Methode und Vorrichtung zur feinen Bewegungssteuerung des Probenhalters eines Elektronenmikroskops.
Номер патента: DE68922598T2
Опубликовано: 18-01-1996
Автор(ы): Hiroyuki Kobayashi, Motohide Ukiana, Shigeru Izawa
Принадлежит: HITACHI LTD
Опубликовано: 18-01-1996
Автор(ы): Hiroyuki Kobayashi, Motohide Ukiana, Shigeru Izawa
Принадлежит: HITACHI LTD
Verfahren und vorrichtung zur steuerung von lasergeräten
Номер патента: WO1998048975A2. Автор: Meinhard Lemuth. Владелец: Lemuth Präzisionsteile Gmbh. Дата публикации: 1998-11-05.