System and method of providing a regenerating protective coating in a MEMS device
Номер патента: US7446926B2
Опубликовано: 04-11-2008
Автор(ы): Jeffrey B. Sampsell
Принадлежит: IDC LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-11-2008
Автор(ы): Jeffrey B. Sampsell
Принадлежит: IDC LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and apparatus for micro-electro-mechanical systems (mems) devices
Номер патента: US20240067519A1. Автор: Sean C. O'Brien,Jose A. Martinez,John Wesley Hamlin,Kathleen Rose Ferreira. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-02-29.