Atmospheric substitution method for chamber device, chamber device, electro-optic device and organic EL device having same
Номер патента: TW200302911A
Опубликовано: 16-08-2003
Автор(ы): Hayashi Takayuki
Принадлежит: Seiko Epson Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-08-2003
Автор(ы): Hayashi Takayuki
Принадлежит: Seiko Epson Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Atmospheric substitution method for chamber device, chamber device, electro-optic device and organic EL device having same
Номер патента: TWI235802B. Автор: Takayuki Hayashi. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2005-07-11.