Impedance Matching Device and Impedance Matching Method
Номер патента: US20200212892A1
Опубликовано: 02-07-2020
Автор(ы): Morii Tatsuya
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-07-2020
Автор(ы): Morii Tatsuya
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Impedance matching circuit, power supply apparatus, and plasma processing equipment including same
Номер патента: US20230197411A1. Автор: GALSTYAN OGSEN,Hyun Jin Kim,Jung Hwan Lee,Min Keun Bae,Sung Suk WI. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-22.