Kombinierte untersuchung mit bildgebung und lasermessung

Реферат: Vorrichtung (100) zur Untersuchung einer Probe (2), umfassend eine bildgebende Einrichtung (1) zur Gewinnung eines Übersichtsbildes (21) der Probe (2), ein Messinstrument (3) zur lokalen Abfrage mindestens einer Eigenschaft (22) der Probe (2) mit einem Laserstrahl (32), welcher aus einer Apertur (31) austritt, weiterhin umfassend Verfolgungsmittel (4) zur Ermittlung des Ortes (23) auf der Probe (2), der aktuell mit dem Laserstrahl (32) abgefragt wird, sowie einen Speicher (6), in dem die mit dem Laserstrahl (32) abgefragte Eigenschaft (22) mit dem ermittelten Ort (23) auf der Probe (2) assoziiert wird, wobei die Verfolgungsmittel (4) dazu ausgebildet sind, den Ort (23), an dem der Laserstrahl (32) auf die Probe (2) trifft, durch Auswertung des dabei entstehenden Laserpunkts (32a) aus dem Übersichtsbild (21) zu ermitteln, und/oder diesen Ort (23) durch Messung von Position (31a) und Orientierung (31b) der Apertur (31) zu ermitteln.