Method of minimal wafer support on bevel edge of wafer
Номер патента: WO2007014289A3
Опубликовано: 07-09-2007
Автор(ы): Victor Mimken
Принадлежит: Applied Materials Inc, Victor Mimken
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-09-2007
Автор(ы): Victor Mimken
Принадлежит: Applied Materials Inc, Victor Mimken
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of minimal wafer support on bevel edge of wafer
Номер патента: WO2007014289A2. Автор: Victor Mimken. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2007-02-01.