Method of encoding identification information on circuit dice using step and repeat lithography
Номер патента: US5302491A
Опубликовано: 12-04-1994
Автор(ы): Charles Seaborg, Victor R. Akylas
Принадлежит: North American Philips Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-04-1994
Автор(ы): Charles Seaborg, Victor R. Akylas
Принадлежит: North American Philips Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of aligning substrate-scale mask with substrate
Номер патента: US09490154B2. Автор: Abraham Ravid,Ganesh Balasubramanian,Todd Egan,Paul Connors,Sergey STARIK. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-11-08.