• Главная
  • Methods for forming a micro electro-mechanical device

Methods for forming a micro electro-mechanical device

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Micro-Electro-Mechanical Transducer Having a Surface Plate

Номер патента: US20100013574A1. Автор: Yongli Huang. Владелец: Kolo Technologies Inc. Дата публикации: 2010-01-21.

Micro-electro-mechanical device with a shock-protected tiltable structure

Номер патента: US20210188622A1. Автор: Roberto Carminati,Massimiliano Merli,Nicolo' BONI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2021-06-24.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) package having hydrophobic layer

Номер патента: US20060076666A1. Автор: Suk Hong,Yeong Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2006-04-13.

Micro electro mechanical system structures

Номер патента: US9139423B2. Автор: Ting-Ying CHIEN,Yi Hsun CHIU,Ching-Hou SU,Chyi-Tsong Ni. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-09-22.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE HAVING TWO BURIED CAVITIES AND MANUFACTURING PROCESS THEREOF

Номер патента: US20200262699A1. Автор: Del Sarto Marco,Baldo Lorenzo,DUQI Enri,AZPEITIA URQUIA Mikel. Владелец: . Дата публикации: 2020-08-20.

Micro electro mechanical device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20100133537A1. Автор: Konami Izumi,Mayumi Yamaguchi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2010-06-03.

Micro electro mechanical device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20120080727A1. Автор: Konami Izumi,Mayumi Yamaguchi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2012-04-05.

Micro electro mechanical device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20130307030A1. Автор: Mayumi Yamaguchi,Konmai Izumi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2013-11-21.

Micro electro mechanical device and manufacturing method thereof

Номер патента: US8030651B2. Автор: Konami Izumi,Mayumi Yamaguchi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-04.

Micro electro-mechanical systems package and manufacturing method

Номер патента: US20240076181A1. Автор: Seung Wook Park,Jang Ho PARK. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-07.

Methods of manufacturing a micro-electro-mechanical system (MEMS) structure

Номер патента: US8973250B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-03-10.

Method for fabricating micro-electro-mechanical systems (MEMS) device

Номер патента: US8673732B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Jhyy-Cheng Liou. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-18.

Directional MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) microphone and sound receiving device

Номер патента: CN103686568A. Автор: 万景明. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-26.

Directional MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) microphone and sound receiving device

Номер патента: CN103686568B. Автор: 万景明. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-18.

Micro-electro-mechanical system microphone package

Номер патента: US20230345184A1. Автор: Yen-Son Paul Huang,Iou-Din Jean Chen,Yung-Wei Chen,Shih-Chung Wang. Владелец: Fortemedia Inc. Дата публикации: 2023-10-26.

Micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20220086571A1. Автор: Changfeng Xia,Yonggang Hu,Guoping ZHOU. Владелец: CSMC Technologies Fab2 Co Ltd. Дата публикации: 2022-03-17.

Micro-electro-mechanical systems (mems) microphone assembly

Номер патента: EP4140150A1. Автор: Yu Du. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2023-03-01.

Micro-electro-mechanical system microphone with dual backplates

Номер патента: WO2017189910A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2017-11-02.

Micro-electro-mechanical system microphone with dual backplates

Номер патента: US20170318395A1. Автор: Kieran Harney,Adrianus Maria Lafort,Dion Ivo De Roo,Brian Moss. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2017-11-02.

Micro-electro-mechanical system microphone, microphone unit and electronic device

Номер патента: US20240334132A1. Автор: Quanbo Zou,Zhe Wang,Qinglin Song,Guanxun QIU. Владелец: Goertek Microelectronics Inc. Дата публикации: 2024-10-03.

Comb-drive device used in micro electro mechanical system

Номер патента: US20220298004A1. Автор: Scott Lyall Cargill. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-22.

Module including a micro-electro-mechanical microphone

Номер патента: US8767983B2. Автор: Horst Theuss,Jens Krause,Bernd Stadler,Jochen Dangelmaier,Albert Auburger. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2014-07-01.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: US20100213568A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee,Hsin Hui Hsu. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-08-26.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: US20150197420A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee,Hsin Hui Hsu. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-07-16.

Method for processing fluid flows in a micro component reformer system

Номер патента: CA2416431C. Автор: James Seaba,Lea-Der Chen. Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 2011-02-01.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures

Номер патента: US9580298B2. Автор: Anthony K. Stamper,Christopher V. Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-02-28.

Micro-electro-mechanical switch, and methods of making and using it.

Номер патента: EP1502273A1. Автор: Brandon W. Pillans,David I. Forehand. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2005-02-02.

Radio frequency micro-electro-mechanical switch and radio frequency device

Номер патента: US20240186095A1. Автор: Yingli SHI. Владелец: Beijing BOE Technology Development Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Micro electro-mechanical system device with piezoelectric thin film actuator

Номер патента: WO2004047190A2. Автор: Joon Park,Robert C. Allison,Ron K. Nakahira. Владелец: Raytheon Company. Дата публикации: 2004-06-03.

Structure and method for sealing cavity of micro-electro-mechanical device

Номер патента: US7919842B2. Автор: Christopher D. Manack,Steven A. Kummerl. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2011-04-05.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE WITH A SHOCK-PROTECTED TILTABLE STRUCTURE

Номер патента: US20210188622A1. Автор: CARMINATI Roberto,"BONI Nicolo",MERLI Massimiliano. Владелец: STMICROELECTRONICS S.R.L.. Дата публикации: 2021-06-24.

Micro-electro-mechanical system (mems) capacitors, inductors, and related systems and methods

Номер патента: WO2006063257A3. Автор: Arthur S Morris,Shawn J Cunningham. Владелец: Shawn J Cunningham. Дата публикации: 2008-04-17.

Micro-electro-mechanical device and method for making the same

Номер патента: US9518884B2. Автор: Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-12-13.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: WO2015021899A2. Автор: Alan Frank Graves,Dominic GOOGWILL. Владелец: Huawei Technologies Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-02-19.

Micro-Electro-Mechanical System Varactor

Номер патента: US20080315362A1. Автор: Lih-Tyng Hwang,Robert B. Lempkowski. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2008-12-25.

Micro electro mechanical systems sensor and method for manufacturing the same

Номер патента: US20230201877A1. Автор: Hideo Yamada,Tetsuya Enomoto,Yusuke Kawai,Akihiko Teshigahara. Владелец: Denso Corp. Дата публикации: 2023-06-29.

Micro electro mechanical system apparatus

Номер патента: US20040061106A1. Автор: Yoshiaki Aizawa,Mitsuhiko Kitagawa. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-04-01.

Electro-mechanical device and associated method of assembly

Номер патента: US20130093547A1. Автор: Scott Parsons,Zbyslaw Staniewicz,Andrew Malcolm Boyes. Владелец: LITENS AUTOMOTIVE PARTNERSHIP. Дата публикации: 2013-04-18.

Electro-mechanical device and associated method of assembly

Номер патента: EP2589053A1. Автор: Scott Parsons,Andrew Boyes,Zbyslaw Staniewicz. Владелец: Litens Automotive Inc. Дата публикации: 2013-05-08.

Electro-mechanical device and associated method of assembly

Номер патента: WO2012000089A1. Автор: Zbyslaw Staniewicz. Владелец: LITENS AUTOMOTIVE PARTNERSHIP. Дата публикации: 2012-01-05.

Systems and methods for controlling of electro-migration

Номер патента: US20060267616A1. Автор: Louis Hsu,Chih-Chao Yang,James Mason,Hayden Cranford. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-11-30.

Micro electro-mechanical system apparatus and method

Номер патента: WO2003095356A3. Автор: Manes Eliacin,Krishna Jonnalagadda,Spencer A Lane. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2004-01-22.

Stress reduced diaphragm for a micro-electro-mechanical system sensor

Номер патента: US20200056935A1. Автор: Sushil Bharatan,Pirmin Rombach. Владелец: InvenSense Inc. Дата публикации: 2020-02-20.

Method For Fracturing And Forming A Pattern Using Shaped Beam Charged Particle Beam Lithography

Номер патента: US20160103390A1. Автор: Michael Tucker,Akira Fujimura. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2016-04-14.

Micro-electro-mechanical device with a shock-protected tiltable structure

Номер патента: EP3839605A1. Автор: Roberto Carminati,Nicolò BONI,Massimiliano Merli. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2021-06-23.

Micro-electro-mechanical systems and photonic interconnects employing the same

Номер патента: WO2009002523A3. Автор: R Stanley Williams,Terrel Morris,Shih-Yuam Wang,Mihail Siglas. Владелец: Mihail Siglas. Дата публикации: 2009-03-12.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (MEMS) and MEMS based devices

Номер патента: US20040266048A1. Автор: William Platt,Carol Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2004-12-30.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (mems) and mems based devices

Номер патента: AU2003223194A1. Автор: William P. Platt,Carol M. Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-09-09.

Bonding for a micro-electro-mechanical system (mems) and mems based devices

Номер патента: AU2003223194A8. Автор: William P Platt,Carol M Ford. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2003-09-09.

Method for forming micro-electro-mechanical system (MEMS) package

Номер патента: US8043897B2. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Chih-Hsiang Lin. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-25.

Micro-electro-mechanical systems (mems) package and method for forming the mems package

Номер патента: CN101665230B. Автор: 李建兴,谢聪敏,林智翔. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-21.

Encapsulated micro-electro-mechanical device, in particular a MEMS acoustic transducer

Номер патента: US8551799B2. Автор: Mark Andrew Shaw,Gianmarco Antonio Camillo. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2013-10-08.

Over-current protection of micro electro-mechanical systems

Номер патента: WO2002027886A2. Автор: Harry Rodriguez,Ramon C. W. Chea, Jr.,P. Kingston Duffie,Robert Crofford. Владелец: Turnstone Systems, Inc.. Дата публикации: 2002-04-04.

Television tuner employing micro-electro-mechanically-switched tuning matrix

Номер патента: WO2000003538A1. Автор: Arye Rosen,Stewart M. Perlow,Raymond L. Camisa. Владелец: Sarnoff Corporation. Дата публикации: 2000-01-20.

Television tuner employing micro-electro-mechanically-switched tuning matrix

Номер патента: EP1095509A1. Автор: Arye Rosen,Stewart M. Perlow,Raymond L. Camisa. Владелец: Sarnoff Corp. Дата публикации: 2001-05-02.

Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads

Номер патента: US8592993B2. Автор: Xiao (Charles) Yang. Владелец: MCube Inc. Дата публикации: 2013-11-26.

Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads

Номер патента: US8367522B1. Автор: Xiao “Charles” Yang. Владелец: MCube Inc. Дата публикации: 2013-02-05.

Mems acoustic pressure sensor device and method for making same

Номер патента: US20170225944A1. Автор: Chuan-Wei Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2017-08-10.

Semiconductor device and method for detecting damaging of a semiconductor device

Номер патента: US20150253375A1. Автор: DIRK Meinhold. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2015-09-10.

Systems and methods for reduced stress anchors

Номер патента: US20090321857A1. Автор: Mark Williams,Michael Foster,Mark Eskridge. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2009-12-31.

Methods for reduced stress anchors

Номер патента: US20120070931A1. Автор: Mark Williams,Michael Foster,Mark Eskridge. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2012-03-22.

Methods for reduced stress anchors

Номер патента: US8383442B2. Автор: Mark Williams,Michael Foster,Mark Eskridge. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2013-02-26.

Method for fabricating hollow nanotube structure

Номер патента: US20110033974A1. Автор: Shui-Jinn WANG,Der-Ming Kuo,Wei-Chih Isai,Chih-Ren Tseng. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-02-10.

ELECTRICAL CONNECTION TO A MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20200216310A1. Автор: Miller Scott,PARK Sangtae,Hocking Andrew. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-09.

Electrical connection to a micro electro-mechanical system

Номер патента: US20200216310A1. Автор: Scott Miller,Sangtae Park,Andrew Hocking. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2020-07-09.

Methods for Fabricating Micro-Electro-Mechanical Devices

Номер патента: US20080194053A1. Автор: Yongli Huang. Владелец: Kolo Technologies Inc. Дата публикации: 2008-08-14.

Method for micropackaging of electrical or electromechanical devices and micropackage

Номер патента: EP1805800A2. Автор: John Gregory. Владелец: Intraglobal Corp. Дата публикации: 2007-07-11.

Interlayer wiring of micro-electro mechanical device using carbon nanotube

Номер патента: KR101125139B1. Автор: 김성현,신권우,이경일,한종훈. Владелец: 전자부품연구원. Дата публикации: 2012-03-20.

Three-dimensional micro-electro-mechanical, microfluidic, and micro-optical systems

Номер патента: US12080651B2. Автор: Gregory Nolan NIELSON. Владелец: Nielson Scientific LLC. Дата публикации: 2024-09-03.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SILICON ON INSULATOR PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR PREPARING SAME

Номер патента: US20220033247A1. Автор: Zhang Pengfei,Huang Xiaodong,Lan Zhikang. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-03.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM PIEZOELECTRIC TRANSDUCER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20180207681A1. Автор: CHAU Manhing. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-26.

THREE-DIMENSIONAL MICRO-ELECTRO-MECHANICAL, MICROFLUIDIC, AND MICRO-OPTICAL SYSTEMS

Номер патента: US20210020576A1. Автор: Nielson Gregory Nolan. Владелец: . Дата публикации: 2021-01-21.

PIEZOELECTRIC MICRO-ELECTRO-MECHANICAL ACTUATOR DEVICE, MOVABLE IN THE PLANE

Номер патента: US20180190895A1. Автор: Giusti Domenico,Alessandri Anna. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-05.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20210265556A1. Автор: SEGHIZZI Luca,Longoni Gianluca. Владелец: STMICROELECTRONICS S.R.L.. Дата публикации: 2021-08-26.

Micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN102906008A. Автор: A.斯坦珀,C.V.扬斯. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-01-30.

Micro-electro-mechanical system structures

Номер патента: GB2494355B. Автор: Anthony K Stamper,Christopher Vincent Jahnes. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-01-28.

Micro-electro-mechanical transducers

Номер патента: CA2607918A1. Автор: Yongli Huang. Владелец: Yongli Huang. Дата публикации: 2006-11-23.

MEMS microphone and method for forming the same

Номер патента: US09949037B2. Автор: Manhing Chau. Владелец: MEMSEN ELECTRONICS INC. Дата публикации: 2018-04-17.

Mems microphone and method for forming the same

Номер патента: US20160241965A1. Автор: Manhing Chau. Владелец: MEMSEN ELECTRONICS INC. Дата публикации: 2016-08-18.

Apparatus and method for MEMS microphone performance via back volume

Номер патента: US11863925B2. Автор: Yu Du,Sullivan Do. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2024-01-02.

Apparatus and method for mems microphone performance via back volume

Номер патента: US20240089644A1. Автор: Yu Du,Sullivan Do. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2024-03-14.

Apparatus and method for mems microphone performance via back volume

Номер патента: EP4167595A3. Автор: Yu Du,Sullivan Do. Владелец: Harman International Industries Inc. Дата публикации: 2023-06-07.

Micro electro-mechanical system sensor

Номер патента: EP4207597A1. Автор: Choongho RHEE,Sungchan Kang,Cheheung KIM,Yongseop YOON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-07-05.

Micro electro-mechanical system sensor

Номер патента: US20230212001A1. Автор: Choongho RHEE,Sungchan Kang,Cheheung KIM,Yongseop YOON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-07-06.

System and method for providing a micro-electro-mechanical microengine assembly

Номер патента: WO2004017509A2. Автор: Edward S. Kolesar. Владелец: PC Lens Corp. Дата публикации: 2004-02-26.

Micro-electro-mechanical system structure and method for forming the same

Номер патента: US20170210615A1. Автор: Yuan-Sheng Lin,Weng-Yi Chen,Kuan-Yu Wang,Chih-Wei Liu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2017-07-27.

Micro-electro-mechanical system structure and method for forming the same

Номер патента: US9950920B2. Автор: Yuan-Sheng Lin,Weng-Yi Chen,Kuan-Yu Wang,Chih-Wei Liu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2018-04-24.

Structure of micro-electro-mechanical-system microphone and method for fabricating the same

Номер патента: TW202119829A. Автор: 李建興,謝聰敏,蔡振維. Владелец: 鑫創科技股份有限公司. Дата публикации: 2021-05-16.

Micro electro mechanical system sound wave transducer

Номер патента: US12028668B2. Автор: Hsiao-Yi Lin,Yao-Sheng Chou,Kwun Kit Chan,Yi Feng Wei. Владелец: Glass Acoustic Innovations Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL DEVICE

Номер патента: US20220408197A1. Автор: CHEN Jen-Yi,CHANG Chao-Sen,Lee Yueh-Kang. Владелец: Merry Electronics(Shenzhen) Co., Ltd.. Дата публикации: 2022-12-22.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20220086571A1. Автор: Hu Yonggang,ZHOU Guoping,XIA Changfeng. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-17.

STRUCTURE OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM MICROPHONE

Номер патента: US20210144485A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsao Li-Chi. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2021-05-13.

STRUCTURE OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM MICROPHONE

Номер патента: US20210195340A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Tsai Cheng-Wei. Владелец: SOLID STATE SYSTEM CO., LTD.. Дата публикации: 2021-06-24.

Micro electro mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: US10390145B1. Автор: Tsung-Min Hsieh,Chien-Hsing Lee,Cheng-Wei Tsai. Владелец: Solid State System Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-20.

Micro electro mechanical system microphone package with PCB provided with sound holes

Номер патента: CN201321377Y. Автор: 宋清淡. Владелец: BO SUNG ELECTRICS Co Ltd. Дата публикации: 2009-10-07.

Circuit topology for protecting vulnerable micro electro-mechanical system (MEMS) and electronic relay devices

Номер патента: US20020089804A1. Автор: Ramon Chea. Владелец: Turnstone Systems Inc. Дата публикации: 2002-07-11.

Methods for manufacturing a soft error and defect resistant pre-metal dielectric layer

Номер патента: US20050287782A1. Автор: Mark Nelson,John Naughton. Владелец: AMI Semiconductor Inc. Дата публикации: 2005-12-29.

Solar cell and method for manufacturing the same

Номер патента: US8138416B2. Автор: Junhee Choi,Andrei Zoulkarneev,Jai Yong HAN. Владелец: Samsung SDI Co Ltd. Дата публикации: 2012-03-20.

Solar cell and method for manufacturing the same

Номер патента: US20090250112A1. Автор: Junhee Choi,Andrei Zoulkarneev,Jai Yong HAN. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2009-10-08.

SEMICONDUCTOR DEVICE, A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL RESONATOR AND A METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20150021734A1. Автор: Kautzsch Thoralf. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-22.

SEMICONDUCTOR DEVICE, A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL RESONATOR AND A METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20160233299A1. Автор: Kautzsch Thoralf. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-11.

MICRO ELECTRO MECHANICAL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20130307030A1. Автор: Yamaguchi Mayumi,Izumi Konmai. Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2013-11-21.

Piezo-electric based micro-electro-mechanical lens actuation system

Номер патента: US20130114149A1. Автор: Aron Michael,Chee Yee Kwok. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-05-09.

METHOD AND STRUCTURE OF INTEGRATED MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS AND ELECTRONIC DEVICES USING EDGE BOND PADS

Номер патента: US20130134599A1. Автор: Yang Xiao (Charles). Владелец: MCube Inc.. Дата публикации: 2013-05-30.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) BASED WIDE-BAND POLYMER PHOTO-DETECTOR

Номер патента: US20160211475A1. Автор: Chaki Roy Sangita,Kundu Tapanendu,Rao V. Ramgopal. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL RESONATORS

Номер патента: US20200228095A1. Автор: Tabrizian Roozbeh,Ghatge Mayur. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-16.

Micro Electro Mechanical Structure RF swicth

Номер патента: KR100485787B1. Автор: 홍영택,박선희,김영일,이문철,심동하,송인상,남광우. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-04-28.

Micro-electro-mechanical transducers

Номер патента: CN101589543B. Автор: 黄勇力. Владелец: Kolo Technologies Inc. Дата публикации: 2012-10-31.

Micro-electro-mechanical system drive-mode oscillator module and method therefor

Номер патента: US09823074B2. Автор: Laurent Cornibert,Gerhard Trauth,Hugues Beaulaton. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2017-11-21.

Micro-electro-mechanical-system (mems) resonator and manufacturing method thereof

Номер патента: US20070109074A1. Автор: Akira Sato,Shogo Inaba. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2007-05-17.

Resonant structure in micro electro mechanical systems

Номер патента: US20240267027A1. Автор: Yan-Ming Huang,Yu-Min Chuang,Jen-Yi Chen. Владелец: Zilltek Technology Corp. Дата публикации: 2024-08-08.

Coated article for an electro-mechanical device

Номер патента: EP3807978A1. Автор: Narendra Singh. Владелец: Siemens Energy Global GmbH and Co KG. Дата публикации: 2021-04-21.

Coated article for an electro-mechanical device

Номер патента: US11804747B2. Автор: Narendra Singh. Владелец: Siemens Energy Global GmbH and Co KG. Дата публикации: 2023-10-31.

Electrostatic speaker and a method for generating acoustic signals

Номер патента: US20200236469A1. Автор: Igor Sokolov,Gabriel SEIDEN,Haim Kuperschmidt. Владелец: DSP GROUP LTD. Дата публикации: 2020-07-23.

Mems device and method for manufacturing the same

Номер патента: US20240158225A1. Автор: Weng-Yi Chen,Jung-Hao CHANG. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2024-05-16.

Apparatus and method for protecting a micro-electro-mechanical system

Номер патента: EP3167623B1. Автор: Andrew J. Holliday. Владелец: WL Gore and Associates Inc. Дата публикации: 2023-08-30.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

Номер патента: US20180201498A1. Автор: Liu Chih-Wei,WANG Kuan-Yu,Lin Yuan-Sheng,Chen Weng-Yi. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

Lid for micro-electro-mechanical device and method for fabricating the same

Номер патента: US8610006B2. Автор: Shih-Ping Hsu,Kun-Chen Tsai,Micallaef Ivan. Владелец: Unimicron Technology Corp. Дата публикации: 2013-12-17.

Micro-electro-mechanical system microphone chip with expanded back chamber

Номер патента: US20130322661A1. Автор: Chun-Chieh Wang,Hung-Jen Chen,Kuan-Hsun Chiu,Min-Li Hsu. Владелец: Merry Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2013-12-05.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20190110116A1. Автор: JR. John C.,Baumhauer,LI Fengyuan,MARCUS Larry A.,MICHEL Alan D.,REESE Marc. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-11.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER HAVING AN OPTIMIZED NON-FLAT SURFACE

Номер патента: US20150181348A1. Автор: Huang Yongli. Владелец: Kolo Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-06-25.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE WITH DUAL BACKPLATES

Номер патента: US20170318395A1. Автор: Lafort Adrianus Maria,Moss Brian,Harney Kieran,Ivo De Roo Dion. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICES

Номер патента: US20160345084A1. Автор: Dehe Alfons,Friza Wolfgang. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-24.

RAISED SHOULDER MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20160353212A1. Автор: Lautenschlager Eric J.,Vos Sandra F.. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2016-12-01.

Gradient Micro-Electro-Mechanical (MEMS) Microphone Assembly

Номер патента: US20190379955A1. Автор: Boisard Tifenn,Foletta Wayne,Mariano Erwin. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-12.

Sensing Membrane And Micro-Electro-Mechanical System Device Using The Same

Номер патента: EP2071871A1. Автор: Chia-Yu Wu,Jien-Ming Chen. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2009-06-17.

MEMS (micro electro mechanical system) microphone

Номер патента: CN103686570A. Автор: 潘政民,孟珍奎. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-26.

Micro-Electro Mechanical System microphone and Manufacturing Method thereof

Номер патента: KR101112120B1. Автор: 김홍성,김영신. Владелец: (주)세미로드. Дата публикации: 2012-04-10.

Micro-electro-mechanical microphone with fixed interior zone

Номер патента: CN108141678A. Автор: 勒娜特·梅拉穆德·伯杰,S·巴拉坦,托马斯·陈. Владелец: Mei Sheng Co. Дата публикации: 2018-06-08.

Micro electro-mechanical system device with piezoelectric thin film actuator

Номер патента: AU2003295553A1. Автор: Joon Park,Robert C. Allison,Ron K. Nakahira. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2004-06-15.

Method for manufacturing ion aggregation device of micro electro mechanical system (MEMS) air amplifier

Номер патента: CN102556957B. Автор: 高帅,邹赫麟. Владелец: Dalian University of Technology. Дата публикации: 2014-06-25.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Structures And Design Structures

Номер патента: US20160031699A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20170154734A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norito. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20190362899A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norlito. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-28.

MEMS SWITCH (MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM) RF (RADIOFREQUENCY) WITH A FLEXIBLE AND FREE SWITCH MEMBRANE.

Номер патента: ES2296116T3. Автор: Olivier Millet. Владелец: Delfmems SAS. Дата публикации: 2008-04-16.

Radio frequency micro electro mechanical system switch and fabrication method thereof

Номер патента: KR100571778B1. Автор: 권순철,신형재,롱지펭. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2006-04-18.

Single Crystal Silicon Membrane with a Suspension Layer, Method for Fabricating the Same, and a Micro-Heater

Номер патента: US20130062738A1. Автор: Chung-Nan Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-03-14.

Raised shoulder micro electro mechanical system (mems) microphone

Номер патента: WO2016191453A1. Автор: Sandra F. Vos,Eric J. Lautenschlager. Владелец: Knowles Electronics, LLC. Дата публикации: 2016-12-01.

Electrostatic Discharge Protection Circuit Employing a Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) Structure

Номер патента: US20090296292A1. Автор: Choshu Ito,William Loh,Tze Wee Chen. Владелец: LSI Corp. Дата публикации: 2009-12-03.

Apparatus and Method For Protecting a Micro-Electro-Mechanical System

Номер патента: US20160376144A1. Автор: Holliday Andrew J.. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-29.

A micro-electro-mechanical varactor and a method of making and using

Номер патента: WO2002073671A1. Автор: Michael D. Potter. Владелец: ROCHESTER INSTITUTE OF TECHNOLOGY. Дата публикации: 2002-09-19.

Micro electro-mechanical heater

Номер патента: EP2504671A1. Автор: Yunje Oh,Syed Amanulla Syed Asif,Oden L. Warren,Edward Cyrankowski. Владелец: Hysitron Inc. Дата публикации: 2012-10-03.

Applications of micro-electro-mechanical wobble motors as radio frequency transceiver components

Номер патента: US6118192A. Автор: John P. Karidis. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2000-09-12.

Neuromorphic micro-electro-mechanical-system device

Номер патента: EP3898502B1. Автор: Julien Sylvestre,Bruno BARAZANI,Guillaume DION. Владелец: SOCPRA Sciences et Genie SEC. Дата публикации: 2024-07-31.

Neuromorphic micro-electro-mechanical-system device

Номер патента: EP3898502C0. Автор: Julien Sylvestre,Bruno BARAZANI,Guillaume DION. Владелец: SOCPRA Sciences et Genie SEC. Дата публикации: 2024-07-31.

Self-locking micro electro mechanical device

Номер патента: US20100263997A1. Автор: Achim Hilgers. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV. Дата публикации: 2010-10-21.

Self-locking micro electro mechanical device

Номер патента: WO2008017978A3. Автор: Achim Hilgers. Владелец: Achim Hilgers. Дата публикации: 2008-04-10.

Self-locking micro electro mechanical device

Номер патента: US7944332B2. Автор: Achim Hilgers. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV. Дата публикации: 2011-05-17.

Self-locking micro electro mechanical device

Номер патента: EP2052396A2. Автор: Achim Hilgers. Владелец: Philips Intellectual Property and Standards GmbH. Дата публикации: 2009-04-29.

Micro electro-mechanical heater

Номер патента: US20120292528A1. Автор: Yunje Oh,Syed Amanulla Syed Asif,Oden Lee Warren,Edward Cyrankowski. Владелец: Hysitron Inc. Дата публикации: 2012-11-22.

Micro electro mechanical system (mems) microwave switch structures

Номер патента: US20130299328A1. Автор: Brandon W. Pillans,Cody B. Moody,Andrew Malczewski. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2013-11-14.

Micro electro-mechanical heater

Номер патента: US20160123859A1. Автор: Yunje Oh,Syed Amanulla Syed Asif,Oden Lee Warren,Edward Cyrankowski. Владелец: Hysitron Inc. Дата публикации: 2016-05-05.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS

Номер патента: US20140211366A1. Автор: Morris,III Arthur S.,DeReus Dana,Baytan Norito. Владелец: . Дата публикации: 2014-07-31.

METHOD AND SYSTEM FOR CONFIGURING A LEAKY WAVE ANTENNA UTILIZING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS

Номер патента: US20150280325A1. Автор: Rofougaran Ahmadreza. Владелец: BROADCOM CORPORATION. Дата публикации: 2015-10-01.

Micro electro mechanical system device exhibiting linear characteristics

Номер патента: CN103547331B. Автор: J.V.克拉克. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2017-02-15.

Micro-electro-mechanical environment sensor and preparation method thereof

Номер патента: CN111473805B. Автор: 金英西,薛松生,祁彬. Владелец: MultiDimension Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-21.

Micro electro-mechanical variable capacitor

Номер патента: CN100442540C. Автор: 埃尼尔·K.·奇恩萨肯迪. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2008-12-10.

Micro-electro-mechanical system (mems) variable capacitor apparatuses and related methods

Номер патента: AU2003243546A8. Автор: Hector J De Los Santos. Владелец: Wispry Inc. Дата публикации: 2003-12-31.

Method for gluing components, forming a temperature-resistant adhesive layer

Номер патента: US20110221308A1. Автор: Roland Mueller,Gerhard Hueftle,Irene Jennrich,Patrick Stihler. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-09-15.

System and method for all electrical noise testing of MEMS microphones in production

Номер патента: US09998840B2. Автор: John Matthew Muza. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2018-06-12.

Micro-electro-mechanical device with a shock-protected tiltable structure

Номер патента: US12043540B2. Автор: Roberto Carminati,Massimiliano Merli,Nicolo' BONI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-07-23.

PACKAGING CONCEPT TO IMPROVE PERFORMANCE OF A MICRO-ELECTRO MECHANICAL (MEMS) MICROPHONE

Номер патента: US20160014530A1. Автор: Gao Jia. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2016-01-14.

System and method for all electrical noise testing of mems microphones in production

Номер патента: EP3120580A1. Автор: John Matthew Muza. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2017-01-25.

Micro-electro-mechanical device with a shock-protected tiltable structure

Номер патента: EP3839605B1. Автор: Roberto Carminati,Nicolò BONI,Massimiliano Merli. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-01-24.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE WITH VARYING HEIGHT ASSEMBLIES

Номер патента: US20160007107A1. Автор: LI Fengyuan,REESE Marc,Baumhauer John,Iraclianos Spiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-07.

GRADIENT MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE WITH VARYING HEIGHT ASSEMBLIES

Номер патента: US20180249235A1. Автор: LI Fengyuan,REESE Marc,Baumhauer John,Iraclianos Spiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-08-30.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED ACOUSTIC EMISSION SENSORS

Номер патента: US20170370768A1. Автор: OZEVIN Didem,SABOONCHI Hossain. Владелец: . Дата публикации: 2017-12-28.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM SOUND WAVE TRANSDUCER

Номер патента: US20220360876A1. Автор: Lin Hsiao-Yi,CHOU Yao-Sheng,CHAN KWUN KIT,WEI YI FENG. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-10.

Micro electro mechanical systems device and apparatus for compensating tremble

Номер патента: US9516233B2. Автор: Jong Hyun Lee,Seung Hwan Moon,Hyun Kyu Park. Владелец: LG Innotek Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-06.

Active imaging using a micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror array (mma)

Номер патента: US20220232144A1. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-07-21.

Active imaging using a micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA)

Номер патента: US11477350B2. Автор: Gerald P. Uyeno,Sean D. Keller,Benn H. GLEASON. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2022-10-18.

Systems and methods for passive optical switching using mems mirror switches

Номер патента: US20200106519A1. Автор: Donna L. Polehn,Mark T. WATTS. Владелец: VERIZON PATENT AND LICENSING INC. Дата публикации: 2020-04-02.

2-Channel display system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US20080096598A1. Автор: Max Mayer,Bernhard Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-04-24.

2-channel display system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US7817329B2. Автор: Max Mayer,Bernhard Rudolf Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-10-19.

2-channel display system comprising micro electro mechanical systems

Номер патента: US7466473B2. Автор: Max Mayer,Bernhard Rudolf Bausenwein. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-12-16.

Over-current protection of micro electro-mechanical systems

Номер патента: AU2001294721A1. Автор: Harry Rodriguez,P. Kingston Duffie,Ramon C.W. Chea,Robert Crofford. Владелец: Turnstone Systems Inc. Дата публикации: 2002-04-08.

OPTICAL DATA COMMUNICATION USING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) MICRO-MIRROR ARRAYS

Номер патента: US20210088776A1. Автор: Uyeno Gerald P.,Keller Sean D.,Gleason Benn H.. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-25.

DATA FLOW CONFIGURATION IN HYBRID SYSTEM OF SILICON AND MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SWITCH (MEMS) ELEMENTS

Номер патента: US20180167310A1. Автор: Kamble Keshav G.. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-14.

Micro Electro Mechanical Systems Device and Apparatus for Compensating Tremble

Номер патента: US20140313355A1. Автор: LEE Jong Hyun,MOON Seung Hwan,PARK Hyun Kyu. Владелец: LG INNOTEK CO., LTD.. Дата публикации: 2014-10-23.

Mems device package and method for manufacturing the same

Номер патента: US20190055118A1. Автор: Chien-Hua Chen,Chin-Cheng Kuo,Cheng-Yuan KUNG,Che-Hau Huang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2019-02-21.

System and method for providing a micro-electro-mechanical microengine assembly

Номер патента: AU2003258266A1. Автор: Edward S. Kolesar. Владелец: PC Lens Corp. Дата публикации: 2004-03-03.

Micro-electro-mechanical device and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102275857A. Автор: 毛剑宏,唐德明,韩凤芹. Владелец: JIANGSU LIHENG ELECTRONIC CO Ltd. Дата публикации: 2011-12-14.

Three dimensional (3D) robotic micro electro mechanical systems (MEMS) arm and system

Номер патента: US20200024128A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), APPARATUS, AND OPERATING METHODS THEREOF

Номер патента: US20160118993A1. Автор: Huang Wen-Hung,Peng Yung-Chow,LIN Yu-Wei. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-28.

THREE DIMENSIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20170129770A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

COMB-DRIVE DEVICE USED IN MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20220298004A1. Автор: CARGILL Scott Lyall. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-22.

Micro electro mechanical systems device

Номер патента: KR102019098B1. Автор: 김철,서상원,고용준,서정기,전도한,최완섭. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2019-11-04.

Micro-electro-mechanical-system(mems) driver

Номер патента: KR101999745B1. Автор: 이온 오프리스,하이 타오. Владелец: 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션. Дата публикации: 2019-10-01.

Micro-electro-mechanical-system(mems) driver

Номер патента: KR20130116189A. Автор: 이온 오프리스,하이 타오. Владелец: 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션. Дата публикации: 2013-10-23.

Method for forming micro-electro-mechanical system (mems) structure

Номер патента: US20190315620A1. Автор: Kai-Fung Chang,Len-Yi Leu,Lien-Yao TSAI. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-10-17.

Amorphous flexures in micro-electro mechanical systems

Номер патента: EP1799613A1. Автор: James C. McKinnell,James R. Przybyla,Arthur Piehl. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2007-06-27.

Amorphous flexures in micro-electro mechanical systems

Номер патента: WO2006041585A1. Автор: James C. McKinnell,James R. Przybyla,Arthur Piehl. Владелец: Hewlett-Packard Development Company, L.P.. Дата публикации: 2006-04-20.

Method for preparation of micro electro-mechanical structure

Номер патента: US20140256077A1. Автор: Bo-Ting Chen,Jung-Hsiang Chen,Cheng-Szu Chen. Владелец: Sagatek Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-11.

Micro-electro-mechanical device having low thermal expansion difference

Номер патента: US09944513B2. Автор: Ming-Han Tsai,Yu-Chia Liu,Wei-Leun Fang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2018-04-17.

Dicing method for micro electro mechanical system chip

Номер патента: US20040005734A1. Автор: Joon Kang,Sang Yoon,Sung Cheon Jung,Hyun Kee Lee. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2004-01-08.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: US09983403B2. Автор: Alan Frank Graves. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-29.

Mechanisms for forming micro-electro mechanical system device

Номер патента: US20150021723A1. Автор: Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-01-22.

Micro-electro-mechanical system structures and design structures

Номер патента: WO2014181202A3. Автор: Anthony K. Stamper. Владелец: Ibm China Ltd. Дата публикации: 2015-04-09.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: US12084340B2. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2024-09-10.

Mechanisms for forming micro-electro mechanical system device

Номер патента: US9352953B2. Автор: Chun-Ren Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-05-31.

Testing a micro electro-mechanical device

Номер патента: EP1206351A4. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2003-03-12.

Display apparatus having a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US20160140914A1. Автор: Chong-Chul Chai,Kyoung-Ju Shin,Eun-Ju Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-19.

Method for forming anti-stiction bumps on a micro-electro mechanical structure

Номер патента: EP1712514A3. Автор: Dan W. Chilcott. Владелец: Delphi Technologies Inc. Дата публикации: 2011-06-15.

Micro-electro-mechanical system micro mirror

Номер патента: WO2008122865A2. Автор: Tiansheng ZHOU. Владелец: Tiansheng ZHOU. Дата публикации: 2008-10-16.

Manufacturing method of micro-electro-mechanical systems device

Номер патента: US10183856B2. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2019-01-22.

Micro-electro-mechanical system (mems) structures and design structures

Номер патента: US20140332913A1. Автор: Anthony K. Stamper. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2014-11-13.

Controlling one or more electrostatic comb structures of a micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US12116267B2. Автор: Edward Wang,Wenlin Jin. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2024-10-15.

Seal in a micro electro-mechanical device

Номер патента: US6338548B1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2002-01-15.

Micro-electro-mechanical system device having differential capacitors of corresponding sizes

Номер патента: US20150069538A1. Автор: Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-03-12.

Display apparatus having a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US20140285412A1. Автор: Chong-Chul Chai,Kyoung-Ju Shin,Eun-Ju Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-25.

Electrode configuration for tilting micro-electro-mechanical systems mirror

Номер патента: US11726311B2. Автор: Shane H. Woodside,Gonzalo Wills,Wenlin Jin,Jason BLECHTA. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2023-08-15.

Micro-electro-mechanical pressure device and methods of forming same

Номер патента: US09975756B2. Автор: Lorenzo Baldo,Sebastiano Conti,Flavio Francesco Villa,Enri Duqi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2018-05-22.

Seal in micro electro-mechanical ink ejection nozzle.

Номер патента: ZA200200764B. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: Silverbrook Res Pty Ltd. Дата публикации: 2002-10-30.

Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device

Номер патента: US20020071169A1. Автор: John Bowers,Seung Lee,Noel MacDonald,Roger Helkey,Charles Corbalis,Robert Sink. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-06-13.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160085066A1. Автор: Alan Frank Graves,Dominic John Goodwill. Владелец: FutureWei Technologies Inc. Дата публикации: 2016-03-24.

Vent in a micro electro-mechanical device

Номер патента: CA2414739C. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2009-11-17.

Micro-electro-mechanical sensing device and manufacturing method thereof

Номер патента: US9244093B2. Автор: Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-01-26.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) thermal sensor

Номер патента: US11796396B2. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-10-24.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: EP3983054A1. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2022-04-20.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: CA3138947A1. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2020-12-17.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: AU2020290475B2. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2023-08-24.

Micro-electro-mechanical sensing device and manufacturing method thereof

Номер патента: US20130152688A1. Автор: Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2013-06-20.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: CA3138947C. Автор: Arunava Steven BANERJEE,Luc Jan BOUSSE,Mark A. Webb. Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2024-04-30.

Micro-electro-mechanical system (mems) thermal sensor

Номер патента: US20200103290A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Micro-electro-mechanical sytem (mems) thermal sensor

Номер патента: US20210215550A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-07-15.

Fault detection in a micro electro-mechanical device

Номер патента: CA2414734C. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2008-10-21.

Testing a micro electro-mechanical device

Номер патента: CA2414733C. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2009-11-10.

Thermal bend actuator for a micro electro-mechanical device

Номер патента: IL164693A. Автор: . Владелец: Silverbrook Res Pty Ltd. Дата публикации: 2008-03-20.

Testing a micro electro-mechanical device

Номер патента: EP1206351A1. Автор: Kia Silverbrook Research Pty Ltd Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2002-05-22.

Micro electro-mechanical strain displacement sensor and usage monitoring system

Номер патента: US20240077369A1. Автор: Paul D Okulov. Владелец: IPR INNOVATIVE PRODUCTS RESOURCES Inc. Дата публикации: 2024-03-07.

Micro-Electro-Mechanical System (Mems) Thermal Sensor

Номер патента: US20230375416A1. Автор: Shih-Chi Kuo,Tsai-Hao Hung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Electrostatic printers using micro electro-mechanical switching elements

Номер патента: US20050134644A1. Автор: Glenn Sanders,Nicholas Pasch. Владелец: Rolltronics Corp. Дата публикации: 2005-06-23.

Micro-electro-mechanical system tiltable lens

Номер патента: US20130224896A1. Автор: Jeffrey P. Gambino,Kirk D. Peterson,Jed H. Rankin,John J. Ellis-Monaghan. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-08-29.

Methods of fabricating micro electro-mechanical systems structures

Номер патента: US11845654B2. Автор: Chang Ge,Edmond CRETU. Владелец: University of British Columbia. Дата публикации: 2023-12-19.

Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore

Номер патента: WO2008078182B1. Автор: . Владелец: Zhou Tiansheng. Дата публикации: 2008-10-09.

Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore

Номер патента: WO2008078182A2. Автор: . Владелец: Zhou, Tiansheng. Дата публикации: 2008-07-03.

Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore

Номер патента: WO2008078182A8. Автор: . Владелец: Zhou Tiansheng. Дата публикации: 2008-11-27.

Controlling one or more electrostatic comb structures of a micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20230113224A1. Автор: Edward Wang,Wenlin Jin. Владелец: Lumentum Operations LLC. Дата публикации: 2023-04-13.

Display apparatus having a micro-electro-mechanical system

Номер патента: US8749592B2. Автор: Chong-Chul Chai,Kyoung-Ju Shin,Eun-Ju Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-06-10.

Micro-electro-mechanical system fluid control

Номер патента: US20240279048A1. Автор: Johan Bejhed. Владелец: Water Stuff & Sun GmbH. Дата публикации: 2024-08-22.

Micro-electro-mechanical system fluid control

Номер патента: EP4356032A1. Автор: Johan Bejhed. Владелец: Water Stuff & Sun GmbH. Дата публикации: 2024-04-24.

Methods of fabricating micro electro-mechanical systems structures

Номер патента: WO2023154993A1. Автор: Chang Ge,Edmond CRETU. Владелец: The University of British Columbia. Дата публикации: 2023-08-24.

Micro-electro-mechanical system device with low substrate capacitive coupling effect

Номер патента: US20160090295A1. Автор: Hsin-Hui Hsu,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-03-31.

ENERGY HARVESTING WITH A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS)

Номер патента: US20160072412A1. Автор: Baugher Jeffrey Paul. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-10.

Method for coating and forming novel material layer structure of high-frequency circuit board and article thereof

Номер патента: US20240244763A1. Автор: LongKai LI. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-07-18.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150041629A1. Автор: Goodwill Dominic,Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-02-12.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160087628A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-24.

Measuring air quality using a micro-optical mechanical gas sensor

Номер патента: CA2681958A1. Автор: Carlos Fernandes,Harry E. Ruda. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-10-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) DRIVER

Номер патента: US20130271228A1. Автор: Opris Ion,Tao Hai. Владелец: Fairchild Semiconductor Corporation. Дата публикации: 2013-10-17.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) AND CORRESPONDING MANUFACTURING PROCESS

Номер патента: US20130276896A1. Автор: FONTANA Fulvio Vittorio. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL GENERATOR AND ELECTRICAL DEVICE USING THE SAME

Номер патента: US20140111060A1. Автор: NAITO Yasuyuki. Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2014-04-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH ENHANCED STRUCTURAL STRENGTH

Номер патента: US20150102701A1. Автор: Tsai Ming-Han,Hsu Hsin-Hui,Sun Chih-Ming,Wang WeiChung. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2015-04-16.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH ENHANCED STRUCTURAL STRENGTH

Номер патента: US20160173002A1. Автор: Tsai Ming-Han,Hsu Hsin-Hui,Sun Chih-Ming,Wang WeiChung. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2016-06-16.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER HAVING AN OPTIMIZED NON-FLAT SURFACE

Номер патента: US20150180370A1. Автор: Huang Yongli. Владелец: Kolo Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-06-25.

THREE DIMENSIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20160211779A1. Автор: Stalford Harold L.. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140368292A1. Автор: Stamper Anthony K.,WATSON Kimball M.,Johnson Ward A.,Lary Jenifer E.,Yee Pui L.. Владелец: . Дата публикации: 2014-12-18.

Flexible Micro-Electro-Mechanical Transducer

Номер патента: US20150326146A1. Автор: Huang Yongli. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-12.

WIRE BONDED COMMON ELECTRICAL CONNECTION IN A PIEZOELECTRIC MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SCANNING MIRROR ASSEMBLY

Номер патента: US20200326531A1. Автор: NYSTROM Michael James. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-15.

Micro-electro-mechanical resonator

Номер патента: CN108093679A. Автор: 张翼,M·卢茨,C·I·格罗斯珍,N·米勒,P·M·哈格林,G·C·希尔,J·C·多尔,T·乔克施,A·帕特里奇. Владелец: Core Time Co. Дата публикации: 2018-05-29.

Micro-electro-mechanical gyroscope

Номер патента: WO2000079217A3. Автор: Vijay K Varadan,Pascal B Xavier,William D Suh,Jose A Kollakompil,Vasundara V Varadan. Владелец: Vasundara V Varadan. Дата публикации: 2008-03-27.

Micro-electro-mechanical gyroscope

Номер патента: AU7824000A. Автор: Vijay K. Varadan,Pascal B. Xavier,William D. Suh,Jose A. Kollakompil,Vasundara V. Varadan. Владелец: PENN STATE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2001-01-09.

Micro-electro-mechanical gyroscope

Номер патента: US6516665B1. Автор: Vijay K. Varadan,Pascal B. Xavier,William D. Suh,Jose A. Kollakompil,Vasundara V. Varadan. Владелец: PENN STATE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2003-02-11.

Micro-electro-mechanical gyroscope

Номер патента: US20030167841A1. Автор: Vijay Varadan,Pascal Xavier,William Suh,Jose Kollakompil,Vasundara Varadan. Владелец: PENN STATE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2003-09-11.

Piezo-electric based micro-electro-mechanical lens actuation system

Номер патента: EP2590890A1. Автор: Aron Michael,Chee Yee Kwok. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-05-15.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: WO2015074484A1. Автор: Dominic John Goodwill,Alan Frank GRAVER. Владелец: Huawei Technologies Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-05-28.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: EP3017332A1. Автор: Dominic John Goodwill,Alan Frank GRAVER. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-11.

Micro-electro mechanical light modulator device

Номер патента: WO2006135699A2. Автор: James C. McKinnell,Arthur Piehl. Владелец: Hewlett-Packard Development Company, L.P.. Дата публикации: 2006-12-21.

Micro-electro-mechanical system with non-linear correction and method of operating such a mems

Номер патента: WO2017200805A1. Автор: Matthew Thompson. Владелец: InvenSense, Inc.. Дата публикации: 2017-11-23.

Micro-electro-mechanical gyroscope with open-loop reading device and control method thereof

Номер патента: US20100000289A1. Автор: Carlo Caminada,Luciano Prandi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2010-01-07.

Micro electro mechanical device having an opening between a fixing portion and a torsion bar

Номер патента: US8179582B2. Автор: Yasuhiro Omori,Osamu Tsuboi,Hiromitsu Soneda. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2012-05-15.

Micro electro-mechanical system circuit capable of compensating capacitance variation and method thereof

Номер патента: US8665011B2. Автор: Chia-Tai Wu. Владелец: Richwave Technology Corp. Дата публикации: 2014-03-04.

An aerosol-generating device comprising a micro electro-mechanical system

Номер патента: EP4287896A1. Автор: Alec WRIGHT,Andrew Robert John ROGAN,Kyle ADAIR,Gordon MONTGOMERY. Владелец: JT INTERNATIONAL SA. Дата публикации: 2023-12-13.

Micro-electro-mechanical display module and display method

Номер патента: US20140002512A1. Автор: Hsu-Hsiang Tseng,Weng-Chang Shen. Владелец: HTC Corp. Дата публикации: 2014-01-02.

Micro electro mechanical display module

Номер патента: US20140204441A1. Автор: Weng-Chang Shen. Владелец: HTC Corp. Дата публикации: 2014-07-24.

Micro-electro mechanical light modulator device

Номер патента: WO2006135699A3. Автор: Arthur Piehl,James C Mckinnell. Владелец: James C Mckinnell. Дата публикации: 2007-06-14.

Cyrogenic inertial micro-electro-mechanical system (MEMS) device

Номер патента: US6487864B1. Автор: William P. Platt,Burgess R. Johnson. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2002-12-03.

Angular rate producer with micro-electro mechanical system

Номер патента: WO2003010491A1. Автор: Ching-Fang Lin,Hiram McCall. Владелец: American Gnc Corproation. Дата публикации: 2003-02-06.

Guide adapted to fit on an electro-mechanical device for planting seeds

Номер патента: US5662053A. Автор: Wilson Porter. Владелец: Individual. Дата публикации: 1997-09-02.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: US20180282154A1. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2018-10-04.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: WO2018187486A1. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix, Inc.. Дата публикации: 2018-10-11.

Micro electro-mechanical system which includes an electromagnetically operated actuator mechanism

Номер патента: US20010022598A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2001-09-20.

Micro-electro-mechanical-system device with particles blocking function and method for making same

Номер патента: US20110108934A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2011-05-12.

Micro-Electro-Mechanical-System Device with Particles Blocking Function and Method for Making Same

Номер патента: US20100148321A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-06-17.

Process for manufacturing a micro-electro-mechanical device, and MEMS device

Номер патента: US11945712B2. Автор: Lorenzo Corso,Giorgio Allegato,Carlo Valzasina,Ilaria Gelmi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2024-04-02.

Micro-electro-mechanical-system sensor and method for making same

Номер патента: US20100213557A1. Автор: Chuan Wei WANG. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-08-26.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Sensor and Method for Making Same

Номер патента: US20110183455A1. Автор: Chuan Wei WANG. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2011-07-28.

Micro electro mechanical system probe and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240174512A1. Автор: Ming-Wei Huang,Shang-Kuang Wu,Yu-Tsung Fu. Владелец: Taiwan Mask Corp. Дата публикации: 2024-05-30.

Method for making micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US8303827B2. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2012-11-06.

A hot press forming apparatus and a method for hot press forming a blank

Номер патента: EP3962673A1. Автор: Lars Sandberg,Joakim INNALA,Petter ULFBERG. Владелец: Autotech Engineering SL. Дата публикации: 2022-03-09.

Apparatus and method for high speed forming a hinged carton

Номер патента: US4549876A. Автор: Thomas R. Baker,William H. Hittenberger,Boris J. Posen. Владелец: Kliklok LLC. Дата публикации: 1985-10-29.

Method for laminating and forming a composite laminate in a single operation

Номер патента: EP1401647A2. Автор: David D'arcy Clifford. Владелец: Dofasco Inc. Дата публикации: 2004-03-31.

Micro-electro-mechanical device

Номер патента: US20240118082A1. Автор: Loïc JOET,Patrice Rey. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA. Дата публикации: 2024-04-11.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (mems) to heal wounds

Номер патента: CA2735898C. Автор: Randall P. Kelch. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20170122974A1. Автор: Shih-Chieh Lin. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2017-05-04.

Systems and methods for dynamic blocks forming a passageway

Номер патента: US9795866B2. Автор: Jeb Belcher,Earl Wilson Belcher. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-10-24.

Corner compensation method for fabricating MEMS and structure thereof

Номер патента: US7180144B2. Автор: Jerwei Hsieh,Weileun Fang. Владелец: WALSIN LIHWA CORP. Дата публикации: 2007-02-20.

Corner compensation method for fabricating MEMS and structure thereof

Номер патента: US6949396B2. Автор: Jerwei Hsieh,Weileun Fang. Владелец: WALSIN LIHWA CORP. Дата публикации: 2005-09-27.

Method for making profile with micro-hole

Номер патента: US12053814B2. Автор: LIANG Chen,Mingfu Liu,Guoqun ZHAO,Cunsheng ZHANG,Xinwu Ma. Владелец: Shandong University. Дата публикации: 2024-08-06.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: EP3606868A4. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2021-01-13.

Systems and methods for fabricating an out-of-plane mems structure

Номер патента: US20090321008A1. Автор: Michael Foster,Shifang Zhou. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2009-12-31.

Suspension microstructure and a fabrication method for the same

Номер патента: US20090243084A1. Автор: Siew-Seong Tan. Владелец: MEMSMART Semiconductor Corp. Дата публикации: 2009-10-01.

Apparatus and method for forming an article

Номер патента: US20010048185A1. Автор: Donald Weder,Frank Craig,Michael King. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-12-06.

MICRO-MECHANICAL SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SENSOR

Номер патента: US20190345027A1. Автор: Meinhold Dirk,Bieselt Steffen,LANDGRAF Erhard. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-14.

Apparatus for forming an article

Номер патента: US6296466B2. Автор: Donald E. Weder,Frank Craig,Michael J. King. Владелец: Southpac Trust International Inc, Highland. Дата публикации: 2001-10-02.

Wafer lever fixture and method for packaging micro-electro-mechanical-system device

Номер патента: TW200849418A. Автор: Huseh-An Yang. Владелец: Advanced Semiconductor Eng. Дата публикации: 2008-12-16.

Thermal bend actuator for a micro electro-mechanical device

Номер патента: CA2414736C. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2009-11-03.

METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20180282154A1. Автор: PARK Sangtae,Heller Martin,Hocking Andrew,DeWall Jonah,Lynch Kristin. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-04.

Method for manufacturing a micro electro-mechanical system

Номер патента: EP3606868A1. Автор: Martin Heller,Sangtae Park,Jonah DEWALL,Andrew Hocking,Kristin Lynch. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2020-02-12.

Semiconductor structure and manufacturing method for the same

Номер патента: US20210122625A1. Автор: Yuan-Chih Hsieh,Hung-Hua Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-04-29.

Movement sensor in a micro electro-mechanical device

Номер патента: HK1047572A1. Автор: Silverbrook Kia. Владелец: Silverbrook Res Pty Limited. Дата публикации: 2003-02-28.

Seal in a micro electro-mechanical device

Номер патента: US6328431B1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2001-12-11.

Calibrating a micro electro-mechanical device

Номер патента: CA2414732A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: Kia Silverbrook. Дата публикации: 2001-01-11.

Movement sensor in a micro electro-mechanical device

Номер патента: CN1364115A. Автор: 卡·西尔弗布鲁克. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2002-08-14.

Thermal bend actuator for a micro electro-mechanical device

Номер патента: EP1194369B1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2008-10-29.

Thermal actuator for a micro electro-mechanical device and a liquid ejector including the same

Номер патента: IL145972A. Автор: . Владелец: Silverbrook Res Pty Ltd. Дата публикации: 2005-08-31.

Vent in a micro electro-mechanical device

Номер патента: CA2414739A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-01-11.

Vent in a micro electro-mechanical device

Номер патента: CN1374926A. Автор: 卡·西尔弗布鲁克. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2002-10-16.

Forming a micro electro mechanical system

Номер патента: US8084285B2. Автор: Sriram Ramamoorthi,Donald J. Milligan. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2011-12-27.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL DEVICE

Номер патента: US20150137303A1. Автор: Fan Chen-Chih,Chou Bruce C.S.,CHEN YANG-CHE. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Дата публикации: 2015-05-21.

Micro-electro-mechanical device with ion exchange polymer

Номер патента: GB2567725B. Автор: Bahar Bamdad,Li Zhefei. Владелец: Xergy Inc. Дата публикации: 2022-08-17.

Micro-electro-mechanical device with ion exchange polymer

Номер патента: GB201813340D0. Автор: . Владелец: Xergy Inc. Дата публикации: 2018-09-26.

Isolated Protrusion/Recession Features in a Micro Electro Mechanical System

Номер патента: US20180290880A1. Автор: Zheng Sandra,McDonald William C.,Oden Patrick Ian,Baker James Carl. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-11.

Seal for a micro electro-mechanical liquid chamber

Номер патента: EP1200263A4. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2004-04-21.

Actuator control in a micro electro-mechanical liquid ejection device

Номер патента: CA2370773A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: Kia Silverbrook. Дата публикации: 2000-11-02.

A micro-electro mechanical method and apparatus(mems15)

Номер патента: AUPP993299A0. Автор: . Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 1999-05-20.

Seal for a micro electro-mechanical liquid chamber

Номер патента: CA2414722A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: Kia Silverbrook. Дата публикации: 2001-01-11.

Printhead with a micro electro-mechanical radio frequency (RF MEMS) system for ejecting ink drops

Номер патента: DE60303265T2. Автор: In-sang Gwanak-gu Song. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2006-08-03.

Actuator control in a micro electro-mechanical liquid ejection device

Номер патента: KR100597470B1. Автор: 실버브룩키아. Владелец: 실버브룩 리서치 피티와이 리미티드. Дата публикации: 2006-07-05.

METHOD FOR FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE

Номер патента: US20190315620A1. Автор: Chang Kai-Fung,TSAI Lien-Yao,LEU Len-Yi. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2019-10-17.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150021723A1. Автор: Cheng Chun-Ren. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-22.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20170036909A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-02-09.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150097215A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-04-09.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150137276A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-05-21.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20150175405A1. Автор: Cheng Chun-Ren. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-06-25.

MECHANISMS FOR FORMING MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20170197821A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-07-13.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE AND METHOD FOR MAKING THE SAME

Номер патента: US20140109680A1. Автор: Tsai Ming-Han. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2014-04-24.

Systems and methods for generating fuel efficiency score based on cell phone sensor data

Номер патента: US20230392940A1. Автор: Satoru Inoue,Jordan Nelson,Jacob Kruse. Владелец: Allstate Insurance Co. Дата публикации: 2023-12-07.

Systems and methods for generating fuel efficiency score based on cell phone sensor data

Номер патента: WO2023235293A1. Автор: Satoru Inoue,Jordan Nelson,Jacob Kruse. Владелец: Allstate Insurance Company. Дата публикации: 2023-12-07.

Systems and methods for bladder pressure forming a preform into a shaped body

Номер патента: EP4360857A1. Автор: Vijay V. Pujar,Katherine E. Waugh,Christopher C. Koroly. Владелец: Rohr Inc. Дата публикации: 2024-05-01.

Micro-electro-mechanical-system structures and applications thereof

Номер патента: IL287348A. Автор: . Владелец: Mekonos Inc. Дата публикации: 2021-12-01.

Method for Making Micro-Electro-Mechanical System Device

Номер патента: US20130102100A1. Автор: Sheng Ta Lee,Chuan-Wei Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2013-04-25.

METHOD FOR FABRICATING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20130260504A1. Автор: Hsieh Tsung-Min,Lee Chien-Hsing,Liou Jhyy-Cheng. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-03.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160085066A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-24.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20160097927A1. Автор: Graves Alan Frank. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

Method for preparation of micro electro-mechanical structure

Номер патента: US20140256077A1. Автор: Chen Bo-Ting,Chen Jung-Hsiang,Chen Cheng-Szu. Владелец: Sagatek Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-09-11.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM DEVICE WITH GUARD RING AND METHOD FOR MAKING SAME

Номер патента: US20150197420A1. Автор: Lee Sheng Ta,Wang Chuan Wei,Hsu Hsin Hui. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2015-07-16.

COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR (CMOS) MICRO ELECTRO-MECHANICAL (MEMS) MICROPHONE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20200207613A1. Автор: Wang Chuan-Wei. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20200223687A1. Автор: Hsu Chang-Sheng,Lin Yuan-Sheng,Chen Weng-Yi,CHANG Jung-Hao. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-16.

Method for making micro-electro-mechanical system device

Номер патента: US20100120257A1. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-05-13.

Wafer lever fixture and method for packaging micro-electro-mechanical-system devices

Номер патента: US20090215228A1. Автор: Hsueh An Yang. Владелец: Advanced Semiconductor Engineering Inc. Дата публикации: 2009-08-27.

Micro-electro-mechanical system device with low substrate capacitive coupling effect

Номер патента: TW201612097A. Автор: Hsin-Hui Hsu,Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2016-04-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE AND MANUFACTURING PROCESS THEREOF

Номер патента: US20200024132A1. Автор: Baldo Lorenzo,Villa Flavio Francesco,DUQI Enri. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE HAVING LOW THERMAL EXPANSION DIFFERENCE

Номер патента: US20140144234A1. Автор: FANG Wei-leun,Tsai Ming-Han,Liu Yu-Chia. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2014-05-29.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE HAVING TWO BURIED CAVITIES AND MANUFACTURING PROCESS THEREOF

Номер патента: US20170144881A1. Автор: Baldo Lorenzo,Villa Flavio Francesco,DUQI Enri. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-25.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE HAVING LOW THERMAL EXPANSION DIFFERENCE

Номер патента: US20180201499A1. Автор: FANG Wei-leun,Tsai Ming-Han,Liu Yu-Chia. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

Micro-electro-mechanical device with ion exchange polymer

Номер патента: US20190225487A1. Автор: Bahar Bamdad,Li Zhefei. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-25.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE AND MANUFACTURING PROCESS THEREOF

Номер патента: US20170253477A1. Автор: Baldo Lorenzo,Villa Flavio Francesco,DUQI Enri. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-07.

Movement sensor in micro electro mechanical device

Номер патента: CN1246215C. Автор: 卡·西尔弗布鲁克. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2006-03-22.

Micro-electro-mechanical device and method of manufacturing the same

Номер патента: US20090117364A1. Автор: Kaoru Tsuchiya,Takafumi Mizoguchi. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2009-05-07.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SENSING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20130152688A1. Автор: Tsai Ming-Han,Sun Chih-Ming. Владелец: . Дата публикации: 2013-06-20.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS DEVICE

Номер патента: US20140084393A1. Автор: Kim Jong Woon,LIM Jun,KIM Po Chul,Yi Yu Heon. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2014-03-27.

METHODS OF FABRICATING MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM STRUCTURES

Номер патента: US20160009550A1. Автор: NI Chyi-Tsong,SU Ching-Hou,Chien Ting-Ying,Chiu Yi Hsun. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-14.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES WITH THROUGH SUBSTRATE VIAS AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20170022049A1. Автор: Chu Chia-Hua,Chang Kuei-Sung,Lee Te-Hao. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-26.

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) Structures And Design Structures

Номер патента: US20150035122A1. Автор: Stamper Anthony K.,JAHNES Christopher V.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20170044004A1. Автор: Chu Chia-Hua,Cheng Chun-Wen,Peng Jung-Huei,Huang Yao-Te,Liu Yu-Chia,Hung Li-Min,Tsai Nien-Tsung. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-16.

NEUROMORPHIC MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20220063989A1. Автор: SYLVESTRE Julien,BARAZANI Bruno,DION Guillaume. Владелец: SOCPRA Sciences et Genie S.E.C.. Дата публикации: 2022-03-03.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20160060098A1. Автор: IKEHASHI Tamio. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2016-03-03.

Micro-electro-mechanical system device having differential capacitors of corresponding sizes

Номер патента: US20150069538A1. Автор: Ming-Han Tsai. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2015-03-12.

ELECTRODE CONFIGURATION FOR TILTING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MIRROR

Номер патента: US20220099958A1. Автор: Woodside Shane H.,Jin Wenlin,WILLS Gonzalo,BLECHTA Jason. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH LOW SUBSTRATE CAPACITIVE COUPLING EFFECT

Номер патента: US20160090295A1. Автор: Tsai Ming-Han,Hsu Hsin-Hui. Владелец: PIXART IMAGING INCORPORATION. Дата публикации: 2016-03-31.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) THERMAL SENSOR

Номер патента: US20200103290A1. Автор: KUO Shih-Chi,Hung Tsai-Hao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2020-04-02.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS SENSOR

Номер патента: US20150135834A1. Автор: Kim Jong Woon,Lim Chang Hyun,LEE Sung Jun,KIM Jong Beom. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-05-21.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20220274827A1. Автор: Lu Wen-Hsiung,Cheng Ming-Da,Yang Ting-Li,Kang Chin Wei,Lin Cheng Jen,WU KAI-DI. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SENSOR DEVICES

Номер патента: US20180141802A1. Автор: Ilkov Nikolay,Lischka Georg,Lorenz Gunar. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MICROMIRRORS AND MICROMIRROR ARRAYS

Номер патента: US20200150416A1. Автор: Zhou Tiansheng. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-14.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM STRUCTURES AND APPLICATIONS THEREOF

Номер патента: US20220306451A1. Автор: Webb Mark A.,Bousse Luc Jan,Benerjee Arunava Steven. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-29.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER HAVING AN OPTIMIZED NON-FLAT SURFACE

Номер патента: US20150175412A1. Автор: Huang Yongli. Владелец: Kolo Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-06-25.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL APPARATUS WITH PN-JUNCTION

Номер патента: US20150183632A1. Автор: Kuo Chin-Fu,Chen Chih-Yuan,Huang Chao-Ta,Su Chung-Yuan. Владелец: . Дата публикации: 2015-07-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYTEM (MEMS) THERMAL SENSOR

Номер патента: US20210215550A1. Автор: KUO Shih-Chi,Hung Tsai-Hao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2021-07-15.

Manufacturing Method of Micro-Electro-Mechanical System Device

Номер патента: US20180201496A1. Автор: Wei-Yang Ou,Hsin-Hung Huang. Владелец: Sensorteknik Technology Corp. Дата публикации: 2018-07-19.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS PACKAGE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20150232325A1. Автор: Chou Shih-Wen. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS SENSOR

Номер патента: US20150241215A1. Автор: Kim Jong Woon,KIM Sung Wook,Han Seung Hun,Lim Chang Hyun,LEE Sung Jun. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2015-08-27.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20140332913A1. Автор: Stamper Anthony K.. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2014-11-13.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL PRESSURE DEVICE AND METHODS OF FORMING SAME

Номер патента: US20170247249A1. Автор: Conti Sebastiano,Baldo Lorenzo,Villa Flavio Francesco,DUQI Enri. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-31.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL MICRO-MANIPULATION DEVICE WITH PIEZOELECTRIC DRIVING, MOVABLE IN PLANE

Номер патента: US20190240844A1. Автор: Giusti Domenico,Tentori Lorenzo. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-08.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM RESONANT SENSOR AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME

Номер патента: US20140360246A1. Автор: PARK Sang Gyu,Kwon Soon-Myung. Владелец: HYUNDAI MOTOR COMPANY. Дата публикации: 2014-12-11.

MICRO ELECTRO-MECHANICAL STRAIN DISPLACEMENT SENSOR AND USAGE MONITORING SYSTEM

Номер патента: US20200264056A1. Автор: Okulov Paul D.. Владелец: . Дата публикации: 2020-08-20.

TESTING METHOD AND UNIT FOR MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS

Номер патента: US20160291072A1. Автор: GUOLO Marco,FERRERO Carlo. Владелец: OSAI A.S. S.p.A.. Дата публикации: 2016-10-06.

WAFER LEVEL CHIP SCALE PACKAGED MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) DEVICE AND METHODS OF PRODUCING THEREOF

Номер патента: US20160297674A1. Автор: Man Piu Francis,Cheng Anru Andrew. Владелец: . Дата публикации: 2016-10-13.

COMBO MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20170328800A1. Автор: Lin Shih-Chieh,WU Chia-Yu,LI Cheng-Syun,Lo Chiung-Cheng. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-16.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20150343857A1. Автор: TATEISHI Fuminori,Izumi Konami,Yamaguchi Mayumi. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-03.

MICRO ELECTRO-MECHANICAL STRAIN DISPLACEMENT SENSOR AND USAGE MONITORING SYSTEM

Номер патента: US20170363486A1. Автор: OKULOV Paul D. Владелец: . Дата публикации: 2017-12-21.

Integrated micro-electro-mechanical systems (mems) sensor device

Номер патента: US20100312468A1. Автор: Lakshman Withanawasam. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2010-12-09.

Micro electro mechanical systems sensor

Номер патента: US10336605B2. Автор: Jong Woon Kim,Chang Hyun Lim,Sung Jun Lee,Jong Beom Kim. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2019-07-02.

Method of fabricating multi function micro electro mechanical system sensor

Номер патента: KR100880044B1. Автор: 표현봉,박선희,전치훈,고상춘. Владелец: 한국전자통신연구원. Дата публикации: 2009-01-22.

Micro structure, micro electro mechanical system therewith, and manufacturing method thereof

Номер патента: KR20110133352A. Автор: 김종완,조승민. Владелец: 삼성테크윈 주식회사. Дата публикации: 2011-12-12.

Controlling micro-electro-mechanical cavities

Номер патента: US6710908B2. Автор: Mark W. Miles,Clarence Chui. Владелец: Iridigm Display Corp. Дата публикации: 2004-03-23.

Micro electro mechanical systems magnetic field sensor

Номер патента: KR102042014B1. Автор: 서상원,고용준,서정기,최완섭,권승화,지칠영. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2019-11-08.

An independent two-axis micro-electro-mechanical systems mirror using an elctrostatic force

Номер патента: KR100759099B1. Автор: 박재형,박일흥. Владелец: 이화여자대학교 산학협력단. Дата публикации: 2007-09-19.

Silicon chip of micro electro mechanical system and preparation method thereof

Номер патента: CN110980633A. Автор: 戴维·兰姆·马克斯. Владелец: Qst Corp [cn/cn]. Дата публикации: 2020-04-10.

Packaging method and package thereof micro electro mechanical systems devices

Номер патента: KR100884260B1. Автор: 이병기,윤준보. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2009-02-17.

Micro Electro Mechanical Systems Component and Manufacturing Method of the same

Номер патента: KR101506789B1. Автор: 이정원,최민규,한승훈,김종운. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2015-03-27.

Controlling micro-electro-mechanical cavities

Номер патента: US20020149828A1. Автор: Clarence Chui,Mark Miles. Владелец: Iridigm Display Corp. Дата публикации: 2002-10-17.

Seal in micro electro-mechanical ink ejection nozzle

Номер патента: CA2414708A1. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: Kia Silverbrook. Дата публикации: 2001-01-11.

Micro-electro-mechanical system (MEMS) package having metal sealing member

Номер патента: US7368816B2. Автор: Ohk Kun Lim,Suk Kee Hong. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2008-05-06.

Micro electro mechanical system

Номер патента: CN102119318B. Автор: 出川宗里,郑希元. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2013-10-30.

Device and method for sensing magnetic field distribution

Номер патента: EP3899635A1. Автор: Thomas Lisec,Fabian LOFINK,Shanshan Gu-Stoppel,Florian Niekiel. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-27.

Mems based surveillance system and a method for using same

Номер патента: EP2612194A1. Автор: Richard L. Wiggins,Paul G Dewa. Владелец: Corning Inc. Дата публикации: 2013-07-10.

Method for minimization of contamination

Номер патента: EP4287859A1. Автор: Simon Dodd,Alec WRIGHT,Eduardo Jose Garcia Garcia,Grzegorz Aleksander PILATOWICZ,David Steven HUNT. Владелец: JT INTERNATIONAL SA. Дата публикации: 2023-12-13.

Apparatus and method for pet waste containment and disposal

Номер патента: EP3599833A1. Автор: John Martin,Peter Palmer. Владелец: Microfine Inc. Дата публикации: 2020-02-05.

Apparatus and method for improved light source and light detector for gravimeter

Номер патента: CA2704941C. Автор: Rocco DiFoggio. Владелец: Baker Hughes Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

A system and method for smart walking assistant for elderly care

Номер патента: AU2021102699A4. Автор: Pratik Bhattacharjee,Suparna Biswas. Владелец: Biswas Suparna Dr. Дата публикации: 2021-11-04.

Mems based surveillance system and a method for using same

Номер патента: WO2012030755A1. Автор: Richard L. Wiggins,Paul G Dewa. Владелец: CORNING INCORPORATED. Дата публикации: 2012-03-08.

Systems and methods for creating personalized medicines for treating heart failure and heart disease

Номер патента: US20220180991A1. Автор: Filip Ludwig Peters. Владелец: Acorai AB. Дата публикации: 2022-06-09.

System identification to improve control of a micro-electro-mechanical mirror

Номер патента: US20030225463A1. Автор: Mark Heaton,Eric Oettinger,Mark Heminger. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2003-12-04.

data collection apparatus and control method for golf swing analysis using MEMS built-in sensor

Номер патента: KR20230102021A. Автор: 권기범. Владелец: 권기범. Дата публикации: 2023-07-07.

Micro-electro-mechanical integrated control systems

Номер патента: WO1999008168A3. Автор: Schrijver Stefaan A De. Владелец: Schrijver Stefaan A De. Дата публикации: 1999-04-29.

REDUCING RESONANCE PEAKS AND DRIVE TONES FROM A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM GYROSCOPE RESPONSE

Номер патента: US20170030714A1. Автор: Tsinker Vadim. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

STRESS REDUCED DIAPHRAGM FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SENSOR

Номер патента: US20200056935A1. Автор: Bharatan Sushil,Rombach Pirmin. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

STICTION DETECTION AND RECOVERY IN A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20180113147A1. Автор: ENJALBERT JEROME ROMAIN. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-26.

DISPLAY APPARATUS HAVING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20160140914A1. Автор: CHAI Chong-Chul,SHIN Kyoung-Ju,Kim Eun-Ju. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-19.

METHOD OF CONTROLLING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VALVE

Номер патента: US20150316167A1. Автор: Samie Farzad,Lee Chunhao J.,Li Dongxu,Olson Bret M.,SONG Xingyong,Fuller Edward N.. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-05.

Gas flow control for gas burners utilizing a micro-electro-mechanical valve

Номер патента: US20050058959A1. Автор: Jeffrey Fortin,Warren Bessler,Joel Haynes,Charles Seeley. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2005-03-17.

Micro-electro-mechanical systems interconnection pins and method for forming the same

Номер патента: TWI409215B. Автор: Tseng-Yang Hsu. Владелец: Winmems Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2013-09-21.

Micro-electro-mechanical systems interconnection pins and method for forming the same

Номер патента: KR101125582B1. Автор: 쉬 쩡양. Владелец: 윈멤스 테크놀러지 컴퍼니 리미티드. Дата публикации: 2012-03-22.

Method for manufacturing tip of electric contactor for testing electro device

Номер патента: KR100464681B1. Автор: 이정배,김종삼. Владелец: 주식회사 파이컴. Дата публикации: 2005-01-05.

Apparatus and method for controlling optics propagation based on a transparent metal stack

Номер патента: US20080297882A1. Автор: Michael Scalora,Mark Bloemer,Salvatore Baglio. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-12-04.

Apparatus and method for controlling optics propagation based on a transparent metal stack

Номер патента: US20020163708A1. Автор: Michael Scalora,Mark Bloemer,Salvatore Baglio. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-11-07.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MIRROR AND MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM REFLECTIVE DEVICE

Номер патента: US20150286049A1. Автор: SHEU YI-ZHONG. Владелец: HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.. Дата публикации: 2015-10-08.

Device and Method for Parameter Estimation in Micro-Electro-Mechanical System Testing

Номер патента: US20240211722A1. Автор: Alexander Buhmann,Monika Heringhaus. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2024-06-27.

Method for storing repair data in a micro processor system

Номер патента: GB9600827D0. Автор: . Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 1996-03-20.

Torsional oscillator micro electro mechanical systems accelerometer

Номер патента: US20200393247A1. Автор: Clinton Blankenship. Владелец: US Department of Army. Дата публикации: 2020-12-17.

Micro-electro-mechanical gyroscope having electrically insulated regions

Номер патента: US20060162448A1. Автор: Simone Sassolini,Guido Durante,Andrea Clerici. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2006-07-27.

Micro-electro-mechanical mirror structure

Номер патента: EP1193524A3. Автор: Michel A. Rosa,Eric Peters. Владелец: Xerox Corp. Дата публикации: 2003-05-07.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer

Номер патента: GB201706732D0. Автор: . Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2017-06-14.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer

Номер патента: US11614463B2. Автор: Xudong Zou,Ashwin Arunkuman Seshia. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2023-03-28.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150138623A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-05-21.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150139585A1. Автор: GOODWILL Dominic John,Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-05-21.

Device and Method for Micro-Electro-Mechanical-System Photonic Switch

Номер патента: US20150253567A1. Автор: Graves Alan Frank. Владелец: Futurewei Technologies, Inc.. Дата публикации: 2015-09-10.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (MEMS) to heal wounds

Номер патента: CN102137687B. Автор: 兰德尔·P·科尔奇. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2014-08-27.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (MEMS) to heal wounds

Номер патента: CN102137687A. Автор: 兰德尔·P·科尔奇. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2011-07-27.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (mems) to heal wounds

Номер патента: CA2735898A1. Автор: Randall P. Kelch. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2010-04-08.

System and method for using micro-electro-mechanical systems (mems) to heal wounds

Номер патента: EP2331162A1. Автор: Randall P. Kelch. Владелец: Kci Licensing Inc. Дата публикации: 2011-06-15.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: US9213142B2. Автор: Alan Frank Graves,Dominic John Goodwill. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-15.

Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch

Номер патента: EP3117253A1. Автор: Alan Frank Graves. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-18.

Micro-electro mechanical light modulator device

Номер патента: TW200702289A. Автор: James Mckinnell,Arthur R Piehl. Владелец: Hewlett Packard Development Co. Дата публикации: 2007-01-16.

Integration of photonics optical gyroscopes with micro-electro-mechanical sensors

Номер патента: EP4176296A1. Автор: Avi Feshali,Mike Horton. Владелец: Anello Photonics Inc. Дата публикации: 2023-05-10.

Blood pressure gauge with micro-electro-mechanical system (mems) microphone

Номер патента: EP2842482A4. Автор: Chia-Ming Lin. Владелец: MICROLIFE INTELLECTUAL PROPERTY GMBH. Дата публикации: 2016-03-30.

High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer

Номер патента: EP3615944A1. Автор: Ashwin Arunkumar SESHIA,Xudong Zou. Владелец: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD. Дата публикации: 2020-03-04.

Method for forming protective surface film on aluminum shaped articles

Номер патента: CA1198038A. Автор: Akira Hasegawa,Koichi Tanikawa. Владелец: Yoshida Kogyo KK. Дата публикации: 1985-12-17.

Z-axis angular rate micro electro-mechanical systems (MEMS) sensor

Номер патента: US20050066728A1. Автор: Vasile Nistor,Nenad Nenadic,June Shen-Epstein,Eric Chojnacki,Nathan Stirling. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2005-03-31.

Micro-electro-mechanical gyroscope with overload protecting mechanism

Номер патента: CN109211216A. Автор: 梁冰. Владелец: CHENGDU CORPRO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2019-01-15.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE WITH ELECTRICAL COMPENSATION AND READOUT CIRCUIT THEREOF

Номер патента: US20170030741A1. Автор: LIN CHIUNG-WEN,WU Chia-Yu,Lo Chiung-C.. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM

Номер патента: US20170038210A1. Автор: JEONG Heewon,Degawa Munenori. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-09.

Miniaturized Integrated Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) Optical Sensor Array

Номер патента: US20140147337A1. Автор: Alaca Burhanettin Erdem,Urey Hakan,TIMURDOGAN Erman. Владелец: KOC Universitesi. Дата публикации: 2014-05-29.

Micro Electro Mechanical System

Номер патента: US20140174181A1. Автор: JEONG Heewon,Degawa Munenori. Владелец: Hitachi, Ltd. Дата публикации: 2014-06-26.

MICRO ELECTRO MECHANICAL DISPLAY MODULE

Номер патента: US20140204441A1. Автор: Shen Weng-Chang. Владелец: HTC CORPORATION. Дата публикации: 2014-07-24.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE

Номер патента: US20170122974A1. Автор: Lin Shih-Chieh. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-04.

ULTRA-BROADBAND SILICON WAVEGUIDE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) PHOTONIC SWITCH

Номер патента: US20220269007A1. Автор: Sun Yi,Dai Daoxin. Владелец: Zhejiang University. Дата публикации: 2022-08-25.

CAPACITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL FORCE SENSOR AND CORRESPONDING FORCE SENSING METHOD

Номер патента: US20150135860A1. Автор: Conti Sebastiano,Giusti Domenico,PRATI Daniele. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-21.

MOLECULAR ANALYSIS USING MICRO ELECTRO-MECHANICAL SENSOR DEVICES

Номер патента: US20170153193A1. Автор: Adams Jesse D.,Barrus Joseph P.,Whitten Ralph G.,Rogers Benjamin S.,Halbert David R.. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-01.

MICRO-ELECTRO MECHANICAL APPARATUS WITH INTERDIGITATED SPRING

Номер патента: US20140245832A1. Автор: Lin Shih-Chieh,Hsu Yu-Wen,Huang Chao-Ta,Su Chung-Yuan. Владелец: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2014-09-04.

ADAPTIVE AND CONTEXT-AWARE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MIRROR CONTROL

Номер патента: US20200159005A1. Автор: Greiner Philipp,Druml Norbert,MAKSYMOVA Ievgeniia. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-21.

HIGH PERFORMANCE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS ACCELEROMETER

Номер патента: US20200166537A1. Автор: Zou Xudong,Seshia Ashwin Arunkuman. Владелец: Cambridge Enterprise Limited. Дата публикации: 2020-05-28.

RADIO FREQUENCY IDENTIFICATION OF NANO/MICRO-ELECTRO-MECHANICAL MEASUREMENTS

Номер патента: US20200210797A1. Автор: Pattini Luca,Chele Andrea Di. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MICROMIRRORS AND MICROMIRROR ARRAYS

Номер патента: US20150234176A1. Автор: Zhou Tiansheng. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM OPTICAL SWITCH AND SWITCHING NODE

Номер патента: US20170235058A1. Автор: Zhang Peng,Jiang Chendi. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-17.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL ACCELERATION SENSOR DEVICE

Номер патента: US20160274141A1. Автор: ENJALBERT JEROME ROMAIN. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-22.

TRACEABLE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS FOR USE IN SUBTERRANEAN FORMATIONS

Номер патента: US20170356287A1. Автор: Roddy Craig Wayne. Владелец: Halliburton Energy Services, Inc.. Дата публикации: 2017-12-14.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20160370397A1. Автор: Lin Shih-Chieh,Lo Chiung-Cheng. Владелец: RICHTEK TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2016-12-22.

TORSIONAL OSCILLATOR MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS ACCELEROMETER

Номер патента: US20200393247A1. Автор: BLANKENSHIP CLINTON. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-17.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US7712527B2. Автор: Craig W. Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2010-05-11.

Micro electro mechanical system

Номер патента: JP4560958B2. Автор: 敏之 帰山. Владелец: 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社. Дата публикации: 2010-10-13.

Micro Electro Mechanical Systems device

Номер патента: KR101482378B1. Автор: 임창현,한승훈,김종운,정원규. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2015-01-13.

Use of micro-electro-mechanical systems MEMS in well treatments

Номер патента: US8342242B2. Автор: Craig W. Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2013-01-01.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: US20080236814A1. Автор: Craig W. Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2008-10-02.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20100051266A1. Автор: Craig W. Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2010-03-04.

Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Well Treatments

Номер патента: US20110192598A1. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Gordon Moake,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-08-11.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8297352B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Clovis Bonavides,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-10-30.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: US8297353B2. Автор: Craig W. Roddy,Krishna M. Ravi,Gordon Moake,Gary Frisch. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-10-30.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: EP2343434A1. Автор: Craig Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-07-13.

Use of micro-electro-mechanical systems (MEMS) in well treatments

Номер патента: EP2336487A1. Автор: Craig Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2011-06-22.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: EP2489828A1. Автор: Craig Roddy. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2012-08-22.

Use of micro-electro-mechanical systems (mems) in well treatments

Номер патента: WO2011058324A1. Автор: Craig Wayne Roddy,Ricky L. Covington. Владелец: Turner, Craig, Robert. Дата публикации: 2011-05-19.

Variable optical attenuator in micro-electro-mechanical systems and method of making the same

Номер патента: TW580596B. Автор: Hawk Chen,Hsuan-Hsi Chang. Владелец: Delta Electronics Inc. Дата публикации: 2004-03-21.

Transparent Type Display Device Using Micro Electro-mechanical System

Номер патента: KR100724743B1. Автор: 함용성,김제홍. Владелец: 엘지.필립스 엘시디 주식회사. Дата публикации: 2007-06-04.

Adaptive and context-aware micro-electro-mechanical system (MEMS) mirror control

Номер патента: CN111198441A. Автор: N·德鲁梅尔,P·格雷纳,I·马克西默瓦. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2020-05-26.

Micro electro mechanical systems current sensor

Номер патента: KR102052967B1. Автор: 서상원,서정기. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2019-12-09.

Micro-electro-mechanical system fluxgate geomagnetic tensor sensing chip

Номер патента: CN113253162A. Автор: 雷冲,刘佳宁. Владелец: Shanghai Jiaotong University. Дата публикации: 2021-08-13.

Micro electro mechanical apparatus with interdigiated spring

Номер патента: TWI481820B. Автор: Chung Yuan Su,Chao Ta Huang,Yu Wen HSU,Shih Chieh Lin. Владелец: Ind Tech Res Inst. Дата публикации: 2015-04-21.

Micro electro mechanical systems magnetic field sensor

Номер патента: KR20150080805A. Автор: 고용준. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2015-07-10.

SAFETY AND ARMING DEVICE FOR A PROJECTILE AND USING MICRO ELECTRO-MECHANICAL TECHNOLOGY

Номер патента: US20120000388A1. Автор: . Владелец: NEXTER MUNITIONS. Дата публикации: 2012-01-05.

Magnetizing system for electro-mechanical devices

Номер патента: RU2292604C2. Автор: Михаил Степанович Турусов. Владелец: Михаил Степанович Турусов. Дата публикации: 2007-01-27.

METHOD FOR MANUFACTURING SCANDIUM ALUMINUM NITRIDE FILM

Номер патента: US20120000766A1. Автор: Kano Kazuhiko,Nishikubo Keiko,TESHIGAHARA Akihiko,AKIYAMA Morito,Tabaru Tatsuo. Владелец: Denso Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS FOR FORMING A MICRO ELECTRO-MECHANICAL DEVICE

Номер патента: US20120282719A1. Автор: Liu Lianjun,Tang Jinbang. Владелец: Freescale Semiconductor, Inc.. Дата публикации: 2012-11-08.

Replaceable microfluid module for automated recovery and purification of nucleic acids from biological samples and method for recovery and purification nucleic acids with using thereof

Номер патента: RU2380418C1. Автор: Иван Васильевич Филатов,Александр Сергеевич Заседателев,Екатерина Игоревна Дементьева,Дмитрий Александрович Грядунов,Владимир Михайлович Михайлович,Дмитрий Андреевич Ходаков,Дмитрий Дмитриевич Мамаев,Дмитрий Александрович Юрасов,Алексей Игоревич Черепанов,Ольга Валерьевна Смолдовская,Сергей Анатольевич Лапа,Дмитрий Александрович Грядунов (RU),Дмитрий Андреевич Ходаков (RU),Дмитрий Дмитриевич Мамаев (RU),Иван Васильевич Филатов (RU),Дмитрий Александрович Юрасов (RU),Алексей Игоревич Черепанов (RU),Ольга Валерьевна Смолдовская (RU),Екатерина Игоревна Дементьева (RU),Сергей Анатольевич Лапа (RU),Владимир Михайлович Михайлович (RU),Александр Сергеевич Заседателев (RU). Владелец: Учреждение Российской академии наук Институт молекулярной биологии им. В.А. Энгельгардта РАН. Дата публикации: 2010-01-27.

Seal for a micro electro-mechanical liquid chamber

Номер патента: AU4731600A. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2001-01-22.

Micro-electro-mechanical-system sensor and method for making same

Номер патента: TWI373449B. Автор: Chuan Wei WANG. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2012-10-01.

Micro-electro-mechanical-system sensor and method for making same

Номер патента: TW201026594A. Автор: Chuan-Wei Wang. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-07-16.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: TWI374851B. Автор: Chuan Wei WANG,Sheng Ta Lee,Hsin Hui Hsu. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2012-10-21.

Micro-electro-mechanical-system device with guard ring and method for making same

Номер патента: TW201024202A. Автор: Hsin-Hui Hsu,Chuan-Wei Wang,Sheng-Ta Lee. Владелец: PixArt Imaging Inc. Дата публикации: 2010-07-01.

Calibrating a micro electro-mechanical device

Номер патента: AU761820B2. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2003-06-12.

Testing a micro electro-mechanical device

Номер патента: AU761670B2. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2003-06-05.

Fault detection in a micro electro-mechanical device

Номер патента: AU761821B2. Автор: Kia Silverbrook. Владелец: SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD. Дата публикации: 2003-06-12.

METHOD OF MAKING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS (MEMS) DEVICE

Номер патента: US20120107993A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-05-03.

A micro-electro mechanical system

Номер патента: SG114545A1. Автор: Silverbrook Kia. Владелец: Silverbrook Res Pty Ltd. Дата публикации: 2005-09-28.

A micro-electro-mechanical switch and a method of using and making thereof

Номер патента: AU2002254191A1. Автор: Michael D. Potter. Владелец: ROCHESTER INSTITUTE OF TECHNOLOGY. Дата публикации: 2002-09-24.

Method for forming MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) device

Номер патента: CN105439081A. Автор: 张冬平,阮炯明. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-03-30.

The method for making of pressure sensor for micro electro-mechanical system

Номер патента: CN102539033B. Автор: 黎坡. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2016-03-23.

Micro electro-mechanical package module

Номер патента: TWM476132U. Автор: Jiong-Yue Tian,Ren-Quan Ye. Владелец: Lingsen Precision Ind Ltd. Дата публикации: 2014-04-11.

Micro-electro-mechanical variable optical attenuator

Номер патента: AU2002352551A1. Автор: Vlad Novotny,Zuo Wang,Yee-Chung Fu. Владелец: Active Optical Networks Inc. Дата публикации: 2003-05-26.

Low driving voltage micro electro-mechanic microwave switch

Номер патента: TW200409726A. Автор: zong-long Xie,Zhao-Heng Jian. Владелец: Lenghways Technology Co Ltd. Дата публикации: 2004-06-16.

Packaging process of micro-electro-mechanical system

Номер патента: TW201004385A. Автор: Wei-Cheng Liang,Chang-Shen Lin. Владелец: Memchip Technology Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

Variable inductor of micro electro-mechanic system

Номер патента: TW552239B. Автор: Jau-Heng Jian,Yzung-Lung Shie. Владелец: Lenghways Technology Co Ltd. Дата публикации: 2003-09-11.

Variable inductor of micro electro-mechanic system

Номер патента: TW200410898A. Автор: zong-long Xie,Jau-Heng Jian. Владелец: Lenghways Technology Co Ltd. Дата публикации: 2004-07-01.

Cutting method for micro-electro-mechanical wafer

Номер патента: CN102120560A. Автор: 彭嘉俊,许翰诚. Владелец: CHIPMOS TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2011-07-13.

Dry etching method for sacrifice layer of micro-electro-mechanical system

Номер патента: CN104261345A. Автор: 雷述宇,史晔. Владелец: NORTH GUANGWEI TECHNOLOGY Inc. Дата публикации: 2015-01-07.

Preparation method for micro-electro-mechanical system (MEMS) atomic vapor chamber and atomic vapor chamber

Номер патента: CN102259825A. Автор: 陈硕,马波,阮勇,尤政. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-11-30.

Micro electro-mechanical system

Номер патента: TW201002609A. Автор: Jen-Tsorng Chang,Yi-Mou Huang. Владелец: Hon Hai Prec Ind Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

Micro-electro mechanical microphone with dual substrates and the manufacture method thereof

Номер патента: TW200930123A. Автор: Yung-Hung Lu. Владелец: Tong Hsing Electronic Ind Ltd. Дата публикации: 2009-07-01.

Micro-electro-mechanical microphone

Номер патента: TW201110712A. Автор: Wen-Chieh Wei,Tse-Yu Liu. Владелец: Merry Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2011-03-16.

MICRO ELECTRO MECHANICAL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20120080727A1. Автор: Izumi Konami,Yamaguchi Mayumi. Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2012-04-05.

METHOD FOR MANUFACTURING A BENDING TRANSDUCER, A MICRO PUMP AND A MICRO VALVE, MICRO PUMP AND MICRO VALVE

Номер патента: US20130055889A1. Автор: Richter Martin,Herz Markus,Wackerle Martin. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-07.

Covering member for micro electro mechanical device and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102745640B. Автор: 周保宏,蔡琨辰. Владелец: Xinxing Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2015-04-15.

Covering member for micro electro mechanical device and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102745640A. Автор: 周保宏,蔡琨辰. Владелец: Xinxing Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-24.

Electrostatically actuated micro-electro-mechanical devices and method of manufacture

Номер патента: AU2002338253A1. Автор: Robert G. Andosca. Владелец: Corning Intellisense LLC. Дата публикации: 2002-10-15.

Method for forming laminated synthetic leather

Номер патента: NZ533450A. Автор: Swei Mu Wang. Владелец: Swei Mu Wang. Дата публикации: 2005-10-28.

Method for use in forming a magnet unit for a loudspeaker

Номер патента: GB202314235D0. Автор: . Владелец: PSS Belgium NV. Дата публикации: 2023-11-01.

MICRO ELECTRO-MECHANICAL SENSOR (MEMS) FABRICATED WITH RIBBON WIRE BONDS

Номер патента: US20120009778A1. Автор: Warren Robert. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-12.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER HAVING AN OPTIMIZED NON-FLAT SURFACE

Номер патента: US20120013218A1. Автор: Huang Yongli. Владелец: Kolo Technologies, Inc.. Дата публикации: 2012-01-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) RESONATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20120025922A1. Автор: Sato Akira,INABA Shogo. Владелец: SEIKO EPSON CORPORATION. Дата публикации: 2012-02-02.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM TEMPERATURE SENSOR

Номер патента: US20120076172A1. Автор: . Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2012-03-29.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED HYDRAULIC CONTROL FOR A POWERTRAIN

Номер патента: US20120090935A1. Автор: . Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEMS BASED HYDRAULIC CONTROL FOR A POWERTRAIN

Номер патента: US20120090937A1. Автор: . Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-04-19.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS MICROMIRRORS AND MICROMIRROR ARRAYS

Номер патента: US20120099176A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-04-26.

Magnetically Actuated Micro-Electro-Mechanical Capacitor Switches in Laminate

Номер патента: US20120103768A1. Автор: Zhang Yang,Bachman Mark,Li Guann-Pyng,Wang Minfeng,Kim Sung Jun. Владелец: . Дата публикации: 2012-05-03.

ON-CHIP MEASUREMENT OF CAPACITANCE FOR MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) ACTUATOR CIRCUIT

Номер патента: US20120153973A1. Автор: Guo Dianbo. Владелец: STMicroelectronics Asia Pacific Pte Ltd.. Дата публикации: 2012-06-21.

THREE DIMENTIONAL (3D) ROBOTIC MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ARM AND SYSTEM

Номер патента: US20120217031A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-08-30.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

Номер патента: US20120274176A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-11-01.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCERS

Номер патента: US20120299439A1. Автор: . Владелец: Kolo Technologies, Inc.. Дата публикации: 2012-11-29.

Nano/Micro Electro-Mechanical Relay

Номер патента: US20120325630A1. Автор: Pulskamp Jeffrey S.,Judy Daniel,Kalb Alan I.. Владелец: . Дата публикации: 2012-12-27.

MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM CIRCUIT CAPABLE OF COMPENSATING CAPACITANCE VARIATION AND METHOD THEREOF

Номер патента: US20130049809A1. Автор: Wu Chia-Tai. Владелец: . Дата публикации: 2013-02-28.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS COMPONENT

Номер патента: US20130068022A1. Автор: Kim Jong Woon,Park Heung Woo,JEUNG WON KYU. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2013-03-21.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONE CHIP WITH AN EXPANDED BACK CHAMBER

Номер патента: US20130101143A1. Автор: CHEN Hung-Jen,Chiu Kuan-Hsun,Wang Chun-Chieh,HSU Ming-Li. Владелец: . Дата публикации: 2013-04-25.

Three-Dimensional Micro-Electro-Mechanical-System Sensor

Номер патента: US20130139595A1. Автор: Tsai Ming-Han,Sun Chih-Ming. Владелец: . Дата публикации: 2013-06-06.

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM STRUCTURES

Номер патента: US20130187245A1. Автор: NI Chyi-Tsong,SU Ching-Hou,Chien Ting-Ying,Chiu Yi Hsun. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.. Дата публикации: 2013-07-25.

RF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) CAPACITIVE SWITCH

Номер патента: US20130284571A1. Автор: Pillans Brandon William,Moody Cody Blake,Morris Francis Joseph. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-31.

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DISPLAY MODULE AND DISPLAY METHOD

Номер патента: US20140002512A1. Автор: Shen Weng-Chang,Tseng Hsu-Hsiang. Владелец: HTC CORPORATION. Дата публикации: 2014-01-02.

Cantilever Packages for Sensor MEMS (MIcro-Electro-Mechanical System)

Номер патента: US20140008737A1. Автор: Koduri Sreenivasan. Владелец: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED. Дата публикации: 2014-01-09.

Micro-electro-mechanical system (MEMS)-based vibration energy acquisition device

Номер патента: CN102694452A. Автор: 郭丹,苏宇锋,段智勇. Владелец: ZHENGZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2012-09-26.

Micro-electro-mechanical sensor chip and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102932724A. Автор: 蔡孟锦. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2013-02-13.

Micro-electro-mechanical directional coupling microwave power sensor and preparation method thereof

Номер патента: CN102243268B. Автор: 张志强,廖小平. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-10-16.

Two-end micro-electro-mechanical system (MEMS) microphone

Номер патента: CN102932723A. Автор: 田达亨. Владелец: Shandong Gettop Acoustic Co Ltd. Дата публикации: 2013-02-13.

Micro-electro-mechanical system microphone chip

Номер патента: CN212086485U. Автор: 柏杨. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-04.

Manufacturing method of biaxial MEMS (micro-electro-mechanical system) gyroscope

Номер патента: CN102134053B. Автор: 邹波,华亚平. Владелец: Senodia Technologies Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-03.

MEMS (micro-electro mechanical system) microphone circuit

Номер патента: CN102611974B. Автор: 蒋振雷,朱潇挺. Владелец: WUXI NAXUN MICROELECTRONIC CO Ltd. Дата публикации: 2014-05-07.

Two-path optical interference fine optical micro-electro-mechanical gyroscope

Номер патента: CN101576383A. Автор: 邹建,任春华,潘英俊,黎蕾蕾. Владелец: Chongqing University. Дата публикации: 2009-11-11.

Micro-electro-mechanic system (MEMS) microphone

Номер патента: CN203406992U. Автор: 王顺,刘瑞宝,李欣亮. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2014-01-22.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) accelerometer based glass window cleaning device

Номер патента: CN102138760B. Автор: 罗国希,吴限,温志渝,武新,董志浩. Владелец: Chongqing University. Дата публикации: 2012-08-08.

Micro-electro-mechanical accelerometer and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102879607B. Автор: 刘礼,赵邦六,岳新波. Владелец: BEIJING JINHE TIANSHENG HIGH AND NEW TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2014-08-06.

Bidirectional deflection pointer of micro electro mechanical system

Номер патента: CN103438837A. Автор: 王雷,张晓强,孙超,李伟华,刘海韵,周再发. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-12-11.

The encapsulating structure of micro-electro-mechanical microphone

Номер патента: CN204377135U. Автор: 曾鹏,刘国俊,吴志江. Владелец: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2015-06-03.

Micro electro mechanical system sensor and manufacturing method thereof

Номер патента: CN103991836A. Автор: 李刚,胡维,肖滨. Владелец: Memsensing Microsystems Suzhou China Co Ltd. Дата публикации: 2014-08-20.

Micro electronmechanical deformable structure and three axle multiple degrees of freedom micro-electro-mechanical gyroscopes

Номер патента: CN204188169U. Автор: 张廷凯. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2015-03-04.

MEMS (Micro Electro Mechanical System) packaging structure and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102190282A. Автор: 许翰诚,黄建志. Владелец: CHIPMOS TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2011-09-21.

Micro electro mechanical microphone chip

Номер патента: CN202957975U. Автор: 蔡孟锦. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2013-05-29.

Micro electro mechanical system (MEMS) gyroscope

Номер патента: CN201909632U. Автор: 杨波,殷勇,李宏生,黄丽斌,徐露,王寿荣. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2011-07-27.

Monitoring structure and monitoring method of micro-electro-mechanical technology

Номер патента: CN103389428A. Автор: 胡铁刚,汪建平,邓登峰. Владелец: Hangzhou Silan Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2013-11-13.

Nine-axis MEMS (Micro Electro Mechanical System) sensor

Номер патента: CN105136208A. Автор: 杨帆,李毅,赵峰,陈天柱,迪水. Владелец: Xiamen Kairui Intelligent Science & Technology Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-09.