Verfahren zum steuern eines optischen moduls, optische moduleinheit und optisches modul
Номер патента: DE112017006195T5
Опубликовано: 02-10-2019
Автор(ы): Hiromi Nakanishi, Yohei Enya
Принадлежит: Sumitomo Electric Industries Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-10-2019
Автор(ы): Hiromi Nakanishi, Yohei Enya
Принадлежит: Sumitomo Electric Industries Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Vorrichtung und verfahren zum bearbeiten einer oberfläche eines optischen elements einer lithographieanlage
Номер патента: DE102022206124A1. Автор: Dirk Ehm,Joop Van Deelen,Fred Roozeboom,Alfredo Mameli. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-12-21.