Thin shadow ring for low-tilt trench etching
Номер патента: WO2022026813A1
Опубликовано: 03-02-2022
Автор(ы): Ambarish CHHATRE, Craig Rosslee, Dan Marohl, David Setton, Justin Charles CANNIFF
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-02-2022
Автор(ы): Ambarish CHHATRE, Craig Rosslee, Dan Marohl, David Setton, Justin Charles CANNIFF
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin shadow ring for low-tilt trench etching
Номер патента: US20230298929A1. Автор: Dan Marohl,Craig Rosslee,Ambarish CHHATRE,David Setton,Justin Charles CANNIFF. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-09-21.