Vorrichtung zur einstellung der bearbeitungsbedingungen, verfahren zur einstellung der bearbeitungsbedingungen, und waferproduktionssystem
Номер патента: DE112022001172T5
Опубликовано: 14-12-2023
Автор(ы): Yuji Miyazaki
Принадлежит: Sumco Corp
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Опубликовано: 14-12-2023
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Verfahren und vorrichtung zur ermittlung eines mit einer ditherfrequenz überlagerten pwm-signals zur steuerung eines magnetventils
Номер патента: EP1797490A1. Автор: Jose Kissler,Thomas Röhrl. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2007-06-20.