Corrosion inhibitor of NiCu for high performance writers
Номер патента: US20010008745A1
Опубликовано: 19-07-2001
Автор(ы): Jei-Wei Chang, Kochan Ju, Xuehua Wu, Yi-Chun Liu
Принадлежит: Headway Technologies Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-07-2001
Автор(ы): Jei-Wei Chang, Kochan Ju, Xuehua Wu, Yi-Chun Liu
Принадлежит: Headway Technologies Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
DEVICE FOR RECEIVING DIRECTIONAL EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION WITH WAVELENGTH OF 11,2 nm ±1% FOR HIGH-RESOLUTION PROJECTIVE LITHOGRAPHY
Номер патента: RU2633726C1. Автор: Сергей Владимирович Голубев,Николай Николаевич Салащенко,Николай Иванович Чхало,Александр Григорьевич Литвак,Иван Владимирович Изотов,Сергей Владимирович Разин,Александр Васильевич Сидоров,Вадим Александрович Скалыга,Александр Валентинович Водопьянов,Дмитрий Анатольевич Мансфельд,Михаил Юрьевич Глявин,Алексей Григорьевич Лучинин,Андрей Николаевич Нечай. Владелец: Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН). Дата публикации: 2017-10-17.