Anlage und vefahren zur beschichtung mittels eines nebelförmigen precursors mit verbessertem nebel und nebelführung
Номер патента: DE69702185T2
Опубликовано: 21-12-2000
Автор(ы): D Mcmillan, De Araujo A Paz, Masamichi Azuma, Shinichiro Hayashi
Принадлежит: Matsushita Electronics Corp, Symetrix Corp
Опубликовано: 21-12-2000
Автор(ы): D Mcmillan, De Araujo A Paz, Masamichi Azuma, Shinichiro Hayashi
Принадлежит: Matsushita Electronics Corp, Symetrix Corp
Anlage und vefahren zur beschichtung mittels eines nebelförmigen precursors mit verbessertem nebel und nebelführung
Номер патента: DE69702185D1. Автор: Masamichi Azuma,Shinichiro Hayashi,D Mcmillan,De Araujo A Paz. Владелец: Symetrix Corp. Дата публикации: 2000-07-06.