Handling device for handling of a wafer
Номер патента: US20130119688A1
Опубликовано: 16-05-2013
Автор(ы): Ingo Brandstätter, Martin Schmidbauer, Thomas Wagenleitner
Принадлежит: EV Group GmbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-05-2013
Автор(ы): Ingo Brandstätter, Martin Schmidbauer, Thomas Wagenleitner
Принадлежит: EV Group GmbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device for exposing the peripheral area of a wafer
Номер патента: US6052173A. Автор: Shinetsu Miura,Yoshiki Mimura. Владелец: Ushio Denki KK. Дата публикации: 2000-04-18.