Alumina sintered body and manufacturing method therefor
Номер патента: US11760694B2
Опубликовано: 19-09-2023
Автор(ы): Sayuki YOSHIDA, Yukihisa MIYASHITA
Принадлежит: CoorsTek KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-09-2023
Автор(ы): Sayuki YOSHIDA, Yukihisa MIYASHITA
Принадлежит: CoorsTek KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Alumina sintered body, method for manufacturing the same, and part for semiconductor manufacturing apparatus
Номер патента: US20200239368A1. Автор: Kiyotaka Saitou,Shunichi ETO,Osanobu FUKUO. Владелец: Ferrotec Material Technologies Corp. Дата публикации: 2020-07-30.