Liquid processing apparatus, liquid processing method and computer-readable storage medium storing liquid processing program
Номер патента: TW201209898A
Опубликовано: 01-03-2012
Автор(ы): Hidetsugu Yano, Naoyuki Okamura, Takao Inada, Yosuke Hachiya
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-03-2012
Автор(ы): Hidetsugu Yano, Naoyuki Okamura, Takao Inada, Yosuke Hachiya
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing apparatus, program for performing operation and control method thereof, and computer readable storage medium storing the program
Номер патента: US20100154995A1. Автор: Hiroshi Nakamura,Hiroyuki Nakayama,Tsuyoshi Moriya,Tomoyuki Kudo,Jun Ozawa,Hiroshi Nagaike,Kazunori Kazama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-06-24.