Verfahren zur korrektur physikalisch bedingter fehler bei der messung mikroskopischer objekte
Номер патента: EP1330628B1
Опубликовано: 19-05-2004
Автор(ы): Hans Eisenmann, Hans Hartmann, Hans-Jürgen Brück, Thomas Waas
Принадлежит: MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH, PDF Solutions GmbH
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Опубликовано: 19-05-2004
Автор(ы): Hans Eisenmann, Hans Hartmann, Hans-Jürgen Brück, Thomas Waas
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Verfahren zur korrektur physikalisch bedingter fehler bei der messung mikroskopischer objekte
Номер патента: WO2001092818A8. Автор: Hans Hartmann,Thomas Waas,Hans Eisenmann,Hans-Juergen Brueck. Владелец: Brueck Hans Juergen. Дата публикации: 2002-02-21.