X-ray source optics for small-angle X-ray scatterometry
Номер патента: US20190323975A1
Опубликовано: 24-10-2019
Автор(ы): Krokhmal Alexander, Vinshtein Yuri, Wormington Matthew
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-10-2019
Автор(ы): Krokhmal Alexander, Vinshtein Yuri, Wormington Matthew
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
X-ray scatterometry apparatus
Номер патента: US09606073B2. Автор: Isaac Mazor,Alex Dikopoltsev,Matthew Wormington,Alex Krokhmal. Владелец: Bruker JV Israel Ltd. Дата публикации: 2017-03-28.