A sealed enclosure for transporting and storing semiconductor substrates
Номер патента: WO2007065936A1
Опубликовано: 14-06-2007
Автор(ы): Hisanori Kambara, Philippe Bunod, Roland Bernard, Serge Brandolin
Принадлежит: ALCATEL LUCENT
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-06-2007
Автор(ы): Hisanori Kambara, Philippe Bunod, Roland Bernard, Serge Brandolin
Принадлежит: ALCATEL LUCENT
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Station and method for measuring the particle contamination of a transport enclosure for the atmospheric transport and storage of semiconductor wafers
Номер патента: WO2024056248A1. Автор: Julien Bounouar,Bertrand Bellet. Владелец: PFEIFFER VACUUM. Дата публикации: 2024-03-21.