Bulk acoustic wave resonator and method of manufacturing thereof
Номер патента: WO2011061402A1
Опубликовано: 26-05-2011
Автор(ы): Antti Jaakkola, Heikki Kuisma
Принадлежит: Valtion teknillinen tutkimuskeskus, VTI TECHNOLOGIES OY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-05-2011
Автор(ы): Antti Jaakkola, Heikki Kuisma
Принадлежит: Valtion teknillinen tutkimuskeskus, VTI TECHNOLOGIES OY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Bulk acoustic wave resonator and method of manufacturing thereof
Номер патента: EP2502346A1. Автор: Heikki Kuisma,Antti Jaakkola. Владелец: VTI TECHNOLOGIES OY. Дата публикации: 2012-09-26.