Fast gas exchange apparatus, system, and method
Номер патента: US12068135B2
Опубликовано: 20-08-2024
Автор(ы): Aditi Mithun, Ashley Mutsuo OKADA, Benjamin Schwarz, Duc Dang Buckius, Jeffrey LUDWIG, Michael D. Willwerth, Ming Xu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-08-2024
Автор(ы): Aditi Mithun, Ashley Mutsuo OKADA, Benjamin Schwarz, Duc Dang Buckius, Jeffrey LUDWIG, Michael D. Willwerth, Ming Xu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pedestal geometry for fast gas exchange
Номер патента: WO2021194822A1. Автор: Ashutosh Agarwal,Sanjeev Baluja,Tejas ULAVI. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2021-09-30.