Semiconductor machine cleaning system and semiconductor machine cleaning method
Номер патента: US20220401999A1
Опубликовано: 22-12-2022
Автор(ы): Wenhao Hsu
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-12-2022
Автор(ы): Wenhao Hsu
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor machine cleaning system and semiconductor machine cleaning method
Номер патента: US20230286024A9. Автор: Wenhao Hsu. Владелец: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.. Дата публикации: 2023-09-14.