MICRO-ELECTRO-MECHANICAL DEVICE WITH A SHOCK-PROTECTED TILTABLE STRUCTURE
Номер патента: US20210188622A1
Опубликовано: 24-06-2021
Автор(ы): "BONI Nicolo", CARMINATI Roberto, MERLI Massimiliano
Принадлежит: STMICROELECTRONICS S.R.L.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-06-2021
Автор(ы): "BONI Nicolo", CARMINATI Roberto, MERLI Massimiliano
Принадлежит: STMICROELECTRONICS S.R.L.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micro-electro-mechanical device with a shock-protected tiltable structure
Номер патента: US20210188622A1. Автор: Roberto Carminati,Massimiliano Merli,Nicolo' BONI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2021-06-24.