微机电系统（mems）以及相关的致动器凸块、制造方法和设计结构.

微机电系统（mems）以及相关的致动器凸块、制造方法和设计结构

Номер патента: CN103917481A
Опубликовано: 09-07-2014
Автор(ы): A.K.斯坦珀, C.V.杰恩斯
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Micro-electro-mechanical system (MEMS) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09604839B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-28.

Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, method of manufacture and design structures

Номер патента: WO2012177304A3. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-03-13.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20190115179A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-18.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20130156993A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brian M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20130154033A1. Автор: Anthony K. Stamper,Brian M. Czabaj,David A. DeMuynck. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Method of forming a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure

Номер патента: US09593007B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-14.

Methods of manufacturing a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure

Номер патента: US8973250B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-03-10.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20170133185A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

Micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN102906008A. Автор: A.斯坦珀,C.V.扬斯. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-01-30.

Micro-electro-mechanical system structures

Номер патента: GB2494355B. Автор: Anthony K Stamper,Christopher Vincent Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-01-28.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09406472B2. Автор: Eric J. White,Anthony K. Stamper,Zhong-Xiang He,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Russell T. Herrin,Christopher V. Jahnes,Dinh Dang,Thai Doan,John G. Twombly,George A. Dunbar, III. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2016-08-02.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09890039B2. Автор: Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,Russell T. Herrin. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-02-13.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09862598B2. Автор: Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,Russell T. Herrin. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-01-09.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09815690B2. Автор: Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,Russell T. Herrin. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-11-14.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09764944B2. Автор: Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,Russell T. Herrin. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-09-19.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09493343B2. Автор: Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,Russell T. Herrin. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2016-11-15.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09932225B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-04-03.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09926191B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-03-27.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09637373B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-05-02.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09624099B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-04-18.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US09493341B2. Автор: Anthony K. Stamper,John G. Twombly. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2016-11-15.

Planar cavity mems and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: WO2011162949A2. Автор: Eric J. White,Anthony K. Stamper,Zhong-Xiang He,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Russell T. Herrin,Christopher V. Jahnes,Dinh Dang,Thai Doan,George A. Dunbar,John G. Twombly. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2011-12-29.

Planar cavity MEMS and related structures, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US8921144B2. Автор: Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,George A. Dunbar, III. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2014-12-30.

Method for forming micro-electro-mechanical system (mems) device structure

Номер патента: US20180148324A1. Автор: Jr-Sheng Chen,Chen-Huang HUANG,Chia-Chi Chung,Wen-Chih Chen,zhi-sheng Xu,Kuo-Chin Liu,Chih-Hsien Hsu,Chin-Han Meng,Lin-Ching Huang,Yu-Pei Chiang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-05-31.

Micro electro mechanical system, semiconductor device, and manufacturing method thereof

Номер патента: US09597933B2. Автор: Konami Izumi,Mayumi Yamaguchi,Fuminori Tateishi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-21.

Micro electro mechanical system, semiconductor device, and manufacturing method thereof

Номер патента: US20150343857A1. Автор: Konami Izumi,Mayumi Yamaguchi,Fuminori Tateishi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-03.

Micro electro mechanical system, semiconductor device, and manufacturing method thereof

Номер патента: US20170182853A1. Автор: Konami Izumi,Mayumi Yamaguchi,Fuminori Tateishi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-29.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) capacitive ohmic switch and design structures

Номер патента: CN103186693A. Автор: 丁汉屹,刘奇志,A·K·斯坦珀. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-07-03.

Micro-electro-mechanical system (mems) capacitive ohmic switch and design structures

Номер патента: US20130168783A1. Автор: Anthony K. Stamper,Hanyi Ding,Qizhi Liu. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-07-04.

Method of detecting sound using a micro-electro-mechanical system optical microphone

Номер патента: US09609439B2. Автор: Jae H. Lee,Janhavi S. Agashe. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2017-03-28.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: WO2015021899A2. Автор: Alan Frank Graves,Dominic GOOGWILL. Владелец: Huawei Technologies Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-02-19.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structure and design structures

Номер патента: US09496110B2. Автор: Anthony K. Stamper,Kimball M. Watson,Jenifer E. Lary,Ward A. Johnson,Pui L. Yee. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2016-11-15.

Micro-electro-mechanical system and method for producing the same

Номер патента: US20160351366A1. Автор: Thomas Lisec,Fabian STOPPEL. Владелец: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV. Дата публикации: 2016-12-01.

Micro electro mechanical system apparatus

Номер патента: US20040061106A1. Автор: Yoshiaki Aizawa,Mitsuhiko Kitagawa. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-04-01.

Method and system for configuring a leaky wave antenna utilizing micro-electro mechanical systems

Номер патента: US09417318B2. Автор: Ahmadreza Rofougaran. Владелец: Broadcom Corp. Дата публикации: 2016-08-16.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array steered laser transmitter and situational awareness sensor with wavelength conversion

Номер патента: US12117607B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-10-15.

Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures

Номер патента: US20120319527A1. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2012-12-20.

Micro-electro-mechanical system (mems) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures

Номер патента: WO2012177371A1. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2012-12-27.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) CAPACITIVE OHMIC SWITCH AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140231236A1. Автор: Liu Qizhi,Stamper Anthony K.,DING Hanyi. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-08-21.

Micro electro-mechanical system switch

Номер патента: CN101866780B. Автор: B·李,王雪峰,K·V·S·R·基肖尔,A·D·科温,K·苏拉马尼安. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2016-06-08.

Micro electro mechanical system, semiconductor device, and manufacturing method thereof

Номер патента: US20140370639A1. Автор: Konami Izumi,Mayumi Yamaguchi,Fuminori Tateishi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-18.

Alignment and packaging methods and apparatus for optoelectronic, micro-electro mechanical systems, and optical devices

Номер патента: WO2003034098A2. Автор: Rajinder Dhindsa,Calvin Woon,Navrit Singh. Владелец: Navrit Singh. Дата публикации: 2003-04-24.

Micro electro-mechanical system device with piezoelectric thin film actuator

Номер патента: WO2004047190A2. Автор: Joon Park,Robert C. Allison,Ron K. Nakahira. Владелец: Raytheon Company. Дата публикации: 2004-06-03.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20130154033A1. Автор: Stamper Anthony K.,CZABAJ Brian M.,DeMUYNCK David A.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-20.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US9580298B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-02-28.

Micro-electro mechanical system (MEMS) structures with through substrate vias and methods of forming the same

Номер патента: US09466532B2. Автор: Chia-Hua Chu,Kuei-Sung CHANG,Te-Hao Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS) and corresponding manufacturing process

Номер патента: US09642244B2. Автор: Fulvio Vittorio Fontana. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2017-05-02.

Structure and method for packaging stress-sensitive micro-electro-mechanical system stacked onto electronic circuit chip

Номер патента: US09896330B2. Автор: Genki Yano,Makoto Yoshino,Brian E. Goodlin,Stuart Jacobsen,Benjamin Cook,Karen Kirmse,Kurt Peter WACHTLER,Ayumu Kuroda. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2018-02-20.

Micro-electro-mechanical systems and photonic interconnects employing the same

Номер патента: WO2009002523A3. Автор: R Stanley Williams,Terrel Morris,Shih-Yuam Wang,Mihail Siglas. Владелец: Mihail Siglas. Дата публикации: 2009-03-12.

Micro-electro-mechanical systems and photonic interconnects employing the same

Номер патента: US20090003836A1. Автор: Shih-Yuan Wang,R. Stanley Williams,Mihail Sigalas,Terrel Morris. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2009-01-01.

Structures for packaging stress-sensitive micro-electro-mechanical system stacked onto electronic circuit chip

Номер патента: US20190169019A1. Автор: Genki Yano,Makoto Yoshino,Brian E. Goodlin,Stuart Jacobsen,Benjamin Cook,Karen Kirmse,Kurt Peter WACHTLER,Ayumu Kuroda. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2019-06-06.

Structures for packaging stress-sensitive micro-electro-mechanical system stacked onto electronic circuit chip

Номер патента: US20200354214A1. Автор: Genki Yano,Makoto Yoshino,Brian E. Goodlin,Stuart Jacobsen,Benjamin Cook,Karen Kirmse,Kurt Peter WACHTLER,Ayumu Kuroda. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2020-11-12.

Micro electro-mechanical system sensor

Номер патента: EP4207597A1. Автор: Choongho RHEE,Sungchan Kang,Cheheung KIM,Yongseop YOON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-07-05.

Micro electro-mechanical system sensor

Номер патента: US20230212001A1. Автор: Choongho RHEE,Sungchan Kang,Cheheung KIM,Yongseop YOON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-07-06.

Micro electro-mechanical systems package and manufacturing method

Номер патента: US20240076181A1. Автор: Seung Wook Park,Jang Ho PARK. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-07.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) package having hydrophobic layer

Номер патента: US20060076666A1. Автор: Suk Hong,Yeong Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2006-04-13.

Micro-electro-mechanical systems (mems) terminal structure of board-to-board electrical connector and manufacturing method thereof

Номер патента: US20180309216A1. Автор: Ta-Teh Meng,Cheng-Feng Yu,Kuo-Ching Lee. Владелец: Advanced Connectek Inc. Дата публикации: 2018-10-25.

Micro-electro-mechanical system based device for adjusting aperture and manufacturing method thereof

Номер патента: US09491340B2. Автор: Lei Zhang,Deming Tang,Jianhong Mao,Fengqin Han. Владелец: Shanghai Jadic Optoelectronics Technology Co ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

Micro electro mechanical systems sensor and method for manufacturing the same

Номер патента: US20230201877A1. Автор: Hideo Yamada,Tetsuya Enomoto,Yusuke Kawai,Akihiko Teshigahara. Владелец: Denso Corp. Дата публикации: 2023-06-29.

Method for manufacturing micro-electro-mechanical system using solder balls

Номер патента: EP1449810A3. Автор: Min-seog Choi,Sung-Hoon Choa,Woon-bae 234-1101 Punglim Apt. Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2006-03-15.

Ultra thin package for electric acoustic sensor chip of micro electro mechanical system

Номер патента: US8508022B2. Автор: Pin Chang,Jung-Tai Chen,Hsin-Li Lee,Chin-Horng Wang,Tzong-Che Ho,Kai-Hsiang Yen,Jason Pan. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2013-08-13.

Micro electro mechanical system structures

Номер патента: US9139423B2. Автор: Ting-Ying CHIEN,Yi Hsun CHIU,Ching-Hou SU,Chyi-Tsong Ni. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-09-22.

Process for fabricating a micro-electro-mechanical system with movable components

Номер патента: CA2536431C. Автор: Hiroshi Harada,Yuji Suzuki,Naomasa Oka,Masahiko Suzumura,Hiroshi Fukshima,Takaaki Yoshihara,Jun Ogihara,Hiroshi Noge,Kiyohiko Kawano. Владелец: Panasonic Electric Works Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-26.

Ultra thin package for electric acoustic sensor chip of micro electro mechanical system

Номер патента: US20090161901A1. Автор: Pin Chang,Jung-Tai Chen,Hsin-Li Lee,Chin-Horng Wang,Tzong-Che Ho,Kai-Hsiang Yen,Jason Pan. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2009-06-25.

Ultra thin package for electric acoustic sensor chip of micro electro mechanical system

Номер патента: EP2076063A3. Автор: Pin Chang,Jung-Tai Chen,Hsin-Li Lee,Chin-Horng Wang,Tzong-Che Ho,Kai-Hsiang Yen,Jason Pan. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2013-07-24.

MULTIPLE TARGET TRACKER AND MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAY FOR DESIGNATION, RANGE FINDING, AND ACTIVE IMAGING

Номер патента: US20200013181A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Becker John R.. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-09.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160257556A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-08.

METHOD FOR FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE STRUCTURE

Номер патента: US20180148324A1. Автор: Chen Wen-Chih,Chung Chia-Chi,Hsu Chih-Hsien,CHEN Jr-Sheng,Chiang Yu-Pei,Meng Chin-Han,Huang Lin-Ching,Huang Chen-Huang,Liu Kuo-Chin,XU Zhi-Sheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2018-05-31.

Driving of an array of micro-electro-mechanical-system (mems) elements

Номер патента: US20060050350A1. Автор: Marco Matters,Theodoor Gertrudis Silvester Rijks,Josef Van Beek. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV. Дата публикации: 2006-03-09.

Array of micro-electro-mechanical-system (mems) elements and its drive method

Номер патента: CN1723606B. Автор: M·马特斯,J·T·M·范比克,T·G·S·M·里克斯. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2011-01-12.

Micro-electro mechanical systems switch and method of fabricating the same

Номер патента: US7585113B2. Автор: Jae Woo Lee,Chang Han Je,Sung Weon Kang. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI. Дата публикации: 2009-09-08.

Micro electro-mechanical system apparatus and method

Номер патента: WO2003095356A3. Автор: Manes Eliacin,Krishna Jonnalagadda,Spencer A Lane. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2004-01-22.

Micro electro-mechanical system apparatus and method

Номер патента: WO2003095356A2. Автор: Spencer A. Lane,Krishna Jonnalagadda,Manes Eliacin. Владелец: Motorola, Inc., A Corporation Of The State Of Delaware. Дата публикации: 2003-11-20.

Pneumatic radio frequency micro electro mechanical system switch and fabrication method thereof

Номер патента: KR100713154B1. Автор: 최형,이상훈,홍영택,김동균,김종석,권상욱,김재흥,이창승,송인상. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2007-05-02.

MEMS SWITCH (MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM) RF (RADIOFREQUENCY) WITH A FLEXIBLE AND FREE SWITCH MEMBRANE.

Номер патента: ES2296116T3. Автор: Olivier Millet. Владелец: Delfmems SAS. Дата публикации: 2008-04-16.

Radio frequency micro electro mechanical system switch and fabrication method thereof

Номер патента: KR100571778B1. Автор: 권순철,신형재,롱지펭. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2006-04-18.

Micro electro-mechanical system with one or more moving parts method and apparatus

Номер патента: US20030210116A1. Автор: Manes Eliacin,Krishna Jonnalagadda,Spencer Lane. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2003-11-13.

Micro electro-mechanical system apparatus and method

Номер патента: AU2003234772A8. Автор: Manes Eliacin,Krishna Jonnalagadda,Spencer A Lane. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2003-11-11.

Method of verifying semiconductor integrated circuit and design program

Номер патента: US7979821B2. Автор: Yasuo Otsuka. Владелец: Renesas Electronics Corp. Дата публикации: 2011-07-12.

Method of verifying semiconductor integrated circuit and design program

Номер патента: US20080313585A1. Автор: Yasuo Otsuka. Владелец: NEC Electronics Corp. Дата публикации: 2008-12-18.

Optical non-uniformity compensation (nuc) for passive imaging sensors using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas)

Номер патента: US20220311961A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Paul R. Spyak et al.. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-09-29.

Micro-electro-mechanical system drive-mode oscillator module and method therefor

Номер патента: US09823074B2. Автор: Laurent Cornibert,Gerhard Trauth,Hugues Beaulaton. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-11-21.

Stress reduced diaphragm for a micro-electro-mechanical system sensor

Номер патента: US20200056935A1. Автор: Sushil Bharatan,Pirmin Rombach. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2020-02-20.

Micro-Electro-Mechanical System Varactor

Номер патента: US20080315362A1. Автор: Lih-Tyng Hwang,Robert B. Lempkowski. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2008-12-25.

Method for manufacturing ion aggregation device of micro electro mechanical system (MEMS) air amplifier

Номер патента: CN102556957B. Автор: 高帅,邹赫麟. Владелец: Dalian University of Technology. Дата публикации: 2014-06-25.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS PROCESSING METHOD, AND MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20190062157A1. Автор: WATANABE Keiji,RYUZAKI Daisuke,Shichi Hiroyasu,MINE Toshiyuki,SAGAWA Misuzu. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

Micro-electro-mechanical system (mems) micromirror and preparation method therefor, and detection device

Номер патента: WO2023108365A1. Автор: 李梅,卢璐,李展信. Владелец: 华为技术有限公司. Дата публикации: 2023-06-22.

Anisotropic conductive adhesive bond in a piezoelectric micro-electro-mechanical system scanning mirror system

Номер патента: US20200363631A1. Автор: Joseph Michael Luizzi,Michael James Nystrom. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2020-11-19.

Anisotropic conductive adhesive bond in a piezoelectric micro-electro-mechanical system scanning mirror system

Номер патента: EP3969956A1. Автор: Joseph Michael Luizzi,Michael James Nystrom. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2022-03-23.

Anisotropic conductive adhesive bond in a piezoelectric micro-electro-mechanical system scanning mirror system

The control circuit and driver of isolation for micro electro-mechanical system switch

Номер патента: CN108369873A. Автор: Y.刘,C.M.焦文尼洛,G.S.克莱顿,C.F.凯梅尔. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2018-08-03.

Micro-electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: TW202132205A. Автор: 鄭明達,呂文雄,莊詠涵,李明機,吳凱第,劉旭倫. Владелец: 台灣積體電路製造股份有限公司. Дата публикации: 2021-09-01.

Micro-electro-mechanical-system package and method for manufacturing the same

Номер патента: US20090046436A1. Автор: Ming Chiang LEE,Wei Chung Wang,Hsueh An Yang,Meng Jen Wang,Wei Pin Huang,Feng Chen Cheng. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2009-02-19.

Sandwich-structured MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) column-shaped ion well, manufacturing method and application

Номер патента: CN104637776A. Автор: 李铁,王跃林,黄刚,刘延祥,肖军徽. Владелец: China Astronaut Research and Training Center. Дата публикации: 2015-05-20.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: CN105408788A. Автор: 阿兰·弗兰克·格拉维斯,多米尼克·古德威尔. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2016-03-16.

Semiconductor e.g. silicon, structure fabricating method for e.g. micro electro mechanical systems, involves carrying out thermal treatment of layer to modify crystallinity of layer, and planarizing layer having homogeneous surface

Номер патента: FR2897982A1. Автор: Bernard Aspar,Blanchard Christelle Lagahe. Владелец: Tracit Technologies SA. Дата публикации: 2007-08-31.

Electrical connection to a micro electro-mechanical system

Номер патента: US20200216310A1. Автор: Scott Miller,Sangtae Park,Andrew Hocking. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2020-07-09.

Method of manufacturing a motion sensor device

Номер патента: US09880192B2. Автор: Jui-Chun Weng,Chih-Yu Wang,Hsi-Cheng Hsu,Yu-Ting Hsu,Shyh-Wei Cheng,Che-Jung Chu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

A microfluidic-channel embeddable, laterally oscillating gravimetric sensor device fabricated with micro-electro-mechanical systems (mems) technology

Номер патента: CA2771155C. Автор: Haluk Kulah,Ata Tuna Ciftlik. Владелец: Mikrobiyosistemler Elektronik San Ve Tic AS. Дата публикации: 2018-04-24.

Electrostatically actuated micro-electro-mechanical system (mems) device

Номер патента: CA2366527C. Автор: Vladimir Anatolyevich Aksyuk,Flavio Pardo,Cristian A. Bolle. Владелец: Agere Systems Guardian Corp. Дата публикации: 2005-06-28.

Electrostatic Discharge Protection Circuit Employing a Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) Structure

Номер патента: US20090296292A1. Автор: Choshu Ito,William Loh,Tze Wee Chen. Владелец: LSI Corp. Дата публикации: 2009-12-03.

Piexoelectric micro electro-mechanical system switch, method of manufacturing the same and Piexoelectric micro electro-mechanical system switch array

Номер патента: KR100753836B1. Автор: 강성원,정성혜,이명래. Владелец: 한국전자통신연구원. Дата публикации: 2007-08-31.

Rf micro-electro-mechanical system (mems) capacitive switch

Номер патента: EP2845216A1. Автор: Brandon William PILLANS,Cody Blake MOODY,Francis Joseph MORRIS. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2015-03-11.

Rf micro-electro-mechanical system (mems) capacitive switch

Номер патента: WO2013165446A1. Автор: Brandon William PILLANS,Cody Blake MOODY,Francis Joseph MORRIS. Владелец: Raytheon Company. Дата публикации: 2013-11-07.

Micro electro mechanical system (mems) microwave switch structures

Номер патента: US20130299328A1. Автор: Brandon W. Pillans,Cody B. Moody,Andrew Malczewski. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2013-11-14.

Semiconductor integrated circuit including circuit for driving electrostatic actuator, micro-electro-mechanical systems, and driving method of electrostatic actuator

Номер патента: US20070181411A1. Автор: Hiroaki Yamazaki,Tamio Ikehashi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-08-09.

Micro-electro-mechanical system and method for producing the same

Micro electro-mechanical systems relay

Номер патента: WO1999034383A1. Автор: Burgess R. Johnson,Daniel W. Youngner. Владелец: Honeywell, Inc.. Дата публикации: 1999-07-08.

Micro electro mechanical system apparatus

Номер патента: US7030416B2. Автор: Yoshiaki Aizawa,Mitsuhiko Kitagawa. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2006-04-18.

Micro electro-mechanical systems relay

Номер патента: US5959338A. Автор: Burgess R. Johnson,Daniel W. Youngner. Владелец: Honeywell Inc. Дата публикации: 1999-09-28.

Micro-electro-mechanical system switch and preparation method thereof

Номер патента: CN114551166A. Автор: 李月,周毅,曲峰,曹雪,肖月磊,魏秋旭,王立会,常文博,吴艺凡,冯昱霖,韩基挏,安齐昌. Владелец: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-05-27.

Horizontal micro-electro-mechanical-system switch

Номер патента: US8211728B2. Автор: Stephen E. Luce,Anthony K. Stamper. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2012-07-03.

Micro electro mechanical system apparatus

Номер патента: TW579369B. Автор: Yoshiaki Aizawa,Mitsuhiko Kitagawa. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-03-11.

Radio frequency micro electro mechanical system switch

Номер патента: KR101024324B1. Автор: 박정렬. Владелец: 매그나칩 반도체 유한회사. Дата публикации: 2011-03-23.

Micro electro-mechanical system method

Номер патента: AU2003224701A1. Автор: Manes Eliacin,Keryn Lian,Junhua Liu,Robert B. Lempkowski. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2003-11-10.

Micro electro-mechanical system method

Номер патента: WO2003092048A3. Автор: Manes Eliacin,Keryn Lian,Junhua Liu,Robert B Lempkowski. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2004-01-22.

Micro electro-mechanical system method

Номер патента: US20030201852A1. Автор: Manes Eliacin,Keryn Lian,Junhua Liu,Robert Lempkowski. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2003-10-30.

Wafer level chip scale packaged micro-electro-mechanical-system (MEMS) device and methods of producing thereof

Номер патента: US09682854B2. Автор: Piu Francis Man,Anru Andrew Cheng. Владелец: Memsic Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Micro Electro Mechanical System (MEMS) on Application Specific Integrated Circuit (ASIC)

Номер патента: DE112013003153T5. Автор: Thorsten Meyer,Gerald Ofner. Владелец: Intel IP Corp. Дата публикации: 2015-05-13.

Integrated chip with micro-electro-mechanical system and integrated circuit mounted therein and method for manufacturing the same

Номер патента: US09334159B2. Автор: WEI Hu,Gang Li,Jia-Xin Mei,Rui-Fen Zhuang. Владелец: Memsensing Microsystems Suzhou China Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-10.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) device with multi-dimensional spring structure and frame

Номер патента: US09733269B2. Автор: Chia-Yu Wu,Yu-Wen Hsu,Shih-Chieh Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-08-15.

Coherent optical beam combination using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas) that exhibit tip/tilt/piston (ttp) actuation

Номер патента: US20220094128A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-03-24.

COHERENT OPTICAL BEAM COMBINATION USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS (MMAS) THAT EXHIBIT TIP/TILT/PISTON (TTP) ACTUATION

Номер патента: US20220094128A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAY STEERED LASER TRANSMITTER AND SITUATIONAL AWARENESS SENSOR WITH WAVELEGTH CONVERSION

Номер патента: US20220350133A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-03.

Neuromorphic micro-electro-mechanical-system device

Номер патента: EP3898502B1. Автор: Julien Sylvestre,Bruno BARAZANI,Guillaume DION. Владелец: SOCPRA Sciences et Genie SEC. Дата публикации: 2024-07-31.

Neuromorphic micro-electro-mechanical-system device

Номер патента: EP3898502C0. Автор: Julien Sylvestre,Bruno BARAZANI,Guillaume DION. Владелец: SOCPRA Sciences et Genie SEC. Дата публикации: 2024-07-31.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS SENSOR MODULE PACKAGE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20150153372A1. Автор: Park Heung Woo,Kim Tae Hyun. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-06-04.

Micro electro mechanical system device exhibiting linear characteristics

Номер патента: CN103547331B. Автор: J.V.克拉克. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2017-02-15.

Micro electro-mechanical system sensor with selective encapsulation and method therefor

Номер патента: US6401545B1. Автор: David J. Monk,Bishnu Gogoi,Kyujin Jung,Song Woon Kim,Gordon Bitko,Bill McDonald,Theresa A. Maudie,Dave Mahadevan. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2002-06-11.

Micro-electro-mechanical systems (mems) microphone assembly

Номер патента: EP4140150A1. Автор: Yu Du. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2023-03-01.

Micro-electro-mechanical system device and piezoelectric composite stack thereof

Номер патента: US20240235512A9. Автор: RANGANATHAN Nagarajan,Jia Jie Xia,Bevita KALLUPALATHINKAL CHANDRAN,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Micro-electro-mechanical system microphone package

Номер патента: US20230345184A1. Автор: Yen-Son Paul Huang,Iou-Din Jean Chen,Yung-Wei Chen,Shih-Chung Wang. Владелец: Fortemedia Inc. Дата публикации: 2023-10-26.

Micro-electro-mechanical system microphone with dual backplates

Номер патента: WO2017189910A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2017-11-02.

Micro-electro-mechanical system devices

Номер патента: US09565488B2. Автор: Alfons Dehe,Wolfgang Friza. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-02-07.

Micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20220086571A1. Автор: Changfeng Xia,Yonggang Hu,Guoping ZHOU. Владелец: CSMC Technologies Fab2 Co Ltd. Дата публикации: 2022-03-17.

Structure of micro-electro-mechanical-system microphone and method for fabricating the same

Номер патента: US20220127134A1. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2022-04-28.

Micro-electro-mechanical system device and piezoelectric composite stack thereof

Номер патента: US20240136994A1. Автор: RANGANATHAN Nagarajan,Jia Jie Xia,Bevita KALLUPALATHINKAL CHANDRAN,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2024-04-25.

Micro-electro-mechanical system microphone with dual backplates

Номер патента: US20170318395A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-11-02.

Micro-electro-mechanical system and electro-acoustic conversion device having the micro-electro-mechanical system

Номер патента: US20230202834A1. Автор: Scott Lyall Cargill,Euan James Boyd,Anup Hasmukh Patel. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Micro-electro-mechanical system acoustic sensor, micro-electro-mechanical system package structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US11905164B2. Автор: Hsien-Lung Ho,Chung-chieh Chen,Da-Ming Chiang. Владелец: Upbeat Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-20.

Micro-electro-mechanical system microphone, microphone unit and electronic device

Номер патента: US20240334132A1. Автор: Quanbo Zou,Zhe Wang,Qinglin Song,Guanxun QIU. Владелец: Goertek Microelectronics Inc. Дата публикации: 2024-10-03.

Comb-drive device used in micro electro mechanical system

Номер патента: US20220298004A1. Автор: Scott Lyall Cargill. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-22.

Measurement Method of MEMS In-plane Vibration Characteristics Based on Polarization Imaging

Номер патента: AU2021104717A4. Автор: Jie Dong,Mei SANG,Minhui Yu. Владелец: TIANJIN UNIVERSITY. Дата публикации: 2021-09-30.

Piezoelectric MEMS switch and method of fabricating the same

Номер патента: US20070231065A1. Автор: Chang-Seung Lee,Sang-Hun Lee,Jong-Seok Kim,In-Sang Song,Young-Tack Hong,Sang-wook Kwon,Che-heung Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2007-10-04.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140368292A1. Автор: Stamper Anthony K.,WATSON Kimball M.,Johnson Ward A.,Lary Jenifer E.,Yee Pui L.. Владелец: . Дата публикации: 2014-12-18.

2-Channel display system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US20080096598A1. Автор: Max Mayer,Bernhard Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-04-24.

2-channel display system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US7817329B2. Автор: Max Mayer,Bernhard Rudolf Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-10-19.

2-channel display system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US7466473B2. Автор: Max Mayer,Bernhard Rudolf Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-12-16.

Superposition system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US20070171533A1. Автор: Max Mayer,Bernhard Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-07-26.

Microelectromechanical systems (mems) switching circuit and related apparatus

Номер патента: US20190371554A1. Автор: Nadim Khlat. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2019-12-05.

Gradient micro-electro-mechanical systems (MEMS) microphone with varying height assemblies

Номер патента: US09955246B2. Автор: Marc REESE,John Baumhauer,Fengyuan LI,Spiro Iraclianos. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

Systems and apparatus having top port integrated back cavity micro electro-mechanical system microphones and methods of fabrication of the same

Номер патента: US20160165331A1. Автор: Fang Liu,Martin Lim. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-06-09.

Systems and apparatus having top port integrated back cavity micro electro-mechanical system microphones and methods of fabrication of the same

Номер патента: US09621975B2. Автор: Fang Liu,Martin Lim. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-04-11.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: US09983403B2. Автор: Alan Frank Graves. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-29.

Optical scanning system using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (MMAs)

Номер патента: US12061334B2. Автор: David J. Knapp,Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Eric Rogala,Mark K. Lange,Craig O. Shott,Garret A. Odom,Zachary D. Barker. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-08-13.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: US09815688B2. Автор: Alan Frank Graves,Dominic John Goodwill. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-14.

Display apparatus having a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US20140285412A1. Автор: Chong-Chul Chai,Kyoung-Ju Shin,Eun-Ju Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-25.

Micro-electro-mechanical system micro mirror

Номер патента: WO2008122865A2. Автор: Tiansheng ZHOU. Владелец: Tiansheng ZHOU. Дата публикации: 2008-10-16.

Over-current protection of micro electro-mechanical systems

Номер патента: WO2002027886A2. Автор: Harry Rodriguez,Ramon C. W. Chea, Jr.,P. Kingston Duffie,Robert Crofford. Владелец: Turnstone Systems, Inc.. Дата публикации: 2002-04-04.

Integrated package forming wide sense gap micro electro-mechanical system microphone and methodologies for fabricating the same

Номер патента: US09860649B2. Автор: Sushil Bharatan,Aleksey S. Khenkin,Jeremy Parker,Renata Berger. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-01-02.

Integrated package forming wide sense gap micro electro-mechanical system microphone and methodologies for fabricating the same

Номер патента: US09439002B2. Автор: Sushil Bharatan,Aleksey S. Khenkin,Jeremy Parker,Renata Berger. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2016-09-06.

Stiffening structures for micro-electro-mechanical system (mems) micromirrors

Номер патента: WO2023164190A1. Автор: Daniel Guenther Greif,Katherine Marie SMYTH,Kenneth Alexander Diest. Владелец: Meta Platforms Technologies, LLC. Дата публикации: 2023-08-31.

Methods of fabricating micro electro-mechanical systems structures

Номер патента: WO2023154993A1. Автор: Chang Ge,Edmond CRETU. Владелец: The University of British Columbia. Дата публикации: 2023-08-24.

Electrode configuration for tilting micro-electro-mechanical systems mirror

Номер патента: US11726311B2. Автор: Shane H. Woodside,Gonzalo Wills,Wenlin Jin,Jason BLECHTA. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2023-08-15.

Micro electro-mechanical system (MEMS) based hydraulic control system for full hybrid vehicles

Номер патента: US09358867B2. Автор: Farzad Samie,Chunhao J. Lee,Kumaraswamy V. Hebbale,Andrew L. Bartos,Dongxu Li,Chi-Kuan Kao,Kevin B. Rober. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2016-06-07.

Gradient micro-electro-mechanical systems (MEMS) microphone with varying height assemblies

Номер патента: US10827245B2. Автор: Marc REESE,John Baumhauer,Fengyuan LI,Spiro Iraclianos. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2020-11-03.

Micro-electro-mechanical system fluid control

Номер патента: EP4356032A1. Автор: Johan Bejhed. Владелец: Water Stuff & Sun GmbH. Дата публикации: 2024-04-24.

Micro-electro-mechanical system fluid control

Номер патента: US20240279048A1. Автор: Johan Bejhed. Владелец: Water Stuff & Sun GmbH. Дата публикации: 2024-08-22.

Controlling one or more electrostatic comb structures of a micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US12116267B2. Автор: Edward Wang,Wenlin Jin. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2024-10-15.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS)

Номер патента: US09463974B2. Автор: Bernard Chaumet,Bertrand Leverrier,Olivier Lefort,Andre Boura. Владелец: Thales SA. Дата публикации: 2016-10-11.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) thermal sensor

Номер патента: US11796396B2. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-10-24.

Micro-electro-mechanical system (mems) thermal sensor

Номер патента: US20200103290A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Micro-Electro-Mechanical System (Mems) Thermal Sensor

Номер патента: US20230375416A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE and fabrication method thereof

Номер патента: US20230348259A1. Автор: Guofu Zhou,Wai Mun Chong,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Rohit Pulikkal Kizhakkeyil. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-11-02.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160085066A1. Автор: Alan Frank Graves,Dominic John Goodwill. Владелец: FutureWei Technologies Inc. Дата публикации: 2016-03-24.

Micro-electro mechanical system device containing a bump stopper and methods for forming the same

Номер патента: US11970387B2. Автор: Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Chi-Hang Chin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Display apparatus having a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US8749592B2. Автор: Chong-Chul Chai,Kyoung-Ju Shin,Eun-Ju Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-06-10.

Amorphous flexures in micro-electro mechanical systems

Номер патента: EP1799613A1. Автор: James C. McKinnell,James R. Przybyla,Arthur Piehl. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2007-06-27.

Amorphous flexures in micro-electro mechanical systems

Номер патента: WO2006041585A1. Автор: James C. McKinnell,James R. Przybyla,Arthur Piehl. Владелец: Hewlett-Packard Development Company, L.P.. Дата публикации: 2006-04-20.

Display apparatus having a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US20160140914A1. Автор: Chong-Chul Chai,Kyoung-Ju Shin,Eun-Ju Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-19.

Display apparatus having a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US09449562B2. Автор: Chong-Chul Chai,Kyoung-Ju Shin,Eun-Ju Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device

Номер патента: US20020071169A1. Автор: John Bowers,Seung Lee,Noel MacDonald,Roger Helkey,Charles Corbalis,Robert Sink. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-06-13.

Micro-electro mechanical system device containing a bump stopper and methods for forming the same

Номер патента: US20210179419A1. Автор: Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Chi-Hang Chin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-06-17.

Micro-electro mechanical system device containing a bump stopper and methods for forming the same

Номер патента: US20220212917A1. Автор: Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Chi-Hang Chin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-07-07.

Stiffening structures for micro-electro-mechanical system (mems) micromirrors

Номер патента: US20230273424A1. Автор: Daniel Guenther Greif,Katherine Marie SMYTH,Kenneth Alexander Diest. Владелец: Meta Platforms Technologies LLC. Дата публикации: 2023-08-31.

Micro-electro-mechanical-system (mems) mirror device having large angle out of plane motion using shaped combed finger actuators and method for fabricating the same

Номер патента: US20030090172A1. Автор: Seung Lee,Noel MacDonald. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-05-15.

Micro-electro-mechanical-system (mems) resonator and manufacturing method thereof

Номер патента: US20070109074A1. Автор: Akira Sato,Shogo Inaba. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2007-05-17.

Resonant structure in micro electro mechanical systems

Номер патента: US20240267027A1. Автор: Yan-Ming Huang,Yu-Min Chuang,Jen-Yi Chen. Владелец: Zilltek Technology Corp. Дата публикации: 2024-08-08.

Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore

Номер патента: WO2008078182B1. Автор: . Владелец: Zhou Tiansheng. Дата публикации: 2008-10-09.

Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore

Номер патента: WO2008078182A2. Автор: . Владелец: Zhou, Tiansheng. Дата публикации: 2008-07-03.

Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore

Номер патента: WO2008078182A8. Автор: . Владелец: Zhou Tiansheng. Дата публикации: 2008-11-27.

Controlling one or more electrostatic comb structures of a micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20230113224A1. Автор: Edward Wang,Wenlin Jin. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2023-04-13.

Adhesive bonded micro electro mechanical system

Номер патента: US20200218060A1. Автор: Seungwoo Lee,Joseph Michael Luizzi,Robert J. Dyer,Utku Baran,Michael James Nystrom. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2020-07-09.

Micro electro mechanical system (MEMS) based wide-band polymer photo-detector

Номер патента: US9786855B2. Автор: Sangita Chaki Roy,Tapanendu Kundu,V. Ramgopal Rao. Владелец: INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY BOMBAY. Дата публикации: 2017-10-10.

Micro electro-mechanical system device with piezoelectric thin film actuator

Номер патента: AU2003295553A1. Автор: Joon Park,Robert C. Allison,Ron K. Nakahira. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2004-06-15.

Micro-electro-mechanical systems phosphoric acid fuel cell

Номер патента: US20050260485A1. Автор: Jeffrey Morse,David Sopchak,Jack Kotovsky,Robert Graff,Ravindra Upadhye. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2005-11-24.

Electric direct current-direct current converter for e.g. micro-electro-mechanical system, has current collectors collecting electric direct current generated by fuel cell, and water supply unit supplying water to anode of electrolyzer

Номер патента: FR2937478A1. Автор: Jean-Yves Laurent,Antoine LATOUR,Jessica Thery,Vincent Faucheux. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2010-04-23.

Micro thin-film structure, MEMS switch employing such a micro thin-film, and method of fabricating them

Номер патента: EP1653494A3. Автор: Sang-Hun Lee,Che-heung Kim,Hyung-jae Shin,Soon-cheol Kweon,Byung-Hee Jeon,Seok-Kwan Hong. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2007-08-22.

Micro thin-film structure, MEMS switch employing such a micro thin-film, and method of fabricating them

Номер патента: US20060087716A1. Автор: Sang-Hun Lee,Che-heung Kim,Hyung-jae Shin,Soon-cheol Kweon,Byung-Hee Jeon,Seok-Kwan Hong. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2006-04-27.

System and method of measuring for manufacture and deployment of distribution cable assemblies

Номер патента: EP4252057A1. Автор: Terry Lee Cooke,Lars Kristian Nielsen,Michael Todd Faulkner. Владелец: Corning Research and Development Corp. Дата публикации: 2023-10-04.

System and method of measuring for manufacture and deployment of distribution cable assemblies

Номер патента: US20230282391A1. Автор: Terry Lee Cooke,Lars Kristian Nielsen,Michael Todd Faulkner. Владелец: Corning Research and Development Corp. Дата публикации: 2023-09-07.

On-chip vertical three dimensional microstrip line with characteristic impedance tuning technique and design structures

Номер патента: US09553348B2. Автор: Essam Mina,Guoan Wang,Barbara S. DEWITT,BM Farid RAHMAN. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

Method of selective coating of microprocessed surface

Номер патента: RU2334304C2. Автор: Ренато КОНТА,Ирма ДИЗЕНЬЯ,Ренато КОНТА (IT),Ирма ДИЗЕНЬЯ (IT). Владелец: Оливетти Ай-Джет С.П.А.. Дата публикации: 2008-09-20.

Methods of manufacture of top port multi-part surface mount silicon condenser microphones

Номер патента: US9061893B1. Автор: Anthony D. Minervini. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2015-06-23.

Method of forming surface protrusions on an article and the article with the protrusions attached

Номер патента: US20150241476A1. Автор: Yang Liu,Lubomyr T. Romankiw,John Knickerbocker,Bing Dang,Maurice Mason. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-08-27.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: WO2015074484A1. Автор: Dominic John Goodwill,Alan Frank GRAVER. Владелец: Huawei Technologies Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-05-28.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: EP3017332A1. Автор: Dominic John Goodwill,Alan Frank GRAVER. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-11.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: US09612432B2. Автор: Alan Frank Graves,Dominic John Goodwill. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-04.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: US09519136B2. Автор: Alan Frank Graves,Dominic John Goodwill. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-13.

Micro-electro-mechanical systems (mems) actuator that rotates discrete optical elements

Номер патента: US20180329147A1. Автор: Ho-Shang Lee,Jeffrey B. Lee,Robert E. Schleicher,Rong Ping Hsia. Владелец: Dicon Fiberoptics Inc. Дата публикации: 2018-11-15.

Reducing resonance peaks and drive tones from a micro-electro-mechanical system gyroscope response

Номер патента: US09885577B2. Автор: Vadim Tsinker. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2018-02-06.

Small angle optical beam steering using micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror arrays (mmas)

Номер патента: US20220229285A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Eric Rogala,Mark K. Lange,Craig O. Shott,Zachary D. Barker. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-07-21.

Optical sensor with micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA) steering of the optical transmit beam

Номер патента: US11835709B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON,Jon E. Leigh,Eric Rogala,Mark K. Lange,Vanessa Reyna,Craig O. Shott,Garret A. Odom. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2023-12-05.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA) and off-axis parabola (OAP) steered active situational awareness sensor

Номер патента: US12025790B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-07-02.

Micro electro-mechanical system circuit capable of compensating capacitance variation and method thereof

Номер патента: US8665011B2. Автор: Chia-Tai Wu. Владелец: Richwave Technology Corp. Дата публикации: 2014-03-04.

Micro-electro-mechanical system with non-linear correction and method of operating such a mems

Номер патента: WO2017200805A1. Автор: Matthew Thompson. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2017-11-23.

Cyrogenic inertial micro-electro-mechanical system (MEMS) device

Номер патента: US6487864B1. Автор: William P. Platt,Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2002-12-03.

Method and apparatus for using shuttered windows in a micro-electro-mechanical system

Номер патента: EP1003044A3. Автор: Joel A. Kubby,Eric Peeters,Stanley J. Wallace,Fred F. Hubble Iii,Alan J. Werner Jr.,Enrique R. Viturro. Владелец: Xerox Corp. Дата публикации: 2001-04-18.

Angular rate producer with micro-electro mechanical system

Номер патента: WO2003010491A1. Автор: Ching-Fang Lin,Hiram McCall. Владелец: American Gnc Corproation. Дата публикации: 2003-02-06.

Micro-electro-mechanical system (mems) capacitors, inductors, and related systems and methods

Номер патента: WO2006063257A3. Автор: Arthur S Morris,Shawn J Cunningham. Владелец: Shawn J Cunningham. Дата публикации: 2008-04-17.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Structures And Design Structures

Номер патента: US20160031699A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

Micro-electro mechanical systems (MEMS) device using silicon on insulator (SOI) wafer, and method of fabricating and grounding the same

Номер патента: US20040099909A1. Автор: Ki Kim,Kyu Park. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2004-05-27.

Micro-electro-mechanical systems (mems) package and method for forming the mems package

Номер патента: CN101665230B. Автор: 李建兴,谢聪敏,林智翔. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-21.

A method for forming a capped micro-electro-mechanical system (mems) device

Номер патента: CN102344112A. Автор: 利萨·H·卡林,维拉·M·贡图鲁,希夫查兰·V·卡玛拉朱. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2012-02-08.

Micro-electro-mechanical-system(mems) driver

Номер патента: KR20130116189A. Автор: 이온 오프리스,하이 타오. Владелец: 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션. Дата публикации: 2013-10-23.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20170154734A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norito. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20190362899A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norlito. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-28.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (MEMS) and MEMS based devices

Номер патента: US20040266048A1. Автор: William Platt,Carol Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2004-12-30.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) variable capacitor apparatuses and related methods

Номер патента: US10840026B2. Автор: Dana DeReus,Arthur S. Morris, III,Norlito Baytan. Владелец: Wispry Inc. Дата публикации: 2020-11-17.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (mems) and mems based devices

Номер патента: AU2003223194A1. Автор: William P. Platt,Carol M. Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-09-09.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (mems) and mems based devices

Номер патента: AU2003223194A8. Автор: William P Platt,Carol M Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-09-09.

OPTICAL NON-UNIFORMITY CORRECTION (NUC) FOR ACTIVE MODE IMAGING SENSORS USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS (MMAs)

Номер патента: US20210092260A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-25.

Micro-electro mechanical system (MEMS) structures with through substrate vias and methods of forming the same

Номер патента: US10071905B2. Автор: Chia-Hua Chu,Kuei-Sung CHANG,Te-Hao Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-09-11.

Micro-electro mechanical system (MEMS) structures and methods of forming the same

Номер патента: US9266714B2. Автор: Alex Kalnitsky,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Chia-Pao SHU,Hung-Sen Wang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-02-23.

Micro electro mechanical system (mems) microphone and fabrication method thereof

Номер патента: US20140084394A1. Автор: Chang Han Je. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI. Дата публикации: 2014-03-27.

ELECTRONIC APPARATUS INCLUDING HOLDING STRUCTURE FOR MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROPHONE THAT REDUCES SOUND NOISE DUE TO PHOTOELECTRIC EFFECT

Номер патента: US20190127216A1. Автор: Tagaya Akira. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) TERMINAL STRUCTURE OF BOARD-TO-BOARD ELECTRICAL CONNECTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20180309216A1. Автор: Lee Kuo-Ching,Meng Ta-Teh,Yu Cheng-Feng. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-25.

Micro-electro-mechanical-system(mems) driver

Номер патента: KR101999745B1. Автор: 이온 오프리스,하이 타오. Владелец: 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션. Дата публикации: 2019-10-01.

Magnetic levitation actuator, for use in micro-electro-mechanical systems (MEMS), comprises a mobile magnetic part, stationary magnetic parts, and means for starting movements

Номер патента: FR2843230A1. Автор: Jérôme Delamare,Orphee Cugat,Herve Rostaing,Christel Locatelli. Владелец: Institut Polytechnique de Grenoble. Дата публикации: 2004-02-06.

Method for forming micro-electro-mechanical system (MEMS) package

Номер патента: US8043897B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Chih-Hsiang Lin. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-25.

Method for fabricating micro-electro-mechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US8673732B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-18.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: US20100213568A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee,Hsin Hui Hsu. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-08-26.

Micro-electro mechanical system device using silicon on insulator wafer and method of manufacturing the same

Номер патента: KR100785014B1. Автор: 최원경,고영철,정석환. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2007-12-12.

Micro electro mechanical system device and method of manufacturing the same

Номер патента: US8282196B2. Автор: Il Woo KIM,Byung Ha Park,Moon Chul Lee,Dong Sik Shim,Kyong Il Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2012-10-09.

Micro-electro-mechanical system and method of manufacturing the same

Номер патента: CN111977610A. Автор: 曾李全,谢元智. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-11-24.

Flat suspended micro-structure production for micro electro-mechanical systems, includes deposition of sacrificial polymer layer

Номер патента: FR2849016A1. Автор: Philippe Robert,Nicolas Sillon,France Michel,Pachurka Catherine Maeder. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2004-06-25.

Fabrication of components with nanometric relief and/or variations in thickness, for micro-electro- mechanical systems, micro-motor and semiconductor applications

Номер патента: FR2870041A1. Автор: Dominique Aussere,Sylvain Muckenhirn,Philippe Croguennoc. Владелец: NANORAPTOR SA. Дата публикации: 2005-11-11.

Packaging for micro electro-mechanical systems and methods of fabricating thereof

Номер патента: KR101335163B1. Автор: 폴 에이. 코흘,파로크 아야지,폴 자얀찬드란 조셉. Владелец: 조지아 테크 리서치 코오포레이션. Дата публикации: 2013-12-02.

Integrated chip of micro-electro-mechanical system and integrated circuit and manufacturing method of integrated chip

Номер патента: CN104140072A. Автор: 李刚,胡维,梅嘉欣,庄瑞芬. Владелец: Memsensing Microsystems Suzhou China Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-12.

Packaging for Micro Electro-Mechanical Systems and Methods of Fabricating Thereof

Номер патента: US20070273013A1. Автор: Paul Kohl,Farrokh Ayazi. Владелец: Georgia Tech Research Corp. Дата публикации: 2007-11-29.

Micro-electro-mechanical-system resonant sensor and method of controlling the same

Номер патента: CN104236596A. Автор: 权纯明,朴相奎. Владелец: Hyundai Motor Co. Дата публикации: 2014-12-24.

Piezolectric micro electro-mechanical system switch, array of the switches, and method of fabricating the same

Номер патента: US7679186B2. Автор: Myung Lae Lee,Sung Weon Kang,Sung Hae Jung. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI. Дата публикации: 2010-03-16.

Packaging for micro electro-mechanical systems and methods of fabricating thereof

Номер патента: HK1110061A1. Автор: PAUL Joseph,Farrokh Ayazi,Paul A Kohl. Владелец: Georgia Tech Res Inst. Дата публикации: 2008-07-04.

Packaging for micro electro-mechanical systems and methods of fabricating thereof

Номер патента: EP1758814A4. Автор: Farrokh Ayazi,Paul Jayachandran Joseph,Paul A Kohl. Владелец: Georgia Tech Research Institute. Дата публикации: 2010-12-15.

Methods of fabricating micro electro mechanical system structures

Номер патента: US9776857B2. Автор: Ting-Ying CHIEN,Yi Hsun CHIU,Ching-Hou SU,Chyi-Tsong Ni. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

System support for e.g. micro-electro-mechanical system component, has flexible support with upper side, and conductor paths guided to connecting contacts on upper side of components, which is turned away from flexible support

Номер патента: DE102008028299B3. Автор: Karl Weidner,Wolfgang Pahl. Владелец: EPCOS AG. Дата публикации: 2009-07-30.

STRESSED DECOUPLED MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SENSOR

Номер патента: US20200002159A1. Автор: Knott Bernhard,Kautzsch Thoralf,Theuss Horst,Langheinrich Wolfram,Stegemann Maik,ROETH Andre,VOGT Mirko,Haubold Marco,Froehlich Heiko,Bieselt Steffen. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SILICON ON INSULATOR PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR PREPARING SAME

Номер патента: US20220033247A1. Автор: Zhang Pengfei,Huang Xiaodong,Lan Zhikang. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-03.

STRUCTURES FOR PACKAGING STRESS-SENSITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STACKED ONTO ELECTRONIC CIRCUIT CHIP

Номер патента: US20180127266A1. Автор: Cook Benjamin,YOSHINO Makoto,Goodlin Brian E.,Yano Genki,Kuroda Ayumu,Wachtler Kurt Peter,Kirmse Karen,Jacobsen Stuart. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-10.

STRUCTURES FOR PACKAGING STRESS-SENSITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STACKED ONTO ELECTRONIC CIRCUIT CHIP

Номер патента: US20190169019A1. Автор: Cook Benjamin,YOSHINO Makoto,Goodlin Brian E.,Yano Genki,Kuroda Ayumu,Wachtler Kurt Peter,Kirmse Karen,Jacobsen Stuart. Владелец: . Дата публикации: 2019-06-06.

STRUCTURE AND METHOD FOR PACKAGING STRESS-SENSITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STACKED ONTO ELECTRONIC CIRCUIT CHIP

Номер патента: US20170197823A1. Автор: Cook Benjamin,YOSHINO Makoto,Goodlin Brian E.,Yano Genki,Kuroda Ayumu,Wachtler Kurt Peter,Kirmse Karen,Jacobsen Stuart. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-13.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM PIEZOELECTRIC TRANSDUCER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20180207681A1. Автор: CHAU Manhing. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-26.

ELECTRICAL CONNECTION TO A MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20200216310A1. Автор: Miller Scott,PARK Sangtae,Hocking Andrew. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-09.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20210265556A1. Автор: SEGHIZZI Luca,Longoni Gianluca. Владелец: STMICROELECTRONICS S.R.L.. Дата публикации: 2021-08-26.

STRUCTURES FOR PACKAGING STRESS-SENSITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STACKED ONTO ELECTRONIC CIRCUIT CHIP

Номер патента: US20200354214A1. Автор: Cook Benjamin,YOSHINO Makoto,Goodlin Brian E.,Yano Genki,Kuroda Ayumu,Wachtler Kurt Peter,Kirmse Karen,Jacobsen Stuart. Владелец: . Дата публикации: 2020-11-12.

Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads

Номер патента: US8592993B2. Автор: Xiao (Charles) Yang. Владелец: MCube Inc. Дата публикации: 2013-11-26.

Sensing Membrane And Micro-Electro-Mechanical System Device Using The Same

Номер патента: EP2071871A1. Автор: Chia-Yu Wu,Jien-Ming Chen. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2009-06-17.

Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads

Номер патента: US8367522B1. Автор: Xiao “Charles” Yang. Владелец: MCube Inc. Дата публикации: 2013-02-05.

Micro electro mechanical systems device

Номер патента: KR102019098B1. Автор: 김철,서상원,고용준,서정기,전도한,최완섭. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2019-11-04.

Fabrication of a stacked structure of large dimension from two plates incorporating a sacrificial layer, for the ultimate fabrication of Micro-Electro-Mechanical Systems

Номер патента: FR2857953A1. Автор: Bernard Aspar,Hubert Moriceau,Jacques Margail. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2005-01-28.

Micro electro mechanical systems device and apparatus for compensating tremble

Номер патента: US9516233B2. Автор: Jong Hyun Lee,Seung Hwan Moon,Hyun Kyu Park. Владелец: LG Innotek Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-06.

Integration of micro-electro mechanical systems and active circuitry

Номер патента: CN1789109A. Автор: 罗纳德·S·法齐欧,托马斯·E·邓根. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2006-06-21.

Micro-electro-mechanical system baffle, manufacturing method thereof, image sensor assembly and image sensor

Номер патента: CN115567777A. Автор: 刘建华,丁金玲,蒋康力. Владелец: Hangzhou Hikmicro Sensing Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-01-03.

Process for fabricating a micro-electro-mechanical system with movable components

Номер патента: CN100532248C. Автор: 铃木裕二,荻原淳,吉原孝明,铃村正彦,原田宏,冈直正,福岛博司,野毛宏,河野清彦. Владелец: Matsushita Electric Works Ltd. Дата публикации: 2009-08-26.

Micro electro mechanical system and preparation method thereof

Номер патента: CN113120850A. Автор: 冯志宏,徐景辉,孙丰沛. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2021-07-16.

Process for fabricating a micro-electro-mechanical system with movable components

Номер патента: CN1856440A. Автор: 铃木裕二,荻原淳,吉原孝明,铃村正彦,原田宏,冈直正,福岛博司,野毛宏,河野清彦. Владелец: Matsushita Electric Works Ltd. Дата публикации: 2006-11-01.

Substrate-level interconnection and micro-electro-mechanical system

Номер патента: US8174056B2. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chuan-Wei Wang,Sheng-Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2012-05-08.

Wafer-level package for micro-electro-mechanical systems

Номер патента: EP1415950A2. Автор: Vaidyanathan Kripesh,YU Chen,RANGANATHAN Nagarajan,C. S. Premachandran. Владелец: Institute of Microelectronics ASTAR. Дата публикации: 2004-05-06.

Wafer bonding of micro-electro mechanical systems to active circuitry

Номер патента: US20060128058A1. Автор: Thomas Dungan,Ronald Fazzio. Владелец: Avago Technologies Wireless IP Singapore Pte Ltd. Дата публикации: 2006-06-15.

Method and apparatus for vacuum-mounting a micro electro mechanical system on a substrate

Номер патента: US7172916B2. Автор: Hyung Choi,Seok-Jin Kang,Eun-sung Lee,Moon-Chul Lee,Kyu-dong Jung,Seog-Woo Hong,Seok-whan Chung,Chan-bong Jun. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2007-02-06.

Micro electro mechanical systems device and apparatus for compensating tremble

Номер патента: KR102029783B1. Автор: 문승환,이종현,고용준,서정기. Владелец: 광주과학기술원. Дата публикации: 2019-10-08.

Elastomeric micro-electro-mechanical systems

Номер патента: JP3016870B2. Автор: エイ．ホワイトヘッド、ローン,ジェイ．ボールマン、ブレント. Владелец: ザユニバーシティオブブリティッシュコロンビア. Дата публикации: 2000-03-06.

Wafer-level package for micro-electro-mechanical systems

Номер патента: EP1415950B1. Автор: Vaidyanathan Kripesh,YU Chen,RANGANATHAN Nagarajan,C. S. Premachandran. Владелец: Institute of Microelectronics ASTAR. Дата публикации: 2008-05-28.

High-performance MEMS (Micro Electro Mechanical System) thermopile infrared detector based on black silicon and preparation method thereof

Номер патента: CN102829880B. Автор: 欧文,毛海央,明安杰,陈媛婧. Владелец: Jiangsu IoT Research and Development Center. Дата публикации: 2014-04-16.

Method and device for mounting vacumm of micro electro mechanical system at wafer level

Номер патента: KR100474455B1. Автор: 최형,정규동,이문철,이은성,강석진,홍석우,정석환,전찬봉. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-03-11.

Double wafer carrier process for creating integrated circuit die with through-silicon vias and micro-electro-mechanical systems protected by a hermetic cavity created at the wafer level

Номер патента: US7960840B2. Автор: Asad M. Haider,Thomas Dyer BONIFIELD,Thomas W. Winter,William R. Morrison,Gregory D. WINTERTON. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2011-06-14.

Micro-electro-mechanical system having movable element integrated into leadframe-based package

Номер патента: US8796792B2. Автор: William R. Krenik,Edgar Rolando Zuniga-Ortiz. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2014-08-05.

Elastomeric micro electro mechanical systems

Номер патента: CA2218876A1. Автор: Lorne A. Whitehead,Brent J. Bolleman. Владелец: Individual. Дата публикации: 1996-11-07.

Micro-electro-mechanical systems and photonic interconnects employing the same

Номер патента: US8054531B2. Автор: Shih-Yuan Wang,R. Stanley Williams,Terrel L. Morris,Mihail Sigalas. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2011-11-08.

Wafer bonding of micro-electro mechanical systems to active circuitry

Номер патента: GB2421356B. Автор: Thomas E Dungan,Ronald S Fazzio. Владелец: Avago Technologies Wireless IP Singapore Pte Ltd. Дата публикации: 2010-11-24.

Wafer bonding using reactive foils for massively parallel housings of micro-electro-mechanical systems

Номер патента: DE102004004539A1. Автор: Robert Edward Palo Alto Wilson,Tanya Jegeris Edina Snyder,Robert H. Palo Alto Yi. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2005-01-05.

Micro electro mechanical systems device and apparatus for compensating tremble

Номер патента: WO2013094875A1. Автор: Jong Hyun Lee,Seung Hwan Moon,Hyun Kyu Park. Владелец: LG INNOTEK CO., LTD.. Дата публикации: 2013-06-27.

Semi-conductor substrate plasma etching method for e.g. micro-electro-mechanical system, involves etching substrate by injection of etching gas, performing amorphization of substrate in reactor and re-iterating above steps

Номер патента: FR2905516A1. Автор: Remi Dussart,Pierre Ranson,Philippe Lefaucheux,Maaza Nasreddine Mekkakia. Владелец: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS. Дата публикации: 2008-03-07.

Sensing membrane and micro-electro-mechanical system device using the same

Номер патента: TW200926864A. Автор: Chia-Yu Wu,Jien-Ming Chen. Владелец: Ind Tech Res Inst. Дата публикации: 2009-06-16.

Process for fabricating a micro-electro-mechanical system with movable components

Номер патента: KR100788857B1. Автор: 히로시 노게,히로시 하라다,다카아키 요시하라,유지 스즈키,나오마사 오카,히로시 후크시마,준 오기하라,기요히코 가와노,마사히코 스즈무라. Владелец: 마츠시다 덴코 가부시키가이샤. Дата публикации: 2007-12-27.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: US20150197420A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee,Hsin Hui Hsu. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-07-16.

Micro-electro-mechanical systems packaging

Номер патента: AU2002257013A1. Автор: Aijay Babulal Alai,Venkata Pavanpratap Chemata,Glenn S. West. Владелец: NANO STORAGE Pte Ltd. Дата публикации: 2003-10-20.

Cap package for micro electro-mechanical system

Номер патента: US20080164594A1. Автор: Ming-Te Tu,Chin-Ching Huang,Jiung-Yue Tien. Владелец: Lingsen Precision Industries Ltd. Дата публикации: 2008-07-10.

An ultra thin package for a sensor chip of a micro electro mechanical system

Номер патента: TW200929486A. Автор: Pin Chang,Jung-Tai Chen,Hsin-Li Lee,Chin-Horng Wang,Tzong-Che Ho,Kai-Hsiang Yen,Jason Pan. Владелец: Ind Tech Res Inst. Дата публикации: 2009-07-01.

Ultra thin package for electric acoustic sensor chip of micro electro mechanical system

Номер патента: EP2076063B1. Автор: Pin Chang,Jung-Tai Chen,Hsin-Li Lee,Chin-Horng Wang,Tzong-Che Ho,Kai-Hsiang Yen,Jason Pan. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2015-09-30.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) circuit and method for reconstructing a disturbance variable

Номер патента: DE102017101497B4. Автор: Andreas Wiesbauer,Niccolo de Milleri,Dietmar Sträussnigg. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-08-27.

MEMS switch and method of fabricating the same

Номер патента: US7251069B2. Автор: Sang-Hun Lee,Kyu-Sik Kim,Che-heung Kim,Hyung-jae Shin,Soon-cheol Kweon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2007-07-31.

Device and Method for Parameter Estimation in Micro-Electro-Mechanical System Testing

Номер патента: US20240211722A1. Автор: Alexander Buhmann,Monika Heringhaus. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2024-06-27.

Display device, method of manufacturing the same, display method, and wearable device

Номер патента: US09954037B2. Автор: JING Yu,Yue Long,Zhidong WANG. Владелец: Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-24.

A mems microphone with out-gassing openings and method of manufacturing the same

Номер патента: EP2989811A1. Автор: John B. Szczech,Kurt B. Friel. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2016-03-02.

Active pushbroom imaging system using a micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA)

Номер патента: US11815676B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2023-11-14.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) variable capacitor apparatuses, systems and related methods

Номер патента: US20050224916A1. Автор: John Gilbert,Arthur Morris,Francois-Xavier Musalem,Siebe Bouwstra,Randy Richards. Владелец: Wispry Inc. Дата публикации: 2005-10-13.

Active pushbroom imaging system using a micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror array (mma)

Номер патента: US20220082816A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-03-17.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20140211366A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norito. Владелец: . Дата публикации: 2014-07-31.

Micro-electro-mechanical system (mems) variable capacitor apparatuses and related methods

Номер патента: AU2003243546A8. Автор: Hector J De Los Santos. Владелец: Wispry Inc. Дата публикации: 2003-12-31.

Wire bonded common electrical connection in a piezoelectric micro-electro-mechanical system scanning mirror assembly

Номер патента: US20200326531A1. Автор: Michael James Nystrom. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2020-10-15.

Wire bonded common electrical connection in a piezoelectric micro-electro-mechanical system scanning mirror assembly

Номер патента: EP3953758A1. Автор: Michael James Nystrom. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2022-02-16.

OPTICAL DATA COMMUNICATION USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS

Номер патента: US20210088776A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-25.

Active imaging using a micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA)

Номер патента: US11477350B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-10-18.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) and apparatus for generating power responsive to mechanical vibration

Номер патента: US7501726B1. Автор: Barry R. Hunt,Richard L. Waters,Patrick M. Sullivan. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2009-03-10.

Active imaging using a micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror array (mma)

Номер патента: US20220232144A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-07-21.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) BASED WIDE-BAND POLYMER PHOTO-DETECTOR

Номер патента: US20160211475A1. Автор: Chaki Roy Sangita,Kundu Tapanendu,Rao V. Ramgopal. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-21.

Micro electro-mechanical system (MEMS) phase shifter

Номер патента: US6958665B2. Автор: Robert C. Allison,Brian M. Pierce. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2005-10-25.

Wire bonded common electrical connection in a piezoelectric micro-electro-mechanical system scanning mirror assembly

Номер патента: WO2020210049A1. Автор: Michael James Nystrom. Владелец: Microsoft Technology Licensing, LLC. Дата публикации: 2020-10-15.

Chip package of micro-electro-mechanical system and manufacturing method of chip package

Номер патента: CN106608613A. Автор: 王俊杰,陈振颐,张朝森,张咏翔. Владелец: Merry Electronics Shenzhen Co ltd. Дата публикации: 2017-05-03.

SYSTEMS, DEVICES, AND METHODS TO REDUCE DIELECTRIC CHARGING IN MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS DEVICES

Номер патента: US20160099112A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Molinero-Giles David. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

METHOD AND SYSTEM FOR CONFIGURING A LEAKY WAVE ANTENNA UTILIZING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS

Номер патента: US20150280325A1. Автор: Rofougaran Ahmadreza. Владелец: BROADCOM CORPORATION. Дата публикации: 2015-10-01.

Systems and methods for achieving isothermal batch processing of substrates used for the production of micro-electro-mechanical systems

Номер патента: EP1859077A4. Автор: Robert W Grant. Владелец: Primaxx Inc. Дата публикации: 2010-03-31.

Systems and methods for achieving isothermal batch processing of substrates used for the production of micro electro mechanical systems

Номер патента: KR101154272B1. Автор: 로버트 더블유. 그랜트. Владелец: 프라이맥스 인코포레이티드. Дата публикации: 2012-06-13.

2-Channel display system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US20050141076A1. Автор: Max Mayer,Bernhard Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-06-30.

Superposition method using a pair of stereo-isomeric micro electro mechanical systems (MEMSs)

Номер патента: US20100296170A1. Автор: Max Mayer,Bernhard Rudolf Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-11-25.

Combined micro-electro-mechanical systems microphone and method for manufacturing the same

Номер патента: US20120308066A1. Автор: Hung-Jen Chen,Yung-Ta Chen,Kuan-Hsun Chiu,Kuo-Hsiang Li. Владелец: Merry Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2012-12-06.

METHOD AND STRUCTURE OF INTEGRATED MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS AND ELECTRONIC DEVICES USING EDGE BOND PADS

Номер патента: US20130134599A1. Автор: Yang Xiao (Charles). Владелец: MCube Inc.. Дата публикации: 2013-05-30.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150041629A1. Автор: Goodwill Dominic,Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-02-12.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160087628A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-24.

Micro-electro-mechanical system drive-mode oscillator module and method therefor

Номер патента: US20150185011A1. Автор: Laurent Cornibert,Gerhard Trauth,Hugues Beaulaton. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2015-07-02.

PROCESS FOR PRODUCING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM FROM A TRANSFERRED PIEZOELECTRIC OR FERROELECTRIC LAYER

Номер патента: US20200287511A1. Автор: REINHARDT Alexandre,BOUSQUET Marie,BARTASYTE Ausrine. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-10.

WIRE BONDED COMMON ELECTRICAL CONNECTION IN A PIEZOELECTRIC MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SCANNING MIRROR ASSEMBLY

Номер патента: US20200326531A1. Автор: NYSTROM Michael James. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED ACOUSTIC EMISSION SENSORS

Номер патента: US20170370768A1. Автор: OZEVIN Didem,SABOONCHI Hossain. Владелец: . Дата публикации: 2017-12-28.

Directional MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) microphone and sound receiving device

Номер патента: CN103686568A. Автор: 万景明. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-26.

Directional MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) microphone and sound receiving device

Номер патента: CN103686568B. Автор: 万景明. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-18.

Anisotropic conductive film for e.g. micro electro mechanical system, has multiple conductive inserts, each having body that is asymmetrical with respect to normal at film main plane after assembling inserts with two contact zones

Номер патента: FR2857782A1. Автор: Jean Brun. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2005-01-21.

Micro-electro mechanical system using snapping tabs, comb and parallel plate actuation

Номер патента: US7986073B2. Автор: Asif A. Godil. Владелец: AG Microsystems Inc. Дата публикации: 2011-07-26.

Micro electro mechanical systems am modulator and magnetic field sensor having the same

Номер патента: KR102070617B1. Автор: 김철,서상원,고용준,서정기,전도한,최완섭,권승화,지칠영. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2020-01-30.

Micro-electro-mechanical system tiltable lens

Номер патента: US20130224896A1. Автор: Jeffrey P. Gambino,Kirk D. Peterson,Jed H. Rankin,John J. Ellis-Monaghan. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-08-29.

Circuit topology for protecting vulnerable micro electro-mechanical system (MEMS) and electronic relay devices

Номер патента: US20020089804A1. Автор: Ramon Chea. Владелец: Turnstone Systems Inc. Дата публикации: 2002-07-11.

Micro-electro-mechanical system structures and design structures

Номер патента: WO2014181202A3. Автор: Anthony K. Stamper. Владелец: Ibm China Ltd. Дата публикации: 2015-04-09.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20140332913A1. Автор: Anthony K. Stamper. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2014-11-13.

Structures and formation methods of micro-electro mechanical system device

Номер патента: US09725301B2. Автор: Shang-Ying Tsai,Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Chin-Wei Liang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-08-08.

Structures and formation methods of micro-electro mechanical system device

Номер патента: US09567206B2. Автор: Shang-Ying Tsai,Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng,Chin-Wei Liang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Mechanisms for forming micro-electro mechanical system device

Номер патента: US9352953B2. Автор: Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-05-31.

Micro electro mechanical system (MEMS) device having via extending through plug

Номер патента: US09771256B2. Автор: Chia-Shiung Tsai,Chung-Yen Chou,Ru-Liang Lee,Lee-Chuan Tseng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-26.

Method for forming micro-electro-mechanical system (mems) structure

Номер патента: US20190315620A1. Автор: Kai-Fung Chang,Len-Yi Leu,Lien-Yao TSAI. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-10-17.

Micro-electro mechanical system (MEMS) device having a blocking layer formed between closed chamber and a dielectric layer of a CMOS substrate

Номер патента: US09617150B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Micro-electro mechanical system (MEMS) device having a blocking layer formed between closed chamber and a dielectric layer of a CMOS substrate

Номер патента: US09487391B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

Mechanisms for forming micro-electro mechanical system device

Номер патента: US20150021723A1. Автор: Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-01-22.

Dual micro-electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240262681A1. Автор: Yi-Chuan Teng,Victor Chiang Liang,Yang-Che CHEN,Chen-hua Lin,Huang-Wen Tseng,Chwen-Ming Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: US12084340B2. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2024-09-10.

Semiconductor structure with micro-electro-mechanical system devices

Номер патента: US09624092B1. Автор: Kuan-Yu Wang,Wei-Hua Fang,Her-Yi Tang,Xuan-Rui Chen. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2017-04-18.

Methods of fabricating micro electro-mechanical systems structures

Номер патента: US11845654B2. Автор: Chang Ge,Edmond CRETU. Владелец: University of British Columbia. Дата публикации: 2023-12-19.

Manufacturing method of micro-electro-mechanical systems device

Номер патента: US10183856B2. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2019-01-22.

Device comprising a micro-electro-mechanical system substrate with protrusions of different heights that has been integrated with a complementary metal-oxide-semiconductor substrate

Номер патента: US20190185317A1. Автор: Joseph Seeger,Jongwoo Shin,Houri Johari-Galle,Bongsang Kim,Dongyang Kang. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2019-06-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE and fabrication method thereof

Номер патента: US20230382713A1. Автор: Wai Mun Chong,Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Rohit Pulikkal Kizhakkeyil,Hup Fong Tan. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-11-30.

Dual micro-electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US20220194783A1. Автор: Yi-Chuan Teng,Victor Chiang Liang,Yang-Che CHEN,Chen-hua Lin,Huang-Wen Tseng,Chwen-Ming Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-06-23.

Micro-electro-mechanical system (mems) devices and fabrication methods thereof

Номер патента: US20230294980A1. Автор: Ramachandramurthy Pradeep Yelehanka,Rakesh Chand,Sock Kuan Soo,Muniandy Shunmugam. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Dual micro-electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US20210130167A1. Автор: Yi-Chuan Teng,Victor Chiang Liang,Yang-Che CHEN,Chen-hua Lin,Huang-Wen Tseng,Chwen-Ming Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-05-06.

Dicing method for micro electro mechanical system chip

Номер патента: US20040005734A1. Автор: Joon Kang,Sang Yoon,Sung Cheon Jung,Hyun Kee Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2004-01-08.

Dual micro-electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US11993512B2. Автор: Yi-Chuan Teng,Victor Chiang Liang,Yang-Che CHEN,Chen-hua Lin,Huang-Wen Tseng,Chwen-Ming Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-05-28.

Method for forming a micro-electro mechanical system (MEMS) including bonding a MEMS substrate to a CMOS substrate via a blocking layer

Номер патента: US10486964B2. Автор: Chia-Hua Chu,Chun-Wen Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-11-26.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: EP3983054A1. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2022-04-20.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: CA3138947A1. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2020-12-17.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: AU2020290475B2. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2023-08-24.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: CA3138947C. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2024-04-30.

Micro-electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US11851321B2. Автор: Wen-Hsiung LU,Ming-Da Cheng,Cheng Jen Lin,Ting-Li Yang,Chin Wei Kang,Kai-Di Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Micro-electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240083742A1. Автор: Wen-Hsiung LU,Ming-Da Cheng,Cheng Jen Lin,Ting-Li Yang,Chin Wei Kang,Kai-Di Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20150054100A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-26.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140231936A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-08-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160257555A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-08.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20180179052A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-28.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20180201502A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20180201503A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140308771A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-10-16.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US11167980B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2021-11-09.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US10589992B2. Автор: Eric J. White,Michael T. Brigham,Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,William J. Murphy,Christopher V. Jahnes,Cameron E. LUCE. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2020-03-17.

Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays

Номер патента: US10551613B2. Автор: Tiansheng ZHOU. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-02-04.

Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays

Номер патента: US11927741B2. Автор: Tiansheng ZHOU. Владелец: PRECISELEY MICROTECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2024-03-12.

Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays

Номер патента: US20240111148A1. Автор: Tiansheng ZHOU. Владелец: PRECISELEY MICROTECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2024-04-04.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: CA2827763C. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2016-06-21.

An aerosol-generating device comprising a micro electro-mechanical system

Номер патента: EP4287896A1. Автор: Alec WRIGHT,Andrew Robert John ROGAN,Kyle ADAIR,Gordon MONTGOMERY. Владелец: JT INTERNATIONAL SA. Дата публикации: 2023-12-13.

An Aerosol-Generating Device Comprising a Micro Electro-Mechanical System

Номер патента: US20240114970A1. Автор: Alec WRIGHT,Andrew Robert John ROGAN,Kyle ADAIR,Gordon MONTGOMERY. Владелец: JT INTERNATIONAL SA. Дата публикации: 2024-04-11.

Semiconductor structures provided within a cavity and related design structures

Номер патента: US10882736B2. Автор: Anthony K. Stamper,Jeffrey C. Maling,Arthur S. Morris, III,Dana R. Dereus. Владелец: Wispry Inc. Дата публикации: 2021-01-05.

A microfluidic-channel embeddable, laterally oscillating gravimetric sensor device fabricated with micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology

Номер патента: KR101369941B1. Автор: 할루크 쿨라,아타 투나 지프트릭. Владелец: 아타 투나 지프트릭. Дата публикации: 2014-03-06.

A microfluidic-channel embeddable, laterally oscillating gravimetric sensor device fabricated with micro-electro-mechanical systems (mems) technology

Номер патента: CA2771155A1. Автор: Haluk Kulah,Ata Tuna Ciftlik. Владелец: Mikrobiyosistemler Elektronik San Ve Tic A.S.. Дата публикации: 2011-02-24.

Electrostatically actuated micro-electro-mechanical system (MEMS) device

Номер патента: EP1223453A3. Автор: Vladimir Anatolyevich Aksyuk,Flavio Pardo,Christian A. Bolle. Владелец: Agere Systems Guardian Corp. Дата публикации: 2004-01-21.

Electrostatically actuated micro-electro-mechanical system (mems) device

Номер патента: US20030103717A1. Автор: Flavio Pardo,Cristian Bolle,Vladimir Aksyuk. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2003-06-05.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) actuator device and optical cross-connect

Номер патента: TW544437B. Автор: Vladimir Anatolyevich Aksyuk,Flavio Pardo,Cristian A Bolle. Владелец: Agere Syst Guardian Corp. Дата публикации: 2003-08-01.

Micro-electro-mechanical systems interconnection pins and method for forming the same

Номер патента: KR101125582B1. Автор: 쉬 쩡양. Владелец: 윈멤스 테크놀러지 컴퍼니 리미티드. Дата публикации: 2012-03-22.

Micro-electro-mechanical systems interconnection pins and method for forming the same

Номер патента: TWI409215B. Автор: Tseng-Yang Hsu. Владелец: Winmems Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2013-09-21.

High-precision interactive two-stage estimation algorithm for micro-electro-mechanical system sensor

Номер патента: CN110765608A. Автор: 李宇,高嵩,陈超波,周洁,黄娇茹,宋晓茹,颜宝萍. Владелец: Xian Technological University. Дата публикации: 2020-02-07.

Isolated zener diode, an integrated circuit incorporating multiple instances of the zener diode, a method of forming the zener diode and a design structure for the zener diode

Номер патента: US20130299938A1. Автор: Frederick G. Anderson,Yun Shi,Richard A. Phelps,Natalie B. Feilchenfeld,David L. Harmon,Michael J. Zierak. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-11-14.

Method of ignition plug manufacture and ignition plug for internal combustion engine

Номер патента: RU2703873C2. Автор: Оливер БЕРКЕМАЙЕР,Клеменс Мария ВЕРПОРТ. Владелец: ФОРД ГЛОУБАЛ ТЕКНОЛОДЖИЗ, ЭлЭлСи. Дата публикации: 2019-10-22.

Three dimensional (3D) robotic micro electro mechanical systems (MEMS) arm and system

Номер патента: US09473048B2. Автор: Harold L. Stalford. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-10-18.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE MEMS

Номер патента: US20180115836A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2018-04-26.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE MEMS

Номер патента: US20190124452A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2019-04-25.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS) device and method for fabricating the MEMS

Номер патента: US10798493B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-06.

Three dimensional (3D) robotic micro electro mechanical systems (MEMS) arm and system

Номер патента: US20200024128A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

THREE DIMENSIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20170129770A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), SYSTEMS, AND OPERATING METHODS THEREOF

Номер патента: US20140225759A1. Автор: Huang Wen-Hung,Peng Yung-Chow,LIN Yu-Wei. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2014-08-14.

Micro-electro-mechanical systems (mems), systems, and operating methods thereof

Номер патента: US20110057826A1. Автор: Yu-Wei Lin,Wen-Hung Huang,Yung-Chow Peng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2011-03-10.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS), systems, and operating methods thereof

Номер патента: US9236877B2. Автор: Yu-Wei Lin,Wen-Hung Huang,Yung-Chow Peng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-01-12.

Micro-electro-mechanical system acoustic sensor, micro-electro-mechanical system package structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US20220073342A1. Автор: Hsien-Lung Ho,Chung-chieh Chen,Da-Ming Chiang. Владелец: Upbeat Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-03-10.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), APPARATUS, AND OPERATING METHODS THEREOF

Номер патента: US20160118993A1. Автор: Huang Wen-Hung,Peng Yung-Chow,LIN Yu-Wei. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-28.

PACKAGE STRUCTURE OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) MICROPHONE PACKAGE AND PACKAGING METHOD THEREOF

Номер патента: US20200385263A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2020-12-10.

Microphone, micro-electro-mechanical system device and method for manufacturing micro-electro-mechanical system device

Номер патента: CN110972048B. Автор: 吴常明,林诗玮,陈亭蓉. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-08-06.

Micro electro mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: US10390145B1. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-20.

Micro electro mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: TW201943287A. Автор: 李建興,謝聰敏,蔡振維. Владелец: 鑫創科技股份有限公司. Дата публикации: 2019-11-01.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS), apparatus, and operating methods thereof

Номер патента: US10014870B2. Автор: Yu-Wei Lin,Wen-Hung Huang,Yung-Chow Peng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-07-03.

Micro-electro-mechanical systems (mems) microphone assembly

Номер патента: US20230156386A1. Автор: Yu Du. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2023-05-18.

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) Microphone Assembly

Номер патента: JP2023529519A. Автор: ユードゥ，. Владелец: ハーマンインターナショナルインダストリーズ，インコーポレイテッド. Дата публикации: 2023-07-11.

Micro-electro-mechanical system (mems) vibration sensor and fabricating method thereof

Номер патента: US20220371881A1. Автор: Hsien-Lung Ho,Hsi-Wen TUNG. Владелец: Upbeat Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-24.

Micro-electro-mechanical system acoustic sensor, micro-electro-mechanical system package structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US20220116715A1. Автор: Hsien-Lung Ho. Владелец: Upbeat Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-04-14.

Micro electro mechanical system sound wave transducer

Номер патента: US12028668B2. Автор: Hsiao-Yi Lin,Yao-Sheng Chou,Kwun Kit Chan,Yi Feng Wei. Владелец: Glass Acoustic Innovations Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20220086571A1. Автор: Hu Yonggang,ZHOU Guoping,XIA Changfeng. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-17.

STRUCTURE OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM MICROPHONE

Номер патента: US20210144485A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsao Li-Chi. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2021-05-13.

COMB-DRIVE DEVICE USED IN MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20220298004A1. Автор: CARGILL Scott Lyall. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-22.

STRUCTURE OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM MICROPHONE

Номер патента: US20210195340A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2021-06-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

Номер патента: US20180201498A1. Автор: Liu Chih-Wei,WANG Kuan-Yu,Lin Yuan-Sheng,Chen Weng-Yi. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

Micro-electro-mechanical system structure and method for forming the same

Номер патента: US20170210615A1. Автор: Yuan-Sheng Lin,Weng-Yi Chen,Kuan-Yu Wang,Chih-Wei Liu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2017-07-27.

STRUCTURE OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM MICROPHONE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20210276857A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2021-09-09.

Apparatus and Method For Protecting a Micro-Electro-Mechanical System

Номер патента: US20160376144A1. Автор: Holliday Andrew J.. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-29.

Method for producing a micro-electro-mechanical system produced from a transferred piezoelectric or ferroelectric layer

Номер патента: FR3093511B1. Автор: Alexandre Reinhardt,Ausrine Bartasyte,Marie Bousquet. Владелец: Ecole Nationale Superieure De Mecanique Et Des Microtechniques. Дата публикации: 2022-08-05.

Microphone, micro-electro-mechanical system device and manufacturing method thereof

Номер патента: CN112399291B. Автор: 郑钧文,朱家骅,郭文政. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-12-13.

Micro-electro-mechanical system structure and method for forming the same

Номер патента: US9950920B2. Автор: Yuan-Sheng Lin,Weng-Yi Chen,Kuan-Yu Wang,Chih-Wei Liu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2018-04-24.

Micro electro mechanical system microphone package with PCB provided with sound holes

Номер патента: CN201321377Y. Автор: 宋清淡. Владелец: BO SUNG ELECTRICS Co Ltd. Дата публикации: 2009-10-07.

Micro electro-mechanical system microphone and preparation method thereof

Номер патента: CN101346014A. Автор: 乔东海. Владелец: Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2009-01-14.

Method and apparatus for micro electro-mechanical systems and their manufacture

Номер патента: US20020127760A1. Автор: Jer-Liang Yeh,Norman Tien. Владелец: Cornell Research Foundation Inc. Дата публикации: 2002-09-12.

Structure of micro-electro-mechanical-system microphone

Номер патента: US11317220B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2022-04-26.

Micro-electro-mechanical system device and forming method thereof

Номер патента: CN111762753A. Автор: 林宏桦,王怡人,谢元智. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-10-13.

Micro-electro-mechanical system motor and microphone

Номер патента: CN110800317B. Автор: 陈彦豪,J·阿伯斯,桑·博克·李,J·里格,A·库夫内尔,郭耀阳,J·胡伊. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2021-11-30.

Structure of micro-electro-mechanical-system microphone and method for fabricating the same

Номер патента: TW202119829A. Автор: 李建興,謝聰敏,蔡振維. Владелец: 鑫創科技股份有限公司. Дата публикации: 2021-05-16.

Micro electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US11889765B2. Автор: Luca SEGHIZZI,Gianluca Longoni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-01-30.

Micro-electro-mechanical system device with enhanced structural strength

Номер патента: US9660555B2. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai,WeiChung Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2017-05-23.

Micro-electro-mechanical system structure and method for fabricating the same

Номер патента: US20200223687A1. Автор: Yuan-Sheng Lin,Weng-Yi Chen,Chang-Sheng Hsu,Jung-Hao CHANG. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2020-07-16.

Micro-electro-mechanical system device with enhanced structural strength

Номер патента: US9302901B2. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai,WeiChung Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-04-05.

Micro electro mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240130240A1. Автор: Luca SEGHIZZI,Gianluca Longoni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-04-18.

Apparatus and method for protecting a micro-electro-mechanical system

Номер патента: EP3167623B1. Автор: Andrew J. Holliday. Владелец: WL Gore and Associates Inc. Дата публикации: 2023-08-30.

Micro electro mechanical system sound wave transducer

Номер патента: US20220360876A1. Автор: Hsiao-Yi Lin,Yao-Sheng Chou,Kwun Kit Chan,Yi Feng Wei. Владелец: Glass Acoustic Innovations Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-10.

Micro-electro-mechanical system device with enhanced structural strength

Номер патента: US20150102701A1. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai,WeiChung Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-04-16.

Micro-electro-mechanical system device with enhanced structural strength

Номер патента: US20160173002A1. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai,WeiChung Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-06-16.

Micro-electro-mechanical system structure and method for fabricating the same

Номер патента: US10737932B2. Автор: Yuan-Sheng Lin,Weng-Yi Chen,Chang-Sheng Hsu,Jung-Hao CHANG. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2020-08-11.

Structure of micro-electro-mechanical-system microphone and method for fabricating the same

Номер патента: US20210276857A1. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-09.

Gas sensor MEMS structures and methods of fabrication thereof

Номер патента: US11988600B2. Автор: You Qian,Enrico MACRELLI,Massimo Bruno Cristiano ALIOTO,Chengkuo Lee,Costas John SPANOS. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2024-05-21.

Method of manufacturing a light projector module

Номер патента: US20230001654A1. Автор: Louahab Noui,Joerg REITTERER,Michael Schoeffmann. Владелец: TriLite Technologies GmbH. Дата публикации: 2023-01-05.

Systems and apparatus having MEMS acoustic sensors and other MEMS sensors and methods of fabrication of the same

Номер патента: US09809448B2. Автор: Martin Lim,Fariborz Assaderaghi. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

Method of masking microelectronic semiconductor chips with protective caps

Номер патента: US6750083B2. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2004-06-15.

Projector and method of projecting an image

Номер патента: US11531254B2. Автор: Joerg REITTERER,Gerhard Schmid,Aart VERHOEF. Владелец: TriLite Technologies GmbH. Дата публикации: 2022-12-20.

Projector and method of projecting an image

Номер патента: US20210311378A1. Автор: Joerg REITTERER,Gerhard Schmid,Aart VERHOEF. Владелец: TriLite Technologies GmbH. Дата публикации: 2021-10-07.

Semiconductor package for mems device and method of manufacturing same

Номер патента: US20120319256A1. Автор: Chi Kwong Lo,Lik Hang Wan,Ming Wa Tam. Владелец: UBOTIC INTELLECTUAL PROPERTY CO Ltd. Дата публикации: 2012-12-20.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: US20180282154A1. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2018-10-04.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: WO2018187486A1. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix, Inc.. Дата публикации: 2018-10-11.

Manufacturing method of micro-electro-mechanical system sensor capable of preventing diffusion phenomenon and reflow phenomenon

Номер патента: US09828241B2. Автор: Ilseon Yoo. Владелец: Hyundai Motor Co. Дата публикации: 2017-11-28.

Raised shoulder micro electro mechanical system (mems) microphone

Номер патента: WO2016191453A1. Автор: Sandra F. Vos,Eric J. Lautenschlager. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2016-12-01.

Method of manufacturing micro electro mechanical systems device

Номер патента: EP2014612A3. Автор: Heewon Hitachi Ltd. Intellectual Property Group 12th Floor Marunouchi Center Building Jeong,Yasushi Hitachi Ltd. Intellectual Property Group 12th Floor Marunouchi Center Building Goto,Yuko Hitachi Ltd. Intellectual Property Group 12th Floor Marunouchi Center Building Hanaoka,Tsukasa Hitachi Ltd. Intellectual Property Group 12th Floor Marunouchi Center Building Fujimori. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2012-07-25.

Micro-electro-mechanical system device and micro-electro- mechanical system compensation structure

Номер патента: US20150097586A1. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-04-09.

Method of making a micro-electro-mechanical-systems (mems) device

Номер патента: CN102452638A. Автор: 刘威,刘连军,利萨·H·卡林,大卫·W·基尔斯特,鲁本·B·蒙特兹,罗伯特·F·施泰梅尔. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2012-05-16.

Gradient micro-electro-mechanical systems (mems) microphone

Номер патента: EP3905719B1. Автор: Alan D. Michel,Marc REESE,Fengyuan LI,John C. Baumhauer,Larry A. Marcus. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2024-04-10.

ELECTRODE ARRANGEMENT FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20210221673A1. Автор: Putnik Martin,Cardanobile Stefano. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-22.

Electrode arrangement for a micro-electro-mechanical system, micro-electro-mechanical system, and method for operating a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US20210221673A1. Автор: Stefano CARDANOBILE,Martin Putnik. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2021-07-22.

Methods and apparatus for micro-electro-mechanical systems (mems) devices

Номер патента: US20240067519A1. Автор: Sean C. O'Brien,Jose A. Martinez,John Wesley Hamlin,Kathleen Rose Ferreira. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

OPTICAL NON-UNIFORMITY COMPENSATION (NUC) FOR PASSIVE IMAGING SENSORS USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS (MMAS)

Номер патента: US20220311961A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.,Spyak et al. Paul R.. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-29.

Bent-beam actuator for residual stress measurement in micro electro mechanical system(MEMS) and its fabricating method and method of residual stress measurement using the bent beam actuator

Номер патента: KR100441488B1. Автор: 이병렬,전국진,석선호. Владелец: 석선호. Дата публикации: 2004-07-23.

Asymmetric phononic crystal (pnc) tethering for radio frequency (rf) micro-electro-mechanical system (mems) resonator

Номер патента: WO2017154020A1. Автор: Udit RAWAT,Amitava Dasgupta,Deleep NAIR. Владелец: INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY MADRAS (IIT MADRAS). Дата публикации: 2017-09-14.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) AND CORRESPONDING MANUFACTURING PROCESS

Номер патента: US20130276896A1. Автор: FONTANA Fulvio Vittorio. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-24.

THREE DIMENSIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20160211779A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-21.

Micro-electro-mechanical-system (MEMS) based hydraulic control system for mild hybrid vehicles

Номер патента: US8800404B2. Автор: Farzad Samie,Chunhao J. Lee,Kumaraswamy V. Hebbale,Andrew L. Bartos,Dongxu Li,Chi-Kuan Kao,Kevin B. Rober. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2014-08-12.

Micro-Electro-Mechanical System Device, Out-of-Plane Sensor and Method for Making Micro-Electro-Mechanical System Device

Номер патента: US20130186201A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng-Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2013-07-25.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) DRIVER

Номер патента: US20130271228A1. Автор: Opris Ion,Tao Hai. Владелец: Fairchild Semiconductor Corporation. Дата публикации: 2013-10-17.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE WITH VARYING HEIGHT ASSEMBLIES

Номер патента: US20160007107A1. Автор: LI Fengyuan,REESE Marc,Baumhauer John,Iraclianos Spiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-07.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20150010191A1. Автор: JR. John C.,Baumhauer,LI Fengyuan,MARCUS Larry A.,MICHEL Alan D.,REESE Marc. Владелец: HARMAN INTERNATIONAL INDUSTRIES, INC.. Дата публикации: 2015-01-08.

ENERGY HARVESTING WITH A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20160072412A1. Автор: Baugher Jeffrey Paul. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-10.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE AND MICRO-ELECTRO- MECHANICAL SYSTEM COMPENSATION STRUCTURE

Номер патента: US20150097586A1. Автор: Tsai Ming-Han,Hsu Hsin-Hui,Sun Chih-Ming. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2015-04-09.

SILICON CARBIDE-BASED COMBINED TEMPERATURE-PRESSURE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) SENSOR CHIP AND PREPARATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20220146352A1. Автор: Wu Chen,JIANG ZHUANGDE,ZHAO LIBO,SUN Hao,Zhu Nan,WANG SONGLI,FANG Xudong,FANG Ziyan,TIAN Bian,DENG Wubin,GAO Bonan,WU Junxia. Владелец: . Дата публикации: 2022-05-12.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) THERMAL SENSOR

Номер патента: US20200103290A1. Автор: KUO Shih-Chi,Hung Tsai-Hao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2020-04-02.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20190110116A1. Автор: JR. John C.,Baumhauer,LI Fengyuan,MARCUS Larry A.,MICHEL Alan D.,REESE Marc. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-11.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Circuit and Method for Reconstructing an Interference Variable

Номер патента: US20180213324A1. Автор: Wiesbauer Andreas,Straeussnigg Dietmar,De Milleri Niccoló. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-26.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE WITH VARYING HEIGHT ASSEMBLIES

Номер патента: US20180249235A1. Автор: LI Fengyuan,REESE Marc,Baumhauer John,Iraclianos Spiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-08-30.

RAISED SHOULDER MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20160353212A1. Автор: Lautenschlager Eric J.,Vos Sandra F.. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2016-12-01.

Micro electro mechanical system sensor apparatus of differential capacitive type with capacitance compensator micro electro mechanical system structure

Номер патента: KR100501201B1. Автор: 박호준,채경수. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2005-07-18.

Gradient micro-electro-mechanical systems (mems) microphone

Номер патента: EP2822298A1. Автор: Alan D. Michel,Marc REESE,Fengyuan LI,John C. Baumhauer,Larry A. Marcus. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2015-01-07.

Micro-electro-mechanical-system (mems) mirror device and methods for fabricating the same

Номер патента: WO2001056919A3. Автор: Noel MacDonald,Seung Bok Lee,John E Bowers,Roger Jonathan Helkey,Charles M Corbalis,Robert Kehl Sink. Владелец: Robert Kehl Sink. Дата публикации: 2002-03-28.

Gradient micro-electro-mechanical systems (mems) microphone with varying height assemblies

Номер патента: EP3471439B1. Автор: Marc REESE,John Baumhauer,Fengyuan LI,Spiro Iraclianos. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2023-09-06.

Cap module for micro electro mechanical system and micro electro mechanical system sensor having the same

Номер патента: US20150274510A1. Автор: Jong Woon Kim,Jae Chang Lee,Jong Hyeong Song,Hyun Kee Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2015-10-01.

Micro electro mechanical system

Номер патента: US09500666B2. Автор: Heewon JEONG,Munenori Degawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2016-11-22.

Over-current protection of micro electro-mechanical systems

Номер патента: AU2001294721A1. Автор: Harry Rodriguez,P. Kingston Duffie,Ramon C.W. Chea,Robert Crofford. Владелец: Turnstone Systems Inc. Дата публикации: 2002-04-08.

Capacitive micro-electro-mechanical system microphone and method for manufacturing the same

Номер патента: US09888324B2. Автор: WEI Hu,Gang Li. Владелец: Memsensing Microsystems Suzhou China Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-06.

Wafer level micro-electro-mechanical systems package with accelerometer and gyroscope

Номер патента: US09726689B1. Автор: Peter Harper,Hemant Desai,Demetre Kondylis. Владелец: Hanking Electronics Ltd. Дата публикации: 2017-08-08.

Micro electro mechanical system

Номер патента: US09493339B2. Автор: Tamio Ikehashi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2016-11-15.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS SENSOR MODULE PACKAGE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20150153378A1. Автор: Park Heung Woo,Jo Eun Jung,Kim Tae Hyun. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-06-04.

DRAM including micro-electro mechanical system and method of manufacturing the same

Номер патента: KR101419894B1. Автор: 김동원,이지명,서준,김민상,조근휘,장원위,배현준. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2014-07-16.

In-vivo MEMS (micro electro mechanical system) micro-vibration energy collection based cardiac pacemaker energy system

Номер патента: CN105680721A. Автор: 荆高山,尤政,尤睿,崔天宏. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2016-06-15.

Fabrication method of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) double layer suspended micro structure and MEMS infrared detector

Номер патента: CN105712284A. Автор: 荆二荣. Владелец: Wuxi CSMC Semiconductor Co Ltd. Дата публикации: 2016-06-29.

SYSTEMS AND APPARATUS HAVING TOP PORT INTEGRATED BACK CAVITY MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONES AND METHODS OF FABRICATION OF THE SAME

Номер патента: US20160165331A1. Автор: LIU Fang,LIM Martin. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-09.

Polymer linear actuator for micro electro mechanical system and micro manipulator for measurement device of cranial nerve signal using the same

Номер патента: US8774910B2. Автор: Dong-Won Lee,Jin-Seok Kim,Suk-Ho Park,Ju-hee Hong,Sung-wook Yang,Hee-Sup Shin,Suk-chan Lee,Hui-su Kim,Eui Sung Yoon. Владелец: Korea Advanced Institute of Science and Technology KAIST. Дата публикации: 2014-07-08.

Micro-phone using Micro Electro Mechanical Systems process and manufacturing method the same

Номер патента: KR100685092B1. Автор: 정연식. Владелец: 주식회사 케이이씨. Дата публикации: 2007-02-22.

Systems and apparatus having top port integrated back cavity micro electro-mechanical system microphones and methods of fabrication of the same

Номер патента: WO2016090011A1. Автор: Fang Liu,Martin Lim. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-06-09.

Method of fabricating multi function micro electro mechanical system sensor

Номер патента: KR100880044B1. Автор: 표현봉,박선희,전치훈,고상춘. Владелец: 한국전자통신연구원. Дата публикации: 2009-01-22.

Micro Electro Mechanical Systems Component and Manufacturing Method of the same

Номер патента: KR101506789B1. Автор: 이정원,최민규,한승훈,김종운. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2015-03-27.

Micro Electro Mechanical Systems Component and Manufacturing Method of the same

Номер патента: KR101506788B1. Автор: 이정원,최민규,한승훈,김종운. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2015-03-27.

Micro-electro-mechanical system microphone chip with expanded back chamber

Номер патента: US20130322661A1. Автор: Chun-Chieh Wang,Hung-Jen Chen,Kuan-Hsun Chiu,Min-Li Hsu. Владелец: Merry Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2013-12-05.

NEUROMORPHIC MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20220063989A1. Автор: SYLVESTRE Julien,BARAZANI Bruno,DION Guillaume. Владелец: SOCPRA Sciences et Genie S.E.C.. Дата публикации: 2022-03-03.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM BASED DEVICE FOR ADJUSTING APERTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20140139727A1. Автор: ZHANG LEI,Mao Jianhong,Han Fengqin,Tang Deming. Владелец: LEXVU OPTO MICROELECTRONICS TECHNOLOGY (SHANGHAI) LTD. Дата публикации: 2014-05-22.

Micro-electro-mechanical system based focusing device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20140139937A1. Автор: Lei Zhang,Deming Tang,Jianhong Mao,Fengqin Han. Владелец: Lexvu Opto Microelectronics Technology Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2014-05-22.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160085066A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-24.

ELECTRODE CONFIGURATION FOR TILTING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MIRROR

Номер патента: US20220099958A1. Автор: Woodside Shane H.,Jin Wenlin,WILLS Gonzalo,BLECHTA Jason. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

CAPACITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20160088402A1. Автор: Hu Wei,Li Gang. Владелец: MEMSensing Microsystems (Suzhou, China) Co., Ltd.. Дата публикации: 2016-03-24.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160097927A1. Автор: Graves Alan Frank. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH ENHANCED STRUCTURAL STRENGTH

Номер патента: US20150102701A1. Автор: Tsai Ming-Han,Hsu Hsin-Hui,Sun Chih-Ming,Wang WeiChung. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2015-04-16.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS SENSOR

Номер патента: US20150135834A1. Автор: Kim Jong Woon,Lim Chang Hyun,LEE Sung Jun,KIM Jong Beom. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-05-21.

INTEGRATED PACKAGE FORMING WIDE SENSE GAP MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE AND METHODOLOGIES FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20160142829A1. Автор: Bharatan Sushil,Khenkin Aleksey S.,Parker Jeremy,Berger Renata. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-19.

Micro-electro mechanical system device containing a bump stopper and methods for forming the same

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MICROMIRRORS AND MICROMIRROR ARRAYS

Номер патента: US20200150416A1. Автор: Zhou Tiansheng. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-14.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH ENHANCED STRUCTURAL STRENGTH

Номер патента: US20160173002A1. Автор: Tsai Ming-Han,Hsu Hsin-Hui,Sun Chih-Ming,Wang WeiChung. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2016-06-16.

Micro Electro Mechanical Systems Device and Apparatus for Compensating Tremble

Номер патента: US20140313355A1. Автор: LEE Jong Hyun,MOON Seung Hwan,PARK Hyun Kyu. Владелец: LG INNOTEK CO., LTD.. Дата публикации: 2014-10-23.

ADHESIVE BONDED MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20200218060A1. Автор: NYSTROM Michael James,BARAN Utku,Lee Seungwoo,Dyer Robert J.,LUIZZI Joseph Michael. Владелец: Microsoft Technology Licensing, LLC. Дата публикации: 2020-07-09.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS SENSOR

Номер патента: US20150241215A1. Автор: Kim Jong Woon,KIM Sung Wook,Han Seung Hun,Lim Chang Hyun,LEE Sung Jun. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-08-27.

TESTING METHOD AND UNIT FOR MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS

Номер патента: US20160291072A1. Автор: GUOLO Marco,FERRERO Carlo. Владелец: OSAI A.S. S.p.A.. Дата публикации: 2016-10-06.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE WITH DUAL BACKPLATES

Номер патента: US20170318395A1. Автор: Lafort Adrianus Maria,Moss Brian,Harney Kieran,Ivo De Roo Dion. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-02.

INTEGRATED PACKAGE FORMING WIDE SENSE GAP MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE AND METHODOLOGIES FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20160330550A1. Автор: Bharatan Sushil,Khenkin Aleksey S.,Parker Jeremy,Berger Renata. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-10.

COMBO MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20170328800A1. Автор: Lin Shih-Chieh,WU Chia-Yu,LI Cheng-Syun,Lo Chiung-Cheng. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-16.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICES

Номер патента: US20160345084A1. Автор: Dehe Alfons,Friza Wolfgang. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-24.

Micro electro mechanical systems sensor

Номер патента: US10336605B2. Автор: Jong Woon Kim,Chang Hyun Lim,Sung Jun Lee,Jong Beom Kim. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2019-07-02.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM SOUND WAVE TRANSDUCER

Номер патента: US20220360876A1. Автор: Lin Hsiao-Yi,CHOU Yao-Sheng,CHAN KWUN KIT,WEI YI FENG. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-10.

MEMS (micro electro mechanical system) microphone

Номер патента: CN103686570A. Автор: 潘政民,孟珍奎. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-26.

Micro-Electro Mechanical System microphone and Manufacturing Method thereof

Номер патента: KR101112120B1. Автор: 김홍성,김영신. Владелец: (주)세미로드. Дата публикации: 2012-04-10.

Micro electro mechanical systems magnetic field sensor

Номер патента: KR102042014B1. Автор: 서상원,고용준,서정기,최완섭,권승화,지칠영. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2019-11-08.

An independent two-axis micro-electro-mechanical systems mirror using an elctrostatic force

Номер патента: KR100759099B1. Автор: 박재형,박일흥. Владелец: 이화여자대학교 산학협력단. Дата публикации: 2007-09-19.

Micro-electro-mechanical-system two dimensional mirror with articulated suspension structures for high fill factor arrays

Номер патента: US7095546B2. Автор: Mohiuddin Mala,Thomas Ducellier,Alan Hnatiw,David Peale. Владелец: Metconnex Canada Inc. Дата публикации: 2006-08-22.

A micro-electro-mechanical-system two dimensional mirror with articulated suspension structures for high fill factor arrays

Номер патента: EP1620350A1. Автор: Mohiuddin Mala,Thomas Ducellier,Alan Hnatiw,David Peale. Владелец: Metconnex Canada Inc. Дата публикации: 2006-02-01.

Gimbal-less micro-electro-mechanical-system tip-tilt and tip-tilt-piston actuators and a method for forming the same

Номер патента: US20080061026A1. Автор: Veljko Milanovic,Gabriel Matus. Владелец: Adriatic Res Inst. Дата публикации: 2008-03-13.

Micro-electro-mechanical system triaxial acceleration sensor chip and manufacturing method thereof

Номер патента: CN112255432A. Автор: 华亚平,苏佳乐. Владелец: Anhui Xindong Lianke Microsystem Co ltd. Дата публикации: 2021-01-22.

Micro electro mechanical system

Номер патента: CN102119318B. Автор: 出川宗里,郑希元. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2013-10-30.

Micro electro mechanical systems device

Номер патента: US9035400B2. Автор: Jong Woon Kim,Po Chul Kim,Yu Heon Yi,Jun Lim. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2015-05-19.

An independent two-axis micro-electro-mechanical systems mirror using a piezoelectric force

Номер патента: KR100759095B1. Автор: 박재형,박일흥. Владелец: 이화여자대학교 산학협력단. Дата публикации: 2007-09-19.

Micro-electro-mechanical system with actuators

Номер патента: CN101568872A. Автор: M·T·约翰逊,M·F·吉利斯,M·W·G·庞杰,J·M·J·登图恩德,R·范迪克. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV. Дата публикации: 2009-10-28.

Capacitive micro-electro-mechanical system microphone, microphone monomer and electronic equipment

Номер патента: CN111885473B. Автор: 冷群文,丁凯文,邹泉波,周汪洋,安琪,赵海伦. Владелец: Goertek Microelectronics Inc. Дата публикации: 2021-11-16.

MEMS (micro electro mechanical System) integrated gas sensor and manufacturing method thereof

Номер патента: CN111044576A. Автор: 刘瑞. Владелец: Anhui Xinhuai Electronic Co ltd. Дата публикации: 2020-04-21.

Capacitive micro-electro-mechanical system microphone, microphone unit, and electronic device

Номер патента: WO2021253499A1. Автор: 邹泉波,王德信,党茂强. Владелец: 歌尔微电子有限公司. Дата публикации: 2021-12-23.

MEMS (micro electro mechanical System) integrated gas sensor and manufacturing method thereof

Номер патента: CN111044576B. Автор: 刘瑞. Владелец: Anhui Xinhuai Electronic Co ltd. Дата публикации: 2020-07-31.

Capacitive micro-electro-mechanical system for multimeter in electrical metrology field, has electrodes configured to obtain quadratic variation of capacity between electrodes based on relative displacement of electrodes

Номер патента: FR2946758A1. Автор: Alexandre Bounouh,Denis Belieres. Владелец: LABORATOIRE NATIONAL DE METROLOGIE ET D'ESSAIS. Дата публикации: 2010-12-17.

Demodulator for adjusting phase by using micro-electro-mechanical systems chip

Номер патента: WO2012088669A1. Автор: 陈彬,任晓晖. Владелец: 昂纳信息技术（深圳）有限公司. Дата публикации: 2012-07-05.

Micro electro-mechanical system mirror and scanning actuator employing the same

Номер патента: WO2009107922A1. Автор: Woo-Kyu Kim,Jin-Won Lee. Владелец: Samsung Electronics Co, . Ltd.. Дата публикации: 2009-09-03.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) microphone element and manufacturing method thereof

Номер патента: CN104902414A. Автор: 郑国光. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2015-09-09.

Micro-electro-mechanical system structure

Номер патента: US20230319450A1. Автор: Jien-Ming Chen,Chih-Yuan Chen,Wen-Shan Lin,Nai-Hao Kuo,Feng-Chia Hsu,Chun-Kai Mao. Владелец: Fortemedia Inc. Дата публикации: 2023-10-05.

Microelectronic module, matrix modules and method of influencing flow

Номер патента: RU2713576C2. Автор: Ральф КАСПАРИ,Роберт ВАЙХВАЛЬД,Эмануэль ЭРМАНН,Карин БАУЭР. Владелец: Эйрбас Дефенс Энд Спэйс Гмбх. Дата публикации: 2020-02-05.

Microelectromechanical systems (“MEMS”) device having a built-in self-test (“BIST”) and a method of application of a BIST to measure MEMS health

Номер патента: US11975963B2. Автор: John J. Albers,Jorge GRILO. Владелец: Knowles Electronics LLC. Дата публикации: 2024-05-07.

Optical system for object detection and location using a Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Micro-Mirror Array (MMA) beamsteering device

Номер патента: US12066574B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-08-20.

Z-axis angular rate micro electro-mechanical systems (mems) sensor

Номер патента: WO2005040715A2. Автор: Vasile Nistor,Eric P. Chojnacki,June P. Shen-Epstein,Nenad Nenadic,Nathan L. Stirling. Владелец: Kionix, Inc.. Дата публикации: 2005-05-06.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) device including an internal anchor area

Номер патента: US09562926B2. Автор: Chiung-Cheng Lo,Yu-Fu Kang,Chiung-Wen Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-02-07.

Optical zoom system using an adjustable reflective fresnel lens implemented with a micro-electro-mechanical system (MEMs) micro-mirror array (MMA)

Номер патента: US11921284B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Eric Rogala. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2024-03-05.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical systems (mems) mirror control

Номер патента: KR20200060259A. Автор: 노르버트 드루믈,필립 그라이너,레브제니아 막시모바. Владелец: 인피니온 테크놀로지스 아게. Дата публикации: 2020-05-29.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical system (MEMS) mirror control

Номер патента: CN111198441A. Автор: N·德鲁梅尔,P·格雷纳,I·马克西默瓦. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-05-26.

Z-axis angular rate micro electro-mechanical systems (MEMS) sensor

Номер патента: US20050066728A1. Автор: Vasile Nistor,Nenad Nenadic,June Shen-Epstein,Eric Chojnacki,Nathan Stirling. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2005-03-31.

An ac, dc input and ac output rate gyro module based on micro-electro-mechanical systems (mems) sensor

Номер патента: WO2020012506A1. Автор: Vanamala Madhusudana RAO. Владелец: Chairman, Defence Research And Development Organisation. Дата публикации: 2020-01-16.

OPTICAL ZOOM SYSTEM USING AN ADJUSTABLE REFLECTIVE FRESNEL LENS IMPLEMENTED WITH A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAY (MMA)

Номер патента: US20220299756A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Rogala Eric. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-22.

Micro electro-mechanical system (mems) based high definition micro-projectors

Номер патента: WO2009117351A2. Автор: Shahyaan Desai. Владелец: Mezmeriz, Inc.. Дата публикации: 2009-09-24.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (MEMS) to heal wounds

Номер патента: CN102137687B. Автор: 兰德尔·P·科尔奇. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2014-08-27.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (MEMS) to heal wounds

Номер патента: CN102137687A. Автор: 兰德尔·P·科尔奇. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2011-07-27.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (mems) to heal wounds

Номер патента: CA2735898A1. Автор: Randall P. Kelch. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2010-04-08.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (mems) to heal wounds

Номер патента: EP2331162A1. Автор: Randall P. Kelch. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2011-06-15.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (mems) to heal wounds

Номер патента: CA2735898C. Автор: Randall P. Kelch. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

PIXEL FOR REALIZING A FULL-COLOR DISPLAY, MICRO- ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) INCLUDING THE SAME AND FABRICATION METHODS THEREOF, AND METHOD TO REALIZE FULL-COLOR DISPLAY WITH SINGLE PIXEL

Номер патента: US20170031184A1. Автор: LO Cheng-Yao,Hung Chien-Wei,CHEN Yi-Chu. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

Miniaturized Integrated Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) Optical Sensor Array

Номер патента: US20140147337A1. Автор: Alaca Burhanettin Erdem,Urey Hakan,TIMURDOGAN Erman. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2014-05-29.

ULTRA-BROADBAND SILICON WAVEGUIDE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) PHOTONIC SWITCH

Номер патента: US20220269007A1. Автор: Sun Yi,Dai Daoxin. Владелец: Zhejiang University. Дата публикации: 2022-08-25.

ADAPTIVE AND CONTEXT-AWARE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MIRROR CONTROL

Номер патента: US20200159005A1. Автор: Greiner Philipp,Druml Norbert,MAKSYMOVA Ievgeniia. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MIRROR AND MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM REFLECTIVE DEVICE

Номер патента: US20150286049A1. Автор: SHEU YI-ZHONG. Владелец: HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.. Дата публикации: 2015-10-08.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ACTUATOR THAT ROTATES DISCRETE OPTICAL ELEMENTS

Номер патента: US20180329147A1. Автор: Lee Ho-Shang,Schleicher Robert E.,Lee Jeffrey B.,Hsia Rong Ping. Владелец: DICON FIBEROPTICS, INC.. Дата публикации: 2018-11-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20160370397A1. Автор: Lin Shih-Chieh,Lo Chiung-Cheng. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2016-12-22.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical systems (mems) mirror control

Номер патента: KR102350443B1. Автор: 노르버트 드루믈,필립 그라이너,레브제니아 막시모바. Владелец: 인피니온 테크놀로지스 아게. Дата публикации: 2022-01-14.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110187556A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick L. Covington,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-04.

Method and apparatus for uniformizing output signal levels of micro-electro mechanical systems (MEMS) capacitive sensors

Номер патента: US6848317B2. Автор: Kyoung Soo Kim. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2005-02-01.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) device

Номер патента: US9702889B2. Автор: Shih-Chieh Lin,Chiung-Cheng Lo. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-07-11.

Mass for use in a micro-electro-mechanical-system sensor and 3-dimensional micro-electro-mechanical-system sensor using same

Номер патента: US20110162453A1. Автор: Chuan-Wei Wang,Sheng-Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2011-07-07.

Micro Electro Mechanical System (MEMS) Scanning Mirror Device

Номер патента: JP3895742B2. Автор: チュンフーイー. Владелец: アドヴァンスドニュ−マイクロシステムズインコ−ポレイテッド. Дата публикации: 2007-03-22.

High performance controller for shifting resonance in micro-electro-mechanical systems (MEMS) devices

Номер патента: US7047097B2. Автор: Mark W. Heaton. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2006-05-16.

Micro electro-mechanical systems (MEMS) force balance accelerometer

Номер патента: EP2175284A1. Автор: Paul W. Dwyer,Ryan Roehnelt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-04-14.

Two-Element F-Theta Lens Used For Micro-Electro Mechanical System (MEMS) Laser Scanning Unit

Номер патента: US20090244672A1. Автор: Bo-Yuan Shih,Shon-Woei Shyu. Владелец: E Pin Optical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2009-10-01.

Two-element f-theta lens used for micro-electro mechanical system (mems) laser scanning unit

Номер патента: US20100085621A1. Автор: San-Woei Shyu,Bo-Yuan Shih. Владелец: E Pin Optical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2010-04-08.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with electrostatic control of proof mass

Номер патента: EP3615945B1. Автор: Ashwin Arunkumar SESHIA,Xudong Zou. Владелец: Silicon Microgravity Ltd. Дата публикации: 2024-05-29.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer

Номер патента: GB201706732D0. Автор: . Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2017-06-14.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer

Номер патента: EP3615944A1. Автор: Ashwin Arunkumar SESHIA,Xudong Zou. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2020-03-04.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer

Номер патента: US11614463B2. Автор: Xudong Zou,Ashwin Arunkuman Seshia. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2023-03-28.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with suspended sensor arrangement

Номер патента: WO2018197861A1. Автор: Ashwin Arunkumar SESHIA,Xudong Zou. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2018-11-01.

Torsional oscillator micro electro mechanical systems accelerometer

Номер патента: US20200393247A1. Автор: Clinton Blankenship. Владелец: US Department of Army. Дата публикации: 2020-12-17.

Micro electro mechanical system catalytic combustible gas sensor using porous membrane embedded micro-heater

Номер патента: US20140208838A1. Автор: Jong Dae Kim,Hyung-Kun Lee,Seung Eon MOON,Jae Woo Lee,Woo Seok Yang,Nak Jin CHOI. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute ETRI. Дата публикации: 2014-07-31.

Capacitance-type absolute-pressure micro-pressure gas pressure sensor based on SOI-MEMS (Silicon on Insulator-Micro-Electro-Mechanical System) technology

Номер патента: CN106568548A. Автор: 王建,陈艳,孟丽娜,焦海龙,杨挺,尹玉刚,金小锋,张世名,邹江波. Владелец: Aerospace Long March Launch Vehicle Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-19.

Permanent seafloor seismic recording system utilizing micro electro-mechanical systems seismic sensors and method of deploying same

Номер патента: CA2499910C. Автор: Ronald G. Schmidt,Magne Oldervoll,Thomas E. O'brien,Leon Lovheim,Allen James Bishop,William P. Campbell,Douglas S. Wheeler,Geoffrey M. Nightingale. Владелец: Ion Geophysical Corp. Дата публикации: 2014-12-09.

ELECTRIC GRADIENT FORCE DRIVE AND SENSE MECHANISM FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM GYROSCOPE

Номер патента: US20150000401A1. Автор: Nguyen Hung,Perahia Raviv,Kirby Deborah J.,Iyer Srikanth S.,Chang David T.. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-01.

Variable optical attenuator in micro-electro-mechanical systems and method of making the same

Номер патента: TW580596B. Автор: Hawk Chen,Hsuan-Hsi Chang. Владелец: Delta Electronics Inc. Дата публикации: 2004-03-21.

Micro-electro-mechanical system device with flexible member and method of making same

Номер патента: US20040032639A1. Автор: James Liddle,Raymond Cirelli,Michael Schlax. Владелец: Agere Systems LLC. Дата публикации: 2004-02-19.

Micro-electro-mechanical-systems based hydraulic control system for a dry dual clutch transmission

Номер патента: US8844694B2. Автор: Farzad Samie,Chunhao J. Lee,Kumaraswamy V. Hebbale,Andrew L. Bartos,Dongxu Li,Chi-Kuan Kao,Kevin B. Rober. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2014-09-30.

Micro-electro-mechanical-systems based hydraulic control system for a dry dual clutch transmission

Номер патента: CN102454772A. Автор: 李东旭,F.萨米,C.J.李,K.V.赫巴尔,A.L.巴托斯,C-K.考,K.B.罗伯. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-05-16.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM TILTABLE LENS

Номер патента: US20130224896A1. Автор: Gambino Jeffrey P.,Rankin Jed H.,Ellis-Monaghan John J.,Peterson Kirk D.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-08-29.

REDUCING RESONANCE PEAKS AND DRIVE TONES FROM A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM GYROSCOPE RESPONSE

Номер патента: US20170030714A1. Автор: Tsinker Vadim. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH ELECTRICAL COMPENSATION AND READOUT CIRCUIT THEREOF

Номер патента: US20170030741A1. Автор: LIN CHIUNG-WEN,WU Chia-Yu,Lo Chiung-C.. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20170038210A1. Автор: JEONG Heewon,Degawa Munenori. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-09.

STRESS REDUCED DIAPHRAGM FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SENSOR

Номер патента: US20200056935A1. Автор: Bharatan Sushil,Rombach Pirmin. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

Micro Electro Mechanical System

Номер патента: US20140174181A1. Автор: JEONG Heewon,Degawa Munenori. Владелец: Hitachi, Ltd. Дата публикации: 2014-06-26.

HIGH PERFORMANCE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS ACCELEROMETER WITH ELECTROSTATIC CONTROL OF PROOF MASS

Номер патента: US20200096536A1. Автор: Zou Xudong,Seshia Ashwin Arunkuman. Владелец: Cambridge Enterprise Limited. Дата публикации: 2020-03-26.

STICTION DETECTION AND RECOVERY IN A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20180113147A1. Автор: ENJALBERT JEROME ROMAIN. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-26.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20170122974A1. Автор: Lin Shih-Chieh. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-04.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150138623A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-05-21.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150139585A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-05-21.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with suspended sensor arrangement

Номер патента: US20200124634A1. Автор: Ashwin Arunkumar SESHIA,Xudong Zou. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2020-04-23.

DISPLAY APPARATUS HAVING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20160140914A1. Автор: CHAI Chong-Chul,SHIN Kyoung-Ju,Kim Eun-Ju. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-19.

HIGH PERFORMANCE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS ACCELEROMETER

Номер патента: US20200166537A1. Автор: Zou Xudong,Seshia Ashwin Arunkuman. Владелец: Cambridge Enterprise Limited. Дата публикации: 2020-05-28.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MICROMIRRORS AND MICROMIRROR ARRAYS

Номер патента: US20150234176A1. Автор: Zhou Tiansheng. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM OPTICAL SWITCH AND SWITCHING NODE

Номер патента: US20170235058A1. Автор: Zhang Peng,Jiang Chendi. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-17.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150253567A1. Автор: Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-09-10.

TRACEABLE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS FOR USE IN SUBTERRANEAN FORMATIONS

Номер патента: US20170356287A1. Автор: Roddy Craig Wayne. Владелец: Halliburton Energy Services, Inc.. Дата публикации: 2017-12-14.

TORSIONAL OSCILLATOR MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS ACCELEROMETER

Номер патента: US20200393247A1. Автор: BLANKENSHIP CLINTON. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-17.

Micro electro mechanical system

Номер патента: JP4560958B2. Автор: 敏之帰山. Владелец: 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社. Дата публикации: 2010-10-13.

Micro Electro Mechanical Systems device

Номер патента: KR101482378B1. Автор: 임창현,한승훈,김종운,정원규. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2015-01-13.

Indoor navigation method based on a micro electro mechanical system, WiFi (Wireless Fidelity) positioning and magnetic field matching

Номер патента: CN105043380A. Автор: 张鹏,庄园,李由,牛小骥,程政. Владелец: Wuhan University WHU. Дата публикации: 2015-11-11.

A micro electro mechanical system display cell and method for fabricating thereof

Номер патента: KR100653342B1. Автор: 린웬-지안,짜이슝-쾅. Владелец: 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크.. Дата публикации: 2006-12-06.

Micro electro mechanical systems am modulator and magnetic field sensor having the same

Номер патента: KR102070648B1. Автор: 김철,서상원,고용준,서정기,최완섭,박소연,지칠영. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2020-01-30.

Transparent Type Display Device Using Micro Electro-mechanical System

Номер патента: KR100724743B1. Автор: 함용성,김제홍. Владелец: 엘지.필립스 엘시디 주식회사. Дата публикации: 2007-06-04.

Micro electro mechanical systems current sensor

Номер патента: KR102052967B1. Автор: 서상원,서정기. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2019-12-09.

Micro electro mechanical systems am modulator and magnetic field sensor having the same

Номер патента: KR20150021851A. Автор: 김철,서상원,고용준,서정기,최완섭,박소연,지칠영. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2015-03-03.

Heat based on MEMS (micro electro mechanical system) is taken into account about manufacturing and application

Номер патента: CN103392114B. Автор: 王斌,林巧. Владелец: Columbia University of New York. Дата публикации: 2016-01-20.

Micro-electro-mechanical system fluxgate geomagnetic tensor sensing chip

Номер патента: CN113253162A. Автор: 雷冲,刘佳宁. Владелец: Shanghai Jiaotong University. Дата публикации: 2021-08-13.

Micro-electro-mechanical system absolute pressure sensor, sensor single body and electronic equipment

Номер патента: CN111854925B. Автор: 冷群文,丁凯文,邹泉波,周汪洋,安琪,赵海伦. Владелец: Goertek Microelectronics Inc. Дата публикации: 2022-09-16.

Micro electro mechanical systems magnetic field sensor

Номер патента: KR20150080805A. Автор: 고용준. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2015-07-10.

Traceable micro-electro-mechanical systems for use in subterranean formations

Номер патента: WO2016122449A1. Автор: Craig Wayne Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services, Inc.. Дата публикации: 2016-08-04.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: US9213142B2. Автор: Alan Frank Graves,Dominic John Goodwill. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-15.

MEMS (micro-electro mechanical system) pressure sensor and forming method thereof

Номер патента: CN104655334B. Автор: 周文卿. Владелец: Mailson Electronics Tianjin Co ltd. Дата публикации: 2017-05-03.

Three-dimensional micro-electro-mechanical-system sensor

Номер патента: TWI467179B. Автор: Ming Han Tsai,Chih Ming Sun. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-01-01.

Preparation method for section shape analyzing sample of MEMS (micro electro mechanical systems) device

Номер патента: CN103543044A. Автор: 刘慧�,金志明. Владелец: Wuxi CSMC Semiconductor Co Ltd. Дата публикации: 2014-01-29.

Capacitive accelerometer of micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN110501522B. Автор: 裘进,郭慧芳. Владелец: SHANGHAI SIRUI TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2022-10-11.

Three-dimensional AMRMEMS (Anisotropic Magneto Resistive Micro-Electro-Mechanical System) three-axis magnetometer structure and magnetometer

Номер патента: CN103528575A. Автор: 王俊杰. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2014-01-22.

Traceable micro-electro-mechanical systems for use in subterranean formations

Номер патента: GB2547584B. Автор: Wayne Roddy Craig. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2020-10-28.

Magnetic flux cable force detecting device based on MEMS (Micro Electro Mechanical System) acceleration sensor correction

Номер патента: CN105527047A. Автор: 李松,刘国勇,刘文峰,杨圣超,王辅宋,刘付鹏. Владелец: CCCC Road and Bridge Consultants Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-27.

Sensor arrangement i.e. micro electro mechanical system sensor arrangement, for e.g. automobile, has fastening arrangement whose attaching element is firmly integrated into housing of sensing unit, below sensor electronic unit

Номер патента: DE102011081305A1. Автор: Mathias Bruendel. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2013-02-28.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: EP3117253A1. Автор: Alan Frank Graves. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-18.

Micro-electro-mechanical-systems based hydraulic control for a powertrain

Номер патента: CN102454774A. Автор: 李东旭,F.萨米,C.J.李,K.V.赫巴尔,A.L.巴托斯,C-K.考,K.B.罗伯. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-05-16.

Micro electro mechanical systems element for measuring three-dimensional vectors

Номер патента: EP2138851A1. Автор: Atsuo Hattori. Владелец: Yamaha Corp. Дата публикации: 2009-12-30.

Three-dimensional micro-electro-mechanical-system sensor

Номер патента: US9010185B2. Автор: Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-04-21.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) gyroscope random error compensating method based on improved particle filter

Номер патента: CN104048676A. Автор: 李强,周阳,李伟东,徐定杰,沈锋,韩浩,兰晓明,刘向锋,张金丽,刘明凯,桑靖,迟晓彤. Владелец: Harbin Engineering University. Дата публикации: 2014-09-17.

Micro electro mechanical systems device

Номер патента: KR20150025619A. Автор: 고용준,서정기. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2015-03-11.

Micro-electro-mechanical system magnetoresistive sensor, sensor single body and electronic equipment

Номер патента: CN112014778A. Автор: 宋青林,冷群文,赵海轮,丁凯文,邹泉波,周汪洋,安琪,王喆. Владелец: Goertek Microelectronics Inc. Дата публикации: 2020-12-01.

Inertia MEMS (micro-electro-mechanical system) sensor and making method thereof

Номер патента: CN102530832B. Автор: 毛剑宏,唐德明. Владелец: Lexvu Opto Microelectronics Technology Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2014-06-18.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with electrostatic control of proof mass

Номер патента: WO2018197860A1. Автор: Ashwin Arunkumar SESHIA,Xudong Zou. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2018-11-01.

Built-in self test circuit and self test method for parallel plate capacitive MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) accelerometer

Номер патента: CN105823907A. Автор: 李佳,余丹. Владелец: Jiangsu IoT Research and Development Center. Дата публикации: 2016-08-03.

Nine-top MEMS (micro-electro mechanical system) inertial measuring device based on orthogonal rotation

Номер патента: CN104316052A. Автор: 刘萍,宋春雨,程建华,李美玲,孙湘钰,齐兵,于天琦,王通达,徐英蛟,董金鲁. Владелец: Harbin Engineering University. Дата публикации: 2015-01-28.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with suspended sensor arrangement

Номер патента: EP3615946A1. Автор: Ashwin Arunkumar SESHIA,Xudong Zou. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2020-03-04.

Micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20170122974A1. Автор: Shih-Chieh Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-05-04.

Method and apparatus for using shuttered windows in a micro-electro-mechanical system

Номер патента: EP1003044B1. Автор: Joel A. Kubby,Eric Peeters,Stanley J. Wallace,Fred F. Hubble Iii,Alan J. Werner Jr.,Enrique R. Viturro. Владелец: Xerox Corp. Дата публикации: 2008-07-02.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with electrostatic control of proof mass

Номер патента: GB201706740D0. Автор: . Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2017-06-14.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with electrostatic control of proof mass

Номер патента: US20200096536A1. Автор: Xudong Zou,Ashwin Arunkuman Seshia. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2020-03-26.

Method of metallic product manufacture, metallic product, method of connection of metallic parts, and design with connection

Номер патента: RU2325257C2. Автор: Акихиро ГОТО,Хироюки ОТИАИ,Мицутоси ВАТАНАБЕ,Масао АКИЙОСИ,Тацуто УРАБЕ. Владелец: Исикавадзима-Харима Хэви Индастриз Ко., Лтд.. Дата публикации: 2008-05-27.

Method of drying cloth manufacturing and drying cloth with air holes from the backside for improved sheet stability

Номер патента: RU2324024C2. Автор: Морис ПАКУИН,Мэри М. ТОУНИ. Владелец: Олбэни Интернэшнл Корп.. Дата публикации: 2008-05-10.

Method of fabricating a device using low temperature anneal processes, a device and design structure

Номер патента: US20120180010A1. Автор: Yun-Yu Wang,Karen A. Nummy,Viorel Ontalus,Anthony G. Domenicucci,Shreesh Narasimha,Terence L. Kane. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2012-07-12.

Structures, design structures and methods of fabricating global shutter pixel sensor cells

Номер патента: WO2011034737A2. Автор: John Ellis-Monaghan,Richard Rassel,James Adkisson,Mark Jaffe. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2011-03-24.

Manufacturing apparatus and method of magnetic multi-layer film, evaluation method of thin-film manufacturing, and control method of manufacturing thin-film

Номер патента: TW200733084A. Автор: Shigeru Mizuno,Takaaki Tsunoda. Владелец: Anelva Corp. Дата публикации: 2007-09-01.

Method of electrical trimming of sensitivity and frequency response for piezoelectric MEMS

Номер патента: US12075212B2. Автор: Niccolo de Milleri,Andreas Bogner,Christian Bretthauer,Gabriele Bosetti. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-08-27.

Method of electrical trimming of sensitivity and frequency response for piezoelectric mems

Номер патента: US20230262397A1. Автор: Niccolo de Milleri,Andreas Bogner,Christian Bretthauer,Gabriele Bosetti. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2023-08-17.

Cathode hearth, method of cathode hearth manufacturing and its use in electrolytic cell for aluminium manufacturing

Номер патента: RU2567777C2. Автор: Освин ЭТТИНГЕР,Франк ХИЛТМАН. Владелец: Сгл Карбон Се. Дата публикации: 2015-11-10.

Sanitary element, especially jet-regulating or jet-forming, for flowing liquid media, method of such element manufacturing and its application

Номер патента: RU2372449C2. Автор: Оливер ДЕНЦЛЕР. Владелец: НЕОПЕРЛЬ ГМБХ. Дата публикации: 2009-11-10.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Sensor and Method for Making Same

Номер патента: US20110183455A1. Автор: Chuan Wei WANG. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2011-07-28.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Structures And Design Structures

Номер патента: US20150035122A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140332913A1. Автор: Stamper Anthony K.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-11-13.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160264405A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160264406A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20160264410A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20150368090A1. Автор: Brigham Michael T.,White Eric J.,Stamper Anthony K.,Murphy William J.,JAHNES Christopher V.,MALING Jeffrey C.,LUCE Cameron E.. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-24.

Micro electro-mechanical system which includes an electromagnetically operated actuator mechanism

Номер патента: US20010022598A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2001-09-20.

Micro-electro-mechanical system device and micro-electro-mechanical system compensation structure

Номер патента: US09783409B2. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2017-10-10.

Micro electro mechanical system (MEMS) device and manufacture method of MEMS device

Номер патента: CN102616727B. Автор: 黄河,陈晓军,吴秉寰. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2015-04-29.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) chip

Номер патента: US9206032B1. Автор: Chiung-C. Lo,Yu-Fu Kang. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2015-12-08.

Micro-electro-mechanical system device with low substrate capacitive coupling effect

Номер патента: US20160090295A1. Автор: Hsin-Hui Hsu,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-03-31.

Micro-electro-mechanical system (mems) vibration sensor and fabricating method thereof

Номер патента: US20240208801A1. Автор: Hsien-Lung Ho,Hsi-Wen TUNG. Владелец: Upbeat Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES WITH THROUGH SUBSTRATE VIAS AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20170022049A1. Автор: Chu Chia-Hua,Chang Kuei-Sung,Lee Te-Hao. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-26.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20140203421A1. Автор: KALNITSKY Alex,SHU Chia-Pao,HUNG Chia-Ming,TAI Wen-Chuan,WANG Hung-Sen,CHEN Hsiang-Fu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2014-07-24.

WAFER LEVEL CHIP SCALE PACKAGED MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) DEVICE AND METHODS OF PRODUCING THEREOF

Номер патента: US20160297674A1. Автор: Man Piu Francis,Cheng Anru Andrew. Владелец: . Дата публикации: 2016-10-13.

Package and packaging method of micro electro mechanical system and micro electro mechanical system device

Номер патента: KR101298114B1. Автор: 이병기,최동훈,윤준보,양현호. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2013-08-20.

Manufacturing method of micro-electro-mechanical system device and micro-electro-mechanical system device made thereby

Номер патента: US9073750B2. Автор: Chiung-Cheng Lo,Kuan-Lin Chen. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2015-07-07.

METHOD FOR FABRICATING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20130260504A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-03.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM(MEMS) ACOUSTIC SENSOR AND FABRICATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20140061825A1. Автор: KIM Jong Dae,LEE Jae Woo,YANG Woo Seok,Je Chang Han. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2014-03-06.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

Номер патента: US20190002275A1. Автор: Chang Kai-Fung,TSAI Lien-Yao,LEU Len-Yi. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2019-01-03.

METHOD FOR FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE STRUCTURE

Номер патента: US20180148327A1. Автор: WANG I-Shi,Liu Jen-Hao,Chang Chih-Hang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2018-05-31.

CAP MODULE FOR MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM AND MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM SENSOR HAVING THE SAME

Номер патента: US20150274510A1. Автор: Kim Jong Woon,Song Jong Hyeong,LEE Jae Chang,Lee Hyun Kee. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-10-01.

METHOD FOR FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE

Номер патента: US20190315620A1. Автор: Chang Kai-Fung,TSAI Lien-Yao,LEU Len-Yi. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2019-10-17.

Integrated micro-electro-mechanical systems (mems) sensor device

Номер патента: US20100312468A1. Автор: Lakshman Withanawasam. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-12-09.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) package having metal sealing member

Номер патента: US7368816B2. Автор: Ohk Kun Lim,Suk Kee Hong. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2008-05-06.

Method for manufacturing micromechanical device, involves arranging micro-electro-mechanical system structures and bond contact surfaces respectively in rows on micro-electro-mechanical system-wafer

Номер патента: DE102009045541A1. Автор: Stefan Pinter,Christoph Friese,Joachim Fritz. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2011-04-14.

Micro-electro-mechanical systems (MEMS) device and process for fabricating the same

Номер патента: US7795063B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2010-09-14.

Micro-electro-mechanical system structure, method of manufacturing the same, and method of manufacturing integrated chip

Номер патента: CN110937568A. Автор: 朱家骅,蔡尚颖,张贵松. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-03-31.

Micro-electro-mechanical system device having differential capacitors of corresponding sizes

Номер патента: US20150069538A1. Автор: Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-03-12.

Micro-electro-mechanical-system sensor and method for making same

Номер патента: US20100213557A1. Автор: Chuan Wei WANG. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-08-26.

Micro electro mechanical system probe and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240174512A1. Автор: Ming-Wei Huang,Shang-Kuang Wu,Yu-Tsung Fu. Владелец: Taiwan Mask Corp. Дата публикации: 2024-05-30.

Micro-electro-mechanical system device with low substrate capacitive coupling effect

Номер патента: TW201612097A. Автор: Hsin-Hui Hsu,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-04-01.

Wafer lever fixture and method for packaging micro-electro-mechanical-system device

Номер патента: TW200849418A. Автор: Huseh-An Yang. Владелец: Advanced Semiconductor Eng. Дата публикации: 2008-12-16.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: EP3606868A4. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2021-01-13.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: IL287348A. Автор: . Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2021-12-01.

Micro-electro-mechanical-system device with particles blocking function and method for making same

Номер патента: US20110108934A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2011-05-12.

Micro-Electro-Mechanical-System Device with Particles Blocking Function and Method for Making Same

Номер патента: US20100148321A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-06-17.

Outgassing material coated cavity for a micro-electro mechanical system device and methods for forming the same

Номер патента: US20240367964A1. Автор: Hung-Hua Lin,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Tai-Bang An. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-11-07.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS COMPONENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20150344292A1. Автор: Kim Jong Woon,Lee Jung Won,Han Seung Hun,Choi Min Kyu. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-12-03.

Micro movable structure driving control method of micro electro mechanical system and control apparatus thereof

Номер патента: KR101732185B1. Автор: 도시유끼 가에리야마. Владелец: 도시유끼 가에리야마. Дата публикации: 2017-05-11.

Micro structure, micro electro mechanical system therewith, and manufacturing method thereof

Номер патента: KR20110133352A. Автор: 김종완,조승민. Владелец: 삼성테크윈 주식회사. Дата публикации: 2011-12-12.

METHODS OF FABRICATING MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM STRUCTURES

Номер патента: US20160009550A1. Автор: NI Chyi-Tsong,SU Ching-Hou,Chien Ting-Ying,Chiu Yi Hsun. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-14.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150021723A1. Автор: Cheng Chun-Ren. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-22.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20170036909A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-02-09.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150097215A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-04-09.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150137276A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-05-21.

STRUCTURES AND FORMATION METHODS OF MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150137280A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen,Tsai Shang-Ying,LIANG Chin-Wei. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-05-21.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150175405A1. Автор: Cheng Chun-Ren. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-06-25.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20170197821A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-07-13.

Manufacturing Method of Micro-Electro-Mechanical System Device

Номер патента: US20180201496A1. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2018-07-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM RESONANT SENSOR AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME

Номер патента: US20140360246A1. Автор: PARK Sang Gyu,Kwon Soon-Myung. Владелец: HYUNDAI MOTOR COMPANY. Дата публикации: 2014-12-11.

STRUCTURES AND FORMATION METHODS OF MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150284240A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen,Tsai Shang-Ying,LIANG Chin-Wei. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-10-08.

Preparation method of micro-electro-mechanical system sensor chip and sensor chip prepared by same

Номер патента: CN113562688A. Автор: 郑旭晶,蔡文玮,于友斌. Владелец: Lisheng Zhigan Technology Wuxi Co ltd. Дата публикации: 2021-10-29.

SYSTEMS, DEVICES, AND METHODS TO REDUCE DIELECTRIC CHARGING IN MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS DEVICES

Номер патента: US20210238027A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana Richard,Molinero-Giles David. Владелец: . Дата публикации: 2021-08-05.

Inattentive HF Concentration Vapors Phase Release of Micro-electro-mechanical Systems and Optical Systems

Номер патента: US20240140786A1. Автор: Tito BUSANI,Ravi Kiran Chityala. Владелец: UNM Rainforest Innovations. Дата публикации: 2024-05-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM HAVING MOVABLE ELEMENT INTEGRATED INTO LEADFRAME-BASED PACKAGE

Номер патента: US20130099333A1. Автор: Krenik William R.,Zuniga-Ortiz Edgar Rolando. Владелец: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED. Дата публикации: 2013-04-25.

Method for Making Micro-Electro-Mechanical System Device

Номер патента: US20130102100A1. Автор: Sheng Ta Lee,Chuan-Wei Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2013-04-25.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS DEVICE

Номер патента: US20140084393A1. Автор: Kim Jong Woon,LIM Jun,KIM Po Chul,Yi Yu Heon. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2014-03-27.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20170044004A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen,Peng Jung-Huei,Huang Yao-Te,Liu Yu-Chia,Hung Li-Min,Tsai Nien-Tsung. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-16.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20160060098A1. Автор: IKEHASHI Tamio. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2016-03-03.

Micro-electro-mechanical system device having differential capacitors of corresponding sizes

Номер патента: US20150069538A1. Автор: Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-03-12.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH LOW SUBSTRATE CAPACITIVE COUPLING EFFECT

Номер патента: US20160090295A1. Автор: Tsai Ming-Han,Hsu Hsin-Hui. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2016-03-31.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20220274827A1. Автор: Lu Wen-Hsiung,Cheng Ming-Da,Yang Ting-Li,Kang Chin Wei,Lin Cheng Jen,WU KAI-DI. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SENSOR DEVICES

Номер патента: US20180141802A1. Автор: Ilkov Nikolay,Lischka Georg,Lorenz Gunar. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM STRUCTURES AND APPLICATIONS THEREOF

Номер патента: US20220306451A1. Автор: Webb Mark A.,Bousse Luc Jan,Benerjee Arunava Steven. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-29.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM DEVICE WITH GUARD RING AND METHOD FOR MAKING SAME

Номер патента: US20150197420A1. Автор: Lee Sheng Ta,Wang Chuan Wei,Hsu Hsin Hui. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2015-07-16.

DEVICE COMPRISING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SUBSTRATE WITH PROTRUSIONS OF DIFFERENT HEIGHTS THAT HAS BEEN INTEGRATED WITH A COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20190185317A1. Автор: Johari-Galle Houri,SEEGER Joseph,Kim Bongsang,Shin Jongwoo,KANG Dongyang. Владелец: . Дата публикации: 2019-06-20.

COMPOSITE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20140284603A1. Автор: Hsu Yu-Wen,Huang Chao-Ta,Su Chung-Yuan,Lee Tzung-Ching. Владелец: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2014-09-25.

Outgassing material coated cavity for a micro-electro mechanical system device and methods for forming the same

Номер патента: US20210246014A1. Автор: Hung-Hua Lin,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Tai-Bang An. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-08-12.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS PACKAGE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20150232325A1. Автор: Chou Shih-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20200223687A1. Автор: Hsu Chang-Sheng,Lin Yuan-Sheng,Chen Weng-Yi,CHANG Jung-Hao. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-16.

INTEGRATED CHIP WITH MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM AND INTEGRATED CIRCUIT MOUNTED THEREIN AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20140332909A1. Автор: Hu Wei,Li Gang,Zhuang Rui-Fen,Mei Jia-Xin. Владелец: MEMSensing Microsystems (Suzhou, China) Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-11-13.

METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20180282154A1. Автор: PARK Sangtae,Heller Martin,Hocking Andrew,DeWall Jonah,Lynch Kristin. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-04.

Isolated Protrusion/Recession Features in a Micro Electro Mechanical System

Номер патента: US20180290880A1. Автор: Zheng Sandra,McDonald William C.,Oden Patrick Ian,Baker James Carl. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-11.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20150343857A1. Автор: TATEISHI Fuminori,Izumi Konami,Yamaguchi Mayumi. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-03.

Integrated micro electro-mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US7402449B2. Автор: Hiroshi Fukuda,Tsukasa Fujimori,Natsuki Yokoyama,Yuko Hanaoka,Takafumi Matsumura. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2008-07-22.

Integrated micro electro-mechanical system and manufacturing method thereof

Номер патента: US20090049911A1. Автор: Hiroshi Fukuda,Tsukasa Fujimori,Yuko Hanaoka,Takafumi Matsumura,Natsuki Yokohama. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2009-02-26.

Method for making micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US8303827B2. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2012-11-06.

Silicon chip of micro electro mechanical system and preparation method thereof

Номер патента: CN110980633A. Автор: 戴维·兰姆·马克斯. Владелец: Qst Corp [cn/cn]. Дата публикации: 2020-04-10.

Packaging method and package thereof micro electro mechanical systems devices

Номер патента: KR100884260B1. Автор: 이병기,윤준보. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2009-02-17.

Car inflatable bag/medical/aircraft micro electro mechanical system components having substrate assembly sensitive element/electrical connection contact pad with limiting channel/covering cap

Номер патента: FR2849014A1. Автор: Bernard Diem,Gilles Delapierre. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2004-06-25.

MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) structure and manufacturing method thereof

Номер патента: CN105174197A. Автор: 陈巧,丁金玲,谢会开,程进,徐乃涛,孙其梁. Владелец: WUXI WIO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-23.

Micro-electro-mechanical system encapsulation structure and method for manufacturing same

Номер патента: WO2021218161A1. Автор: 贺有静,范文喆. Владелец: 青岛歌尔微电子研究院有限公司. Дата публикации: 2021-11-04.

Micro-electro-mechanical system sensor devices

Номер патента: US10214413B2. Автор: Gunar Lorenz,Nikolay Ilkov,Georg Lischka. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2019-02-26.

Manufacturing method based on micro electro mechanical system device

Номер патента: CN113735056A. Автор: 罗宇晖. Владелец: Suzhou Yingshi Information Technology Co ltd. Дата публикации: 2021-12-03.

Micro electro mechanical system tribotester and semiconductor package having the tribotester

Номер патента: KR101285589B1. Автор: 김대은,유신성. Владелец: 연세대학교 산학협력단. Дата публикации: 2013-07-23.

Forming a micro electro mechanical system

Номер патента: US8084285B2. Автор: Sriram Ramamoorthi,Donald J. Milligan. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2011-12-27.

Micro electro mechanical system sheet and preparation method thereof

Номер патента: CN103523738B. Автор: 周国平,张新伟,夏长奉,代丹. Владелец: Wuxi CSMC Semiconductor Co Ltd. Дата публикации: 2016-07-06.

Method for making micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20100120257A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-05-13.

Micro electro-mechanical system packaging and interconnect

Номер патента: EP1919821A1. Автор: Chien-Hua Chen,Henry Kang,John G. Bamber. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2008-05-14.

PT symmetrical lateral movement micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN111732070A. Автор: 王立峰,黄庆安,张曼娜,汪金泉. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2020-10-02.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: EP3606868A1. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2020-02-12.

Packaging method and packaging structure of micro-electro-mechanical system sensor

Номер патента: CN111115556A. Автор: 王德信,邱文瑞. Владелец: Qingdao Goertek Intelligent Sensor Co Ltd. Дата публикации: 2020-05-08.

Wafer lever fixture and method for packaging micro-electro-mechanical-system devices

Номер патента: US20090215228A1. Автор: Hsueh An Yang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2009-08-27.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: AU2020290475A1. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2021-11-11.

Flexible extensible micro-electro-mechanical system ultrasonic array and medical ultrasonic diagnostic equipment

Номер патента: CN114950925A. Автор: 金鹏,王鹏,冯雪,焦阳,简巍. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2022-08-30.

Semiconductor device carrying a micro electro mechanical system

Номер патента: EP1927575B1. Автор: Hiroshi c/o Hitachi Ltd. Fukuda,Tsukasa c/o Hitachi Ltd. Fujimori,Yuko c/o Hitachi Ltd. Hanaoka. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-01-25.

Outgassing material coated cavity for a micro-electro mechanical system device and methods for forming the same

Номер патента: US11827513B2. Автор: Hung-Hua Lin,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Tai-Bang An. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-28.

Outgassing material coated cavity for a micro-electro mechanical system device and methods for forming the same

Номер патента: US20220024756A1. Автор: Hung-Hua Lin,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Tai-Bang An. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-01-27.

Outgassing material coated cavity for a micro-electro mechanical system device and methods for forming the same

Номер патента: US20230365398A1. Автор: Hung-Hua Lin,Chun-Wen Cheng,Kuei-Sung CHANG,Tai-Bang An. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-16.

Micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20240140781A1. Автор: Jia Jie Xia. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2024-05-02.

Signal processing method of multiple mirco-electro-mechanical system (MEMS) devices and combo MEMS device applying the method

Номер патента: US09563102B2. Автор: Chia-Yu Wu,Yu-Wen Hsu,Ying-Che Lo,Lu-Po Liao. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-02-07.

Electro-mechanical device having a charge dissipation layer and a method of manufacture therefor

Номер патента: US20040047546A1. Автор: Wei Zhu,Sungho Jin,Herbert Shea,Arman Gasparyan,Robert Van Dover. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2004-03-11.

MEMS pressure sensor and method of manufacturing the same

Номер патента: US09718669B2. Автор: Chia-Hua Chu,Tung-Tsun Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Miniaturized integrated micro electo-mechanical systems (MEMS) optical sensor array for viscosity and mass detection

Номер патента: US09846115B2. Автор: Hakan Urey,Goksenin YARALIOGLU. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2017-12-19.

Encapsulated mems band-pass filter for integrated circuits and method of fabrication thereof

Номер патента: CA2344737C. Автор: James L. Speidell,Kevin K. Chan,Leathen Shi,Christopher Jahnes,James F. Ziegler. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2005-07-19.

Nacre composites, methods of synthesis, and methods of use

Номер патента: US20120067519A1. Автор: Francois Barthelat,Horacio Dante Espinosa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-03-22.

Mems pressure sensor and method of manufacturing the same

Номер патента: US20170190567A1. Автор: Chia-Hua Chu,Tung-Tsun Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-07-06.

System and method for sensing vital signs of human and animal using an array of 3d-micro electro-mechanical system (mems) sensors for remote health monitoring

Номер патента: US20240115207A1. Автор: Hung Cao Nguyen. Владелец: Onsky Health International. Дата публикации: 2024-04-11.

Capacitive resonators and methods of fabrication

Номер патента: US7023065B2. Автор: Farrokh Ayazi,Siavash Pourkamali Anaraki. Владелец: Georgia Tech Research Corp. Дата публикации: 2006-04-04.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments.

Номер патента: MX345470B. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2017-02-01.

Blood pressure gauge with micro-electro-mechanical system (mems) microphone

Номер патента: EP2842482A4. Автор: Chia-Ming Lin. Владелец: MICROLIFE INTELLECTUAL PROPERTY GMBH. Дата публикации: 2016-03-30.

METHOD OF CONTROLLING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VALVE

Номер патента: US20150316167A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Olson Bret M.,SONG Xingyong,Fuller Edward N.. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-05.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US7712527B2. Автор: Craig W. Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2010-05-11.

Use of micro-electro-mechanical systems MEMS in well treatments

Номер патента: US8342242B2. Автор: Craig W. Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2013-01-01.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: US20080236814A1. Автор: Craig W. Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2008-10-02.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20100051266A1. Автор: Craig W. Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2010-03-04.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110186290A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-04.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192598A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Gordon Moake,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192593A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192594A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Clovis Bonavides,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192592A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Michael Bittar,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192597A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Batakrishna Mandal,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110199228A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-18.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US9732584B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8302686B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick L. Covington,Clovis Bonavides,Gordon Moake,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-11-06.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8297352B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Clovis Bonavides,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-10-30.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8297353B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Gordon Moake,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-10-30.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8316936B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick L. Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-11-27.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8291975B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick L. Covington,Michael Bittar,Batakrishna Mandal,Paul Rodney,William Tapie,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-10-23.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8162050B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Rick L. Covington,Clovis Bonavides,Batakrishna Mandal,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-04-24.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: EP2343434A1. Автор: Craig Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-07-13.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: EP2336487A1. Автор: Craig Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-06-22.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: EP2489828A1. Автор: Craig Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-08-22.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: WO2011058324A1. Автор: Craig Wayne Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Turner, Craig, Robert. Дата публикации: 2011-05-19.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: WO2012114068A2. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Turner, Craig Robert. Дата публикации: 2012-08-30.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: CA2827763A1. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-08-30.

Sphygmomanometer with micro-electro-mechanical systems (MEMS) microphone

Номер патента: CN103371813A. Автор: 林家名. Владелец: BOLU INTELLIGENCE ESTATE Co Ltd. Дата публикации: 2013-10-30.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: AU2012220382A1. Автор: Craig Wayne Roddy,Krishna M. Ravi,Rick Covington,Clovis Bonavides,Michael Bittar,Gordon Moake,Batakrishna Mandal. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2013-09-05.

System and method for urodynamic evaluation utilizing micro electro-mechanical system technology

Номер патента: US20080139875A1. Автор: Michael R. Tracey,Anthony DiUbaldi,Rex O. Bare,Bradley J. Sargent,Stephen Wahlgren. Владелец: Ethicon Inc. Дата публикации: 2008-06-12.

Powertrain system for e.g. passenger vehicle, has pilot valve including micro-electro-mechanical system-based device connected to hydraulic device, and regulating valve directing fluid to hydraulic device based on actuation of pilot valve

Номер патента: DE102011115575A1. Автор: Farzad Samie,Chunhao J. Lee,Kumaraswamy V. Hebbale,Andrew L. Bartos,Dongxu Li,Bret M. Olson,Chi-Kuan Kao,Kevin B. Rober. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-26.

Secure firing device for pyrotechnic device of micro-electro-mechanical system, has channel connecting initiator and explosive section, and set of actuators assuring progressive displacement of element under effect of control signal

Номер патента: FR2934042A1. Автор: Julien Gamet. Владелец: Memscap SA. Дата публикации: 2010-01-22.

Method of determining stopping powers of design structures with respect to a traveling particle

Номер патента: US20080163137A1. Автор: Kenneth P. Rodbell,Conal E. Murray,Giovanni Fiorenza,Henry Tang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-07-03.

Method of decorative panel manufacture and decorative relief panel

Номер патента: RU2661991C1. Автор: Антон Алексеевич АНТОНОВ. Владелец: Антон Алексеевич АНТОНОВ. Дата публикации: 2018-07-23.

Systems and methods of polling parameters in multiple places in a sample

Номер патента: RU2729950C2. Автор: Аниш БЕКАЛЬ,Ракит ШАРМА,Самир Динкар ВАРТАК. Владелец: Дженерал Электрик Компани. Дата публикации: 2020-08-13.

Optical filter and light splitting method of the optical filter

Номер патента: US20120069421A1. Автор: Zhenghua Fu. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2012-03-22.

MEMS inertial sensor, application method of MEMS inertial sensor, and electronic device

Номер патента: US11740089B2. Автор: Yan Huang,Shuang Liu,Bo Zou. Владелец: Senodia Technologies Shaoxing Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-29.

Compact mems two-dimensional mems scanning mirror assembly design and related aspects

Номер патента: EP4420594A1. Автор: Robert H. Hart. Владелец: Leica Microsystems Inc. Дата публикации: 2024-08-28.

Compact mems two-dimensional mems scanning mirror assembly design and related aspects

Номер патента: WO2024175748A1. Автор: Robert H Hart. Владелец: Leica Microsystems Inc.. Дата публикации: 2024-08-29.

Method of cast wheel manufacturing and casting mould

Номер патента: RU2568552C2. Автор: Хельмут ХУБЕР,Манфред Йоханс ЭБЕТШУБЕР,Йозеф ГАРТНЕР. Владелец: Борбет Аустрия Гмбх. Дата публикации: 2015-11-20.

Methods of lipid nanoparticle manufacture and compostions derived therefrom

Номер патента: EP4229208A1. Автор: Mikell Paige,Drew Weissman,Mohamad Gabriel ALAMEH,Suman Alishetty,Michael Daro BUSCHMANN,Manuel Carrasco. Владелец: George Mason Research Foundation Inc. Дата публикации: 2023-08-23.

Device and method of optical range imaging

Номер патента: US20210325540A1. Автор: Srinath Kalluri,Ralph Spickermann,Siddharth Jain. Владелец: Oyla Inc. Дата публикации: 2021-10-21.

Device and method of tube head manufacturing and a tube head

Номер патента: RU2644470C2. Автор: Кристиан КРАММЕР. Владелец: Альпла Верке Альвин Ленер Гмбх Унд Ко.Кг. Дата публикации: 2018-02-12.

Method of pneumatic tyre manufacture and device for making pneumatic tyre top reinforcement

Номер патента: RU2120381C1. Автор: Лоран Даниель,Деброш Клод. Владелец: Седепро. Дата публикации: 1998-10-20.

Mems humidity sensor and method of manufacturing the same

Номер патента: US20170248536A1. Автор: Chia-Hua Chu,Jui-Cheng Huang,Chun-Wen Cheng,Tung-Tsun Chen,Cheng-Hsiang Hsieh. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-08-31.

Using pole pieces to guide magnetic flux through a mems device and method of making

Номер патента: US20100242601A1. Автор: Paul W. Dwyer,Ryan Roehnelt. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-09-30.

Sensor with electrostatic pendular accelerometer and method of controlling such sensor

Номер патента: RU2647983C2. Автор: Рафаэль БРИССОН,Венсан РАГО. Владелец: Сажем Дефанс Секюрите. Дата публикации: 2018-03-21.

Method of initial alignment of the inertial navigation device

Номер патента: RU2670243C1. Автор: Цян ЖЭНЬ,Цзецзюнь ВАН,Сюэфэн ШЭНЬ,Лилун ВЭЙ,Гуйянь ЦУЙ. Владелец: Шанхай Хуацэ Навигейшн Текнолоджи Лтд.. Дата публикации: 2018-10-19.

Micromachined mass flow sensor with condensation prevention and method of making the same

Номер патента: US20140283595A1. Автор: Chih-Chang Chen,Liji Huang. Владелец: Wisenstech Inc. Дата публикации: 2014-09-25.

Hemocyanin nucleic acids and polypeptides and related vectors, fusion proteins, conjugates, cells and methods of use

Номер патента: EP1435789A2. Автор: Elizabeth Ann Strachan,Mark J. Frey. Владелец: Pierce Biotechnology Inc. Дата публикации: 2004-07-14.

Hemocyanin nucleic acids and polypeptides and related vectors, fusion proteins, conjugates, cells and methods of use

Номер патента: WO2003023006A3. Автор: Mark J Frey,Elizabeth Ann Strachan. Владелец: Elizabeth Ann Strachan. Дата публикации: 2003-11-20.

Method of shoe insole manufacturing and insole produced by method

Номер патента: RU2532021C2. Автор: Андреа ГИЗМОНДИ. Владелец: Новарезе С.Р.Л.. Дата публикации: 2014-10-27.

Tumor suppressor gene polypeptides and related nucleic acids, host cells, compositions, and methods of use in inhibition of cell growth, modulation of gene expression, and enhancement of immune-response inducing effect of a vaccine

Номер патента: US20050164943A1. Автор: Denise Simmons. Владелец: US Department of Health and Human Services. Дата публикации: 2005-07-28.

Method of protection coating manufacturing and charge for its implementation

Номер патента: RU2613645C1. Автор: Инна Борисовна Баньковская,Мария Васильевна Сазонова,Людмила Павловна Ефименко,Дмитрий Валерьевича Коловертнов. Владелец: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Ордена Трудового Красного Знамени Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук (ИХС РАН). Дата публикации: 2017-03-21.

Structure for protecting feataures during the removal of sacrificial materials and a method of manufacture therefor

Номер патента: US20070292981A1. Автор: Omar D. Lopez,Chien-Shing Pai,Nagesh R. Basavanhally,Vladimir A. Aksyuk. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2007-12-20.

Semiconductor device and method of manufacturing

Номер патента: US09630832B2. Автор: Hsin-Ting HUANG,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Wen-Chuan Tai,Chin-Min Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-04-25.

Microelectromechanical systems (MEMS) devices at different pressures

Номер патента: US09856139B2. Автор: Bruce C. S. CHOU,Hsin-Ting HUANG,Shao-Chi Yu,Chia-Ming Hung,Hsiang-Fu Chen,Allen Timothy Chang,Wen-Chuan Tai,Chin-Min Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-01-02.

MEMS structure, cap substrate and method of fabricating the same

Номер патента: US09481567B2. Автор: Ting-Ying CHIEN,I-Shi WANG,Jen-Hao Liu,Ren-Dou Lee,Yu-Jui Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-11-01.

Process for manufacturing a micro-electro-mechanical device from a single semiconductor wafer and related mems device

Номер патента: US20230107094A1. Автор: Andrea NOMELLINI,Luca SEGHIZZI,Gianluca Longoni. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-04-06.

Mems package and method of manufacturing the same

Номер патента: KR100721625B1. Автор: 표성규,김동준. Владелец: 매그나칩 반도체 유한회사. Дата публикации: 2007-05-23.

Method of fabricating integrated semiconductor device and structure thereof

Номер патента: US9302904B2. Автор: Shuo-Lun Tu,Ming-Tung Lee,Hsueh-I Huang. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-05.

Method of fabricating integrated semiconductor device and structure thereof

Номер патента: US20150044808A1. Автор: Shuo-Lun Tu,Ming-Tung Lee,Hsueh-I Huang. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2015-02-12.

Methods of forming MEMS device

Номер патента: US9315379B2. Автор: Lei XIONG,Zhenxing Zhang,Ting Shi,Jianpeng Wang,Pei Xi. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2016-04-19.

Corner compensation method for fabricating MEMS and structure thereof

Номер патента: US7180144B2. Автор: Jerwei Hsieh,Weileun Fang. Владелец: WALSIN LIHWA CORP. Дата публикации: 2007-02-20.

Corner compensation method for fabricating MEMS and structure thereof

Номер патента: US6949396B2. Автор: Jerwei Hsieh,Weileun Fang. Владелец: WALSIN LIHWA CORP. Дата публикации: 2005-09-27.

Semiconductor device and method of producing the same

Номер патента: US20100055841A1. Автор: Nobuo Ozawa. Владелец: Oki Semiconductor Co Ltd. Дата публикации: 2010-03-04.

Driving unit make use of magnetic fluid and manufacture method of the driver

Номер патента: KR100403969B1. Автор: 오재근,최범규. Владелец: 학교법인 서강대학교. Дата публикации: 2003-11-01.

Detecting microbial contamination in grain and related products

Номер патента: WO2005040405A2. Автор: Alison Jones,W. Wade Robey. Владелец: Cargill, Incorporated. Дата публикации: 2005-05-06.

Three-way piezoelectrically-actuated microvalve device and method of fabrication

Номер патента: US11788646B1. Автор: Michael Huff. Владелец: Corp for National Research Initiatives. Дата публикации: 2023-10-17.

Method of image guided intraoperative simultaneous several ports microbeam radiation therapy with microfocus X-ray tubes

Номер патента: US09636525B1. Автор: Velayudhan Sahadevan. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-05-02.

Piezoelectrically-actuated microvalve device and method of fabrication

Номер патента: US11927281B1. Автор: Michael A. Huff,Mehmet Ozgur. Владелец: Corp for National Research Initiatives. Дата публикации: 2024-03-12.

Piezoelectric pump device and method of actuating of such device

Номер патента: RU2569796C2. Автор: Эрик ШАППЕЛЬ,Андре НОТ. Владелец: Дебиотех С.А.. Дата публикации: 2015-11-27.

Method of providing cold air flows and design of turbo-refrigerating plant

Номер патента: RU2084780C1. Автор: Ким Васильевич Чащин-Семенов,Вадим Борисович Вологодский. Владелец: Вадим Борисович Вологодский. Дата публикации: 1997-07-20.

Improvements in and relating to intumescent fire seals and their method of manufacture.

Номер патента: GR3018882T3. Автор: Derek Alfred Ward. Владелец: Environmental Seals Ltd. Дата публикации: 1996-05-31.

Improvements in and relating to intumescent fire seals and their method of manufacture

Номер патента: GB9207659D0. Автор: . Владелец: Environmental Seals Ltd. Дата публикации: 1992-05-27.

Improvements in and relating to intumescent fire seals and their method of manufacture

Номер патента: IE921127A1. Автор: Derek Alfred Ward. Владелец: Environmental Seals Ltd. Дата публикации: 1992-10-21.

Improvements in and relating to intumescent fire seals and their method of manufacture

Номер патента: IE64550B1. Автор: Derek Alfred Ward. Владелец: Environmental Seals Ltd. Дата публикации: 1995-08-23.

METHODS FOR MAKING IN-PLANE AND OUT-OF-PLANE SENSING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20120001277A1. Автор: Liu Lianjun,Park Woo Tae,Loreck Heinz,KARLIN LISA H.,Desai Hemant D.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Meso-micro-electro-mechanical system with a glass element and method for manufacturing the system

Номер патента: RU2319182C1. Автор: Джовика СЭЙВИК,Манес ЭЛИЯСИН,Цзюньхуа ЛЮ,Арун В. ТАНГЕЙР. Владелец: МОТОРОЛА, ИНК.. Дата публикации: 2008-03-10.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHODS OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20120319528A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2012-12-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20130156993A1. Автор: Stamper Anthony K.,CZABAJ Brian M.,DeMUYNCK David A.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20130168782A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-07-04.

Micro liquid volume metering device based on micro electro mechanism system (MEMS) technique

Номер патента: CN201787991U. Автор: 陈杰,刘旭东,田海涛,肖巍,徐剑飞,刘宇兵,冯中宝. Владелец: YIWEN ENVIRONMENTAL SCIENCE TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-06.

Micro-electro-mechanic system (MEMS) microphone

Номер патента: CN203406992U. Автор: 王顺,刘瑞宝,李欣亮. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2014-01-22.

Two-end micro-electro-mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: CN102932723A. Автор: 田达亨. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2013-02-13.

Double-working-mode micro electro mechanical system (MEMS) optical probe

Номер патента: CN103054544A. Автор: 谢会开,傅霖来. Владелец: WUXI WIO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-24.

Micro-electro-mechanic system (MEMS) microphone

Номер патента: CN203407016U. Автор: 庞胜利,解士翔. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2014-01-22.

Micro electro mechanical system (MEMS) gyroscope

Номер патента: CN201909632U. Автор: 杨波,殷勇,李宏生,黄丽斌,徐露,王寿荣. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-07-27.

Processing method for double-mask silicon on insulator (SOI) micro electro mechanical system (MEMS)

Номер патента: CN102616734A. Автор: 高杨,苏伟,彭勃,施志贵,张照云. Владелец: Institute of Electronic Engineering of CAEP. Дата публикации: 2012-08-01.

Micro electro mechanical system (MEMS) gyroscope, chip level temperature control method thereof and processing method thereof

Номер патента: CN102042832A. Автор: 杨波,殷勇,李宏生,黄丽斌,徐露,王寿荣. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-05-04.

Micro-electro-mechanical system (MEMS)-based vibration energy acquisition device

Номер патента: CN102694452A. Автор: 郭丹,苏宇锋,段智勇. Владелец: ZHENGZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2012-09-26.

Preparation method for micro-electro-mechanical system (MEMS) atomic vapor chamber and atomic vapor chamber

Номер патента: CN102259825A. Автор: 陈硕,马波,阮勇,尤政. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-11-30.

MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) BASED HYDRAULIC CONTROL SYSTEM FOR FULL HYBRID VEHICLES

Номер патента: US20120090426A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Hebbale Kumaraswamy V.,Kao Chi-Kuan,Bartos Andrew L.,Rober Kevin B.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) BASED HYDRAULIC CONTROL SYSTEM FOR MILD HYBRID VEHICLES

Номер патента: US20120090427A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Hebbale Kumaraswamy V.,Kao Chi-Kuan,Bartos Andrew L.,Rober Kevin B.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

WAFER LEVEL PACKAGING OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) AND COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) SUBSTRATES

Номер патента: US20120098122A1. Автор: YANG Hsueh-An. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2012-04-26.

METHOD OF MAKING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20120107993A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-05-03.

THREE DIMENTIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20120217031A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-08-30.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES WITH THROUGH SUBSTRATE VIAS AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20130193527A1. Автор: Chu Chia-Hua,Chang Kuei-Sung,Lee Te-Hao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2013-08-01.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) STRUCTURES AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20130214400A1. Автор: KALNITSKY Alex,SHU Chia-Pao,HUNG Chia-Ming,TAI Wen-Chuan,WANG Hung-Sen,CHEN Hsiang-Fu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2013-08-22.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) RESONATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20120025922A1. Автор: Sato Akira,INABA Shogo. Владелец: SEIKO EPSON CORPORATION. Дата публикации: 2012-02-02.

MICROFLUIDIC-CHANNEL EMBEDDABLE, LATERALLY OSCILLATING GRAVIMETRIC SENSOR DEVICE FABRICATED WITH MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) TECHNOLOGY

Номер патента: US20120148448A1. Автор: Kulah Haluk,Ciftlik Ata Tuna. Владелец: . Дата публикации: 2012-06-14.

ON-CHIP MEASUREMENT OF CAPACITANCE FOR MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) ACTUATOR CIRCUIT

Номер патента: US20120153973A1. Автор: Guo Dianbo. Владелец: STMicroelectronics Asia Pacific Pte Ltd.. Дата публикации: 2012-06-21.

CONTROL SURFACE FOR TOUCH AND MULTI-TOUCH CONTROL OF A CURSOR USING A MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) SENSOR

Номер патента: US20120154273A1. Автор: McDade,SR. Darryn D.,Mohammadi Hamid. Владелец: STMicroelectronics, Inc.. Дата публикации: 2012-06-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20120274176A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-11-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20130056841A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2013-03-07.

RF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) CAPACITIVE SWITCH

Номер патента: US20130284571A1. Автор: Pillans Brandon William,Moody Cody Blake,Morris Francis Joseph. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-31.

Pressure sensor for micro electro-mechanical system and preparation method thereof, MEMS (micro electro mechanical system)

Номер патента: CN103063352B. Автор: 黎坡. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2015-11-25.

Anchors for micro-electro-mechanical systems (mems) devices

Номер патента: AU2002361556A1. Автор: Eric M. Prophet. Владелец: Superconductor Technologies Inc. Дата публикации: 2003-05-26.

Micro electro-mechanical system

Номер патента: TW201002609A. Автор: Jen-Tsorng Chang,Yi-Mou Huang. Владелец: Hon Hai Prec Ind Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

Micro-electro-mechanical-system sensor and method for making same

Номер патента: TWI373449B. Автор: Chuan Wei WANG. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2012-10-01.

Micro-electro-mechanical-system sensor and method for making same

Номер патента: TW201026594A. Автор: Chuan-Wei Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-07-16.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: TWI374851B. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee,Hsin Hui Hsu. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2012-10-21.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: TW201024202A. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chuan-Wei Wang,Sheng-Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-07-01.

Packaging process of micro-electro-mechanical system

Номер патента: TW201004385A. Автор: Wei-Cheng Liang,Chang-Shen Lin. Владелец: Memchip Technology Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

Variable inductor of micro electro-mechanic system

Номер патента: TW552239B. Автор: Jau-Heng Jian,Yzung-Lung Shie. Владелец: Lenghways Technology Co Ltd. Дата публикации: 2003-09-11.

Bonding type micro-electro-mechanical-system microphone and manufacturing method thereof

Номер патента: TW201240476A. Автор: Hung-Jen Chen,Yung-Ta Chen,Kuan-Hsun Chiu,Kuo-Hsiang Li. Владелец: Merry Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-01.

Variable inductor of micro electro-mechanic system

Номер патента: TW200410898A. Автор: zong-long Xie,Jau-Heng Jian. Владелец: Lenghways Technology Co Ltd. Дата публикации: 2004-07-01.

MEMS (micro electro mechanical system) silica-based micro-hotplate provided with thermal insulation channels and processing method of MEMS silica-based micro-hotplate

Номер патента: CN104176699A. Автор: 刘瑞,丁海燕,张珽,谷文,沈方平,祁明锋. Владелец: Suzhou Neng Sida Electronic Science And Technology Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-03.

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)-based Two-dimensional piezoresistive micro-force sensor

Номер патента: CN103033296B. Автор: 周杰,张世忠,荣伟彬,王乐锋,李东洁. Владелец: Harbin Institute of Technology. Дата публикации: 2015-02-18.

PACKAGE STRUCTURE HAVING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM ELEMENT AND METHOD OF FABRICATION THE SAME

Номер патента: US20130341739A1. Автор: Lin Chun-Hung,Liao Hsin-Yi,Chang Hong-Da,Liu Cheng-Hsiang,Huang Kuang-Wei. Владелец: SILICONWARE PRECISION INDUSTRIES CO., LTD.. Дата публикации: 2013-12-26.

A kind of pressure sensor for micro electro-mechanical system chip of Liang Mo mechanisms

Номер патента: CN206828092U. Автор: 张宪民,陈英皇,朱本亮. Владелец: South China University of Technology SCUT. Дата публикации: 2018-01-02.

Manufacturing method of biaxial MEMS (micro-electro-mechanical system) gyroscope

Номер патента: CN102134053B. Автор: 邹波,华亚平. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-03.

MEMS (micro electro mechanical system) microphone and work control method of MEMS microphone

Номер патента: CN103402160A. Автор: 孟珍奎. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2013-11-20.

Preparation method of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) metal wire biological microelectrode

Номер патента: CN101870452B. Автор: 刘景全,杨春生,芮岳峰,朱正罕,邱可可. Владелец: Shanghai Jiaotong University. Дата публикации: 2012-09-19.

Processing method of compound sacrificial layer of micro electro mechanical system

Номер патента: CN104310303A. Автор: 张俊. Владелец: Shaanxi Yiyang Technology Co Ltd. Дата публикации: 2015-01-28.

Micro electro mechanical system and method of making the same

Номер патента: TW200848361A. Автор: Yi-Xiang Qiu,Li-Ken Ye. Владелец: MEMSMART Semiconductor Corp. Дата публикации: 2008-12-16.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED HYDRAULIC CONTROL SYSTEM FOR A WET DUAL CLUTCH TRANSMISSION

Номер патента: US20120090416A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Hebbale Kumaraswamy V.,Kao Chi-Kuan,Bartos Andrew L.,Rober Kevin B.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED HYDRAULIC CONTROL SYSTEM FOR A DRY DUAL CLUTCH TRANSMISSION

Номер патента: US20120090940A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Hebbale Kumaraswamy V.,Kao Chi-Kuan,Bartos Andrew L.,Rober Kevin B.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

A kind of strapdown inertial navitation system (SINS) Initial Alignment Method based on low precision MEMS (micro electro mechanical system)

Номер патента: CN103217174B. Автор: 高伟,李倩,于飞,周广涛,徐文佳,奔粤阳,鲍桂清,杨娇龙,李敬春,刘新源. Владелец: Harbin Engineering University. Дата публикации: 2016-03-09.

Manufacturing method of micro-electro-mechanism system magnetic executor based on overhead metal wire bridge

Номер патента: CN101376490A. Автор: 陈大鹏,叶甜春,易亮,欧毅,景玉鹏. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2009-03-04.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM TEMPERATURE SENSOR

Номер патента: US20120076172A1. Автор: . Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2012-03-29.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED HYDRAULIC CONTROL FOR A POWERTRAIN

Номер патента: US20120090935A1. Автор: . Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED HYDRAULIC CONTROL FOR A POWERTRAIN

Номер патента: US20120090937A1. Автор: . Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MICROMIRRORS AND MICROMIRROR ARRAYS

Номер патента: US20120099176A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-04-26.

VACUUM WAFER LEVEL PACKAGING METHOD FOR MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20120164787A1. Автор: EOM Yong Sung,MOON Jong Tae,Bae Hyun-cheol. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2012-06-28.

MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM CIRCUIT CAPABLE OF COMPENSATING CAPACITANCE VARIATION AND METHOD THEREOF

Номер патента: US20130049809A1. Автор: Wu Chia-Tai. Владелец: . Дата публикации: 2013-02-28.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS COMPONENT

Номер патента: US20130068022A1. Автор: Kim Jong Woon,Park Heung Woo,JEUNG WON KYU. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2013-03-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE CHIP WITH AN EXPANDED BACK CHAMBER

Номер патента: US20130101143A1. Автор: CHEN Hung-Jen,Chiu Kuan-Hsun,Wang Chun-Chieh,HSU Ming-Li. Владелец: . Дата публикации: 2013-04-25.

Three-Dimensional Micro-Electro-Mechanical-System Sensor

Номер патента: US20130139595A1. Автор: Tsai Ming-Han,Sun Chih-Ming. Владелец: . Дата публикации: 2013-06-06.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM DEVICE WITH OSCILLATING ASSEMBLY

Номер патента: US20130167635A1. Автор: Lin Shih-Chieh,Hsu Yu-Wen,Huang Chao-Ta,Su Chung-Yuan. Владелец: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2013-07-04.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM STRUCTURES

Номер патента: US20130187245A1. Автор: NI Chyi-Tsong,SU Ching-Hou,Chien Ting-Ying,Chiu Yi Hsun. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2013-07-25.

Cantilever Packages for Sensor MEMS (MIcro-Electro-Mechanical System)

Номер патента: US20140008737A1. Автор: Koduri Sreenivasan. Владелец: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED. Дата публикации: 2014-01-09.

Micro electro mechanical system wafer-level vacuum packaging method

Номер патента: CN101941673A. Автор: 王岩,孙鹏,王巍,张廷凯,邢朝洋. Владелец: Beijing Aerospace Times Optical Electronic Technology Co Ltd. Дата публикации: 2011-01-12.

Micro-electro-mechanical system microphone chip

Номер патента: CN212086485U. Автор: 柏杨. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-04.

Vacuum packaging structure of MEMS (Micro Electro Mechanical System) device and manufacture method thereof

Номер патента: CN102556956B. Автор: 焦继伟,刘文俊,王敏昌,颜培力,宓斌玮. Владелец: Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology of CAS. Дата публикации: 2014-06-25.

MEMS (micro-electro mechanical system) microphone circuit

Номер патента: CN102611974B. Автор: 蒋振雷,朱潇挺. Владелец: WUXI NAXUN MICROELECTRONIC CO Ltd. Дата публикации: 2014-05-07.

Dual-channel radio-frequency MEMS (Micro Electro Mechanical System) switch and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102486972A. Автор: 熊斌,王跃林,刘米丰. Владелец: Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology of CAS. Дата публикации: 2012-06-06.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) accelerometer based glass window cleaning device

Номер патента: CN102138760B. Автор: 罗国希,吴限,温志渝,武新,董志浩. Владелец: Chongqing University. Дата публикации: 2012-08-08.

Interface circuit of micro electro mechanical system conductivity sensor

Номер патента: CN103051326A. Автор: 陈贤帅,金建,杜如虚,邸思,唐观荣,陈秋兰. Владелец: Guangzhou Institute of Advanced Technology of CAS. Дата публикации: 2013-04-17.

Silica glass bonding-based SOI MEMS (silicon on insulator micro electro mechanical system) preparation method

Номер патента: CN102649538B. Автор: 高杨,苏伟,彭勃,施志贵,张照云. Владелец: Institute of Electronic Engineering of CAEP. Дата публикации: 2014-12-03.

Full silicification wafer level vacuum encapsulation method and device for MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) device

Номер патента: CN105293428A. Автор: 刘宇,刘国文,邢朝洋,刘福民,徐宇新,胡启方. Владелец: China Aerospace Times Electronics Corp. Дата публикации: 2016-02-03.

Bidirectional deflection pointer of micro electro mechanical system

Номер патента: CN103438837A. Автор: 王雷,张晓强,孙超,李伟华,刘海韵,周再发. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-12-11.

Micro electro mechanical system sensor and manufacturing method thereof

Номер патента: CN103991836A. Автор: 李刚,胡维,肖滨. Владелец: Memsensing Microsystems Suzhou China Co Ltd. Дата публикации: 2014-08-20.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) packaging structure and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102190282A. Автор: 许翰诚,黄建志. Владелец: CHIPMOS TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2011-09-21.

Fourier transformation miniature spectrometer based on moving mirror of micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN102607701A. Автор: 周亮,陈巧,谢会开,傅霖来,兰树明,管帅,严冬梅. Владелец: WUXI WIO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2012-07-25.

Micro electro-mechanical system microphone chip, microphone, electronic equipment and manufacturing method

Номер патента: CN104853299A. Автор: 蔡孟锦,邱冠勋,周宗燐,宋青林. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2015-08-19.

Tunable optical filter based on MEMS (micro electro mechanical system) technology

Номер патента: CN102033312A. Автор: 杨睿,周婷婷,孙莉萍,张传斌,胡强高,谢卉,汤风帆. Владелец: Accelink Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-27.

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device, manufacturing method thereof and electronic device

Номер патента: CN105848075A. Автор: 何昭文. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-08-10.

Piezoresistive pressure sensor of MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and preparation method thereof

Номер патента: CN102944339A. Автор: 王玮,何军,刘鹏,李婷,杨芳,张大成,黄贤,罗葵,赵丹淇,田大宇. Владелец: PEKING UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-02-27.

MEMS (micro electro mechanical system) wafer-level three-dimensional mixing integration packaging structure and method

Номер патента: CN102241388A. Автор: 焦继伟,陈骁,徐高卫,罗乐,宓斌玮. Владелец: Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology of CAS. Дата публикации: 2011-11-16.

Nine-axis MEMS (Micro Electro Mechanical System) sensor

Номер патента: CN105136208A. Автор: 杨帆,李毅,赵峰,陈天柱,迪水. Владелец: Xiamen Kairui Intelligent Science & Technology Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-09.

Packaging structure of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) microphone and wafer packaging method thereof

Номер патента: CN101998213A. Автор: 赵静,杨云,冯卫,杨钢剑,纪大争. Владелец: BYD Co Ltd. Дата публикации: 2011-03-30.

Micro-electro-mechanical system and packaging structure thereof

Номер патента: CN212677376U. Автор: 张永强,梅嘉欣,唐行明. Владелец: Memsensing Microsystems Suzhou China Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-09.

QFN (Quad Flat Non-leaded Package) structure of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device

Номер патента: CN202297105U. Автор: 吴斌,陈群峰,陈武伟,尹丹. Владелец: Carsem Semiconductor Suzhou Co Ltd. Дата публикации: 2012-07-04.

Silicon-based MEMS (Micro Electro Mechanical System) microphone and manufacturing method thereof

Номер патента: CN104105041A. Автор: 蔡孟锦. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2014-10-15.

MEMS (micro-electro-mechanical system) acoustic sensor based on graphene

Номер патента: CN102638753B. Автор: 王莉,刘俊,王琪,李孟委,杜康,李锡广,白晓晓,王增跃. Владелец: NORTH UNIVERSITY OF CHINA. Дата публикации: 2014-05-21.

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) microphone

Номер патента: CN101959107A. Автор: 孟珍奎. Владелец: AAC Microtech Changzhou Co Ltd. Дата публикации: 2011-01-26.

A kind of micro electro-mechanical system packaging method

Номер патента: CN103708412B. Автор: 杜超,刘翠荣,阴旭,南粤. Владелец: Taiyuan University of Science and Technology. Дата публикации: 2016-01-20.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) optical modulator pixel unit and making method thereof

Номер патента: CN102323669B. Автор: 毛剑宏,唐德明. Владелец: Lexvu Opto Microelectronics Technology Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-31.

Thermally driven MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) micromirror

Номер патента: CN103048783A. Автор: 陈巧,丁金玲,谢会开. Владелец: WUXI WIO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-17.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology-based wireless transmission implantable symmetrical structure pressure sensor

Номер патента: CN102423258B. Автор: 刘景全,杨春生,柴欣,彭广彬. Владелец: Shanghai Jiaotong University. Дата публикации: 2013-12-25.

Piezoresistive high-natural-frequency MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) acceleration sensitive chip and manufacturing method thereof

Номер патента: CN104391133A. Автор: 王健,揣荣岩,代全,张晓民,衣畅. Владелец: Shenyang University of Technology. Дата публикации: 2015-03-04.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) inertial measurement unit-based pipeline surveying and mapping and defect positioning device and pipeline surveying and mapping and defect positioning method thereof

Номер патента: CN104235618A. Автор: 李源,何昆鹏,王晨阳,王晓雪,张兴智,刘辉煜,邵玉萍,韩继韬,张克飞,胡守雷. Владелец: Harbin Engineering University. Дата публикации: 2014-12-24.

A kind of flexure electric-type micropressure sensor based on MEMS (micro electro mechanical system)

Номер патента: CN103630274B. Автор: 梁旭,李斯,徐明龙,申胜平. Владелец: Xian Jiaotong University. Дата публикации: 2015-08-26.

Method for forming MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) device

Номер патента: CN105439081A. Автор: 张冬平,阮炯明. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-03-30.

Micro electro mechanical system fuse security device

Номер патента: CN105157490A. Автор: 陈亮,李响,梅江涛. Владелец: Hubei Sanjiang Aerospace Honglin Exploration and Control Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-16.

Method for removing residues on MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) welding pad

Номер патента: CN105217564B. Автор: 杨勇,金滕滕. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2017-02-15.

Electromagnetic drive push-and-pull type radio frequency micro electro-mechanical system switch

Номер патента: CN101329968B. Автор: 陈大鹏,叶甜春,欧毅,景玉鹏,李全宝. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2011-07-20.

Compound chip of micro-electro-mechanical system and preparation method thereof

Номер патента: CN104803343B. Автор: 罗炯成,康育辅. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2016-09-14.

Loudspeaker of micro-electro-mechanical system and electronic device

Номер патента: CN101959110B. Автор: 张仁淙. Владелец: Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2014-07-09.

Micro -electro -mechanical system's dynamic temperature compensated equipment

Номер патента: CN204981126U. Автор: 梁明亮. Владелец: Guangzhou Changtian Aviation Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-01-20.

Pressure sensor for micro electro-mechanical system and preparation method thereof, MEMS

Номер патента: CN103063351B. Автор: 黎坡. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2016-05-11.

Micro electro mechanical system structure

Номер патента: CN216890091U. Автор: 金羊华,郭亚,储莉玲,刘尧青. Владелец: Meixin Semiconductor Tianjin Co ltd. Дата публикации: 2022-07-05.

Dry etching method for sacrifice layer of micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN104261345A. Автор: 雷述宇,史晔. Владелец: NORTH GUANGWEI TECHNOLOGY Inc. Дата публикации: 2015-01-07.

A micro-electro mechanical system

Номер патента: SG114545A1. Автор: Silverbrook Kia. Владелец: Silverbrook Res Pty Ltd. Дата публикации: 2005-09-28.

Packaging body and packaging component for microphone of micro electro-mechanical systems

Номер патента: CN101316461B. Автор: 黄肇达,简欣堂. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2012-12-05.

Machine core of MEMS (Micro Electro Mechanical System) simulation detector

Номер патента: CN102279414B. Автор: 马永良,强明明. Владелец: Xian Sitan Apparatus Co Ltd. Дата публикации: 2013-10-23.

Portable raman spectrometer based on spectral analysis of micro electro mechanical system

Номер патента: CN103196889A. Автор: 殷海玮,许春,章炜毅. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-07-10.

Fourier spectrograph based on micro electro mechanical system

Номер патента: CN103335987A. Автор: 陈巧,谢会开,周正伟,王东琳,王元光,兰树明. Владелец: WUXI WIO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2013-10-02.

Parallelism-adjustable micro-electro-mechanical system Fabry-Perot cavity wavelength tunable filter

Номер патента: CN102866497B. Автор: 姚军,张建飞,邱传凯,庄须叶,周崇喜. Владелец: Institute of Optics and Electronics of CAS. Дата публикации: 2014-11-26.

Micro-electro-mechanical-system microphone packaging structure possessing improved back cover and manufacturing method thereof

Номер патента: CN105338455A. Автор: 王俊杰,陈振颐,张朝森,张詠翔. Владелец: Law Electronics (huizhou) Co Ltd. Дата публикации: 2016-02-17.

Wafer-grade vacuum encapsulation process for micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN101554987B. Автор: 张卓,刘川,刘胜,甘志银,张鸿海,汪学方,黎藜. Владелец: HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2011-04-20.

MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) integrated composite sensor and machining method thereof

Номер патента: CN105174201A. Автор: 陈磊,周志健,邝国华. Владелец: Shanghai Xinhe Sci-Tech Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-23.

SOI MEMS (silicon on insulator micro electro mechanical system) one chip integrating method

Номер патента: CN102649537A. Автор: 高杨,苏伟,彭勃,施志贵,张照云. Владелец: Institute of Electronic Engineering of CAEP. Дата публикации: 2012-08-29.

TSV (through silicon via) wafer-level packaged triaxial MEMS (micro-electro-mechanical systems) accelerometer

Номер патента: CN104198763A. Автор: 华亚平. Владелец: ANHUI NORTHERN XINDONG LIANKE MICROSYSTEMS TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-10.

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) microphone chip

Номер патента: CN102264021A. Автор: 蔡孟锦. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2011-11-30.

MEMS (micro-electro-mechanical system) microphone

Номер патента: CN104254048A. Автор: 侯杰. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-31.

RF (Radio-Frequency) MEMS (Micro Electro Mechanical System) switch and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102856085B. Автор: 黄金亮. Владелец: Shenzhen Electric Connector Technology Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-31.

Contact plug for MEMS (Micro Electro Mechanical System) device and forming method thereof

Номер патента: CN104649214A. Автор: 伏广才,倪梁,汪新学. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2015-05-27.

The method for making of pressure sensor for micro electro-mechanical system

Номер патента: CN102539033B. Автор: 黎坡. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2016-03-23.

MEMS (micro-electro-mechanical system) microphone

Номер патента: CN104902403A. Автор: 刘文涛,袁兆斌. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2015-09-09.

Manufacture method for high precision mesh point light guide plate based on MEMS (micro electro mechanical systems)

Номер патента: CN103809236A. Автор: 郭进,周杰,冯俊波,王皖君,曹国威. Владелец: CETC 38 Research Institute. Дата публикации: 2014-05-21.

Micro-electro-mechanical system and packaging method thereof

Номер патента: TW200946445A. Автор: Yi-Mou Huang. Владелец: Hon Hai Prec Ind Co Ltd. Дата публикации: 2009-11-16.

Method of speed dependable torque transmission and design of fly wheel with two weight for its implementation (versions)

Номер патента: RU2496038C1. Автор: Александр Анатольевич Андреев. Владелец: Александр Анатольевич Андреев. Дата публикации: 2013-10-20.

Method of turbojet batch manufacturing and turbojet manufactured according to this method

Номер патента: RU2544408C1. Автор: Дмитрий Юрьевич Еричев,Николай Павлович Селиванов,Евгений Ювенальевич Марчуков,Виктор Викторович Куприк,Владимир Валентинович Кирюхин,Ирик Усманович Манапов,Сергей Анатольевич Симонов,Юрий Геннадьевич Шабаев,Игорь Александрович Кондрашов,Александр Викторович Артюхов. Владелец: Открытое Акционерное Общество "Уфимское Моторостроительное Производственное Объединение" (Оао "Умпо"). Дата публикации: 2015-03-20.

Method of bus wire manufacturing and mounting on supports

Номер патента: RU2393604C1. Автор: Эдуард Дмитриевич Житников. Владелец: Эдуард Дмитриевич Житников. Дата публикации: 2010-06-27.

Method of filtering element manufacturing and rotating device for its manufacturing

Номер патента: RU2361965C1. Автор: Сергей Владимирович Борисов,Евгений Валентинович Поляков,Геннадий Петрович Швейкин,Игорь Георгиевич Григоров,Михаил Владимирович Кузнецов,Николай Александрович Хлебников,Олег Павлович Щепашковский. Владелец: Институт химии твердого тела Уральского Отделения Российской Академии наук. Дата публикации: 2009-07-20.

Method of turbojet batch manufacturing and turbojet manufactured according to this method

Номер патента: RU2544410C1. Автор: Дмитрий Юрьевич Еричев,Николай Павлович Селиванов,Евгений Ювенальевич Марчуков,Виктор Викторович Куприк,Ирик Усманович Манапов,Сергей Анатольевич Симонов,Игорь Александрович Кондрашов,Константин Сергеевич Поляков,Сергей Андреевич Федоров,Александр Викторович Артюхов. Владелец: Открытое Акционерное Общество "Уфимское Моторостроительное Производственное Объединение" (Оао "Умпо"). Дата публикации: 2015-03-20.

Laminate with the lengthwise-transversal orientation of the layers made out of the oriented films, the method of the laminate manufacture and the head for the joint extrusion for realization of this method

Номер патента: RU2314205C2. Автор: Оле-Бентт РАСМУССЕН. Владелец: Оле-Бентт РАСМУССЕН. Дата публикации: 2008-01-10.

Method of turbojet batch manufacturing and turbojet manufactured according to this method

Номер патента: RU2544409C1. Автор: Дмитрий Юрьевич Еричев,Николай Павлович Селиванов,Евгений Ювенальевич Марчуков,Виктор Викторович Куприк,Владимир Валентинович Кирюхин,Ирик Усманович Манапов,Сергей Анатольевич Симонов,Юрий Геннадьевич Шабаев,Игорь Александрович Кондрашов,Александр Викторович Артюхов,Дмитрий Алексеевич Мовмыга. Владелец: Открытое Акционерное Общество "Уфимское Моторостроительное Производственное Объединение" (Оао "Умпо"). Дата публикации: 2015-03-20.

MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120000484A1. Автор: . Владелец: Denso Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

Method of measurement of resonance frequencies

Номер патента: RU2377509C1. Автор: Вадим Николаевич Лапенко,Сергей Петрович Тимошенков,Юрий Александрович Чаплыгин,Дмитрий Андреевич Кик,Антон Викторович Пасютин,Михаил Андреевич Кик. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет). Дата публикации: 2009-12-27.

Walking robot-nanopositioner and method of controlling movement thereof

Номер патента: RU2540283C2. Автор: Ростислав Владимирович Лапшин. Владелец: Ростислав Владимирович Лапшин. Дата публикации: 2015-02-10.

Ice and/or snow acetate-based remover, method of manufacturing thereof and method of ice and/or snow melting on road surfaces using such remover

Номер патента: RU2331729C2. Автор: Михаил Николаевич Киреев,Олег Анатольевич Широбоков,Анатолий Николаевич Авраменко,Александр Владимирович Дудкин,Людмила Петровна Шестакова,Борис Павлович Резников. Владелец: Открытое акционерное общество "Минерально-химическая компания "ЕвроХим" (ОАО "МХК "ЕвроХим"). Дата публикации: 2008-08-20.

Номер патента: RU2405629C1. Автор: Феликс Яковлевич Рудик,Виктор Георгиевич Ребров,Владимир Игоревич Русин,Иван Фёдорович Савельев. Владелец: Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Аграрный Университет Имени Н.И. Вавилова". Дата публикации: 2010-12-10.

微机电系统（mems）以及相关的致动器凸块、制造方法和设计结构

Вам могут быть интересны следующие патенты

Главная

Проекты и услуги

Контакты