoelectric actuator with a reduced volume

Номер патента: US20180215607A1. Автор: Domenico Giusti. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2018-08-02.

Mems device comprising a membrane and an actuator

Номер патента: US20200156929A1. Автор: Dario Paci,Domenico Giusti,Irene Martini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2020-05-21.

Interposer substrate, mems device and corresponding manufacturing method

Номер патента: US20200346921A1. Автор: Stefan Mark,Rainer Straub,Joerg Muchow,Corinna Koepernik. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2020-11-05.

MEMS device

Номер патента: US10544032B2. Автор: Junichi Azumi,Shuichi Suzuki,Hidenori Kato,Masayuki Fujishima,Hidetaka Noguchi,Masashi SUEMATSU. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2020-01-28.

Mems device members having portions that contact a substrate and associated mehtods of operating

Номер патента: WO2002079076A1. Автор: Edward Arthur Hill,Ramaswamy Mahadevan. Владелец: JDS Uniphase Corporation. Дата публикации: 2002-10-10.

Mems device and method of manufacturing the same

Номер патента: US20150266719A1. Автор: Takahiko Yoshizawa. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2015-09-24.

Mems device with a stress decoupling structure

Номер патента: EP4371931A1. Автор: David Tumpold,MohammadAmir Ghaderi. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-05-22.

Stiction reduction for mems devices

Номер патента: US20140159779A1. Автор: Gregory R. Black,Vijay L. Asrani,Adrian Napoles. Владелец: MOTOROLA MOBILITY LLC. Дата публикации: 2014-06-12.

Mems device

Номер патента: US20190011259A1. Автор: Chiung-Cheng Lo,Chiung-Wen Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2019-01-10.

Sensor chip and substrate assembly for mems device

Номер патента: US20080230857A1. Автор: Jeson HSU. Владелец: Lingsen Precision Industries Ltd. Дата публикации: 2008-09-25.

Mems device with a diaphragm having a net compressive stress

Номер патента: US20220009770A1. Автор: Peter V. Loeppert. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2022-01-13.

Hermetic encapsulation for microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20150291415A1. Автор: Feras Eid,Sasha N. OSTER,Weng Hong Teh,Sarah K. Haney. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2015-10-15.

INTEGRATION SCHEME FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES AND COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICES

Номер патента: US20200115222A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

Sealed packaging for microelectromechanical systems

Номер патента: US09856132B2. Автор: Janusz Bryzek,Cenk Acar,John Gardner Bloomsburgh. Владелец: Fairchild Semiconductor Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

INTEGRATION SCHEME FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES AND COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) DEVICES

Номер патента: US20180029882A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

LEADFRAME-BASED PREMOLDED PACKAGE HAVING AIR CHANNEL FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20140011313A1. Автор: Huckabee James R.,Purdom Ray H.. Владелец: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED. Дата публикации: 2014-01-09.

STRUCTURE FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES TO CONTROL PRESSURE AT HIGH TEMPERATURE

Номер патента: US20220089434A1. Автор: HSIEH Yuan-Chih,Pan Shing-Chyang,Wang Yi-Ren. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-24.

STRUCTURE FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES TO CONTROL PRESSURE AT HIGH TEMPERATURE

Номер патента: US20210087055A1. Автор: HSIEH Yuan-Chih,Pan Shing-Chyang,Wang Yi-Ren. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-25.

Corrugated Package for Microelectromechanical System (MEMS) Device

Номер патента: US20170297905A1. Автор: Saxena Kuldeep. Владелец: . Дата публикации: 2017-10-19.

WAFER LEVEL HERMETIC SEAL PROCESS FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES

Номер патента: US20160355394A1. Автор: HSIEH Yuan-Chih,Liu Shih-Chang,Tseng Lee-Chuan,CHOU Chung-Yen. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-08.

Barrier layers for microelectromechanical systems

Номер патента: US20050054135A1. Автор: Andrew Huibers,Satyadev Patel,Jonathan Doan. Владелец: Reflectivity Inc. Дата публикации: 2005-03-10.

Barrier layers for microelectromechanical systems

Номер патента: WO2004087563A2. Автор: Jonathan Doan,Satyadev R. Patel. Владелец: Reflectivity, Inc.. Дата публикации: 2004-10-14.

Barrier layers for microelectromechanical systems

Номер патента: WO2004087563A3. Автор: Jonathan Doan,Satyadev R Patel. Владелец: Satyadev R Patel. Дата публикации: 2005-06-30.

COVER BASED ADHESION FORCE MEASUREMENT SYSTEM FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20190062147A1. Автор: Castro Alexander,AHN Chae. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

MULTI-PATH SIGNAL PROCESSING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SENSORS

Номер патента: US20180031597A1. Автор: Oliaei Omid,Ayat Mehran. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

MECHANICAL STRESS DECOUPLING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ELEMENTS WITH GEL-FILLING

Номер патента: US20200283286A1. Автор: Winkler Bernhard,Meier Roland,Gruenberger Robert,Langheinrich Wolfram,Meinhold Dirk,BRANDL Florian,Luber Sebastian. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-09-10.

PACKAGES FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) MIRROR AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20190293923A1. Автор: Theuss Horst,GHAHREMANI Cyrus. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2019-09-26.

Multi-path signal processing for microelectromechanical systems (MEMS) sensors

Номер патента: US10281485B2. Автор: Omid Oliaei,Mehran Ayat. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-05-07.

Electrostatic actuator for microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: WO2010040873A1. Автор: José Ignacio IZPURA TORRES,Javier MALO GÓMEZ,Enrique Iborra Grau. Владелец: UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID. Дата публикации: 2010-04-15.

Electrostatic actuator for microelectromechanical systems (mems)

Номер патента: ES2329644A1. Автор: José Ignacio IZPURA TORRES,Javier MALO GÓMEZ,Enrique Iborra Grau. Владелец: UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID. Дата публикации: 2009-11-27.

Sealed packaging for microelectromechanical systems

Номер патента: EP2616388A2. Автор: Janusz Bryzek,Cenk Acar,John Gardner Bloomsburgh. Владелец: Fairchild Semiconductor Corp. Дата публикации: 2013-07-24.

Device and method for active circuit package microelectromechanical system (MEMS) device anti-stiction

Номер патента: CN110482485B. Автор: 陈立,杨光隆,T·K·努南. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2023-05-23.

MEMS devices and methods of assembling micro electromechanical systems (MEMS)

Номер патента: EP2181961A3. Автор: Galen Magendanz,Mark Eskridge. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2013-05-15.

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SWITCH SWITCH AND SWITCH SWITCH CONTAINING RF MEMS SWITCHES

Номер патента: RU2013147496A. Автор: Кристоф ПАВАГО. Владелец: Дельфмемс. Дата публикации: 2015-05-10.

Micro electro mechanical system (MEMS) device and manufacture method of MEMS device

Номер патента: CN102616727B. Автор: 黄河,陈晓军,吴秉寰. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2015-04-29.

Microelectromechanical system (MEMS) device and fabrication method thereof

Номер патента: CN103663345A. Автор: 刘志成,李建兴,谢聪敏. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-26.

Microelectromechanical systems (MEMS) device including a superlattice and associated methods

Номер патента: AU2006252590A8. Автор: Richard A. Blanchard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2008-04-03.

Microelectromechanical systems (MEMS) device including a superlattice

Номер патента: TW200707650A. Автор: Richard A Blanchard. Владелец: Mears R J Llc. Дата публикации: 2007-02-16.

Microelectromechanical systems (MEMS) device including a superlattice and associated methods

Номер патента: AU2006252590A1. Автор: Richard A. Blanchard. Владелец: RJ Mears LLC. Дата публикации: 2006-12-07.

Microelectromechanical systems (mems) device including a superlattice

Номер патента: TWI306646B. Автор: A Blanchard Richard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2009-02-21.

Method for making a microelectromechanical systems (mems) device including a superlattice

Номер патента: TWI306666B. Автор: A Blanchard Richard. Владелец: Mears Technologies Inc. Дата публикации: 2009-02-21.

METHOD FOR THIN FILM ENCAPSULATION (TFE) OF A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE AND THE MEMS DEVICE ENCAPSULATED THEREOF

Номер патента: US20150175408A1. Автор: SINGH Navab,Lee Jae-Wung,Sharma Jaibir. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-25.

Microelectromechanical system (MEMS) sensor packages and methods for producing microelectromechanical system sensor packages having a plurality of MEMS sensor chips

Номер патента: US11851322B2. Автор: Jochen Dangelmaier,Rainer Markus Schaller. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-12-26.

Method of making a micro-electro-mechanical-systems (mems) device

Номер патента: CN102452638A. Автор: 刘威,刘连军,利萨·H·卡林,大卫·W·基尔斯特,鲁本·B·蒙特兹,罗伯特·F·施泰梅尔. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2012-05-16.

Method for hermetically encapsulating microsystems in situ

Номер патента: US20010004085A1. Автор: Fran?ccedil;ois Gueissaz. Владелец: Asulab AG. Дата публикации: 2001-06-21.

Catalyst For Microelectromechanical Systems Microreactors

Номер патента: US20100221667A1. Автор: John G. Reynolds,Jeffrey D. Morse,Ravindra S. Upadhye,David A. Sopchak,Joseph H. Satcher,Alex E. Gash. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-09-02.

Μικροηλεκτρομηχανικο συστημα (microelectromechanical system-mems) διαφορικου χωρητικου αισθητηρα πιεσης με σταθερο πυκνωτη αναφορας και μεθοδος κατασκευης του

Номер патента: GR20210100522A. Автор: Θεοδωρα-Αικατερινη Χαραλαμπου Σπυροπουλου,Εμμανουηλ Γεωργιου Ζερβακης,Θεοδωρος Αθανασοπουλος. Владелец: Ευρωπαϊκα Συστηματα Αισθητηρων Α.Ε.,. Дата публикации: 2023-02-10.

Method for hermetically encapsulating microsystems on site

Номер патента: DE69933380T2. Автор: François Gueissaz. Владелец: Asulab AG. Дата публикации: 2007-08-02.

Method for hermetically encapsulating microsystems in situ

Номер патента: US6454160B2. Автор: François Gueissaz. Владелец: Asulab AG. Дата публикации: 2002-09-24.

Method for hermetically encapsulating microsystems in situ

Номер патента: KR100658264B1. Автор: 구에이사즈 프랑코이스. Владелец: 아스라브 쏘시에떼 아노님. Дата публикации: 2006-12-14.

DEVICE FOR HERMETIC ENCAPSULATION OF COMPONENT TO BE PROTECTED FROM ANY STRESS

Номер патента: FR2832136A1. Автор: Christian Val. Владелец: 3D Plus SA. Дата публикации: 2003-05-16.

HERMETIC ENCAPSULATION STRUCTURE OF A DEVICE AND AN ELECTRONIC COMPONENT

Номер патента: FR2982073B1. Автор: Jean-Louis Pornin,Xavier Baillin. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA. Дата публикации: 2014-10-10.

Device for the hermetic encapsulation of a component that must be protected against all stresses

Номер патента: US20050012188A1. Автор: Christian Val. Владелец: 3D Plus SA. Дата публикации: 2005-01-20.

Method for using microelectromechanical systems to generate movement in a phacoemulsification handpiece

Номер патента: EP2544639A2. Автор: Timothy Hunter. Владелец: Abbott Medical Optics Inc. Дата публикации: 2013-01-16.

Optical switch using frequency-based addressing in a microelectromechanical systems array

Номер патента: US20060262379A1. Автор: Hyuck Choo,Richard Muller. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2006-11-23.

Dual-mode control circuit for microelectromechanical system gyroscopes

Номер патента: US20240093995A1. Автор: Marco Bestetti,Giacomo Langfelder,Carlo Valzasina,Andrea Giovanni BONFANTI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-03-21.

Electrodes for microelectromechanical system microphones

Номер патента: WO2024112406A1. Автор: Joseph Seeger,Dennis Mortensen. Владелец: TDK Electronics AG. Дата публикации: 2024-05-30.

Electrodes for microelectromechanical system microphones

Номер патента: US20240171917A1. Автор: Joseph Seeger,Dennis Mortensen. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2024-05-23.

Microelectromechanical system (mens) device

Номер патента: EP1386347A2. Автор: Patrick C. Herbert,Jun J. Yao,Robert J. Kretschmann,Ernst H. Dummermuth,Jeffrey R. Annis,Richard D. Harris,Winfred L. Morris,Henric Larsson,Michael J. Knieser. Владелец: Rockwell Automation Technologies Inc. Дата публикации: 2004-02-04.

MEMS device front-end charge amplifier

Номер патента: US09444404B2. Автор: Hai Tao,Ion Opris,Shungneng Lee. Владелец: Fairchild Semiconductor Corp. Дата публикации: 2016-09-13.

Hermetically encapsulated refrigerant compressor

Номер патента: US20230015085A1. Автор: Ulf PLATZER. Владелец: Anhui Meizhi Compressor Co Ltd. Дата публикации: 2023-01-19.

Method for the hermetic encapsulation of a component

Номер патента: US7259041B2. Автор: Hans Krueger,Alois Stelzl,Ernst Christl. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2007-08-21.

Method of hermetically encapsulating a crystal oscillator using a thermoplastic shell

Номер патента: US5640746A. Автор: Thomas A. Knecht,Steven L. Wille. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 1997-06-24.

Subterranean formation characterization using microelectromechanical system (mems) devices

Номер патента: CA2968953C. Автор: Clinton Cheramie Galliano,Mathew Dennis Rowe,Walter Varney Andrew Graves. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2019-12-03.

Performance improvement of mems devices

Номер патента: EP3019881A2. Автор: Jason Clark. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2016-05-18.

Microelectromechanical System Oven-Controlled Oscillator

Номер патента: US20240186947A1. Автор: Aaron Partridge,Yushu MA,Carl Martin Arft,Sassan Tabatabaei Zavareh,Markus Rudolf Lutz,Li Ko Chiu. Владелец: Sitime Corp. Дата публикации: 2024-06-06.

Microelectromechanical system oven-controlled oscillator

Номер патента: WO2024119166A2. Автор: Aaron Partridge,Yushu MA,Carl Martin Arft,Sassan Tabatabaei Zavareh,Markus Rudolf Lutz,Li Ko CHUI. Владелец: SiTime Corporation. Дата публикации: 2024-06-06.

Microelectromechanical systems (mems) switching circuit and related apparatus

Номер патента: US20190371554A1. Автор: Nadim Khlat. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2019-12-05.

Microelectromechanical system oven-controlled oscillator

Номер патента: WO2024119166A3. Автор: Aaron Partridge,Yushu MA,Carl Martin Arft,Sassan Tabatabaei Zavareh,Markus Rudolf Lutz,Li Ko CHUI. Владелец: SiTime Corporation. Дата публикации: 2024-07-11.

Embedded circuit in a mems device

Номер патента: EP2901714A1. Автор: Sandra F. Vos,Daniel Giesecke. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2015-08-05.

Method for using microelectromechanical systems to generate movement in a phacoemulsification handpiece

Номер патента: US20110218483A1. Автор: Timothy Hunter. Владелец: Abbott Medical Optics Inc. Дата публикации: 2011-09-08.

Casing for hermetically encapsulated small refrigerators

Номер патента: CA1291093C. Автор: Svend E. Outzen. Владелец: Danfoss AS. Дата публикации: 1991-10-22.

Edge patterns of microelectromechanical systems (mems) microphone backplate holes

Номер патента: US20220070568A1. Автор: Chia-Yu Wu,Pirmin Rombach,Chung-Hsien Lin,Dennis Mortensen,Tsung Lin Tang. Владелец: Invensense Taiwan Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Display apparatus including MEMS devices

Номер патента: US09513529B2. Автор: Kevin Lin,Nathan R. Andrysco. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2016-12-06.

Film actuator based mems device and method

Номер патента: EP1663849A1. Автор: Joachim Oberhammer,G Ran Stemme. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-06-07.

Blockage detection for a microelectromechanical systems sensor

Номер патента: US09924288B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Baris CAGDASER,Renata Melamud Berger,Omid Oliaei. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-03-20.

Top port microelectromechanical systems microphone

Номер патента: US09426581B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Anthony D. Minervini. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-08-23.

Enhanced microelectromechanical system mirror apparatus

Номер патента: EP4330756A1. Автор: Jukka Kyynäräinen,Dmitry MORITS. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2024-03-06.

Microelectromechanical systems (MEMS) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US11754397B2. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2023-09-12.

Microelectromechanical system (mems) bond release structure and method of wafer transfer for three-dimensional integrated circuit (3d ic) integration

Номер патента: WO2016048649A1. Автор: Yang Du,Shiqun Gu,Yong Ju Lee,Jing Xie,Wenyue Zhang,Je-Hsiung Jeffrey Lan. Владелец: QUALCOMM INCORPORATED. Дата публикации: 2016-03-31.

Microelectromechanical system (mems) bond release structure and method of wafer transfer for three-dimensional integrated circuit (3d ic) integration

Номер патента: EP3198634A1. Автор: Yang Du,Shiqun Gu,Yong Ju Lee,Jing Xie,Wenyue Zhang,Je-Hsiung Jeffrey Lan. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2017-08-02.

Piezoelectric microelectromechanical system (mems) signal processing for contact detection

Номер патента: US20240298108A1. Автор: Robert John Littrell. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2024-09-05.

Microelectromechanical systems (MEMS) microphone array with dedicated amplifiers

Номер патента: US09936289B2. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-04-03.

Microelectromechanical system (MEMS) bond release structure and method of wafer transfer for three-dimensional integrated circuit (3D IC) integration

Номер патента: US09922956B2. Автор: Yang Du,Shiqun Gu,Yong Ju Lee,Jing Xie,Wenyue Zhang,Je-Hsiung Jeffrey Lan. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2018-03-20.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) device with multi-dimensional spring structure and frame

Номер патента: US09733269B2. Автор: Chia-Yu Wu,Yu-Wen Hsu,Shih-Chieh Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-08-15.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) device including an internal anchor area

Номер патента: US09562926B2. Автор: Chiung-Cheng Lo,Yu-Fu Kang,Chiung-Wen Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-02-07.

Microelectromechanical systems (MEMS) microphone having two back cavities separated by a tuning port

Номер патента: US09510106B2. Автор: Aleksey S. Khenkin,Anthony D. Minervini. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-11-29.

Microelectromechanical system (mens) device

Номер патента: EP1386347A4. Автор: Jun J Yao,Henric Larsson,Jeffrey R Annis,Robert J Kretschmann,Winfred L Morris,Patrick C Herbert,Ernst H Dummermuth,Richard D Harris,Michael J Knieser. Владелец: Rockwell Automation Technologies Inc. Дата публикации: 2005-05-25.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: US20190226847A1. Автор: Tomas Neuzil,Jan Scheirich,Martin Vagner. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2019-07-25.

Microelectromechanical Systems Sensor with Stabilization Circuit

Номер патента: US20240214747A1. Автор: Mark Niederberger. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-06-27.

Circuit topology for protecting vulnerable micro electro-mechanical system (MEMS) and electronic relay devices

Номер патента: US20020089804A1. Автор: Ramon Chea. Владелец: Turnstone Systems Inc. Дата публикации: 2002-07-11.

Microelectromechanical system microphone array capsule

Номер патента: US20230188904A1. Автор: Jeremy Parker. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2023-06-15.

Embedded circuit in a mems device

Номер патента: WO2014052559A1. Автор: Sandra F. Vos,Daniel Giesecke. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2014-04-03.

Oscillator calibrated to a microelectromechanical system (mems) resonator-based oscilator

Номер патента: US20240113717A1. Автор: Bichoy BAHR,Yogesh Ramadass. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-04-04.

Oscillator calibrated to a microelectromechanical system (MEMS) resonator-based oscilator

Номер патента: US12095471B2. Автор: Bichoy BAHR,Yogesh Ramadass. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-09-17.

Surgical instruments including MEMS devices

Номер патента: US09962159B2. Автор: Russell Heinrich,Douglas Cuny. Владелец: COVIDIEN LP. Дата публикации: 2018-05-08.

Method and apparatus for improving performance of digital microelectromechanical systems microphones

Номер патента: US09716933B2. Автор: Omid Oliaei. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-07-25.

Surgical instrument including MEMS devices

Номер патента: US09561031B2. Автор: Russell Heinrich,Douglas J. Cuny. Владелец: COVIDIEN LP. Дата публикации: 2017-02-07.

MEMS device mechanism enhancement for robust operation through severe shock and acceleration

Номер патента: US09476712B2. Автор: Max C. Glenn,Mark W. Weber,Timothy J. Hanson,Drew A. Karnick. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US20210262796A1. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2021-08-26.

Blockage detection for a microelectromechanical systems sensor

Номер патента: WO2016069812A1. Автор: Aleksey S. Khenkin,Baris CAGDASER,Renata Melamud Berger,Omid Oliaei. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-05-06.

Non-resonant microelectromechanical systems scanner with piezoelectric actuators

Номер патента: US20200341265A1. Автор: Utku Baran. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2020-10-29.

Using pole pieces to guide magnetic flux through a mems device and method of making

Номер патента: US20100242601A1. Автор: Paul W. Dwyer,Ryan Roehnelt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-09-30.

Microelectromechanical systems (mems) gyroscope sense frequency tracking

Номер патента: US20190186917A1. Автор: Sriraman Dakshinamurthy,Carlo Pinna,Ronak Chetan Desai. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-06-20.

Non-resonant microelectromechanical systems scanner with piezoelectric actuators

Номер патента: EP3959559A1. Автор: Utku Baran. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2022-03-02.

Microelectromechanical system pressure sensor with pressure sensing element having phase-change material

Номер патента: WO2024087110A1. Автор: Shao-Fu Sanford Chu. Владелец: Yangtze Advanced Memory Industrial Innovation Center Co., Ltd. Дата публикации: 2024-05-02.

Film actuator based mems device and method

Номер патента: WO2005023699A1. Автор: Goran Stemme,Joachim Oberhammer. Владелец: NORDIA INNOVATION AB. Дата публикации: 2005-03-17.

Power switching system including a micro-electromechanical system (MEMS) array

Номер патента: EP2472717A3. Автор: John Kenneth Hooker,Brent Charles Kumfer,Sriram Changali,Pradeep Kumar Anand,Remesh Kumar Keeramthode. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2016-10-05.

Electrostatically actuated micro-electro-mechanical system (mems) device

Номер патента: CA2366527C. Автор: Vladimir Anatolyevich Aksyuk,Flavio Pardo,Cristian A. Bolle. Владелец: Agere Systems Guardian Corp. Дата публикации: 2005-06-28.

Microelectromechanical systems scanning mirror for a laser scanner

Номер патента: US6155490A. Автор: H. Sprague Ackley. Владелец: INTERMEC IP CORP. Дата публикации: 2000-12-05.

Micro-electromechanical system (MEMS) based tunable polarization rotator

Номер патента: US11808936B2. Автор: Sujit HANDANHAL RAMACHANDRA,Matthew Stewart Johnson,Trang Thu Pham,Aidas A. Jakubenas. Владелец: Cisco Technology Inc. Дата публикации: 2023-11-07.

Gradient micro-electro-mechanical systems (MEMS) microphone with varying height assemblies

Номер патента: US09955246B2. Автор: Marc REESE,John Baumhauer,Fengyuan LI,Spiro Iraclianos. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

Gradient micro-electro-mechanical systems (MEMS) microphone with varying height assemblies

Номер патента: US10827245B2. Автор: Marc REESE,John Baumhauer,Fengyuan LI,Spiro Iraclianos. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2020-11-03.

Micro-electromechanical system (MEMS) based current and magnetic field sensor

Номер патента: US7705583B2. Автор: Ertugrul Berkcan,Shankar Chandrasekaran. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2010-04-27.

Cyrogenic inertial micro-electro-mechanical system (MEMS) device

Номер патента: US6487864B1. Автор: William P. Platt,Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2002-12-03.

Apparatuses and methods for testing semiconductor circuitry using microelectromechanical systems switches

Номер патента: US12099085B2. Автор: Padraig Fitzgerald,Eric James Carty,Erkan Acar,Patrick M. MCGUINNESS,Randy Oltman,Naveen Dhull,Derek W. Nolan. Владелец: Analog Devices International ULC. Дата публикации: 2024-09-24.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structure and design structures

Номер патента: US09496110B2. Автор: Anthony K. Stamper,Kimball M. Watson,Jenifer E. Lary,Ward A. Johnson,Pui L. Yee. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2016-11-15.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: CA2827763C. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2016-06-21.

Three-axis microelectromechanical system (MEMS) gyroscope

Номер патента: US11639852B2. Автор: Shuang Liu,Bo Zou,Qinglong Zheng. Владелец: Senodia Technologies Shaoxing Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-02.

Mechanism for selective coupling in microelectromechanical systems inertial sensors

Номер патента: US20210396520A1. Автор: Jeffrey A. Gregory,Laura Cornelia Popa. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2021-12-23.

Spatial light modulator for actuating microelectromechanical systems (mems) structures

Номер патента: WO2014043234A2. Автор: Charles F. Hester,C. Anthony Hester. Владелец: Hester Charles F. Дата публикации: 2014-03-20.

Surgical instruments including mems devices

Номер патента: CA2483094C. Автор: Russell Heinrich,Douglas J. Cuny. Владелец: TYCO HEALTHCARE GROUP LP. Дата публикации: 2011-03-15.

Surgical instruments including MEMS devices

Номер патента: US10575849B2. Автор: Russell Heinrich,Douglas Cuny. Владелец: COVIDIEN LP. Дата публикации: 2020-03-03.

MEMS Device for Lens Barrel Positioning

Номер патента: US20170254978A1. Автор: Zhenyu Chen,Gih Keong LAU,Nyok Boon CHONG,Cheng Yi LIM,Chuangui ZHU. Владелец: Ningbo Sunny Opotech Co Ltd. Дата публикации: 2017-09-07.

Small angle optical beam steering using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas)

Номер патента: US20220229285A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Eric Rogala,Mark K. Lange,Craig O. Shott,Zachary D. Barker. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-07-21.

Optical sensor with micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA) steering of the optical transmit beam

Номер патента: US11835709B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Jon E. Leigh,Eric Rogala,Mark K. Lange,Vanessa Reyna,Craig O. Shott,Garret A. Odom. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2023-12-05.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA) and off-axis parabola (OAP) steered active situational awareness sensor

Номер патента: US12025790B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-07-02.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array steered laser transmitter and situational awareness sensor with wavelength conversion

Номер патента: US12117607B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-10-15.

Microelectromechanical systems device including a proof mass and movable plate

Номер патента: US20220155073A1. Автор: Michael Pedersen,Jeremy Johnson,Ken Deng,Kevin Meneou. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2022-05-19.

Micro-electro-mechanical systems (mems) actuator that rotates discrete optical elements

Номер патента: US20180329147A1. Автор: Ho-Shang Lee,Jeffrey B. Lee,Robert E. Schleicher,Rong Ping Hsia. Владелец: Dicon Fiberoptics Inc. Дата публикации: 2018-11-15.

Optical non-uniformity compensation (nuc) for passive imaging sensors using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas)

Номер патента: US20220311961A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Paul R. Spyak et al.. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-09-29.

Micro-electrical-mechanical-systems (mems) accelerometer systems

Номер патента: US20240345124A1. Автор: Richard A. Hull,Vasileios TSACHOURIDIS. Владелец: Collins Aerospace Ireland Ltd. Дата публикации: 2024-10-17.

Micro-electrical-mechanical-systems (mems) accelerometer systems

Номер патента: EP4446752A1. Автор: Richard A. Hull,Vasileios TSACHOURIDIS. Владелец: Atlantic Inertial Systems Inc. Дата публикации: 2024-10-16.

Electromechanical microswitch for switching an electrical signal, microelectromechanical system, integrated circuit, and method for producing an integrated circuit

Номер патента: WO2011069988A2. Автор: Bernd Tillack,Karl-Ernst Ehwald,Mario Birkholz,René SCHOLZ,Mehmet Kaynak. Владелец: Ihp Gmbh - Innovations For High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut Für Innovative Mikroelektronik. Дата публикации: 2011-06-16.

Apparatuses and methods for testing semiconductor circuitry using microelectromechanical systems switches

Номер патента: US20220373592A1. Автор: Padraig Fitzgerald,Eric James Carty,Erkan Acar,Patrick M. MCGUINNESS,Randy Oltman,Naveen Dhull,Derek W. Nolan. Владелец: Analog Devices International ULC. Дата публикации: 2022-11-24.

Spatial light modulator for actuating microelectromechanical systems (mems) structures

Номер патента: US20160377858A1. Автор: Charles F. Hester,C. Anthony Hester. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-12-29.

A microfluidic-channel embeddable, laterally oscillating gravimetric sensor device fabricated with micro-electro-mechanical systems (mems) technology

Номер патента: CA2771155C. Автор: Haluk Kulah,Ata Tuna Ciftlik. Владелец: Mikrobiyosistemler Elektronik San Ve Tic AS. Дата публикации: 2018-04-24.

Mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Trägheitssensoren mit Energieerntern und zugehörige Verfahren

Номер патента: DE102018128130B4. Автор: Xin Zhang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2022-02-03.

Pressure sensor of strain gauge type with a thin film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2657362C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Наталья Анатольевна Козлова. Владелец: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2018-06-13.

Torsional mems device

Номер патента: US20100002285A1. Автор: Hsien-Lung Ho,Long-Sun Huang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-01-07.

Method for calibrating a MEMS device

Номер патента: US20030133644A1. Автор: Jungsang Kim,William Holland,Stanley Pau,John Gates. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2003-07-17.

Method of removing mems devices from a handle substrate

Номер патента: WO2008141359A1. Автор: Kia Silverbrook,Roger Mervyn Lloyd Foote,Paul Andrew Papworth,David Mcleod Johnstone,Jason Mark Thelander,Andrew Leon Vella. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2008-11-27.

Method of removing mems devices from a handle substrate

Номер патента: EP2146924A1. Автор: Kia Silverbrook,Roger Mervyn Lloyd Foote,Paul Andrew Papworth,David Mcleod Johnstone,Jason Mark Thelander,Andrew Leon Vella. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2010-01-27.

Distributed MEMS devices time synchronization methods and system

Номер патента: US09989988B2. Автор: Andy Milota,Jobe Price. Владелец: MCube Inc. Дата публикации: 2018-06-05.

Methods and apparatus for packaging a MEMS device

Номер патента: US09874486B2. Автор: Danny Do,Gary Winzeler,Emir Vukotic,Cuong D. Nguyen. Владелец: Dunan Sensing LLC. Дата публикации: 2018-01-23.

Mems device having improved detection performances

Номер патента: EP4365603A1. Автор: Gabriele Gattere,Manuel RIANI,Francesco Rizzini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-05-08.

System and method for 2d to 3d model creation for a mems device

Номер патента: US20200334397A1. Автор: Arnaud Parent,Arnaud KRUST,Alexandre Sinding. Владелец: Coventor Inc. Дата публикации: 2020-10-22.

Packaging atmosphere and method of packaging a mems device

Номер патента: WO2002027381A9. Автор: Stephen Rolt,Gordon Henshall. Владелец: Gordon Henshall. Дата публикации: 2002-07-04.

Packaging atmosphere and method of packaging a mems device

Номер патента: WO2002027381A2. Автор: Stephen Rolt,Gordon Henshall. Владелец: NORTEL NETWORKS LIMITED. Дата публикации: 2002-04-04.

Method of manufacturing crystals of microelectromechanical systems

Номер патента: RU2625248C1. Автор: Валерий Евгеньевич Пауткин,Александр Евгеньевич Мишанин,Ильяс Рашитович Вергазов. Владелец: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2017-07-12.

Acoustic resistance improvement in piezoelectric microelectromechanical system microphone using compliant joint

Номер патента: US20230188896A1. Автор: Siarhei Dmitrievich Barsukou. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2023-06-15.

Process and structure for fabrication of mems device having isolated egde posts

Номер патента: EP2021859A1. Автор: David Heald. Владелец: Qualcomm Mems Technologies Inc. Дата публикации: 2009-02-11.

Two-terminal variable capacitance mems device

Номер патента: EP2513929A1. Автор: Je-Hsiung Lan,Evgeni Gousev,Ernest Tadashi Ozaki. Владелец: Qualcomm Mems Technologies Inc. Дата публикации: 2012-10-24.

Process and structure for fabrication of mems device having isolated edge posts

Номер патента: WO2007142737A8. Автор: David Heald. Владелец: David Heald. Дата публикации: 2008-02-28.

System and method for 2d to 3d compact model creation for a mems device

Номер патента: WO2019152366A1. Автор: Arnaud KRUST. Владелец: Coventor, Inc.. Дата публикации: 2019-08-08.

Mems device with improved via support planarization

Номер патента: US20150103391A1. Автор: Jose Antonio Martinez,Ronald Charles Roth,Lucius Marshall Sherwin,Sean Christopher O'Brien. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2015-04-16.

Method of Fabricating Piezoelectric MEMS Devices

Номер патента: US20160111625A1. Автор: Sunil Ashok Bhave,Thomas Kieran Nunan,Eugene Oh Hwang. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2016-04-21.

Mems device, in particular of mirror type, with improved detection of the deformation of a deformable structure of the same, and manufacturing process of the mems device

Номер патента: US20240288680A1. Автор: Carlo Luigi PRELINI,Roberto Carminati,Sonia Costantini,Tarek Afifi Afifi. Владелец: STMicroelectronics International NV. Дата публикации: 2024-08-29.

System and method for canceling ringing in a MEMS device

Номер патента: US20020171902A1. Автор: David Walker,Dan Guthrie,Bereket Berhane. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-11-21.

Mems device, in particular of mirror type, with improved detection of the deformation of a deformable structure of the same, and manufacturing process of the mems device

Номер патента: EP4421551A1. Автор: Carlo Luigi PRELINI,Roberto Carminati,Sonia Costantini,Tarek Afifi Afifi. Владелец: STMicroelectronics International NV. Дата публикации: 2024-08-28.

Mems device

Номер патента: US20150068314A1. Автор: Yumi Hayashi,Naofumi Nakamura,Tamio Ikehashi,Jun Deguchi,Kei Masunishi,Daiki Ono,Yusaku Asano. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2015-03-12.

MEMS device

Номер патента: US09477078B2. Автор: Yutaka Nonomura,Teruhisa Akashi,Kanae Murata,Isao Aoyagi. Владелец: Toyota Central R&D Labs Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Variable capacitor compromising MEMS devices for radio frequency applications

Номер патента: US09443658B2. Автор: Richard L. Knipe,Robertus Petrus Van Kampen. Владелец: Cavendish Kinetics Inc. Дата публикации: 2016-09-13.

System and method for run-time hermeticity detection of a capped MEMS device

Номер патента: US09442131B2. Автор: James Wilson,Benoit Dufort,Daniel Boyko,Colm Prendergast,Matthew Aaron Hazel. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2016-09-13.

Method of manufacturing inverted organic solar microarray for applications in microelectromechanical systems

Номер патента: US09425397B2. Автор: Jason Erik Lewis,Xiaomei Jiang. Владелец: UNIVERSITY OF SOUTH FLORIDA. Дата публикации: 2016-08-23.

MEMS device

Номер патента: US11974109B2. Автор: Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Mems device using nimn alloy and method of manufacture

Номер патента: WO2007111861A3. Автор: John S Foster,Gregory A Carlson,Donald C Liu,Douglas L Thompson. Владелец: Douglas L Thompson. Дата публикации: 2008-04-24.

Method and apparatus for measuring the force of stiction of a membrane in a mems device

Номер патента: WO2008085292A1. Автор: Kasra Khazeni. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2008-07-17.

Suspension for maintaining mirror flatness of a MEMS device in a scanner systenm or the like

Номер патента: US20080266630A1. Автор: Dean R. Brown,Jason B. Tauscher,Wyatt O. Davis,David R. Bowman. Владелец: Microvision Inc. Дата публикации: 2008-10-30.

Piezoelectric microelectromechanical system microphone with optimized output capacitance

Номер патента: US12101601B2. Автор: You Qian,Rakesh Kumar,Guofeng Chen,Michael Jon Wurtz,Humberto CAMPANELLA-PINEDA. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-09-24.

High cycle mems device

Номер патента: WO2003034457A2. Автор: David Becher,Milton Feng,Nick Holonyak, Jr.,Shyh-Chiang Shen,Richard Chan. Владелец: The Board of Trustees of the University of Illinois. Дата публикации: 2003-04-24.

Curable polyorganosiloxane composition for use as an encapsulant for a solar cell module

Номер патента: US09991406B2. Автор: Oliver Kretschmann,Cristian De Santis,Andrea Ruppenthal. Владелец: MOMENTIVE PERFORMANCE MATERIALS GMBH. Дата публикации: 2018-06-05.

Resistive switching for MEMS devices

Номер патента: US09945727B2. Автор: Ando Feyh,Gary Yama,Ashwin K. SAMARAO,Gary O'brien,Fabian Purkl. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2018-04-17.

Apparatus and method for calibration of capacitance mismatch and temperature variations in a MEMS device

Номер патента: US09804190B2. Автор: Farrokh Ayazi,Yaesuk Jeong. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2017-10-31.

Time-domain multiplexed signal processing block and method for use with multiple MEMS devices

Номер патента: US09699534B1. Автор: Qicheng Yu,Saroj Rout,Akhil K. Garlapati. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2017-07-04.

MEMS device with common mode rejection structure

Номер патента: US09689677B2. Автор: Andrew C. McNeil,Peng Shao. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-06-27.

Diffractive MEMS device

Номер патента: US09606273B2. Автор: John Michael Miller,Wenlin Jin. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2017-03-28.

Microelectromechanical systems gyroscope

Номер патента: US20210088335A1. Автор: Shih-Wei Lee,Chao-Shiun Wang. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2021-03-25.

MEMS device with protective structure

Номер патента: US09568386B2. Автор: Yumi Hayashi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2017-02-14.

Curable polyorganosiloxane composition for use as an encapsulant for a solar cell module

Номер патента: US09543460B2. Автор: Oliver Kretschmann,Andrea Ruppenthal,Christian DE SANTIS. Владелец: MOMENTIVE PERFORMANCE MATERIALS GMBH. Дата публикации: 2017-01-10.

Cold row encapsulation for server farm cooling systems

Номер патента: RU2532846C2. Автор: Скотт НОУТБУМ,Альберт Делл РОБИСОН. Владелец: Яхо! Инк.. Дата публикации: 2014-11-10.

Encapsulant for PV module, method of manufacturing the same and PV module comprising the same

Номер патента: US09806213B2. Автор: Hyun Cheol Kim,Jung Youn LEE,Je Sik Jung. Владелец: LG Chem Ltd. Дата публикации: 2017-10-31.

Spacer fabrication process for manufacturing reflective stealth mirrors and other MEMS devices

Номер патента: US20060001945A1. Автор: Sheng-Liang Pan,Hung-Hsin Liu,Fei-Yun Chen,Shan-Hua Wu,Wei-Ya Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2006-01-05.

Surface-textured encapsulations for use with light emitting diodes

Номер патента: US20160343919A1. Автор: Tao Xu. Владелец: Bridgelux Inc. Дата публикации: 2016-11-24.

Surface-textured encapsulations for use with light emitting diodes

Номер патента: US20160155910A9. Автор: Tao Xu. Владелец: Bridgelux Inc. Дата публикации: 2016-06-02.

Protective encapsulation for organic electroluminescent devices

Номер патента: EP1364415A1. Автор: Massimo Cocchi,Piergiulio Di Marco,Valeria Fattori,Gabriele Giro. Владелец: Consiglio Nazionale delle Richerche CNR. Дата публикации: 2003-11-26.

Surface-textured encapsulations for use with light emitting diodes

Номер патента: US09406851B2. Автор: Tao Xu. Владелец: Bridgelux Inc. Дата публикации: 2016-08-02.

Imaging technique for use with optical mems devices

Номер патента: CA2384072A1. Автор: Roland Ryf,Randy Clinton Giles,David Thomas Neilson. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2002-12-29.

Imaging technique for use with optical mems devices

Номер патента: CA2384072C. Автор: Roland Ryf,Randy Clinton Giles,David Thomas Neilson. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2005-08-30.

Capacitive MEMS Device, Capacitive MEMS Sound Transducer, Method for Forming a Capacitive MEMS Device, and Method for Operating a Capacitive MEMS Device

Номер патента: US20180255402A1. Автор: Alfons Dehe. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2018-09-06.

Mems device measurements using pulse measure unit

Номер патента: US20240168082A1. Автор: Alexander N. Pronin,Jin Kwang Yu. Владелец: Keithley Instruments LLC. Дата публикации: 2024-05-23.

Microelectromechanical system layout using genotype performance simulation

Номер патента: US20160132624A1. Автор: Jason V. Clark. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2016-05-12.

Imaging technique for use with optical mems devices

Номер патента: CA2384172C. Автор: Roland Ryf,David Thomas Neilson. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2005-03-29.

System and method for canceling disturbance in mems devices

Номер патента: CA2562087A1. Автор: Brian P. Tremaine,Joseph E. Davis. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-11-10.

Drive circuit for MEMS device and method of operation thereof

Номер патента: US6781743B2. Автор: Marek M. Furyk,Khanh C. Nguyen,Andrew P. Sabol,Xiaoqing Yin. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2004-08-24.

Extension structures in piezoelectric microelectromechanical system microphones

Номер патента: US11979712B2. Автор: You Qian,Rakesh Kumar,Guofeng Chen. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-05-07.

Mems device having improved detection performances

Номер патента: US20240151741A1. Автор: Gabriele Gattere,Manuel RIANI,Francesco Rizzini. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-05-09.

Piezoelectric microelectromechanical system microphone

Номер патента: US20240098426A1. Автор: Siarhei Dmitrievich Barsukou. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-03-21.

Method and device for monitoring movement of mirrors in a MEMS device

Номер патента: US8553308B2. Автор: Sason Sourani,Ido Luft,Nir Goren. Владелец: STMicroelectronics International NV. Дата публикации: 2013-10-08.

Drive circuit for mems device and method of operation thereof

Номер патента: US20040070812A1. Автор: Khanh Nguyen,Marek FURYK,Xiaoqing Yin,Andrew Sabol. Владелец: Agere Systems Guardian Corp. Дата публикации: 2004-04-15.

Method of modulating resonant frequency of torsional mems device

Номер патента: US20100002284A1. Автор: Hsien-Lung Ho,Long-Sun Huang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-01-07.

Photonic microelectromechanical systems and structures

Номер патента: RU2413963C2. Автор: Клэренс ЧУЙ. Владелец: Квэлкомм Мемс Текнолоджиз, Инк.. Дата публикации: 2011-03-10.

MEMS device having a drive coil with curved segments

Номер патента: US20080266628A1. Автор: Dean R. Brown,Jason B. Tauscher,Wyatt O. Davis. Владелец: Microvision Inc. Дата публикации: 2008-10-30.

Mems device, electronic device, electronic apparatus, and moving object

Номер патента: US20140246949A1. Автор: Akinori Yamada. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2014-09-04.

System and method for 2d to 3d compact model creation for a mems device

Номер патента: WO2019152366A8. Автор: Arnaud KRUST. Владелец: Coventor, Inc.. Дата публикации: 2020-05-14.

Acoustically Decoupled MEMS Devices

Номер патента: US20240030887A1. Автор: Benoit Hamelin,Farrokh Ayazi,Jeremy Yang. Владелец: Georgia Tech Research Corp. Дата публикации: 2024-01-25.

Mems device for euv mask-less lithography

Номер патента: WO2023184517A1. Автор: Philippe Muller,Yijian Chen. Владелец: Huawei Technologies CO.,Ltd.. Дата публикации: 2023-10-05.

Mems devices

Номер патента: US20190306621A1. Автор: James Thomas Deas,Vivek Saraf,Ian Johnson SMITH. Владелец: Cirrus Logic International Semiconductor Ltd. Дата публикации: 2019-10-03.

Diffractive mems device

Номер патента: US20170199374A1. Автор: John Michael Miller,Wenlin Jin. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2017-07-13.

Mems device with a carrier structure comprising a plurality of angularly offset side face regions

Номер патента: EP4231661A1. Автор: Marc Fueldner,Konstantin Tkachuk. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-08-23.

Manufacturing method of MEMS device, and substrate used therefor

Номер патента: US8293557B2. Автор: Satoshi Ueda,Hiroaki Inoue,Tadashi Nakatani. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2012-10-23.

Apparatus and method for calibration of capacitance mismatch and temperature variations in a mems device

Номер патента: US20160077126A1. Автор: Farrokh Ayazi,Yaesuk Jeong. Владелец: Yaesuk Jeong. Дата публикации: 2016-03-17.

Mems array, manufacturing method thereof, and mems device manufacturing method based on the same

Номер патента: US20050156259A1. Автор: Mitsuhiro Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2005-07-21.

MEMS device and electro-acoustic transducer

Номер патента: US11765509B1. Автор: Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-19.

MEMS Device And Inertial Measurement Unit

Номер патента: US20240142491A1. Автор: Satoru Tanaka. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2024-05-02.

Resistive switching for mems devices

Номер патента: EP3230702A1. Автор: Ando Feyh,Gary Yama,Ashwin K. SAMARAO,Gary O'brien,Fabian Purkl. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-10-18.

MEMS device with failure diagnosis function

Номер патента: US20060222291A1. Автор: Satoshi Yoshida. Владелец: Japan Aviation Electronics Industry Ltd. Дата публикации: 2006-10-05.

Mems device

Номер патента: US20240027192A1. Автор: Haitao DING. Владелец: Zhunmao Hangzhou Technology Co. Дата публикации: 2024-01-25.

Method of manufacturing mems device

Номер патента: US20110306153A1. Автор: Shogo Inaba,Ryuji Kihara. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2011-12-15.

Manufacturing method of mems device, and substrate used therefor

Номер патента: US20130022790A1. Автор: Satoshi Ueda,Hiroaki Inoue,Tadashi Nakatani. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2013-01-24.

Manufacturing method of mems device, and substrate used therefor

Номер патента: US20110223702A1. Автор: Satoshi Ueda,Hiroaki Inoue,Tadashi Nakatani. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2011-09-15.

Mems device

Номер патента: US20230388714A1. Автор: Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

Cold row encapsulation for server farm cooling systems

Номер патента: RU2470346C2. Автор: Скотт НОУТБУМ,РОБИНСОН Альберт ДЕЛЛ,Джесус СУАРЕЗ,Норман ХОЛТ. Владелец: Яхо! Инк.. Дата публикации: 2012-12-20.

Plastic resin and fibre encapsulation for electronic circuit device, and method for making same

Номер патента: CA1240073A. Автор: Milton I. Ross. Владелец: Individual. Дата публикации: 1988-08-02.

Encapsulation for semiconductor integrated circuit chip

Номер патента: CA1168764A. Автор: Arthur J. Ingram,Irving Weingrod. Владелец: Western Electric Co Inc. Дата публикации: 1984-06-05.

Encapsulant for opto-electronic devices and method for making it

Номер патента: US20040248337A1. Автор: Yongan Yan,Satyabrata Raychaudhuri,Mark Morris,Douglas Meyers,D. Meixner. Владелец: Yazaki Corp. Дата публикации: 2004-12-09.

Base-attached encapsulant for semiconductor encapsulation, semiconductor apparatus, and method for manufacturing semiconductor apparatus

Номер патента: US20170330813A1. Автор: Toshio Shiobara,Tomoaki Nakamura,Hideki Akiba. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-16.

Base-attached encapsulant for semiconductor encapsulation, semiconductor apparatus, and method for manufacturing semiconductor apparatus

Номер патента: US20180025958A1. Автор: Toshio Shiobara,Tomoaki Nakamura,Hideki Akiba. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-25.

Profiled encapsulation for use with instrumented expandable tubular completions

Номер патента: CA2461673C. Автор: John Alasdair Macdonald Cameron. Владелец: Weatherford Lamb Inc. Дата публикации: 2009-08-04.

Encapsulation for an organic electronic component, its production process and its use

Номер патента: US8288861B2. Автор: Karsten Heuser,Ralph Paetzold,Wiebke Sarfert,Arvid Hunze,Dirk Buchhauser,Debora Henseler,Carsten Tschamber. Владелец: OSRAM Opto Semiconductors GmbH. Дата публикации: 2012-10-16.

Profiled encapsulation for use with instrumented expandable tubular completions

Номер патента: CA2461673A1. Автор: John Alasdair Macdonald Cameron. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-04-03.

Profiled encapsulation for use with instrumented expandable tubular completions

Номер патента: CA2666045C. Автор: John Alasdair Macdonald Cameron. Владелец: Weatherford Lamb Inc. Дата публикации: 2013-12-03.

Method and encapsulant for flip-chip assembly

Номер патента: WO2013165323A3. Автор: Sathid Jitjongruck,Anongnat Somwangthanaroj. Владелец: Mektec Manufacturing Corporation (Thailand) Ltd. Дата публикации: 2014-05-08.

Method and encapsulant for flip-chip assembly

Номер патента: US20150054154A1. Автор: Sathid Jitjongruck,Anongnat Somwangthanaroj. Владелец: Mektec Manufacturing Corp Thailand Ltd. Дата публикации: 2015-02-26.

Device for detecting electromagnetic radiation possessing a hermetic encapsulating structure comprising an exhaust vent

Номер патента: US09851254B2. Автор: Stephane Pocas,Jean-Jacques Yon,Pierre Imperinetti,Geoffroy Dumont,Laurent Carle. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA. Дата публикации: 2017-12-26.

Hermetically encapsulated sensor and process for its production

Номер патента: US20010038883A1. Автор: Josef Mayer,Michael Fritton,Walter Roth,Ernst Gass. Владелец: Balluff GmbH. Дата публикации: 2001-11-08.

SPRING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20140144232A1. Автор: Lin Yizhen,NAUMANN MICHAEL,Mehner Jan. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-29.

Structure and method for microelectromechanical system (MEMS) devices integrated with other semiconductor structures

Номер патента: US20030015768A1. Автор: John Holmes,Rudy Emrick,Nestor Escalera,Bruce Bosco,Steven Franson,Stephen Rockwell. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2003-01-23.

Flexural couplers for microelectromechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20180172446A1. Автор: Igor P. Prikhodko,Jeffrey A. Gregory. Владелец: Analog Devices Inc. Дата публикации: 2018-06-21.

Enclosure for hermetical encapsulated electronics

Номер патента: US09801303B2. Автор: Bernd Sporer. Владелец: Abaco Systems Inc. Дата публикации: 2017-10-24.

ELECTROMAGNETIC RADIATION DETECTION DEVICE WITH HERMETIC ENCAPSULATION STRUCTURE WITH RELEASE VENT

Номер патента: FR3033045B1. Автор: Stephane Pocas,Jean-Jacques Yon,Pierre Imperinetti,Geoffroy Dumont,Laurent Carle. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA. Дата публикации: 2020-02-28.

Method of hermetically encapsulating a semiconductor device by laser irradiation

Номер патента: US4400870A. Автор: Safidul Islam. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1983-08-30.

Method and device for hermetic encapsulation of electronic components

Номер патента: CA2067784C. Автор: Christian Val,Michel Leroy. Владелец: Thomson CSF SA. Дата публикации: 2001-10-23.

Seismic sensor system with microelectromechanical systems ("mems") oscillator clock.

Номер патента: MX2019010500A. Автор: Husom Vidar. Владелец: Schlumberger Technology Bv. Дата публикации: 2020-02-10.

Circuit for electrostatically driving a plant such as a comb-drive microelectromechanical system (mems) mirror and related subsystem, system, and method

Номер патента: WO2008082404A1. Автор: Michael P. Weir,Thomas W. Montague,Gregory T. Gibson,Robert J. Dunki-Jacobs,Wyatt O. Davis. Владелец: MICROVISION, INC.. Дата публикации: 2008-07-10.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: IL264238A. Автор: Neuzil Tomas,Scheirich Jan,Vagner Martin. Владелец: Honeywell Int Inc. Дата публикации: 2019-05-30.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: EP3514490B1. Автор: Tomas Neuzil,Jan Scheirich,Martin Vagner. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2020-04-22.

Microelectromechanical system (mems) device readout with optical directional coupler

Номер патента: IL264238B. Автор: Neuzil Tomas,Scheirich Jan,Vagner Martin. Владелец: Honeywell Int Inc. Дата публикации: 2022-03-01.

Microelectromechanical system (mems) comprising microphone and low power circuitry with detection of audio signal

Номер патента: WO2017194580A1. Автор: Matthew Zeleznik,Axel Kaschner. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-11-16.

LASER-ASSISTED HERMETIC ENCAPSULATION PROCESS AND PRODUCT THEREOF

Номер патента: US20210230060A1. Автор: MAGALHAES MENDES Adelio Miguel,Madureira Andrade Luísa Manuela,MAGALHÃES MENDES Joaquim Gabriel,EMAMI Seyedali,SANTOS MARTINS Jorge Filipe,DOS SANTOS PINTO Jorge Miguel. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-29.

DEVICE FOR DETECTING ELECTROMAGNETIC RADIATION POSSESSING A HERMETIC ENCAPSULATING STRUCTURE COMPRISING AN EXHAUST VENT

Номер патента: US20160245702A1. Автор: Dumont Geoffroy,Yon Jean-Jacques,Imperinetti Pierre,POCAS Stéphane,CARLE LAURENT. Владелец: Commissariat A L'Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives. Дата публикации: 2016-08-25.

Hermetic encapsulation package and method of fabrication thereof

Номер патента: US20010013756A1. Автор: Kenji Mori,Yoshikazu Sakaguchi. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2001-08-16.

FUSE GLASSES FOR HERMETIC ENCAPSULATION OF ELECTRICAL COMPONENTS

Номер патента: FR2299284A1. Автор: . Владелец: JENAER GLASWERK SCHOTT ET GEN. Дата публикации: 1976-08-27.

HERMETIC ENCAPSULATION DEVICE FOR ELECTRONIC COMPONENTS

Номер патента: FR2640846A1. Автор: Christian Val. Владелец: Thomson CSF SA. Дата публикации: 1990-06-22.

Method for the hermetic encapsulation of a component

Номер патента: DE10136743B4. Автор: Karl Weidner,Walter Fischer,Alois Stelzl,Dr. Christl Ernst,Dipl.-Phys. Krüger Hans,Dr. Feiertag Gregor. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2013-02-14.

METHOD OF ASSEMBLING TWO LAYERS CONSISTING OF DIFFERENT MATERIALS AND ITS APPLICATION TO HERMETIC ENCAPSULATION OF HYBRID CIRCUITS.

Номер патента: FR2667981A1. Автор: De Reynal Florence,Goujard Dominique. Владелец: Thomson CSF SA. Дата публикации: 1992-04-17.

Hermetically encapsulated refrigeration motor compressor, which is inclined to the horizontal in a horizontally arranged enclosure and is suspended in springs

Номер патента: DE1210442B. Автор: Rudolf Hintze. Владелец: Individual. Дата публикации: 1966-02-10.

Hermetically encapsulated refrigeration compressor.

Номер патента: DK136786B. Автор: Kjeld Kjeldsen,Arne Fromm Enemark,Bendt Wegge Larsen. Владелец: Danfoss AS. Дата публикации: 1977-11-21.

Device hermetic encapsulation method

Номер патента: JP4383882B2. Автор: クリユーガー ハンス,シュテルツル アロイス,クリストゥル エルンスト. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2009-12-16.

Fabrication system, method and apparatus for microelectromechanical devices

Номер патента: WO1998053362A3. Автор: A David Johnson,Heinz H Busta,Ronald S Nowicki. Владелец: TiNi Alloy Co. Дата публикации: 1999-05-20.

Discharge silencer for a hermetically encapsulated refrigerant compressor

Номер патента: US20130330214A1. Автор: Alfred Freiberger,Michaela Kohl,Herwig Kulmer,Guenther Zippl. Владелец: ACC Austria GmbH. Дата публикации: 2013-12-12.

AN IMPROVED ENCLOSURE FOR HERMETICAL ENCAPSULATED ELECTRONICS

Номер патента: US20160234964A1. Автор: Sporer Bernd. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-11.

SUCTION MUFFLER FOR A HERMETICALLY ENCAPSULATED REFRIGERANT COMPRESSOR

Номер патента: US20170314543A1. Автор: Schögler Hans-Peter. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-02.

Hermetic encapsulation package and method of fabrication thereof

Номер патента: US6611098B2. Автор: Kenji Mori,Yoshikazu Sakaguchi. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2003-08-26.

Discharge silencer for a hermetically encapsulated refrigerant compressor

Номер патента: CN102971533A. Автор: M·科尔,A·弗赖贝格尔,H·库尔默,G·齐普尔. Владелец: ACC Austria GmbH. Дата публикации: 2013-03-13.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical systems (mems) mirror control

Номер патента: KR20200060259A. Автор: 노르버트 드루믈,필립 그라이너,레브제니아 막시모바. Владелец: 인피니온 테크놀로지스 아게. Дата публикации: 2020-05-29.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical system (MEMS) mirror control

Номер патента: CN111198441A. Автор: N·德鲁梅尔,P·格雷纳,I·马克西默瓦. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-05-26.

METHODS FOR MAKING IN-PLANE AND OUT-OF-PLANE SENSING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20120001277A1. Автор: Liu Lianjun,Park Woo Tae,Loreck Heinz,KARLIN LISA H.,Desai Hemant D.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Multifunctional sensory microelectromechanical system

Номер патента: RU2533325C2. Автор: Дмитрий Юрьевич Соколов,Виктор Александрович Быков. Владелец: Закрытое Акционерное Общество "Нанотехнология Мдт". Дата публикации: 2014-11-20.

APPARATUS INTEGRATING MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH CIRCUIT CHIP AND METHODS FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20120001276A1. Автор: . Владелец: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2012-01-05.

Method to produce pressure sensor of high stability on basis of nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2572527C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Нина Евгеньевна Белозубова,Юлия Алексеевна Савинова. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2016-01-20.

Method to manufacture strain gauge pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2545314C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2015-03-27.

Method to manufacture pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2488082C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов,Нина Евгеньевна Белозубова,Виталий Юрьевич Майоров. Владелец: Виталий Юрьевич Майоров. Дата публикации: 2013-07-20.

Method to manufacture thin-film nano and microelectromechanical system of high temperature sensor of mechanical values

Номер патента: RU2547291C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Александр Вячеславович Хошев. Владелец: Александр Вячеславович Хошев. Дата публикации: 2015-04-10.

High-precision pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2541714C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Мария Александровна Калмыкова. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет " (ПГУ). Дата публикации: 2015-02-20.

Pressure sensor of strain gauge with thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2391641C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Нина Евгеньевна Белозубова,Светлана Александровна Васильева. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2010-06-10.

Manufacturing method of resistive strain-gauge pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2498249C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Нина Евгеньевна Белозубова,Наталья Анатольевна Козлова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2013-11-10.

Strain gage pressure sensor based on thin-film nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2547886C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2015-04-10.

Pressure sensor of increased sensitivity based on nano- and microelectromechanical system with thin-film resistance strain gauges

Номер патента: RU2427810C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов,Александр Иванович Запевалин. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2011-08-27.

Method of manufacturing of heat-resistant nano and microelectromechanical system of mechanical value transmitter

Номер патента: RU2548380C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Александр Вячеславович Хошев,Игорь Николаевич Чебурахин. Владелец: Игорь Николаевич Чебурахин. Дата публикации: 2015-04-20.

Method of manufacturing of thin film nano- and microelectromechanical system of mechanical values transmitter

Номер патента: RU2544864C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Александр Вячеславович Хошев,Сергей Владимирович Тимаков. Владелец: Сергей Владимирович Тимаков. Дата публикации: 2015-03-20.

Pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system of increased accuracy and reliability

Номер патента: RU2480723C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Дмитрий Михайлович Хованов. Владелец: Дмитрий Михайлович Хованов. Дата публикации: 2013-04-27.

Method for measuring pressure, calibration, and pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2498250C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2013-11-10.

Pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system of beam type

Номер патента: RU2520943C2. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Андрей Владимирович Кондратьев. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ). Дата публикации: 2014-06-27.

Pressure measurement method, calibration method and pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system

Номер патента: RU2484435C1. Автор: Валерий Анатольевич Васильев,Евгений Михайлович Белозубов,Павел Сергеевич Чернов. Владелец: Павел Сергеевич Чернов. Дата публикации: 2013-06-10.

Method of pressure resistive tensor transducer built around thin-film nano- and microelectromechanical system (mamos)

Номер патента: RU2528541C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2014-09-20.

Method of making pressure strain gage on basis of thin-film nano-and microelectromechanical system (nmems)

Номер патента: RU2522770C1. Автор: Евгений Михайлович Белозубов,Алексей Геннадиевич Дмитриенко,Нина Евгеньевна Белозубова. Владелец: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений". Дата публикации: 2014-07-20.

Formation of magnetic elements on a substrate, and mems devices including such elements

Номер патента: SG148065A1. Автор: Ng Wei Beng,Hiroyuki Okita. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2008-12-31.

SACRAFICIAL LAYERS MADE FROM AEROGEL FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE FABRIACTION PROCESSES

Номер патента: US20120115269A1. Автор: Detry James F.. Владелец: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.. Дата публикации: 2012-05-10.

Sound absorbing system for hermetically encapsulated refrigerating machines

Номер патента: AU424986B2. Автор: VAGN VALBJORN and BENDT WEGGE LARSEN RUND. Владелец: Danfoss AS. Дата публикации: 1970-04-28.

Sound-absorbing system for hermetically encapsulated refrigerating machines

Номер патента: CA840232A. Автор: V. Valbjorn Knud,W. Larsen Bendt. Владелец: Danfoss AS. Дата публикации: 1970-04-28.

Microelectromechanical systems (MEMS) structure with substrate through vias and forming method thereof

Номер патента: CN103224216B. Автор: 李德浩,朱家骅,张贵松. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-12-21.

Method and structure for packaging semiconductor microelectromechanical system (MEMS) chip

Номер патента: CN102431959B. Автор: 熊笔锋. Владелец: YANTAI RAYTRON TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2015-04-22.

Hermetic encapsulant for electronic devices

Номер патента: CA849193A. Автор: M. Booe James. Владелец: Johnson Matthey and Mallory Ltd. Дата публикации: 1970-08-11.

On-chip testing system of micro-electromechanical system (MEMS) device and testing method thereof

Номер патента: CN103018651B. Автор: 李博,杨拥军,徐爱东,卢新艳. Владелец: CETC 13 Research Institute. Дата публикации: 2014-09-03.

METHOD OF RECYCLING HERMETICALLY ENCAPSULATED ALTERNATIVE COMPRESSORS OF REFRIGERATORS OF SMALL AND MEDIUM POWER RATING AND APPARATUS FOR IMPLEMENTING THE METHOD

Номер патента: US20120285014A1. Автор: RICCARDO Chiaro. Владелец: ALBATECH SWISS TECNOLOGY SA. Дата публикации: 2012-11-15.

STRUCTURE FOR HERMETIC ENCAPSULATION OF A DEVICE AND AN ELECTRONIC COMPONENT

Номер патента: US20130105959A1. Автор: PORNIN Jean-Louis,Baillin Xavier. Владелец: Commissariat a I'Energie Atomique et aux Energies Alternatives. Дата публикации: 2013-05-02.

Hermetically encapsulated compressor.

Номер патента: DK122088B. Автор: S Parker. Владелец: Lennox Ind Inc. Дата публикации: 1972-01-17.

APPARATUS AND METHOD FOR LARGE AREA HERMETIC ENCAPSULATION OF ONE OR MORE ORGANIC LIGHT EMITTING DIODES (OLEDs)

Номер патента: US20130068374A1. Автор: Balaschak Edward James,Kostka James Michael,Knapp Thomas Alexander,Woerner Keith Raymond. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-21.

LARGE AREA HERMETIC ENCAPSULATION OF AN OPTOELECTRONIC DEVICE USING VACUUM LAMINATION

Номер патента: US20130071961A1. Автор: Balaschak Edward James,Kostka James Michael,Knapp Thomas Alexander,Charny John Allie. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-21.

Micro-electromechanical system (MEMS) microphone and MEMS acoustical sensor chip

Номер патента: CN105072551A. Автор: 刘文涛,袁兆斌,吴安生. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2015-11-18.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.