Electrode arrangement for a micro-electro-mechanical system, micro-electro-mechanical system, and method for operating a micro-electro-mechanical system
Номер патента: US20210221673A1
Опубликовано: 22-07-2021
Автор(ы): Martin Putnik, Stefano CARDANOBILE
Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-07-2021
Автор(ы): Martin Putnik, Stefano CARDANOBILE
Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
ELECTRODE ARRANGEMENT FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM
Номер патента: US20210221673A1. Автор: Putnik Martin,Cardanobile Stefano. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-22.