유기 재료의 균일한 제거를 제공하는 방법
Номер патента: KR101171813B1
Опубликовано: 13-08-2012
Автор(ы): 데이비드 알. 퍼클, 라오 브이. 안나프라가다, 릴리 젱, 오데트 터멜, 켄지 타케시타, 토마스 에스. 초이
Принадлежит: 램 리써치 코포레이션
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Опубликовано: 13-08-2012
Автор(ы): 데이비드 알. 퍼클, 라오 브이. 안나프라가다, 릴리 젱, 오데트 터멜, 켄지 타케시타, 토마스 에스. 초이
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Method for line density multiplication using block copolymers and sequential infiltration synthesis
Номер патента: US09416447B2. Автор: Ricardo Ruiz,Hitesh Arora. Владелец: HGST NETHERLANDS BV. Дата публикации: 2016-08-16.