Multi-stage deposition system for growth of inclined c-axis piezoelectric material structures
Номер патента: US20170111022A1
Опубликовано: 20-04-2017
Автор(ы): John BELSICK, Kevin MCCARRON
Принадлежит: Qorvo US Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-04-2017
Автор(ы): John BELSICK, Kevin MCCARRON
Принадлежит: Qorvo US Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Deposition system for growth of inclined c-axis piezoelectric material structures
Номер патента: US09922809B2. Автор: John BELSICK,Kevin MCCARRON. Владелец: Qorvo US Inc. Дата публикации: 2018-03-20.