X-Ray Scatterometry Based Measurements Of Memory Array Structures Stacked With Complex Logic Structures
Номер патента: US20240302301A1
Опубликовано: 12-09-2024
Автор(ы): Boxue Chen, Daniel Haxton, Hyowon Park, Robert D. Press, Sandeep Inampudi, Sungchul Yoo
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-09-2024
Автор(ы): Boxue Chen, Daniel Haxton, Hyowon Park, Robert D. Press, Sandeep Inampudi, Sungchul Yoo
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
X-ray scatterometry based measurements of memory array structures stacked with complex logic structures
Номер патента: WO2024186852A1. Автор: Hyowon Park,Sungchul Yoo,Robert Press,Sandeep Inampudi,Daniel J. HAXTON,Boxue BOXUE. Владелец: KLA Corporation. Дата публикации: 2024-09-12.