Method of preparing cross-linked organic glasses for air-gap sacrificial layers
Номер патента: WO2009042636A2
Опубликовано: 02-04-2009
Автор(ы): Karen K. Gleason, Long Hua Lee
Принадлежит: Massachusetts Institute of Technology
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-04-2009
Автор(ы): Karen K. Gleason, Long Hua Lee
Принадлежит: Massachusetts Institute of Technology
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of preparing cross-linked organic glasses for air-gap sacrificial layers
Номер патента: WO2009042636A3. Автор: Long Hua Lee,Karen K Gleason. Владелец: Karen K Gleason. Дата публикации: 2009-06-25.